半導體電路元件、電子設備以及移動體的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體電路元件、使用了該半導體電路元件的電子設備以及移動體。
【背景技術】
[0002]以往，公開了一種半導體裝置，該半導體裝置具備:集成電路(半導體電路)，其設置在半導體基板上；絕緣層，其設置在該半導體基板上；以及電感元件，其設置在該絕緣層上(例如參照專利文獻1)。
[0003]專利文獻1:日本特開2009 - 267212號公報

【發(fā)明內容】

[0004]然而，上述專利文獻1中的半導體裝置構成為將集成電路(半導體電路)和電感元件(電感電路)配置成在俯視時重疊。在這樣的結構中，例如在集成電路(半導體電路)是包含可變電容元件的振蕩電路的情況下，因可變電容元件與電感元件之間的電磁耦合，電感元件的電感發(fā)生變化、或者可變電容元件的靜電電容值等發(fā)生變化，因此，可能導致從振蕩電路輸出的振蕩頻率發(fā)生變動。
[0005]本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而提出的，能夠作為下面的方式或應用例來實現(xiàn)。
[0006][應用例1]
[0007]本應用例的半導體電路元件的特征在于，具備:半導體電路，其設置在半導體基板的主面上；以及薄膜電路元件，其配置在所述半導體基板的所述主面?zhèn)?，具有導電性的薄膜，所述半導體電路在俯視時設置于所述薄膜電路元件與所述半導體基板的外周部之間。
[0008]根據(jù)本應用例，由于半導體電路在俯視時配置于薄膜電路元件與半導體基板的外周部之間，所以俯視時半導體電路與薄膜電路元件不重疊，因此能夠減少半導體電路與薄膜電路元件之間的電磁耦合。另外，半導體電路在俯視時配置于薄膜電路元件與半導體基板的外周部之間，換言之，半導體電路在俯視時配置于薄膜電路元件的外側。因此，例如在薄膜電路元件是產(chǎn)生磁場的元件的情況下，一般地，薄膜電路元件的外側的磁場密度比內側的磁通量密度小，從而通過將半導體電路配置在薄膜電路元件的外側，減少半導體電路與薄膜電路元件之間的電磁耦合。由此，能夠減小半導體電路與薄膜電路元件之間的電磁耦合所造成的薄膜電路元件的特性值的變動。因而，例如在薄膜電路元件是振蕩電路的振蕩環(huán)路中使用的電路的情況下，能夠減小因薄膜電路元件的特性值的變動而引起的振蕩頻率的變動。
[0009][應用例2]
[0010]在上述應用例所述的半導體電路元件中，優(yōu)選的是，所述半導體電路元件具備第1絕緣膜，所述第1絕緣膜被設置成與所述主面及所述半導體電路重疊，所述薄膜電路元件設置在所述第1絕緣膜的與所述主面及所述半導體電路中的至少一個相接的面的反面上。
[0011]根據(jù)本應用例，由于隔著第1絕緣膜設置了半導體電路和薄膜電路元件，所以能夠減少半導體電路與薄膜電路元件之間的、例如短路等電絕緣不良。
[0012][應用例3]
[0013]在上述應用例所述的半導體電路元件中，優(yōu)選的是，所述半導體電路元件具有配置在所述第1絕緣膜上的外部連接端子，所述外部連接端子在俯視時位于與所述半導體電路重疊并且不與所述薄膜電路元件重疊的位置處。
[0014]根據(jù)本應用例，由于能夠使用俯視時重疊地配置的外部連接端子作為半導體電路的保護電極，所以能夠抑制來自外部的噪聲對半導體電路造成影響，例如在使用本應用例的電路作為振蕩電路的振蕩環(huán)路中使用的電路的情況下，能夠降低來自外部的噪聲成為振蕩頻率的噪聲的可能性。另外，由于外部連接端子配置在不與薄膜電路元件重疊的位置處，所以能夠抑制薄膜電路元件與半導體電路之間的電磁耦合，能夠減小薄膜電路元件或者半導體電路中使用的元件值的變動。由此，例如能夠減小振蕩電路的振蕩頻率的變動。
[0015][應用例4]
[0016]在上述應用例所述的半導體電路元件中，優(yōu)選的是，所述半導體電路元件具有第2絕緣膜，所述第2絕緣膜至少覆蓋所述薄膜電路元件，所述半導體電路元件具有配置在所述第2絕緣膜上的外部連接端子，所述外部連接端子在俯視時位于與所述半導體電路重疊并且不與所述薄膜電路元件重疊的位置處。
