彈性波濾波器和通信的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種彈性波濾波器，具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能，能夠改善平衡度。該彈性波濾波器至少具備壓電基板(P)和在壓電基板(P)上形成的縱耦合諧振子型彈性波濾波器部(200A)，縱耦合諧振子型彈性波濾波器部(200A)具備沿著彈性波的傳播方向配置的第1～第5IDT(201～205)、以夾著配置了第1～第5IDT(201～205)的區(qū)域的方式沿著彈性波的傳播方向配置的第1及第2反射器(206)、(207)，對于第1IDT和第5IDT，除了第1IDT和第5IDT的電極指部的電極指間以外，以垂直于彈性表面波的傳播方向的方向上延伸的假想中心軸A為中心，壓電基板上的構(gòu)造是對稱的，在第4IDT和第5IDT相鄰的部分，流過第4IDT的信號的相位與流過第5IDT的信號的相位是反相的。
【專利說明】彈性波濾波器和通信機
[0001]本申請是申請?zhí)枮?01080016513.1、申請日為2010年03月17日、發(fā)明名稱為“彈性波濾波器和通信機”的發(fā)明專利申請的分案申請。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本發(fā)明涉及具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的彈性波濾波器和具備該彈性波濾波器的通信機。

【背景技術(shù)】
[0003]近年來，為了實現(xiàn)便攜電話等的通信機的小型化和輕量化，進行著構(gòu)成部件的削減和小型化，還進行著復(fù)合了多種功能的部件的開發(fā)。以這種狀況為背景，在通信機的RF (rad1 frequency)電路中，使用具備平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能(balun)的彈性表面波濾波器(elastic wave filter)。
[0004]然而，在具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的彈性表面波濾波器中，存在從第I平衡信號端子和第2平衡信號端子輸出的信號的平衡度不良的問題。在此，所謂平衡度是指振幅平衡度和相位平衡度。
[0005]在下述的專利文獻I中，提出了一種具有改善這種平衡度的平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的彈性表面波濾波器。
[0006]在專利文獻I的圖1中，公開了一種3IDT型的具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的縱耦合諧振子型彈性表面波濾波器，在壓電基板上沿著彈性表面波的傳播方向配置第I?第3梳型電極部(IDT)。在配置了第I?第3IDT的區(qū)域的彈性表面波的傳播方向兩側(cè)，配置第I和第2反射器。位于中央的第2IDT具有第I和第2分割梳齒狀電極。通過將構(gòu)成第2IDT的一個梳齒狀電極在彈性表面波的傳播方向分割為2部分，由此形成第I和第2分割梳齒狀電極。第I和第2分割梳齒狀電極分別連接于第I和第2平衡信號端子。第I和第3的IDT相互連接，并連接于不平衡信號端子。在專利文獻I中，以在垂直于彈性表面波的傳播方向的方向上延伸的假想中心軸A為中心，在一側(cè)和另一側(cè)中，使第IIDT?第3IDT和第I及第2反射器之中至少一個的設(shè)計參數(shù)不同。由此，聲稱改善了平衡度。
[0007]此外，在專利文獻I的圖13中，公開了一種5IDT型的具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的縱耦合諧振子型彈性表面波濾波器，在壓電基板上沿著彈性表面波的傳播方向配置5個IDT。在配置了 5個IDT的區(qū)域的彈性表面波的傳播方向兩側(cè)，配置第I和第2反射器。在專利文獻I中給出如下啟示，在這種5IDT型的縱耦合諧振子型彈性表面波濾波器中，與3IDT型的縱耦合諧振子型彈性表面波濾波器的實施例同樣，以在垂直于彈性表面波的傳播方向的方向上延伸的假想中心軸為中心，在一側(cè)和另一側(cè)中，只要使5個IDT和第I及第2反射器之中至少一個的設(shè)計參數(shù)不同即可。
[0008]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0009]專利文獻1:W02005/031971
