石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)制造方法及該石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】一種石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，包含：提供一個(gè)陶瓷基板；提供一個(gè)銅圍壁，該銅圍壁具有相對(duì)的一個(gè)第一表面及一個(gè)第二表面；及將該銅圍壁的第一表面置于該陶瓷基板上，于真空、惰氣氣氛或還原氣氛下進(jìn)行一個(gè)燒結(jié)反應(yīng)，直至該陶瓷基板及該銅圍壁間形成一個(gè)氧化銅層及一個(gè)共晶層，使該氧化銅層的相對(duì)兩面分別結(jié)合于該銅圍壁及該共晶層，該共晶層的相對(duì)兩面分別結(jié)合于該氧化銅層及該陶瓷基板，其中，該共晶層的材質(zhì)為氧化鋁銅，借此達(dá)到增加石英震蕩器的密著度的功效。
【專利說明】
石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)制造方法及該石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明是關(guān)于一種石英震蕩器的制造方法，特別是一種石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制 造方法，及制備而得的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002] 震蕩器是一種利用壓電材料及電路產(chǎn)生震蕩的被動(dòng)元件，壓電材料中，又以石英 最為穩(wěn)定，且石英具有能夠提供廣泛頻率的特性，故，目前市面上的震蕩器多以石英震蕩器 為大宗，石英震蕩器被普遍應(yīng)用于數(shù)位電視、數(shù)位相機(jī)、行動(dòng)電話及數(shù)據(jù)機(jī)等消費(fèi)性電子商 品，具有極大的消費(fèi)市場(chǎng)。石英震蕩器包含一震蕩子及一環(huán)壁結(jié)構(gòu)，由于震蕩子容易受到外 界的氣體、微粒及水氣干擾而產(chǎn)生震蕩頻率的變化，因此，對(duì)該震蕩子提供保護(hù)作用的環(huán)壁 結(jié)構(gòu)的氣密性對(duì)于石英震蕩器的運(yùn)作至關(guān)重要。
[0003] 請(qǐng)參照?qǐng)D1所示，此為現(xiàn)有石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)9,該現(xiàn)有石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)9 系包含一陶瓷基座91、一銀銅層92、一可伐制環(huán)周壁93,可伐（kovar)的材質(zhì)即為鐵鎳鈷合 金，該陶瓷基座91借助該銀銅層92與該可伐環(huán)周壁93相結(jié)合，該陶瓷基座91及該可伐制 環(huán)周壁93共同圍設(shè)形成一容置空間94。當(dāng)將該震蕩子（圖未示）放置于該現(xiàn)有石英震蕩 器環(huán)壁結(jié)構(gòu)9的容置空間94后，可另將一上蓋蓋設(shè)于該可伐環(huán)周壁93的上方，以封閉該容 置空間94。
[0004] 由于該現(xiàn)有石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)9的該容置空間94必須具有一定的氣密性，故在 制造該現(xiàn)有石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)9的過程中，系必要在真空、氮?dú)饣蜻€原氣氛的環(huán)境下進(jìn) 行制備，詳言之，制造該現(xiàn)有石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)9的方法為：備有一可伐薄片及一銀銅薄 片，將該可伐薄片及該銀銅薄片加熱貼合以形成一金屬箱，接著，借助模具沖壓該金屬箱， 使該金屬箱劃分成小尺寸的數(shù)個(gè)方形環(huán)狀金屬箱，并且于該方形環(huán)狀金屬箱形成該銀銅層 92及該可伐制環(huán)周壁93,續(xù)將該方形環(huán)狀金屬箱置于該陶瓷基座91上，且該方形環(huán)狀金屬 箱以該銀銅層92貼接于該陶瓷基座91，最后，將該方形環(huán)狀金屬箱及該陶瓷基座91于還原 氣氛下加熱至700~800°C，使該可伐制環(huán)周壁93借助該銀銅層92結(jié)合于該陶瓷基座91， 以獲得該現(xiàn)有石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)9。