[0017]根據(jù)本應用例，由于能夠利用第2絕緣膜來防止薄膜電路元件與外部連接端子之間的電短路，并且能夠使用外部連接端子作為半導體電路的保護電極，所以能夠抑制來自外部的噪聲對半導體電路造成影響，例如在使用本應用例的電路作為振蕩電路的振蕩環(huán)路中使用的電路的情況下，能夠降低來自外部的噪聲成為振蕩頻率的噪聲的可能性。另外，由于外部連接端子配置在不與薄膜電路元件重疊的位置處，所以能夠抑制薄膜電路元件與半導體電路之間的電磁耦合，能夠減小薄膜電路元件或者半導體電路中使用的元件值的變動。由此，例如能夠減小振蕩電路的振蕩頻率的變動。
[0018][應用例5]
[0019]在上述應用例所述的半導體電路元件中，優(yōu)選的是，所述半導體電路包含靜電電容元件，所述薄膜電路元件包含電感電路。
[0020]根據(jù)本應用例，半導體電路包含靜電電容元件，薄膜電路元件包含電感電路，從而能夠構成包含它們的振蕩電路的振蕩環(huán)路中使用的振蕩用電路。在這樣的振蕩用電路中，當使用電感電路作為伸長線圈的情況下，電感電路與靜電電容元件發(fā)生電磁耦合時，例如在電感電路與靜電電容元件之間產(chǎn)生寄生電容而可能導致電感電路的電感值及靜電電容元件的靜電電容值變動而振蕩頻率變動。通過采用本結構，能夠減少電磁耦合，因此，能夠減小電感電路的電感值及靜電電容元件的靜電電容值的變動，例如能夠減小振蕩電路的振蕩頻率變動。
[0021][應用例6]
[0022]在上述應用例所述的半導體電路元件中，優(yōu)選的是，所述電感電路是俯視時配置成螺旋狀的布線。
[0023]根據(jù)本應用例，構成為半導體電路在俯視時配置于形成有電感電路的區(qū)域的外部。電感電路的螺旋狀的圖案內部與螺旋狀的圖案外部(電感電路與半導體基板的外周部之間的區(qū)域)相比處于磁通量密度較高的狀態(tài)。因而，半導體電路在俯視時配置于螺旋狀的圖案內部時，電感電路與半導體電路之間的電磁耦合增大，從而可能使電感值的變動增大。通過采用本結構，能夠減少電磁耦合，因此，能夠減小電感電路的特性值的變動，例如能夠減小振蕩電路的振蕩頻率的變動。
[0024][應用例7]
[0025]在上述應用例所述的半導體電路元件中，優(yōu)選的是，所述半導體電路包含電阻電路，所述電阻電路與所述電感電路電連接。
[0026]根據(jù)本應用例，由于能夠使用與電感電路電連接的電阻電路對電感電路的特性、特別是Q值進行調整，所以例如能夠減少振蕩電路的啟動時因電感電路而產(chǎn)生的異常振蕩。
[0027][應用例8]
[0028]在上述應用例所述的半導體電路元件中，優(yōu)選的是，能夠可變地控制所述電阻電路的電阻值。
[0029]根據(jù)本應用例，通過可變地控制與電感電路電連接的電阻電路的電阻值，例如每當振蕩頻率或者使用的振子的等效電路常數(shù)值等發(fā)生變化時，能夠對電感電路的Q值進行調整。因此，即使振蕩頻率或者所使用的振子的等效電路常數(shù)值等發(fā)生了變化，也能夠調整為不會產(chǎn)生異常振蕩。
[0030][應用例9]
[0031]本應用例的電子設備的特征在于，具備上述應用例的任意一例所述的半導體電路元件。
[0032]根據(jù)本應用例，由于具備使半導體電路與薄膜電路元件的電磁耦合所引起的半導體電路的特性值或者薄膜電路元件的特性值的變動減小的半導體電路元件，所以可提供能夠維持穩(wěn)定的特性的電子設備。
[0033][應用例10]
[0034]本應用例的移動體的特征在于，具備上述應用例的任意一例所述的半導體電路元件。
[0035]根據(jù)本應用例，由于具備使半導體電路與薄膜電路元件的電磁耦合所引起的半導體電路的特性值或者薄膜電路元件的特性值的變動減小的半導體電路元件，所以可提供能夠維持穩(wěn)定的特性的移動體。
【附圖說明】
[0036]圖1示出第1實施方式的半導體電路元件，圖1的(a)是俯視圖，圖1的(b)是圖1的(a)的A — A剖視圖。
[0037]圖2是示出設置在半導體電路元件上的半導體電路的一例的電路結構圖。
[0038]圖3示出第2實施方式的半導體電路元件，圖3的(a)是俯視圖，圖3的(b)是圖3的(a)的B — B剖視圖。
[0039]圖4示出第3實施方式的半導體電路元件，是相當于圖3的(a)的B — B截面的剖視圖。
[0040]圖5是示出作為電子設備一例的移動型個人計算機的結構