[0010]但是，在專利文獻I中，在5IDT型的具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的縱耦合諧振子型彈性表面波濾波器中，關(guān)于如何以假想中心軸為中心使一側(cè)和另一側(cè)不同沒有任何具體的記載。
[0011]另一方面，在專利文獻I的圖13所示的這種5IDT型的具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的縱耦合諧振子型彈性表面波濾波器中，用于以假想中心軸為中心使一側(cè)和另一側(cè)不同的結(jié)構(gòu)，比3IDT型的具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的縱耦合諧振子型彈性表面波濾波器多。因此，僅僅是以假想中心軸為中心使一側(cè)和另一側(cè)非對稱，非但無法充分改善平衡度，相反有時還會使平衡度惡化。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]本發(fā)明的目的在于提供一種彈性波濾波器，在沿著彈性波的傳播方向配置了 5個IDT的具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的縱耦合諧振子型彈性波濾波器中，能夠更加可靠地改善第I及第2平衡信號端子間的信號的平衡度。
[0013]根據(jù)本申請的第I發(fā)明提供一種彈性波濾波器，至少具備壓電基板、在壓電基板上形成的縱耦合諧振子型彈性波濾波器部，縱耦合諧振子型彈性波濾波器部具備沿著彈性波的傳播方向配置的第1、第2、第3、第4及第5IDT、以夾著配置第1、第2、第3、第4及第5IDT的區(qū)域的方式沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2反射器，第3IDT具有沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2分割梳齒狀電極，且第I分割梳齒狀電極配置在靠近第2IDT的一側(cè)，第2分割梳齒狀電極配置在靠近第4IDT的一側(cè)，第2及第4IDT連接于不平衡信號端子，第IIDT和第3IDT的第I分割梳齒狀電極連接于第I平衡信號端子，第5IDT和第3IDT的第2分割梳齒狀電極連接于第2平衡信號端子，第I及第5IDT分別具有一定的電極指間距，第IIDT的電極指間距設(shè)定得小于第5IDT的電極指間距，在第I及第2IDT相鄰的部分，流過第IIDT的信號的相位與流過第2IDT的信號的相位是同相的。
[0014]根據(jù)本申請的第2發(fā)明提供一種彈性波濾波器，至少具備壓電基板、在壓電基板上形成的縱耦合諧振子型彈性波濾波器部，縱耦合諧振子型彈性波濾波器部具備沿著彈性波的傳播方向配置的第1、第2、第3、第4及第5IDT、以夾著配置第1、第2、第3、第4及第5IDT的區(qū)域的方式沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2反射器，第3IDT具有沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2分割梳齒狀電極，且第I分割梳齒狀電極配置在靠近第2IDT的一側(cè)，第2分割梳齒狀電極配置在靠近第4IDT的一側(cè)，第2及第4IDT連接于不平衡信號端子，第IIDT和第3IDT的第I分割梳齒狀電極連接于第I平衡信號端子，第5IDT和第3IDT的第2分割梳齒狀電極連接于第2平衡信號端子，第I及第5IDT分別具有一定的電極指間距，第IIDT的電極指間距設(shè)定得小于第5IDT的電極指間距，在第I及第2IDT相鄰的部分，彼此相鄰的最外側(cè)電極指的極性相同。
[0015]根據(jù)本申請的第3發(fā)明提供一種彈性波濾波器，至少具備壓電基板、在壓電基板上形成的縱耦合諧振子型彈性波濾波器部，縱耦合諧振子型彈性波濾波器部具備沿著彈性波的傳播方向配置的第1、第2、第3、第4及第5IDT、以夾著配置第1、第2、第3、第4及第5IDT的區(qū)域的方式沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2反射器，第3IDT具有沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2分割梳齒狀電極，且第I分割梳齒狀電極配置在靠近第2IDT的一側(cè)，第2分割梳齒狀電極配置在靠近第4IDT的一側(cè)，第2及第4IDT連接于不平衡信號端子，第IIDT和第3IDT的第I分割梳齒狀電極連接于第I平衡信號端子，第5IDT和第3IDT的第2分割梳齒狀電極連接于第2平衡信號端子，第I及第5IDT具有主間距電極指部、和電極指間距小于主間距電極指部的窄間距電極指部，第IIDT的主間距電極指部的電極指間距設(shè)定得小于第5IDT的主間距電極指部的電極指間距，或者第IIDT的窄間距電極指部的電極指間距設(shè)定得小于第5IDT的窄間距電極指部的電極指間距，在第I及第2IDT相鄰的部分，流過第IIDT的信號的相位與流過第2IDT的信號的相位是同相的。
