本發(fā)明涉及濾波器，特別涉及一種濾波器及其制作方法。

背景技術(shù)：

1、隨著5g的到來，射頻前端模塊對(duì)濾波器的需求倍速增加，由于5g需要疊加頻段越來越多，對(duì)濾波器的數(shù)量以及集成化、小型化要求越來越高。目前saw(surface?acousticwave)濾波器以其自身優(yōu)勢(shì)，正適應(yīng)了現(xiàn)代通信系統(tǒng)設(shè)備以及便攜式電話輕薄短小化、高頻化、數(shù)字化、高性能和高可靠性等方面的要求，已占據(jù)70～80％的市場(chǎng)。

2、saw濾波器是一種沿著固體表面?zhèn)鞑ヂ暡?，由壓電材料和叉指換能器(interdigital?transducer，idt)組成的濾波器。為確保核心功能區(qū)idt工作正常，需要在idt表面形成密閉的空腔結(jié)構(gòu)，防止后續(xù)工序污染idt功能區(qū)。

3、現(xiàn)有的一種saw濾波器中，第一晶圓的正面形成有金屬擋墻和導(dǎo)電柱，第二晶圓的正面形成有多個(gè)焊盤，通過將第一晶圓的金屬擋墻和金屬柱焊接在第二晶圓正面對(duì)應(yīng)的焊盤上實(shí)現(xiàn)第一晶圓和第二晶圓的鍵合以及形成idt工作需要的空腔。但是，該saw濾波器中，難以做到金屬擋墻和金屬柱的焊接高度完全一致，導(dǎo)致形成的空腔氣密性差，在后續(xù)的塑封過程中，極易產(chǎn)生空腔內(nèi)污染，導(dǎo)致器件失效。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的之一是提高濾波器內(nèi)空腔的氣密性，提高濾波器的可靠性。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種濾波器的制作方法。所述濾波器的制作方法包括：提供晶圓，所述晶圓的正面形成有諧振結(jié)構(gòu)、位于所述諧振結(jié)構(gòu)兩側(cè)的電極以及環(huán)繞所述諧振結(jié)構(gòu)的擋墻，所述電極上形成有第一導(dǎo)電柱，所述擋墻具有彈塑性，且所述擋墻的高度大于所述第一導(dǎo)電柱的高度；提供載板，所述載板的正面具有與所述第一導(dǎo)電柱位置對(duì)應(yīng)的鍵合焊盤，所述載板中具有第二導(dǎo)電柱，所述第二導(dǎo)電柱貫穿所述載板且與所述鍵合焊盤電連接；將所述載板安裝在所述晶圓上，所述晶圓的正面和所述載板的正面相對(duì)，所述鍵合焊盤與所述第一導(dǎo)電柱接觸且電連接；其中，將所述載板安裝在所述晶圓上的步驟中，所述載板擠壓所述擋墻且所述擋墻與所述載板緊密貼合，所述擋墻包圍所述晶圓和所述載板之間的部分空隙形成空腔。

3、可選的，所述提供晶圓的方法包括：在晶圓的正面形成諧振結(jié)構(gòu)和位于諧振結(jié)構(gòu)兩側(cè)的電極；在所述電極上形成第一導(dǎo)電柱；以及在所述電極遠(yuǎn)離所述諧振結(jié)構(gòu)的側(cè)邊形成擋墻。

4、可選的，所述提供晶圓的方法包括：在晶圓的正面形成諧振結(jié)構(gòu)和位于諧振結(jié)構(gòu)兩側(cè)的電極；在所述晶圓的正面上形成擋墻，所述擋墻環(huán)繞覆蓋所述電極的邊緣區(qū)域且至少露出所述電極的部分表面；以及在所述電極上、所述擋墻中形成第一導(dǎo)電柱，在垂直所述晶圓正面的方向上，所述第一導(dǎo)電柱遠(yuǎn)離所述晶圓的端面低于所述擋墻遠(yuǎn)離所述晶圓的表面。