[0005] 然而，由于該可伐制環(huán)周壁93以鐵、鈷及鎳依照固定比例混合所制成，不僅各個(gè) 成分的比例必須經(jīng)準(zhǔn)掌控，且鐵、鈷及鎳須充分混合均勻，制造過程相當(dāng)嚴(yán)謹(jǐn)精細(xì)，因此該 可伐制環(huán)周壁93的價(jià)格高昂，使得利用該可伐制環(huán)周壁93所獲得之該現(xiàn)有石英震蕩器環(huán) 壁結(jié)構(gòu)9的成本居高不下；另外，即使通過該銀銅層92以增加該陶瓷基座91及該可伐制環(huán) 周壁93之間的接著力，期望能增進(jìn)該容置空間94的氣密性，但是在實(shí)際使用時(shí)，仍會(huì)在該 陶瓷基座91及該可伐制環(huán)周壁93之間發(fā)現(xiàn)裂縫，氣體由此裂縫進(jìn)入該容置空間94,破壞了 該現(xiàn)有石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)9的氣密性，故該陶瓷基座91及該可伐制環(huán)周壁93的密著性 仍存在有改善的空間。
[0006] 有鑒于此，有必要提供一種石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法及制備而得的一種石 英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)，以解決該現(xiàn)有石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)9的成本高，以及該陶瓷基座91與 該可伐制環(huán)周壁93的結(jié)合力不佳的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007] 本發(fā)明是提供一種石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，可以降低制備該石英震蕩器 環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造成本。
[0008] 本發(fā)明提供一種石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，可以增加制得的該石英震蕩器 環(huán)壁結(jié)構(gòu)的氣密性。
[0009] 本發(fā)明提供一種石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)，可以提高該石英震蕩器中的基板與圍壁之 間的密著度，進(jìn)而增進(jìn)該石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的氣密性。
[0010] 本發(fā)明的一種石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，包含：提供一陶瓷基板；提供一 銅圍壁，該銅圍壁系具有相對(duì)的一第一表面及一第二表面；及將該銅圍壁的第一表面置于 該陶瓷基板上，于真空、惰氣氣氛或還原氣氛下進(jìn)行一燒結(jié)反應(yīng)，直至該陶瓷基板及該銅圍 壁間形成一氧化銅層及一共晶層，使該氧化銅層的相對(duì)兩面分別結(jié)合于該銅圍壁及該共晶 層，該共晶層的相對(duì)兩面分別結(jié)合于該氧化銅層及該陶瓷基板，其中，該共晶層的材質(zhì)為氧 化錯(cuò)銅。
[0011] 本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，其中，將一銅膏印刷或點(diǎn)膠于該陶瓷 基板的表面后，加熱使該銅膏固化以于該陶瓷基板上形成該銅圍壁。
[0012] 本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，其中，該銅圍壁為一銅環(huán)，對(duì)一銅箱進(jìn) 行沖壓成形、激光成形或蝕刻成形，使該銅箱形成數(shù)個(gè)環(huán)狀銅箱，以獲得該銅環(huán)。
[0013] 本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，其中，該燒結(jié)反應(yīng)的溫度為900~ 1300。。。
[0014] 本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，其中，該燒結(jié)反應(yīng)的時(shí)間為0. 5~4小 時(shí)。