[0016]根據(jù)本申請的第4發(fā)明提供一種彈性波濾波器，至少具備壓電基板、在壓電基板上形成的縱耦合諧振子型彈性波濾波器部，縱耦合諧振子型彈性波濾波器部具備沿著彈性波的傳播方向配置的第1、第2、第3、第4及第5IDT、以夾著配置第1、第2、第3、第4及第5IDT的區(qū)域的方式沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2反射器，第3IDT具有沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2分割梳齒狀電極，且第I分割梳齒狀電極配置在靠近第2IDT的一側(cè)，第2分割梳齒狀電極配置在靠近第4IDT的一側(cè)，第2及第4IDT連接于不平衡信號端子，第IIDT和第3IDT的第I分割梳齒狀電極連接于第I平衡信號端子，第5IDT和第3IDT的第2分割梳齒狀電極連接于第2平衡信號端子，第I及第5IDT具有主間距電極指部、和電極指間距小于主間距電極指部的窄間距電極指部，第IIDT的主間距電極指部的電極指間距設(shè)定得小于第5IDT的主間距電極指部的電極指間距，或者第IIDT的窄間距電極指部的電極指間距設(shè)定得小于第5IDT的窄間距電極指部的電極指間距，在第I及第2IDT相鄰的部分，彼此相鄰的最外側(cè)電極指的極性相同。
[0017]根據(jù)本申請的第5發(fā)明提供一種彈性波濾波器，至少具備壓電基板、在壓電基板上形成的縱耦合諧振子型彈性波濾波器部，縱耦合諧振子型彈性波濾波器部具備沿著彈性波的傳播方向配置的第1、第2、第3、第4及第5IDT、以夾著配置第1、第2、第3、第4及第5IDT的區(qū)域的方式沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2反射器，第3IDT具有沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2分割梳齒狀電極，且第I分割梳齒狀電極配置在靠近第2IDT的一側(cè)，第2分割梳齒狀電極配置在靠近第4IDT的一側(cè)，第2及第4IDT連接于不平衡信號端子，第IIDT和第3IDT的第I分割梳齒狀電極連接于第I平衡信號端子，第5IDT和第3IDT的第2分割梳齒狀電極連接于第2平衡信號端子，第IIDT的占空比設(shè)定得小于第5IDT的占空比，在第I及第2IDT相鄰的部分，流過第IIDT的信號的相位與流過第2IDT的信號的相位是同相的。
[0018]根據(jù)本申請的第6發(fā)明提供一種彈性波濾波器，至少具備壓電基板、在壓電基板上形成的縱耦合諧振子型彈性波濾波器部，縱耦合諧振子型彈性波濾波器部具備沿著彈性波的傳播方向配置的第1、第2、第3、第4及第5IDT、以夾著配置第1、第2、第3、第4及第5IDT的區(qū)域的方式沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2反射器，第3IDT具有沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2分割梳齒狀電極，且第I分割梳齒狀電極配置在靠近第2IDT的一側(cè)，第2分割梳齒狀電極配置在靠近第4IDT的一側(cè)，第2及第4IDT連接于不平衡信號端子，第IIDT和第3IDT的第I分割梳齒狀電極連接于第I平衡信號端子，第5IDT和第3IDT的第2分割梳齒狀電極連接于第2平衡信號端子，第IIDT的占空比設(shè)定得小于第5IDT的占空比，在第I及第2IDT相鄰的部分，彼此相鄰的最外側(cè)電極指的極性相同。
[0019]本發(fā)明所涉及的彈性波濾波器既可以是將彈性表面波用作彈性波的彈性表面波濾波器，或者還可以是將彈性邊界波用作彈性波的彈性邊界波濾波器。
[0020]本發(fā)明所涉及的通信機的特征在于具備本發(fā)明的彈性波濾波器。