5、可選的，所述提供載板的方法包括：在所述載板的正面形成鍵合焊盤；在所述載板中形成貫穿孔，所述貫穿孔和所述鍵合焊盤位置對(duì)應(yīng)；在所述載板的背面上形成金屬種子層，所述金屬種子層覆蓋所述載板的背面且覆蓋所述貫穿孔的內(nèi)表面；通過電鍍工藝在所述貫穿孔內(nèi)形成第二導(dǎo)電柱；以及去除所述載板背面上多余的金屬種子層。

6、可選的，所述濾波器的制作方法還包括：將所述載板安裝在所述晶圓上之后，在所述載板的背面形成凸點(diǎn)，所述凸點(diǎn)覆蓋所述第二導(dǎo)電柱的端面。

7、可選的，所述擋墻的材料包括樹脂；所述擋墻通過光刻工藝形成。

8、本發(fā)明還提供一種濾波器。所述濾波器包括：晶圓，所述晶圓的正面形成有諧振結(jié)構(gòu)、位于所述諧振結(jié)構(gòu)兩側(cè)的電極以及環(huán)繞所述諧振結(jié)構(gòu)的擋墻，所述電極上形成有第一導(dǎo)電柱；載板，安裝在所述晶圓上，且所述載板的正面和所述晶圓的正面相對(duì)；所述載板的正面具有與所述第一導(dǎo)電柱位置對(duì)應(yīng)的鍵合焊盤，所述鍵合焊盤與所述第一導(dǎo)電柱接觸且電連接，所述載板中具有第二導(dǎo)電柱，所述第二導(dǎo)電柱貫穿所述載板且與所述鍵合焊盤電連接；其中，所述擋墻具有彈塑性，且所述擋墻的高度大于所述第一導(dǎo)電柱的高度，所述擋墻壓縮在所述晶圓和所述載板之間且與所述載板緊密貼合，所述擋板包圍所述晶圓和所述載板之間的部分空隙形成空腔。

9、可選的，所述擋墻為聚酰亞胺材料層或干膜層。

10、可選的，所述擋墻位于所述電極遠(yuǎn)離所述諧振結(jié)構(gòu)的側(cè)邊；或者，所述擋墻環(huán)繞覆蓋所述電極的邊緣區(qū)域，所述第一導(dǎo)電柱形成在所述擋墻中。

11、可選的，所述濾波器為晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)。

12、可選的，所述晶圓的正面形成有第一焊接輔助結(jié)構(gòu)，所述載板正面形成有與所述第一焊接輔助結(jié)構(gòu)位置對(duì)應(yīng)的第二焊接輔助結(jié)構(gòu)，所述第一焊接輔助結(jié)構(gòu)與對(duì)應(yīng)的所述第二焊接輔助結(jié)構(gòu)焊接。

13、可選的，所述第二焊接輔助結(jié)構(gòu)一部分位于所述載板中，另一部分凸出所述載板的正面。

14、可選的，所述載板的正面具有凹槽，所述凹槽與所述擋墻位置對(duì)應(yīng)，所述擋墻部分嵌入所述凹槽內(nèi)。

15、可選的，所述諧振結(jié)構(gòu)為叉指換能器。

16、本發(fā)明提供的濾波器及其制作方法中，晶圓的正面形成有諧振結(jié)構(gòu)、位于諧振結(jié)構(gòu)兩側(cè)的電極以及環(huán)繞諧振結(jié)構(gòu)的擋墻，電極上形成有第一導(dǎo)電柱，擋墻具有彈塑性，且擋墻的高度大于第一導(dǎo)電柱的高度，載板安裝在晶圓上，載板可以擠壓擋墻，擋墻與載板緊密結(jié)合且包圍晶圓和載板之間的部分空隙形成空腔，如此解決了擋墻和導(dǎo)電柱焊接高度不一致帶來的空腔氣密性問題，形成的空腔的氣密性較好，有助于確保核心功能區(qū)諧振結(jié)構(gòu)的工作正常，防止后續(xù)工序污染諧振結(jié)構(gòu)，提高濾波器的可靠性；此外，本申請(qǐng)通過擋墻壓縮在晶圓和載板之間而密封出空腔，擋墻與載板之間為緊密貼合，不需要焊接，如此有利于減少空腔內(nèi)焊接殘留物質(zhì)的殘留，避免諧振結(jié)構(gòu)因被污染而失效的風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)特征：

