本發(fā)明涉及彈性波裝置。
背景技術(shù):
1、以往,彈性波裝置被廣泛用于便攜式電話機的濾波器等。近年來,提出了下述的專利文獻1所記載那樣的使用了厚度剪切模式的體波的彈性波裝置。在該彈性波裝置中,在支承體上設(shè)置有壓電層。在壓電層上,設(shè)置有idt(interdigital?transducer,叉指換能器)電極。idt電極具有1對梳齒狀電極。各梳齒狀電極具有匯流條以及多個電極指。1對梳齒狀電極彼此在壓電層上彼此相互交錯對插。1對梳齒狀電極與相互不同的電位連接。通過對idt電極施加交流電壓,來激勵厚度剪切模式的體波。
2、在先技術(shù)文獻
3、專利文獻
4、專利文獻1:美國發(fā)明專利第10491192號說明書
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、發(fā)明要解決的問題
2、在專利文獻1所記載的彈性波裝置中,在支承體設(shè)置有貫通孔。在支承體上設(shè)置有壓電層,使得覆蓋貫通孔。因此,在壓電層以及支承體的層疊體中,壓電層中的覆蓋貫通孔的部分為薄膜狀。
3、相鄰的電極指彼此相互對置的區(qū)域位于該薄膜狀的部分。在將該區(qū)域設(shè)為交叉區(qū)域時,在交叉區(qū)域以及匯流條之間,應(yīng)力容易集中。因此,在薄膜狀的部分產(chǎn)生了裂紋的情況下,有時該裂紋在交叉區(qū)域以及匯流條之間擴展。由此,idt電極的電極指容易斷線。若電極指的斷線的根數(shù)變多,則有時相對于idt電極串聯(lián)地產(chǎn)生靜電電容。由于該原因,有時濾波器特性會變化。
4、本發(fā)明的目的在于,提供能夠抑制裂紋的擴展的彈性波裝置。
5、用于解決問題的技術(shù)方案
6、本發(fā)明涉及的彈性波裝置具備:支承構(gòu)件,具有支承基板;壓電層,設(shè)置于所述支承構(gòu)件,具有相互對置的第1主面以及第2主面;和idt電極,設(shè)置于所述壓電層的所述第1主面以及所述第2主面之中的至少一者,所述idt電極具有相互對置的第1匯流條部以及第2匯流條部、和多個電極指,所述多個電極指包括一端與所述第1匯流條部連接的至少1根第1電極指、以及一端與所述第2匯流條部連接的至少1根第2電極指,所述第1電極指和所述第2電極指彼此相互交錯對插,在從與所述第1電極指以及所述第2電極指延伸的方向正交的方向觀察時,相鄰的所述第1電極指以及所述第2電極指相互重疊的區(qū)域為交叉區(qū)域,在所述支承構(gòu)件設(shè)置有空洞部,所述空洞部在俯視下與所述交叉區(qū)域重疊,所述第1匯流條部以及所述第2匯流條部之中的至少一者具有外側(cè)匯流條和至少1根突起電極,所述外側(cè)匯流條在俯視下不與所述空洞部重疊,所述至少1根突起電極從所述外側(cè)匯流條向所述交叉區(qū)域側(cè)延伸,與所述多個電極指之中不連接于該外側(cè)匯流條的電極指對置,所述突起電極在俯視下與所述空洞部的外周緣重疊。
7、發(fā)明效果
8、根據(jù)本發(fā)明,能夠提供能夠抑制裂紋的擴展的彈性波裝置。
1.一種彈性波裝置,具備:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波裝置,其中,
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的彈性波裝置,其中,
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的彈性波裝置,其中,
5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項所述的彈性波裝置,其中,
6.根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項所述的彈性波裝置,其中,
7.根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項所述的彈性波裝置,其中,
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的彈性波裝置,其中,
9.根據(jù)權(quán)利要求1~8中任一項所述的彈性波裝置,其中,
10.根據(jù)權(quán)利要求1~9中任一項所述的彈性波裝置,其中,
11.根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項所述的彈性波裝置,其中,