[0021]根據(jù)本申請的第I?第6發(fā)明，在沿著彈性波的傳播方向配置第I?第5IDT且位于中央的第3IDT具備第I及第2分割梳齒狀電極的5IDT型具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的縱耦合諧振子型彈性波濾波器中，由于位于最外側(cè)的第IIDT的電極指間距或者占空比與第5IDT的電極指間距或者占空比不同，因此能夠有效地改善第I及第2平衡信號端子之間的信號的平衡度。
[0022]在專利文獻I記載的3IDT型的具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的縱耦合諧振子型彈性波濾波器中，僅僅通過以假想中心軸為中心使一側(cè)和另一側(cè)的結(jié)構(gòu)不同從而謀求平衡度的改善。在5IDT型的具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的縱耦合諧振子型彈性波濾波器中，由于以假想中心軸為中心一側(cè)與另一側(cè)的結(jié)構(gòu)數(shù)較多，因此僅僅以假想中心軸為中心使一側(cè)與另一側(cè)的結(jié)構(gòu)不同，未必能夠改善平衡度。根據(jù)本發(fā)明，在5IDT型的具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能的縱耦合諧振子型彈性波濾波器中，使位于最外側(cè)的第IIDT的電極指間距或占空比與第5IDT的電極指間距或占空比不同，由此能夠有效地改善平衡度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的彈性表面波濾波器的電極構(gòu)造的示意俯視圖。
[0024]圖2是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的彈性表面波濾波器的仰視圖。
[0025]圖3是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的彈性表面波濾波器的構(gòu)造的正面剖視圖。
[0026]圖4是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的彈性表面波濾波器及第I比較例的彈性表面波濾波器的振幅平衡度的圖。
[0027]圖5是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的彈性表面波濾波器及第I比較例的彈性表面波濾波器的相位平衡度的圖。
[0028]圖6是表示第2比較例的彈性表面波濾波器的電極構(gòu)造的示意俯視圖。
[0029]圖7是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的彈性表面波濾波器、第I比較例的彈性表面波濾波器、第2比較例的彈性表面波濾波器的振幅平衡度的圖。
[0030]圖8是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的彈性表面波濾波器、第I比較例的彈性表面波濾波器、第2比較例的彈性表面波濾波器的相位平衡度的圖。
[0031]圖9是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的彈性表面波濾波器、第I比較例的彈性表面波濾波器、第3比較例的彈性表面波濾波器的振幅平衡度的圖。
[0032]圖10是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的彈性表面波濾波器、第I比較例的彈性表面波濾波器、第3比較例的彈性表面波濾波器的相位平衡度的圖。
[0033]圖11是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的彈性表面波濾波器、第I比較例的彈性表面波濾波器、第4比較例的彈性表面波濾波器的振幅平衡度的圖。
[0034]圖12是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的彈性表面波濾波器、第I比較例的彈性表面波濾波器、第4比較例的彈性表面波濾波器的相位平衡度的圖。
[0035]圖13是表示本發(fā)明的第2實施方式所涉及的彈性表面波濾波器的電極構(gòu)造的示意俯視圖。
[0036]圖14是表示本發(fā)明的第2實施方式所涉及的彈性表面波濾波器、第5比較例的彈性表面波濾波器、第6比較例的彈性表面波濾波器的振幅平衡度的圖。
[0037]圖15是表示本發(fā)明的第2實施方式所涉及的彈性表面波濾波器、第5比較例的彈性表面波濾波器、第6比較例的彈性表面波濾波器的相位平衡度的圖。