[0015] 本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，其中，于將該銅圍壁置于該陶瓷基板 的表面前，先對(duì)該銅圍壁的表面進(jìn)行氧化反應(yīng)。
[0016] 本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，其中，另包含將一上蓋結(jié)合于該銅圍 壁的第二表面，該上蓋的表面借助電鍍形成一第一鎳層，且該銅圍壁借助電鍍于該第二表 面上依序結(jié)合有一第二鎳層、一鈀層及一金層，將一高溫滾輪滾壓位于該金層上方的該上 蓋處，以結(jié)合該上蓋及該銅圍壁。
[0017] 本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)，包含：一陶瓷基板；一銅圍壁，該銅圍壁具有一第 一表面及一第二表面；一氧化銅層，該氧化銅層結(jié)合于該銅圍壁的第一表面；及一共晶層， 該共晶層的相對(duì)兩面分別結(jié)合于該氧化銅層及該陶瓷基板，該陶瓷基板、該銅圍壁、該氧化 銅層及該共晶層共同圍設(shè)形成一容置空間。
[0018] 本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)，其中，另包含一上蓋，該上蓋結(jié)合于該銅圍壁的第 二表面，以封閉該容置空間。
[0019] 本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)，該上蓋的表面具有一第一鎳層，該銅圍壁的第二 表面上依序設(shè)有一第二鎳層、一鈀層及一金層，該上蓋以該第一鎳層與該銅圍壁的金層相 結(jié)合。
[0020] 本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，使用價(jià)格便宜且易于取得的銅材質(zhì)作 為該銅圍壁并結(jié)合于該陶瓷基板上，可以大幅減少原料開銷，達(dá)到降低該石英震蕩器環(huán)壁 結(jié)構(gòu)的制造成本的功效。
[0021] 本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，將該銅圍壁及該陶瓷基板借助該燒 結(jié)反應(yīng)，使該陶瓷基板及該銅圍壁之間形成該氧化銅層及該共晶層，該氧化銅層相當(dāng)致密 地附著于該銅圍壁的第一表面，且該共晶層與該陶瓷基板及該氧化銅層皆具有良好的鍵結(jié) 力，以達(dá)到增加石英震蕩器的密著度的功效。
[0022] 本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，將該上蓋以金屬滾焊的方式結(jié)合于該 銅圍壁的第二表面，使該上蓋及該銅圍壁得以緊密結(jié)合，以達(dá)到避免外界氣體、灰塵或水氣 影響石英震蕩器的運(yùn)作的功效。
[0023] 本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)，借助該氧化銅層及該共晶層緊密結(jié)合該陶瓷基板 及該銅圍壁，以達(dá)到提高石英震蕩器的密著度的效果。
[0024] 本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)，其中，本發(fā)明的銅圍壁具有較高的導(dǎo)熱率，進(jìn)而可 以達(dá)到提升散熱效果的功效，并且降低溫度效應(yīng)對(duì)于石英震蕩器電性的影響。
[0025] 本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，將該銅環(huán)壁于900~1300°C的燒結(jié)溫 度下，與該陶瓷基板相結(jié)合，故所獲得的該石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)可置于更高溫的環(huán)境下仍 維持良好的氣密性，以達(dá)到提升該石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的耐熱性的功效。
【附圖說明】
[0026] 圖1為現(xiàn)有石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的立體分解圖。
[0027] 圖2為本發(fā)明石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法結(jié)合該銅圍壁及該陶瓷基板的示 意圖。
[0028] 圖3為本發(fā)明石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的組合剖視圖。
