施方式3的有機(jī)EL顯示裝置的截面圖。
[0050]圖14是實(shí)施方式4的有機(jī)EL顯示裝置的截面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0051]以下，基于附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式。另外，本發(fā)明并不限定于以下的各實(shí)施方式。
[0052](發(fā)明的實(shí)施方式I)
[0053]圖1?圖10表示本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置及其制造方法的實(shí)施方式I。此處，圖1是本實(shí)施方式的有機(jī)EL顯示裝置50a的截面圖。此外，圖2是表示有機(jī)EL顯示裝置50a的像素構(gòu)造的俯視圖。另外，圖1是沿圖2中的A-A線的截面圖。此外，圖3是構(gòu)成有機(jī)EL顯示裝置50a的有機(jī)EL元件25的等效電路圖。此外，圖4是表示構(gòu)成有機(jī)EL顯示裝置50a的密封膜31a的貫通孔的構(gòu)造Ha的俯視圖。進(jìn)一步，圖5是沿圖4中的V-V線的密封膜31a的截面圖。
[0054]如圖1所不，有機(jī)EL顯不裝置50a具備:例如玻璃基板等基底基板1a ;設(shè)置于基底基板1a的有機(jī)EL元件25 ;和以覆蓋有機(jī)EL元件25的方式作為用于抑制有機(jī)EL元件25的劣化的阻擋膜設(shè)置的密封膜31a。此處，在有機(jī)EL顯示裝置50a的顯示區(qū)域(未圖示)，呈矩陣狀地配置有分別作為圖像的最小單位的多個(gè)子像素P(參照?qǐng)D2)。此外，在有機(jī)EL顯示裝置50a的顯示區(qū)域中，如圖2所示，具有用于進(jìn)行紅色的灰度等級(jí)顯示的發(fā)光區(qū)域Lr的子像素P、具有用于進(jìn)行綠色的灰度等級(jí)顯示的發(fā)光區(qū)域Lg的子像素P、和具有用于進(jìn)行藍(lán)色的灰度等級(jí)顯示的發(fā)光區(qū)域Lb的子像素P以相互相鄰的方式設(shè)置，由這些相鄰的3個(gè)子像素P構(gòu)成I個(gè)像素。
[0055]如圖1?圖3所示，有機(jī)EL元件25具備:在基底基板1a上以相互平行地延伸的方式設(shè)置的多個(gè)柵極線11 ;以在與各柵極線11正交的方向上相互平行地延伸的方式設(shè)置的多個(gè)源極線12a ;以在與各柵極線11正交的方向上與各源極線12a相鄰且相互平行地延伸的方式設(shè)置的多個(gè)電源線12b ;在各柵極線11和各源極線12a的每個(gè)交叉部分，即按各個(gè)子像素P分別設(shè)置，與對(duì)應(yīng)的柵極線11和源極線12a連接的多個(gè)第一 TFT13a;按各個(gè)子像素P分別設(shè)置，與對(duì)應(yīng)的第一 TFT13a和電源線12b連接的多個(gè)第二 TFT13b ;按各個(gè)子像素P分別設(shè)置，與對(duì)應(yīng)的第一 TFT13a和電源線12b連接的多個(gè)電容器13c ;以覆蓋各第一TFT13a、各第二 TFT13b和各電容器13c的方式設(shè)置的層間絕緣膜14 ;在層間絕緣膜14上按各個(gè)子像素P作為陽極分別設(shè)置，與對(duì)應(yīng)的第一 TFT13a(和第二 TFT13b)連接的多個(gè)第一電極15 ;以覆蓋各個(gè)第一電極15的端緣部的方式設(shè)置為柵格狀的邊緣罩16 ;以覆蓋各第一電極15和邊緣罩16的方式依次設(shè)置的空穴注入層和空穴輸送層17 ;在空穴注入層和空穴輸送層17上按各個(gè)子像素P分別設(shè)置的多個(gè)發(fā)光層18 ;以覆蓋各發(fā)光層18的方式依次設(shè)置的電子輸送層和電子注入層19 ;和以覆蓋電子輸送層和電子注入層19的方式作為陰極設(shè)置的第二電極20。此處，在第一電極15與第二電極20之間，也可以根據(jù)需要插入用于阻止空穴、電子等載流子的流動(dòng)的載流子阻擋層。另外，空穴注入層和空穴輸送層17以及電子輸送層和電子注入層19也可以適當(dāng)省略。
[0056]第一 TFT13a和第二 TFT13b例如是底柵型或頂柵型TFT。
[0057]電容器13c例如包括:與柵極線11由相同材料形成在同一層的一方的電極；與源極線12a由相同材料形成在同一層的另一方的電極；和設(shè)置在該一對(duì)電極之間的柵極絕緣膜。
[0058]層間絕緣膜14和邊緣罩16例如由具有感光性的丙烯酸樹脂、聚酰亞胺樹脂等形成。
[0059]第一電極15和第二電極20例如由ITO(Indium Tin Oxide:銦錫氧化物)、IZOdndium Zinc Oxide:銦鋅氧化物)、添加鎵的氧化鋅(GZO)等透明導(dǎo)電膜、金(Au)、镲(Ni)、鉑(Pt)等金屬膜、或它們的層疊膜形成。此外第一電極15和第二電極20例如適于通過濺射法、真空蒸鍍法、CVD法、等離子體CVD法、印刷法等形成。此處，在第一電極15具有光透過性(即，光透射性)或光半透過性，第二電極20具有光反射性的情況下，構(gòu)成從基底基板1a側(cè)射出光的底部發(fā)射(bottom emiss1n)型的顯示裝置，在第一電極15具有光反射性且第二電極20具有光透過性或光半透過性的情況下，構(gòu)成從密封膜31a側(cè)射出光的頂部發(fā)射(top emiss1n)型的顯示裝置。