[0038]圖16是表示本發(fā)明的第3實施方式所涉及的彈性表面波濾波器的電極構(gòu)造的示意俯視圖。
[0039]圖17是表示本發(fā)明的第3實施方式所涉及的彈性表面波濾波器、第7比較例的彈性表面波濾波器、第8比較例的彈性表面波濾波器的振幅平衡度的圖。
[0040]圖18是表示本發(fā)明的第3實施方式所涉及的彈性表面波濾波器、第7比較例的彈性表面波濾波器、第8比較例的彈性表面波濾波器的相位平衡度的圖。
[0041]圖19是表示本發(fā)明的第4實施方式所涉及的彈性表面波濾波器的電極構(gòu)造的示意俯視圖。
[0042]圖20是表示本發(fā)明的第4實施方式所涉及的彈性表面波濾波器、第9比較例的彈性表面波濾波器、第10比較例的彈性表面波濾波器的振幅平衡度的圖。
[0043]圖21是表示本發(fā)明的第4實施方式所涉及的彈性表面波濾波器、第9比較例的彈性表面波濾波器、第10比較例的彈性表面波濾波器的相位平衡度的圖。
[0044]圖22是表示本發(fā)明的第5實施方式所涉及的彈性表面波濾波器、第11比較例的彈性表面波濾波器、第12比較例的彈性表面波濾波器的振幅平衡度的圖。
[0045]圖23是表示本發(fā)明的第5實施方式所涉及的彈性表面波濾波器、第11比較例的彈性表面波濾波器、第12比較例的彈性表面波濾波器的相位平衡度的圖。
[0046]圖24是表示本發(fā)明所涉及的彈性邊界波濾波器的一例的示意正面剖視圖。

【具體實施方式】
[0047]以下，通過參照附圖來說明本發(fā)明的具體的實施方式以明確本發(fā)明。
[0048]第I實施方式
[0049]圖1是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的彈性表面波濾波器200的電極構(gòu)造的示意平面圖。本實施方式的彈性表面波濾波器200是利用彈性表面波的彈性波濾波器。
[0050]此夕卜，在本實施方式和以下的各實施方式中，對用作PCS(personalcommunicat1n services)接收用濾波器的彈性波濾波器進行說明。此外，PCS接收用濾波器的通過頻帶為1930?1990MHz。
[0051]在本實施方式的彈性表面波濾波器200中，在壓電基板P上形成圖1所示的電極構(gòu)造。作為壓電基板使用40° ±5° Y截斷X傳播的LiTaO3基板。雖然電極構(gòu)造沒有特別限定，但是在本實施方式中由以鋁為主體的金屬材料形成。
[0052]通過在壓電基板P上形成上述電極構(gòu)造，形成了縱耦合諧振子型彈性表面波濾波器部200A、和與縱耦合諧振子型彈性表面波濾波器部200A串聯(lián)連接的彈性表面波諧振子214。
[0053]縱耦合諧振子型彈性表面波濾波器部200A，具有沿著彈性表面波的傳播方向配置的第I?第5IDT201?205。在配置了第I?第5IDT201?205的區(qū)域的彈性表面波的傳播方向兩側(cè)，配置第I和第2反射器206、207。第I和第2反射器206、207是使多根電極指在兩端短路而成的柵型反射器。
[0054]以第1IDT201為例說明IDT的構(gòu)造。第1IDT201具有一對梳齒狀電極201a、201b。梳齒狀電極201a具有母線(bus bar)和一端連接于母線的多根電極指。同樣，梳齒狀電極201b也具有母線和一端連接于母線的多根電極指。并且，梳齒狀電極201a、201b對置，使得梳齒狀電極201a的多個電極指與梳齒狀電極201b的多根電極指插入彼此之間。多根電極指在與彈性表面波的傳播方向垂直的方向上延伸。
[0055]第2?第5IDT202?205同樣也具有多個梳齒狀電極。不過，位于中央的第3IDT203具有梳齒狀電極203a、第I及第2分割梳齒狀電極203b、203c。通過在彈性表面波的傳播方向上將與梳齒狀電極203a對置的另一側(cè)的梳齒狀電極分割為2部分，由此形成第I及第2分割梳齒狀電極203b、203c。第I及第2分割梳齒狀電極203b、203c沿著彈性表面波的傳播方向配置。
[0056]第2IDT202及第4IDT204的一端，經(jīng)由彈性表面波諧振子214連接于不平衡信號端子211。第2IDT202及第4IDT204的另一端連接于接地電位。第1IDT201及第5IDT205的一端連接于接地電位。第1IDT201的另一端和第3IDT203的第I分割梳齒狀電極203b彼此連接，并連接于第I平衡信號端子212。第3IDT203的第2分割梳齒狀電極203c和第5IDT205的另一端彼此連接，并連接第2平衡信號端子213。
[0057]此外，位于中央的第3IDT203的梳齒狀電極203a連接于接地電位。