1.一種濾波器的制作方法，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的濾波器的制作方法，其特征在于，所述提供晶圓的方法包括：

3.如權(quán)利要求1所述的濾波器的制作方法，其特征在于，所述提供晶圓的方法包括：

4.如權(quán)利要求1所述的濾波器的制作方法，其特征在于，所述提供載板的方法包括：

5.如權(quán)利要求1所述的濾波器的制作方法，其特征在于，還包括：

6.如權(quán)利要求1所述的濾波器的制作方法，其特征在于，所述擋墻的材料包括樹脂；所述擋墻通過光刻工藝形成。

7.一種濾波器，其特征在于，包括：

8.如權(quán)利要求7所述的濾波器，其特征在于，所述擋墻為聚酰亞胺材料層或干膜層。

9.如權(quán)利要求7所述的濾波器，其特征在于，所述擋墻位于所述電極遠(yuǎn)離所述諧振結(jié)構(gòu)的側(cè)邊；或者，所述擋墻環(huán)繞覆蓋所述電極的邊緣區(qū)域，所述第一導(dǎo)電柱形成在所述擋墻中。

10.如權(quán)利要求7所述的濾波器，其特征在于，所述濾波器為晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)。

11.如權(quán)利要求10所述的濾波器，其特征在于，所述晶圓的正面形成有第一焊接輔助結(jié)構(gòu)，所述載板正面形成有與所述第一焊接輔助結(jié)構(gòu)位置對(duì)應(yīng)的第二焊接輔助結(jié)構(gòu)，所述第一焊接輔助結(jié)構(gòu)與對(duì)應(yīng)的所述第二焊接輔助結(jié)構(gòu)焊接。

12.如權(quán)利要求11所述的濾波器，其特征在于，所述第二焊接輔助結(jié)構(gòu)一部分位于所述載板中，另一部分凸出所述載板的正面。

13.如權(quán)利要求10所述的濾波器，其特征在于，所述載板的正面具有凹槽，所述凹槽與所述擋墻位置對(duì)應(yīng)，所述擋墻部分嵌入所述凹槽內(nèi)。

14.如權(quán)利要求7至13任一項(xiàng)所述的濾波器，其特征在于，所述諧振結(jié)構(gòu)為叉指換能器。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種濾波器及其制作方法。所述濾波器的制作方法包括：提供晶圓，晶圓的正面形成有諧振結(jié)構(gòu)、電極以及擋墻，電極上形成有第一導(dǎo)電柱，擋墻具有彈塑性且高度大于第一導(dǎo)電柱的高度；提供載板，載板的正面具有與第一導(dǎo)電柱位置對(duì)應(yīng)的鍵合焊盤，載板中具有貫穿載板的第二導(dǎo)電柱，第二導(dǎo)電柱與鍵合焊盤電連接；將載板安裝在晶圓上，晶圓的正面和載板的正面相對(duì)，鍵合焊盤與第一導(dǎo)電柱接觸且電連接；其中，將載板安裝在晶圓上的步驟中，載板擠壓擋墻，擋墻包圍晶圓和載板之間的部分空隙形成空腔。如此形成的空腔的氣密性高，有利于提高濾波器的可靠性。本發(fā)明還提供一種利用上述制作方法制成的濾波器。

技術(shù)研發(fā)人員：周斌,林紅寬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：唯捷創(chuàng)芯（天津）電子技術(shù)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10