[0060]空穴注入層和空穴輸送層17具有提高從第一電極15向發(fā)光層18注入空穴的效率的功能，和提高向發(fā)光層18輸送空穴的效率的功能，例如由蒽(anthracene)、氮雜苯并菲(azatriphenylene)、荷酉同(fluorenone)、月宗(hydrazone) > ^ (stilbene)、三亞苯(triphenylene)、汽油(benzine)、苯乙稀胺(styrylamine)、三苯胺(triphenylamine)、卩卜啉(porphyrin)、三挫(triazole)、咪 P坐(imidazole)、惡二挫(oxadiazole)、惡P坐(oxazole)、聚芳基鏈燒(polyaryl alkane)、苯二胺(phenylene diamine)、芳基胺(arylamine)、它們的衍生物、噻吩(th1phene)類化合物、聚娃燒(polysilane)類化合物、乙稀基味挫(vinylcarbazole)類化合物、苯胺(aniline)類化合物等的鏈狀式或雜環(huán)式共軛類的單體、低聚物或多聚物等形成。此外，空穴注入層和空穴輸送層17也可以如上所述是具有提高空穴注入效率的功能和提高空穴輸送效率的功能這兩者的I個(gè)層，也可以是具有提高空穴注入效率的功能的I個(gè)層和具有提高空穴輸送效率的功能的I個(gè)層的層疊膜。進(jìn)而，空穴注入層和空穴輸送層17例如適于通過真空蒸鍍法等形成。
[0061]多個(gè)發(fā)光層18分別具有使從第一電極15側(cè)注入的空穴和從第二電極20側(cè)注入的電子再結(jié)合而射出光的功能，例如包括:在用于進(jìn)行紅色的灰度等級(jí)顯示的發(fā)光區(qū)域Lr設(shè)置的發(fā)光層18r ;在用于進(jìn)行綠色的灰度等級(jí)顯示的發(fā)光區(qū)域Lg設(shè)置的發(fā)光層18g;和在用于進(jìn)行藍(lán)色的灰度等級(jí)顯示的發(fā)光區(qū)域Lb設(shè)置的發(fā)光層18b。此外，發(fā)光層 18 例如由蒽、萘(naphthalene)、節(jié)(indene)、菲(phenanthrene)、花(pyrene)、丁省(naphthacene，也稱為“萘并萘”)、三亞苯、花(perylene，也稱為“二萘嵌苯”)、IzS (picene)、焚蒽(f Iuoranthene)、醋菲稀(acephenanthrylene)、戊芬(pentaphene)、戊省(pentacene，也稱為“并五苯”)、暈苯(coronene，也稱為“六苯并苯”)、丁二稀(butadiene)、香豆素(coumarin)、卩丫啶(acridine)、苗(stilbene)、它們的衍生物、三(8-輕基喹啉)銷絡(luò)合物(tris (8-quinolinolato) aluminum complex)、雙(苯并喹啉)被絡(luò)合物(bis (benzoquinolinolato) berylliumu complex)、三(二苯甲酰甲基)鄰菲口羅啉銪絡(luò)合物(tri (dibenzoyl methyl)phenanthroline europium complex)、二甲苯甲酰乙稀基聯(lián)苯(ditoluylvinylbiphenyl)、輕苯基惡挫(hydroxyphenyl oxazole)、輕苯基噻挫(hydroxyphenyl thiazole)等低分子焚光色素、金屬絡(luò)合物等發(fā)光效率高的材料形成。進(jìn)一步，發(fā)光層18例如適于通過真空蒸鍍法等形成。
[0062]電子輸送層和電子注入層19具有提高向發(fā)光層18輸送電子的效率的功能和提高從第二電極15向發(fā)光層18注入電子的效率的功能，例如由三(8-羥基喹啉)鋁絡(luò)合物、惡二挫衍生物、三挫衍生物(triazole derivative)，苯基喹喔啉(phenylquinoxaline)衍生物、噻咯(Silole)衍生物等形成。此外，電子輸送層和電子注入層19也可以如上所述，是具有提尚電子輸送效率的功能和提尚電子注入效率的功能這兩者的I個(gè)層，也可以是具有提高電子輸送效率的功能的I個(gè)層和具有提高電子注入效率的功能的I個(gè)層的層疊膜。進(jìn)一步，電子輸送層和電子注入層19例如適于通過真空蒸鍍法等形成。
[0063]密封膜31a如圖5所示，具備從基底基板1a側(cè)依次設(shè)置的第一無機(jī)膜26、第一有機(jī)膜27、第二無機(jī)膜28、第二有機(jī)膜29和第三無機(jī)膜30。
[0064]在第一有機(jī)膜27，如圖5所示，以使第一無機(jī)膜26和第二無機(jī)膜28相互接觸的方式，設(shè)置有分別形成為線狀的多個(gè)第一貫通孔27h。
[0065]在第二有機(jī)膜29，如圖5所示，以使第二無機(jī)膜28和第三無機(jī)膜30相互接觸的方式，設(shè)置有分別形成為線狀的多個(gè)第二貫通孔29h。
[0066]第一有機(jī)膜27和第二有機(jī)膜29如圖4所示，具有以各第一貫通孔27h不與各第二貫通孔29h重疊的方式配置的貫通孔構(gòu)造Ha。另外，分別具有這些線狀的第一貫通孔27h和第