[0058]第4IDT204相對于第2IDT202反轉(zhuǎn)，使得在從不平衡信號端子211輸入信號時從第I及第2平衡信號端子212、213輸出的信號的相位相差180°，此外使得在從第I及第2平衡信號端子212、213輸入相位相差180°的信號時從不平衡信號端子211輸出信號。因此，彈性表面波濾波器200具有平衡-不平衡轉(zhuǎn)換功能。
[0059]圖3是表示本實施方式所涉及的彈性表面波濾波器200的構(gòu)造的示意正面剖視圖。如圖3所示，彈性表面波濾波器200具有:形成了圖1所示的電極構(gòu)造的壓電基板P、倒裝片焊接了壓電基板P的基底基板222、以覆蓋壓電基板P和基底基板222的方式形成的樹脂層223。也就是說,彈性表面波濾波器200是CSP (chip size package)型的彈性表面波濾波器。實際上通過在集合基底基板上倒裝片焊接多個壓電基板P，然后由樹脂密封并進行切斷，由此可得到彈性表面波濾波器200。
[0060]圖2是本實施方式所涉及的彈性表面波濾波器200的仰視圖。如圖2所示，在彈性表面波濾波器200的底面即基底基板222的下面，形成用來與外部電連接的端子電極301?305。端子電極301?305分別由W等適當?shù)碾姌O材料組成。
[0061]在此，端子電極301與不平衡信號端子211電連接。此外，端子電極302、303分別與第I及第2平衡信號端子212、213電連接。端子電極304、305是連接于接地電位的端子電極。
[0062]基底基板222的下面具有矩形形狀，端子電極301沿著其中一個短邊配置在該短邊的中央。并且，相對于通過該短邊的中心且平行于長邊的中心軸，對稱地配置端子電極302、304和端子電極303、305。這樣，優(yōu)選端子電極302、304和端子電極303、305以中心軸為中心對稱地配置，由此能夠進一步提高第I及第2平衡信號端子212、213之間的信號的平衡度。為了進一步提高平衡度，優(yōu)選該中心軸位于與后述的假想中心軸A重合的位置。
[0063]如圖1所示，在第I?第5IDT201?205中的2個IDT彼此相鄰的部分，包含位于IDT端部的最外側(cè)電極指的多根電極指的電極指間距比該IDT的其他部分的電極指間距小。該電極指間距相對地變小的部分被稱為窄間距電極指部。在圖1中，用N來示意地表示窄間距電極指部。IDT中的由N表示的部分(窄間距電極指部)以外的部分，被稱為與窄間距電極指部不同的電極指間距的電極指部也就是主間距電極指部。在此，所謂電極指間距是彼此相鄰的電極指的中心間距離。
[0064]周知，通過設(shè)置窄間距電極指部能夠提高IDT彼此相鄰的部分中的彈性表面波的傳播特性的連續(xù)性。
[0065]本實施方式的彈性表面波濾波器200按照以下方式構(gòu)成。第2及第4IDT202、204的主間距電極指部的電極指間距相等。第3IDT203中的由梳齒狀電極203a和第I分割梳齒狀電極203b構(gòu)成的部分以及由梳齒狀電極203a和第2分割梳齒狀電極203c構(gòu)成的部分的主間距電極指部的電極指間距相等。第1IDT201的主間距電極指部的電極指間距設(shè)定得小于第5IDT205的主間距電極指部的電極指間距。
[0066]本實施方式的彈性表面波濾波器200的特征在于，第1IDT201的主間距電極指部的電極指間距設(shè)定得小于第5IDT205的主間距電極指部的電極指間距。更為具體而言，第1IDT201的主間距電極指部的電極指間距與第5IDT205的主間距電極指部的電極指間距相t匕，相對于第5IDT205的主間距電極指部的電極指間距小約0.2%。由此，如后述的實施例中所示那樣，平衡度得到改善。
[0067]此外，第I~第5IDT201~205的電極指的根數(shù)如下述的表1所示。括號內(nèi)的數(shù)字表示窄間距電極指部的電極指的根數(shù)。其他的數(shù)字表示主間距電極指部的電極指的根數(shù)。此外，對于IDT203，區(qū)分表示由梳齒狀電極203a和第I分割梳齒狀電極203b構(gòu)成的部分、由梳齒狀電極203a和第2分割梳齒狀電極203c構(gòu)成的部分。
[0068][表 I]
[0069]

【權(quán)利要求】