[0029] 圖4為本發(fā)明石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法之結(jié)合該上蓋與該銅圍壁之示意 圖。
[0030] 圖5為本發(fā)明包含上蓋的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的組合剖視圖。
[0031] 圖6為本發(fā)明石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的掃描式電子顯微影像。
[0032] 〔本發(fā)明〕
[0033] 1陶瓷基板
[0034] 2銅圍壁
[0035] 21第一表面 22第二表面
[0036] 221第二鎳層 222金層
[0037] 223 鈀層
[0038] 3氧化銅層
[0039] 4共晶層
[0040] 5容置空間
[0041] 6上蓋 61第一鎳層
[0042] 〔現(xiàn)有〕
[0043] 9現(xiàn)有石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)
[0044] 91陶瓷基座 92銀銅層
[0045] 93可伐制環(huán)周壁 94容置空間
【具體實(shí)施方式】
[0046] 為讓本發(fā)明的上述及其他目的、特征及優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉本發(fā)明的較 佳實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說明如下：
[0047] 本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法包含：提供一陶瓷基板；提供一銅圍 壁；及將該銅圍壁置于該陶瓷基板表面并進(jìn)行燒結(jié)反應(yīng)，直至該陶瓷基板及該銅圍壁間形 成一共晶層及一氧化層。
[0048] 請(qǐng)參照?qǐng)D2所示，詳言之，該陶瓷基板1用以制造石英震蕩器的基板，該陶瓷基板 1的材料可以為氧化鋁（A1 203)或氮化鋁（A1N)或氧化鋯（Zr02)等，在此并不設(shè)限。并且， 該陶瓷基板1尺寸約為30~200mm 2。
[0049] 該銅圍壁2設(shè)有相對(duì)之一第一表面21及一第二表面22,該銅圍壁2的形成方式 可以透通過一銅膏加熱固化或事先備有一銅環(huán)。詳而言之，可以利用印刷或點(diǎn)膠的方式將 該銅膏印刷或涂布于該陶瓷基板1的其一表面，使該陶瓷基板1的表面形成環(huán)形的銅膏，并 于后續(xù)的該燒結(jié)反應(yīng)中加熱直至該銅膏中的有機(jī)溶劑揮發(fā)，使該銅膏固化并直接于該陶瓷 基板1上形成該銅圍壁2 ;另外，該銅圍壁2的形成方式也可以事先制備該銅環(huán)，然而，由于 石英震蕩器的體積小，所配合的該銅環(huán)的尺寸的寬度約為〇. 01~〇. 5mm，厚度僅約為50~ 300 μ m，欲制備尺寸小的銅環(huán)需借助特定方法。
[0050] 在本實(shí)施例中，該銅環(huán)可以借助對(duì)一銅箱沖壓成形、激光成形或蝕刻成形的方式， 使該銅箱形成數(shù)個(gè)環(huán)狀銅箱，以制備該銅環(huán)。舉例而言，于本實(shí)施例中，備有一模具，借助該 模具以沖壓成型的方式形成一銅箱組，該銅箱組包含數(shù)個(gè)環(huán)狀銅箱，并且該環(huán)狀銅箱兩兩 之間以一連接部互相結(jié)合，接著，將該銅箱組置放于未切割的陶瓷基板上，續(xù)以激光光或鉆 石刀等切割工具切斷該連接部，使該環(huán)狀銅箱彼此獨(dú)立，接著分割該未切割的陶瓷基板，以 獲得準(zhǔn)確對(duì)位于該陶瓷基板1的該銅環(huán)，然而，此僅為一種制備該銅環(huán)的方式，并不上述的 方式為限制。
[0051] 請(qǐng)續(xù)參照?qǐng)D2至圖3所示，將該銅圍壁2以該第一表面21放置于該陶瓷基板1上， 接著，于真空、惰氣氣氛或還原氣氛下進(jìn)行一燒結(jié)反應(yīng)，直至該陶瓷基板1及該銅圍壁2間 形成一氧化銅層3及一共晶層4,并借助該氧化銅層3及該共晶層4結(jié)合該陶瓷基板1及該 銅圍壁2。詳言之，于該燒結(jié)反應(yīng)時(shí)，該銅圍壁2中的銅與該陶瓷基板1中所含的氧結(jié)合， 以形成該氧化銅層3,并且，該氧化銅層3的氧化銅進(jìn)一步與該陶瓷基板1反應(yīng)產(chǎn)生該共晶 層4,該共晶層4的材質(zhì)為氧化鋁銅，如：CuA10 2、CuA1204或CuAlO 2及CuAl 204的組合。