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      彈性波裝置的制作方法

      文檔序號:40355296發(fā)布日期:2024-12-18 13:33閱讀:12來源:國知局
      彈性波裝置的制作方法

      本發(fā)明涉及彈性波裝置。


      背景技術(shù):

      1、以往,彈性波裝置被廣泛用于便攜式電話機的濾波器等。近年來,提出了下述的專利文獻1所記載那樣的使用了厚度剪切模式的體波的彈性波裝置。在該彈性波裝置中,在支承體上設(shè)置有壓電層。在壓電層上,設(shè)置有idt(interdigital?transducer,叉指換能器)電極。idt電極具有1對梳齒狀電極。各梳齒狀電極具有匯流條以及多個電極指。1對梳齒狀電極彼此在壓電層上彼此相互交錯對插。1對梳齒狀電極與相互不同的電位連接。通過對idt電極施加交流電壓,來激勵厚度剪切模式的體波。

      2、在先技術(shù)文獻

      3、專利文獻

      4、專利文獻1:美國發(fā)明專利第10491192號說明書


      技術(shù)實現(xiàn)思路

      1、發(fā)明要解決的問題

      2、在專利文獻1所記載的彈性波裝置中,在支承體設(shè)置有貫通孔。在支承體上設(shè)置有壓電層,使得覆蓋貫通孔。因此,在壓電層以及支承體的層疊體中,壓電層中的覆蓋貫通孔的部分為薄膜狀。

      3、相鄰的電極指彼此相互對置的區(qū)域位于該薄膜狀的部分。在將該區(qū)域設(shè)為交叉區(qū)域時,在交叉區(qū)域以及匯流條之間,應(yīng)力容易集中。因此,在薄膜狀的部分產(chǎn)生了裂紋的情況下,有時該裂紋在交叉區(qū)域以及匯流條之間擴展。由此,idt電極的電極指容易斷線。若電極指的斷線的根數(shù)變多,則有時相對于idt電極串聯(lián)地產(chǎn)生靜電電容。由于該原因,有時濾波器特性會變化。

      4、本發(fā)明的目的在于,提供能夠抑制裂紋的擴展的彈性波裝置。

      5、用于解決問題的技術(shù)方案

      6、本發(fā)明涉及的彈性波裝置具備:支承構(gòu)件,具有支承基板;壓電層,設(shè)置于所述支承構(gòu)件,具有相互對置的第1主面以及第2主面;和idt電極,設(shè)置于所述壓電層的所述第1主面以及所述第2主面之中的至少一者,所述idt電極具有相互對置的第1匯流條部以及第2匯流條部、和多個電極指,所述多個電極指包括一端與所述第1匯流條部連接的至少1根第1電極指、以及一端與所述第2匯流條部連接的至少1根第2電極指,所述第1電極指和所述第2電極指彼此相互交錯對插,在從與所述第1電極指以及所述第2電極指延伸的方向正交的方向觀察時,相鄰的所述第1電極指以及所述第2電極指相互重疊的區(qū)域為交叉區(qū)域,在所述支承構(gòu)件設(shè)置有空洞部,所述空洞部在俯視下與所述交叉區(qū)域重疊,所述第1匯流條部以及所述第2匯流條部之中的至少一者具有外側(cè)匯流條和至少1根突起電極,所述外側(cè)匯流條在俯視下不與所述空洞部重疊,所述至少1根突起電極從所述外側(cè)匯流條向所述交叉區(qū)域側(cè)延伸,與所述多個電極指之中不連接于該外側(cè)匯流條的電極指對置,所述突起電極在俯視下與所述空洞部的外周緣重疊。

      7、發(fā)明效果

      8、根據(jù)本發(fā)明,能夠提供能夠抑制裂紋的擴展的彈性波裝置。



      技術(shù)特征:

      1.一種彈性波裝置,具備:

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波裝置,其中,

      3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的彈性波裝置,其中,

      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的彈性波裝置,其中,

      5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項所述的彈性波裝置,其中,

      6.根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項所述的彈性波裝置,其中,

      7.根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項所述的彈性波裝置,其中,

      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的彈性波裝置,其中,

      9.根據(jù)權(quán)利要求1~8中任一項所述的彈性波裝置,其中,

      10.根據(jù)權(quán)利要求1~9中任一項所述的彈性波裝置,其中,

      11.根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項所述的彈性波裝置,其中,


      技術(shù)總結(jié)
      提供能夠抑制裂紋的擴展的彈性波裝置。本發(fā)明涉及的彈性波裝置(10)具備:具有支承基板的支承構(gòu)件;設(shè)置于支承構(gòu)件并具有相互對置的第1主面(14a)以及第2主面(14b)的壓電層(14);和設(shè)置于壓電層(14)的第1主面(14a)以及第2主面(14b)之中的至少一者的(IDT)電極(11)。(IDT)電極(11)具有:相互對置的第1匯流條部(26)以及第2匯流條部(27);和包括一端連接于第1匯流條部(26)的至少1根第1電極指(28)以及一端連接于第2匯流條部(27)的至少1根第2電極指(29)的多個電極指。第1電極指(28)和第2電極指(29)彼此相互交錯對插。在從與第1電極指(28)以及第2電極指(29)延伸的方向正交的方向觀察時,相鄰的第1電極指(28)以及第2電極指(29)相互重疊的區(qū)域為交叉區(qū)域(F)。在支承構(gòu)件設(shè)置有空洞部(10a)。空洞部(10a)在俯視下與交叉區(qū)域(F)重疊。第1匯流條部(26)以及第2匯流條部(27)之中的至少一者具有:在俯視下不與空洞部(10a)重疊的外側(cè)匯流條(26a、27a);和從外側(cè)匯流條向交叉區(qū)域(F)側(cè)延伸并與多個電極指之中不連接于該外側(cè)匯流條的電極指對置的至少1根突起電極(26c、27c)。突起電極在俯視下與空洞部(10a)的外周緣重疊。

      技術(shù)研發(fā)人員:井上和則
      受保護的技術(shù)使用者:株式會社村田制作所
      技術(shù)研發(fā)日:
      技術(shù)公布日:2024/12/17
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