国产精品1024永久观看,大尺度欧美暖暖视频在线观看,亚洲宅男精品一区在线观看,欧美日韩一区二区三区视频,2021中文字幕在线观看

  • <option id="fbvk0"></option>
    1. <rt id="fbvk0"><tr id="fbvk0"></tr></rt>
      <center id="fbvk0"><optgroup id="fbvk0"></optgroup></center>
      <center id="fbvk0"></center>

      <li id="fbvk0"><abbr id="fbvk0"><dl id="fbvk0"></dl></abbr></li>

      一種壓電薄膜極化裝置及極化方法與流程

      文檔序號:39613029發(fā)布日期:2024-10-11 13:22閱讀:60來源:國知局
      一種壓電薄膜極化裝置及極化方法與流程

      本發(fā)明涉及壓電薄膜極化,具體涉及一種壓電薄膜極化裝置及極化方法。


      背景技術(shù):

      1、以壓電材料為基礎(chǔ)的傳感器及制動(dòng)器在工業(yè)生產(chǎn)、半導(dǎo)體器件制備等領(lǐng)域中發(fā)揮越來越重要的作用,其中壓電薄膜以其優(yōu)異的壓電性能、柔韌性以及可大面積量產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)越來受到國內(nèi)外領(lǐng)域?qū)<业闹匾?。極化是壓電薄膜具有壓電性能的必備過程,由于壓電材料在極化過程中需要發(fā)生相變,是一個(gè)非常精密且緩慢的變化過程,導(dǎo)致壓電薄膜的制備效率低,良率也達(dá)不到預(yù)期要求,嚴(yán)重制約壓電薄膜大規(guī)模推廣應(yīng)用。

      2、極化是改善壓電薄膜的壓電性和熱釋電性的重要步驟,其機(jī)理有兩個(gè)方面:一是誘發(fā)晶體組織的相變,如α相在大約1.2mv/cm以上的電場下轉(zhuǎn)變成帶極性的δ相,在更高的電場(大約2mv/cm以上)下,則進(jìn)一步轉(zhuǎn)化為β相;二是晶體內(nèi)偶極子的取向,如β相內(nèi)的偶極子在200kv/cm以上的極化電場作用下會發(fā)生轉(zhuǎn)向。極化的主要目的是讓壓電薄膜的偶極子定向,表面形成靜電場。極化以后的材料就具備了壓電性能,所謂壓電性能,就是給材料施加壓力就會有電信號輸出,最簡單的例子就是打火機(jī)的電火花,按壓導(dǎo)致電荷輸出,輸出的電荷產(chǎn)生極高的電壓將空氣擊穿就出現(xiàn)了電火花。

      3、現(xiàn)有專利中已提出利用針式、線式電極對壓電聚合物材料進(jìn)行大面積卷對卷電暈極化的方法,但基于以上方法制備的壓電薄膜無法實(shí)現(xiàn)工業(yè)生產(chǎn)中的一致性、可靠性、低成本等要求。電暈極化法的主要步驟是對電暈針或電暈絲通高電壓,電暈針或電暈絲電離空氣,在電暈針或電暈絲和正極板間形成電暈區(qū)域,電暈區(qū)域存在強(qiáng)電場,在強(qiáng)電場中的壓電薄膜,受到電場作用,會發(fā)生上述極化現(xiàn)象。

      4、專利cn1410477a中提出電暈針極化壓電薄膜的裝置,但針式電暈極化方法的電暈場不均勻,極化后的薄膜性能壓電性能一致性難以保證,同時(shí)該發(fā)明通過施加金屬柵網(wǎng),可以使極化較為均勻,解決材料的擊穿問題,但也存在操作繁瑣,極化不徹底,后期穩(wěn)定性差等不足等問題;專利cn111554801a中提出利用線式電極對壓電聚合物材料進(jìn)行大面積卷對卷連續(xù)極化的方法,通過卷對卷方法利用圓柱形輥?zhàn)舆M(jìn)行的線式電暈極化,利用兩端拉伸使薄膜與作為下電極的輥?zhàn)淤N緊,使薄膜內(nèi)應(yīng)力較大,極化后的薄膜平整度較差,同時(shí)該發(fā)明中所使用的圓形電暈絲對電壓要求很高,壓電薄膜是不耐高壓的,容易擊穿薄膜,且使用該發(fā)明所述單電源金屬絲極化在極化過程中容易斷裂導(dǎo)致極化過程終止,影響薄膜性能且影響極化效果,單根金屬絲極化的效果不均勻;專利cn2225312y中提出一種芒刺電暈絲,其指向性校差,導(dǎo)致電暈方向分散,很難控制極化區(qū)域,從而影響薄膜的極化穩(wěn)定性。


      技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

      1、本發(fā)明的目的在于提供一種壓電薄膜極化裝置及極化方法,以解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足。

      2、為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:

      3、一種壓電薄膜極化裝置,包括直流高壓電源、下極化機(jī)構(gòu)、調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)以及上極化機(jī)構(gòu);所述下極化機(jī)構(gòu)包括與直流高壓電源正極端連接的用于承載壓電薄膜的正極板以及正極板支架,所述正極板內(nèi)開設(shè)有空腔且連接有真空裝置,所述正極板的上端面均勻開設(shè)有若干個(gè)與所述空腔連通的微孔,所述空腔內(nèi)設(shè)置有加熱裝置;所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括與所述正極板的下端面法蘭連接的電機(jī)、垂直穿過所述正極板的中心且軸向一端通過聯(lián)軸器與所述電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端連接的中心軸以及套設(shè)在所述中心軸上的鎖緊軸承,所述鎖緊軸承能夠沿所述中心軸的軸向滑動(dòng)調(diào)節(jié);所述上極化機(jī)構(gòu)包括與直流高壓電源負(fù)極端連接的電暈絲以及與用于連接所述電暈絲和鎖緊軸承的電暈絲固定機(jī)構(gòu)。

      4、進(jìn)一步地,所述正極板采用金屬微孔板、導(dǎo)電微孔陶瓷板以及由導(dǎo)電聚合物材料或其他導(dǎo)電復(fù)合材料制成的導(dǎo)電微孔板,述正極板的上端面還鋪設(shè)有高密度真空絲網(wǎng)。

      5、進(jìn)一步地,所述電暈絲為橫截面具有尖銳角的導(dǎo)電絲,所述電暈絲以中心軸為圓心成輻射狀或同心圓布置,所述電暈絲固定機(jī)構(gòu)為固定臂或固定板。

      6、一種壓電薄膜極化方法,該方法是基于上述壓電薄膜極化裝置實(shí)現(xiàn)的,包括以下步驟:

      7、s1、將待極化壓電薄膜平放在正極板上,通過真空裝置使待極化壓電薄膜緊緊貼附在正極板上;

      8、s2、通過加熱裝置對待極化壓電薄膜進(jìn)行預(yù)熱,將加熱裝置的溫度設(shè)置為低于待極化壓電薄膜熔融溫度,高于待極化壓電薄膜居里點(diǎn)溫度;

      9、s3、啟動(dòng)直流高壓電源,沿所述中心軸的軸向移動(dòng)鎖緊軸承,調(diào)節(jié)電暈絲高度,觀察電暈絲的電弧變化,當(dāng)電暈絲從無響應(yīng)變?yōu)橛兴{(lán)色弧光出現(xiàn),鎖緊鎖緊軸承;

      10、s4、啟動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)聯(lián)軸器帶動(dòng)中心軸做勻速轉(zhuǎn)動(dòng),進(jìn)而使電暈絲對待極化薄膜進(jìn)行極化;

      11、s5、保持直流高壓電源電壓不變,通過加熱裝置使正極板溫度低于壓電薄膜居里點(diǎn)溫度,對極化后的壓電薄膜進(jìn)行保壓。

      12、由以上技術(shù)方案可知,本發(fā)明壓電薄膜極化裝置和方法采用多根電暈絲共同極化的方式,有效保證了壓電薄膜極化的一致性和均勻性;并通過真空吸附使壓電薄膜緊貼在正極板上,使壓電薄膜具有薄膜較好的平整度;同時(shí)采用橫截面具有尖銳角的電暈絲,保證了壓電薄膜極化的穩(wěn)定性;且通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)使電暈絲的位置可調(diào),可以擴(kuò)展極化面積,大大提高了極化的精度和效率。



      技術(shù)特征:

      1.一種壓電薄膜極化裝置,包括直流高壓電源,其特征在于,還包括下極化機(jī)構(gòu)、調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)以及上極化機(jī)構(gòu);

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種壓電薄膜極化裝置,其特征在于,所述正極板采用金屬微孔板、導(dǎo)電微孔陶瓷板以及由導(dǎo)電聚合物材料或其他導(dǎo)電復(fù)合材料制成的導(dǎo)電微孔板,述正極板的上端面還鋪設(shè)有高密度真空絲網(wǎng)。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種壓電薄膜極化裝置,其特征在于,所述電暈絲為橫截面具有尖銳角的導(dǎo)電絲,所述電暈絲以中心軸為圓心成輻射狀或同心圓布置,所述電暈絲固定機(jī)構(gòu)為固定臂或固定板。

      4.一種壓電薄膜極化方法,該方法是基于上述權(quán)利要求1-3任一所述的壓電薄膜極化裝置實(shí)現(xiàn)的,其特征在于,包括以下步驟:


      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明提供一種壓電薄膜極化裝置,包括直流高壓電源、下極化機(jī)構(gòu)、調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)以及上極化機(jī)構(gòu);所述下極化機(jī)構(gòu)包括與直流高壓電源正極端連接的用于承載壓電薄膜的正極板;所述上極化機(jī)構(gòu)包括與直流高壓電源負(fù)極端連接的若干個(gè)電暈絲。發(fā)明壓電薄膜極化裝置和方法采用多根電暈絲共同極化的方式,有效保證了壓電薄膜極化的一致性和均勻性;并通過真空吸附使壓電薄膜緊貼在正極板上,使壓電薄膜具有薄膜較好的平整度;同時(shí)采用橫截面具有尖銳角的電暈絲,保證了壓電薄膜極化的穩(wěn)定性;且通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)使電暈絲的位置可調(diào),可以擴(kuò)展極化面積,大大提高了極化的精度和效率。

      技術(shù)研發(fā)人員:唐甲豐,趙麗
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:安徽膜感科技有限公司
      技術(shù)研發(fā)日:
      技術(shù)公布日:2024/10/10
      網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
      • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點(diǎn)贊!
      1