簡(jiǎn)言 之，當(dāng)該銅圍壁2及該陶瓷基板1借助該氧化銅層3及該共晶層4相結(jié)合時(shí)，該氧化銅層3 的相對(duì)兩面分別結(jié)合于該銅圍壁2的第一表面21及該共晶層4,并且，該共晶層4的相對(duì)兩 面結(jié)合于該氧化銅層3及該陶瓷基板1。另外，于將該銅圍壁2置于該陶瓷基板1之前，可 以選擇先對(duì)該銅圍壁2的表面進(jìn)行氧化反應(yīng)，使該銅圍壁2的第一表面21事先形成該氧化 銅層3,以確保該石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)具有足夠厚度的該氧化銅層3,使該氧化銅層3與該 陶瓷基板在該燒結(jié)反應(yīng)下確實(shí)可以形成該共晶層4。
[0052] 該燒結(jié)反應(yīng)的溫度為500~1500°C，較佳為900~1300°C，該燒結(jié)反應(yīng)的時(shí)間以 形成該氧化銅層3及該共晶層4為考量，在此不限制，于本實(shí)施例中，該燒結(jié)反應(yīng)的時(shí)間為 0. 5~4小時(shí)。當(dāng)該陶瓷基板1與該銅圍壁2以該氧化銅層3及共晶層4互相結(jié)合后，該陶 瓷基板1、該銅圍壁2、該氧化銅層3及該共晶層4共同圍設(shè)形成一容置空間5,該容置空間 5用以置放一石英震蕩子（圖未示）。該氧化銅層3通過該銅圍壁2經(jīng)表面氧化所產(chǎn)生，故 該氧化銅層3系緊密地結(jié)合于該銅圍壁2的第一表面21，并且，雖借助該燒結(jié)反應(yīng)所形成 的該共晶層4的厚度相當(dāng)薄，大約數(shù)個(gè)至數(shù)百個(gè)A，然而該共晶層4具有強(qiáng)烈鍵結(jié)該陶瓷基 板1及該氧化銅層3的能力，使該陶瓷基板1及該銅圍壁2通過該氧化銅層3及該共晶層 4達(dá)到良好的密著性。
[0053] 請(qǐng)參照?qǐng)D4所示，本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法另包含備有一上蓋6， 及將該上蓋6結(jié)合于該銅圍壁2的第二表面22。在此值得一提的是，實(shí)際制造石英震蕩器 時(shí)，在結(jié)合該銅圍壁2及該上蓋6前，先將該石英震蕩子置入該容置空間5中，然而，本發(fā)明 為石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，故在此不對(duì)該石英震蕩子置入該容置空間5的方法及 相關(guān)細(xì)節(jié)多加贅述。該上蓋6與該銅圍壁2的結(jié)合可以是利用玻璃膠封裝、金屬滾焊封裝、 金錫封裝或高分子封裝等方式，在此不多做限制。由于金屬滾焊封裝可達(dá)到較高的密著度， 因此，于本實(shí)施例中，該上蓋6借助金屬滾焊結(jié)合于該銅圍壁2。
[0054] 詳而言之，本實(shí)施例中，在結(jié)合兩者之前，該上蓋6的表面設(shè)有一第一鎳層61，該 第一鎳層61系借助電鍍而結(jié)合于該上蓋6的表面；另外，該銅圍壁2亦借助電鍍于該第二 表面22上依序結(jié)合有一第二鎳層221及一金層222,較佳地，為了減少該金層222的厚度， 以節(jié)省制備該石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的成本，另可在該第二鎳層221及該金層222之間設(shè)有 一鈀層223,以該鈀層223的設(shè)置減少該金層222的厚度。接著，將結(jié)合有該銅圍壁2之該 陶瓷基板1及該上蓋6置于真空度為10 3~10 的環(huán)境中，以該金層222及該第一鎳 層61相對(duì)位，并備有一高溫滾輪，該高溫滾輪的溫度約1000°C，以該高溫滾輪滾壓位于該 金層222上方的該上蓋6處，使該上蓋6與該銅圍壁2相結(jié)合。通過于結(jié)合該上蓋6及該 銅圍壁2之前，預(yù)先設(shè)置有該第一鎳層61、該第二鎳層221及該金層222,藉此增加該銅圍 壁2及該上蓋6的結(jié)合密著性。
[0055] 請(qǐng)?jiān)賲⒄請(qǐng)D3所示，利用該石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法所制備而得的該石英 震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)系包含：該陶瓷基板1、該銅圍壁2、該氧化銅層3及該共晶層4,于該陶瓷 基板1上依序結(jié)合有該共晶層4、該氧化銅層3及該銅圍壁2,該陶瓷基板1、該銅圍壁2、該 氧化銅層3及該共晶層4共同圍設(shè)形成該容置空間5。詳言之，該銅圍壁2具有該第一表面 21及該第二表面22,該氧化銅層3結(jié)合于該銅圍壁2的第一表面21，該共晶層4的相對(duì)兩 面分別結(jié)合于該氧化銅層3及該陶瓷基板1，且該共晶層4的材質(zhì)為氧化鋁銅。