1.一種彈性波濾波器，至少具備壓電基板、在所述壓電基板上形成的縱耦合諧振子型彈性波濾波器部， 所述縱耦合諧振子型彈性波濾波器部具備沿著彈性波的傳播方向配置的第1、第2、第3、第4及第5IDT、以夾著配置了所述第1、第2、第3、第4及第5IDT的區(qū)域的方式沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2反射器， 所述第3IDT具有沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2分割梳齒狀電極，且所述第I分割梳齒狀電極配置在靠近所述第2IDT的一側(cè)，所述第2分割梳齒狀電極配置在靠近所述第4IDT的一側(cè)， 所述第2及第4IDT連接于不平衡信號端子，所述第IIDT和所述第3IDT的第I分割梳齒狀電極連接于第I平衡信號端子，所述第5IDT和所述第3IDT的第2分割梳齒狀電極連接于第2平衡信號端子， 所述第I及第5IDT分別具有一定的電極指間距，所述第IIDT的電極指間距設(shè)定得小于所述第5IDT的電極指間距， 在所述第I及第2IDT相鄰的部分，流過所述第IIDT的信號的相位與流過所述第2IDT的信號的相位是同相的， 對于所述第IIDT和所述第5IDT，除了所述第IIDT和所述第5IDT的電極指部的電極指間以外，以垂直于彈性表面波的傳播方向的方向上延伸的假想中心軸A為中心，壓電基板上的構(gòu)造是對稱的。
2.一種彈性波濾波器，至少具備壓電基板、在所述壓電基板上形成的縱耦合諧振子型彈性波濾波器部， 所述縱耦合諧振子型彈性波濾波器部具備沿著彈性波的傳播方向配置的第1、第2、第3、第4及第5IDT、以夾著配置了所述第1、第2、第3、第4及第5IDT的區(qū)域的方式沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2反射器， 所述第3IDT具有沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2分割梳齒狀電極，且所述第I分割梳齒狀電極配置在靠近所述第2IDT的一側(cè)，所述第2分割梳齒狀電極配置在靠近所述第4IDT的一側(cè)， 所述第2及第4IDT連接于不平衡信號端子，所述第IIDT和所述第3IDT的第I分割梳齒狀電極連接于第I平衡信號端子，所述第5IDT和所述第3IDT的第2分割梳齒狀電極連接于第2平衡信號端子， 所述第I及第5IDT分別具有一定的電極指間距，所述第IIDT的電極指間距設(shè)定得小于所述第5IDT的電極指間距， 在所述第I及第2IDT相鄰的部分，彼此相鄰的最外側(cè)電極指的極性相同， 對于所述第IIDT和所述第5IDT，除了所述第IIDT和所述第5IDT的電極指部的電極指間以外，以垂直于彈性表面波的傳播方向的方向上延伸的假想中心軸A為中心，壓電基板上的構(gòu)造是對稱的。
3.一種彈性波濾波器，至少具備壓電基板、在所述壓電基板上形成的縱耦合諧振子型彈性波濾波器部， 所述縱耦合諧振子型彈性波濾波器部具備沿著彈性波的傳播方向配置的第1、第2、第3、第4及第5IDT、以夾著配置了所述第1、第2、第3、第4及第5IDT的區(qū)域的方式沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2反射器， 所述第3IDT具有沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2分割梳齒狀電極，且所述第I分割梳齒狀電極配置在靠近所述第2IDT的一側(cè)，所述第2分割梳齒狀電極配置在靠近所述第4IDT的一側(cè)， 所述第2及第4IDT連接于不平衡信號端子，所述第IIDT和所述第3IDT的第I分割梳齒狀電極連接于第I平衡信號端子，所述第5IDT和所述第3IDT的第2分割梳齒狀電極連接于第2平衡信號端子， 所述第I及第5IDT具有主間距電極指部、和電極指間距小于主間距電極指部的窄間距電極指部，所述第IIDT的主間距電極指部的電極指間距設(shè)定得小于所述第5IDT的主間距電極指部的電極指間距，或者所述第IIDT的窄間距電極指部的電極指間距設(shè)定得小于所述第5IDT的窄間距電極指部的電極指間距， 在所述第I及第2IDT相鄰的部分，流過所述第IIDT的信號的相位與流過所述第2IDT的信號的相位是同相的， 對于所述第IIDT和所述第5IDT，除了所述第IIDT和所述第5IDT的電極指部的電極指間以外，以垂直于彈性表面波的傳播方向的方向上延伸的假想中心軸A為中心，壓電基板上的構(gòu)造是對稱的。