[0056] 另請(qǐng)參照?qǐng)D5所示，該石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)另包含該上蓋6,該上蓋6結(jié)合于該銅 圍壁2的第二表面22,以封閉該容置空間5。詳言之，該上蓋6的表面具有一第一鎳層61， 該銅圍壁2的第二表面22上依序設(shè)有該第二鎳層221及該金層222,并且較佳于該第二鎳 層221及該金層222之間設(shè)有該鈀層223,該上蓋6以該第一鎳層61與該銅圍壁2的金層 222相結(jié)合，通過該第二鎳層221、該金層222、該鈀層223及該第一鎳層61使該銅圍壁2與 該上蓋6可以緊密結(jié)合。
[0057] 為了證實(shí)利用本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法確實(shí)能夠提高該陶瓷基 板1及該銅圍壁2的結(jié)合緊密度，將利用本發(fā)明的方法所制得的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)進(jìn)行 掃描式電子顯微鏡分析，分析結(jié)果如圖6所示。由圖6可以明顯觀察到該銅圍壁2緊密地 結(jié)合于該陶瓷基板1，兩者之間幾乎觀察不到空隙，由此可證，借助本發(fā)明的方法所制得的 該石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的氣密度可以提高。
[0058] 綜上所述，本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，使用該銅圍壁2間接結(jié)合 于該陶瓷基板1上，由于銅的價(jià)格便宜穩(wěn)定且取得容易，可以大幅降低制被該石英震蕩器 環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造成本；另外，制備該石英震蕩器之環(huán)壁結(jié)構(gòu)時(shí)，將該銅圍壁2及該陶瓷基板 1借助該燒結(jié)反應(yīng)，使該陶瓷基板1及該銅圍壁2之間形成該氧化銅層3及該共晶層4,該 氧化銅層3相當(dāng)緊密地附著于該銅圍壁2的第一表面21，且該共晶層4與該陶瓷基板1及 該氧化銅層3皆具有良好的鍵結(jié)力，借此使該陶瓷基板1與該銅圍壁2相當(dāng)緊密地結(jié)合，以 達(dá)到增加石英震蕩器的密著度的功效；并且，本發(fā)明包含將該上蓋6以金屬滾焊的方式結(jié) 合于該銅圍壁2的第二表面22,使該上蓋6及該銅圍壁2得以緊密結(jié)合，以達(dá)到避免外界氣 體、灰塵或水氣影響石英震蕩器的運(yùn)作的功效。
[0059] 又，利用石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法制備獲得的該石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)，借 助該氧化銅層3及該共晶層4緊密結(jié)合該陶瓷基板1及該銅圍壁2,以達(dá)到提高石英震蕩器 的密著度的效果。
[0060] 另外，相較于現(xiàn)有石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)使用可伐制環(huán)周壁，本發(fā)明的銅圍壁2具 有較高的導(dǎo)熱率，使本發(fā)明的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)進(jìn)而可以達(dá)到提升散熱效果的功效，并 且避免該石英震蕩器因受熱而改變震蕩頻率，減少熱效應(yīng)對(duì)石英震蕩器的電性影響。
[0061] 再者，由于該銅環(huán)壁2于900~1300°C的燒結(jié)溫度下，與該陶瓷基板1相結(jié)合，相 對(duì)于現(xiàn)有石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的該方形環(huán)狀金屬箱與該陶瓷基座于700~800°C下結(jié)合， 本發(fā)明所獲得的該石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)可以置于更高溫的環(huán)境下仍維持良好的氣密性，以 達(dá)到提升該石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的耐熱性的功效。
[0062] 以上僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，不得以此限定本發(fā)明實(shí)施的保護(hù)范圍，因此凡參 考本發(fā)明的說明書內(nèi)容所作的簡(jiǎn)單等效變化與修飾，仍屬本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于包含： 提供一個(gè)陶瓷基板； 提供一個(gè)銅圍壁，該銅圍壁具有相對(duì)的一個(gè)第一表面及一個(gè)第二表面；及 將該銅圍壁的第一表面置于該陶瓷基板上，于真空、惰氣氣氛或還原氣氛下進(jìn)行一個(gè) 燒結(jié)反應(yīng)，直至該陶瓷基板及該銅圍壁間形成一個(gè)氧化銅層及一個(gè)共晶層，使該氧化銅層 的相對(duì)兩面分別結(jié)合于該銅圍壁及該共晶層，該共晶層的相對(duì)兩面分別結(jié)合于該氧化銅層 及該陶瓷基板，其中，該共晶層的材質(zhì)為氧化鋁銅。2. 如權(quán)利要求1所述的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，其中，將一個(gè) 銅膏印刷或點(diǎn)膠于該陶瓷基板的表面后，加熱使該銅膏固化以于該陶瓷基板上形成該銅圍 壁。3. 如權(quán)利要求1所述的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，其中，該銅圍 壁為一個(gè)銅環(huán)，對(duì)一個(gè)銅箱進(jìn)行沖壓成形、激光成形或蝕刻成形，使該銅箱形成數(shù)個(gè)環(huán)狀銅 箱，以獲得該銅環(huán)。4. 如權(quán)利要求1至權(quán)利要求3任一項(xiàng)所述的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征 在于，其中，該燒結(jié)反應(yīng)的溫度為900~1300°C。5. 如權(quán)利要求1至權(quán)利要求3任一項(xiàng)所述的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征 在于，其中，該燒結(jié)反應(yīng)的時(shí)間為〇. 5~4小時(shí)。6. 如權(quán)利要求1至權(quán)利要求3任一項(xiàng)所述的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征 在于，其中，于將該銅圍壁置于該陶瓷基板的表面前，先對(duì)該銅圍壁的表面進(jìn)行氧化反應(yīng)。7. 如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)的制造方法，其特征在于，其 中，另包含將一個(gè)上蓋結(jié)合于該銅圍壁的第二表面，該上蓋的表面借助電鍍形成一個(gè)第一 鎳層，且該銅圍壁借助電鍍于該第二表面上依序結(jié)合有一個(gè)第二鎳層、一個(gè)鈀層及一個(gè)金 層，將一個(gè)高溫滾輪滾壓位于該金層上方的該上蓋處，以結(jié)合該上蓋及該銅圍壁。8. -種石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)，其特征在于包含： 一個(gè)陶瓷基板； 一個(gè)銅圍壁，該銅圍壁具有一個(gè)第一表面及一個(gè)第二表面； 一個(gè)氧化銅層，該氧化銅層結(jié)合于該銅圍壁的第一表面；及 一個(gè)共晶層，該共晶層的相對(duì)兩面分別結(jié)合于該氧化銅層及該陶瓷基板，該陶瓷基板、 該銅圍壁、該氧化銅層及該共晶層共同圍設(shè)形成一個(gè)容置空間。9. 如權(quán)利要求8所述的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中，另包含一個(gè)上蓋，該 上蓋結(jié)合于該銅圍壁的第二表面，以封閉該容置空間。10. 如權(quán)利要求9所述的石英震蕩器環(huán)壁結(jié)構(gòu)，其特征在于，其中，該上蓋的表面具有 一個(gè)第一鎳層，該銅圍壁的第二表面上依序設(shè)有一個(gè)第二鎳層、一個(gè)鈀層及一個(gè)金層，該上 蓋以該第一鎳層與該銅圍壁的金層相結(jié)合。
【文檔編號(hào)】H03H9/19GK105991104SQ201510087129
【公開日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2015年2月25日
【發(fā)明人】楊瑞陽, 蔡峰樹, 呂順清
【申請(qǐng)人】加高電子股份有限公司