4.一種彈性波濾波器，至少具備壓電基板、在所述壓電基板上形成的縱耦合諧振子型彈性波濾波器部， 所述縱耦合諧振子型彈性波濾波器部具備沿著彈性波的傳播方向配置的第1、第2、第3、第4及第5IDT、以夾著配置了所述第1、第2、第3、第4及第5IDT的區(qū)域的方式沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2反射器， 所述第3IDT具有沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2分割梳齒狀電極，且所述第I分割梳齒狀電極配置在靠近所述第2IDT的一側(cè)，所述第2分割梳齒狀電極配置在靠近所述第4IDT的一側(cè)， 所述第2及第4IDT連接于不平衡信號端子，所述第IIDT和所述第3IDT的第I分割梳齒狀電極連接于第I平衡信號端子，所述第5IDT和所述第3IDT的第2分割梳齒狀電極連接于第2平衡信號端子， 所述第I及第5IDT具有主間距電極指部、和電極指間距小于主間距電極指部的窄間距電極指部，所述第IIDT的主間距電極指部的電極指間距設(shè)定得小于所述第5IDT的主間距電極指部的電極指間距，或者所述第IIDT的窄間距電極指部的電極指間距設(shè)定得小于所述第5IDT的窄間距電極指部的電極指間距， 在所述第I及第2IDT相鄰的部分，彼此相鄰的最外側(cè)電極指的極性相同， 對于所述第IIDT和所述第5IDT，除了所述第IIDT和所述第5IDT的電極指部的電極指間以外，以垂直于彈性表面波的傳播方向的方向上延伸的假想中心軸A為中心，壓電基板上的構(gòu)造是對稱的。
5.一種彈性波濾波器，至少具備壓電基板、在所述壓電基板上形成的縱耦合諧振子型彈性波濾波器部， 所述縱耦合諧振子型彈性波濾波器部具備沿著彈性波的傳播方向配置的第1、第2、第3、第4及第5IDT、以夾著配置了所述第1、第2、第3、第4及第5IDT的區(qū)域的方式沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2反射器， 所述第3IDT具有沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2分割梳齒狀電極，且所述第I分割梳齒狀電極配置在靠近所述第2IDT的一側(cè)，所述第2分割梳齒狀電極配置在靠近所述第4IDT的一側(cè)， 所述第2及第4IDT連接于不平衡信號端子，所述第IIDT和所述第3IDT的第I分割梳齒狀電極連接于第I平衡信號端子，所述第5IDT和所述第3IDT的第2分割梳齒狀電極連接于第2平衡信號端子， 所述第IIDT的占空比設(shè)定得小于所述第5IDT的占空比， 在所述第I及第2IDT相鄰的部分，流過所述第IIDT的信號的相位與流過所述第2IDT的信號的相位是同相的， 對于所述第IIDT和所述第5IDT，除了所述第IIDT和所述第5IDT的電極指部的電極指間以外，以垂直于彈性表面波的傳播方向的方向上延伸的假想中心軸A為中心，壓電基板上的構(gòu)造是對稱的。
6.一種彈性波濾波器，至少具備壓電基板、在所述壓電基板上形成的縱耦合諧振子型彈性波濾波器部， 所述縱耦合諧振子型彈性波濾波器部具備沿著彈性波的傳播方向配置的第1、第2、第3、第4及第5IDT、以夾著配置了所述第1、第2、第3、第4及第5IDT的區(qū)域的方式沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2反射器， 所述第3IDT具有沿著彈性波的傳播方向配置的第I及第2分割梳齒狀電極，且所述第I分割梳齒狀電極配置在靠近所述第2IDT的一側(cè)，所述第2分割梳齒狀電極配置在靠近所述第4IDT的一側(cè)， 所述第2及第4IDT連接于不平衡信號端子，所述第IIDT和所述第3IDT的第I分割梳齒狀電極連接于第I平衡信號端子，所述第5IDT和所述第3IDT的第2分割梳齒狀電極連接于第2平衡信號端子， 所述第IIDT的占空比設(shè)定得小于所述第5IDT的占空比， 在所述第I及第2IDT相鄰的部分，彼此相鄰的最外側(cè)電極指的極性相同， 對于所述第IIDT和所述第5IDT，除了所述第IIDT和所述第5IDT的電極指部的電極指間以外，以垂直于彈性表面波的傳播方向的方向上延伸的假想中心軸A為中心，壓電基板上的構(gòu)造是對稱的。
7.根據(jù)權(quán)利要求1?6的任意一項所述的彈性波濾波器，其特征在于， 在所述第4IDT和所述第5IDT相鄰的部分，流過所述第4IDT的信號的相位與流過所述第5IDT的信號的相位是反相的。
8.根據(jù)權(quán)利要求1?7的任意一項所述的彈性波濾波器，其特征在于，彈性波是彈性表面波。
9.根據(jù)權(quán)利要求1?7的任意一項所述的彈性波濾波器，其特征在于，彈性波是彈性邊界波。
10.一種通信機，具備權(quán)利要求1?9的任意一項所述的彈性波濾波器。
【文檔編號】H03H9/64GK104135247SQ201410280225
【公開日】2014年11月5日 申請日期:2010年3月17日 優(yōu)先權(quán)日:2009年4月14日
【發(fā)明者】安田潤平 申請人:株式會社村田制作所