聲波元件和使用聲波元件的梯型濾波器的制造方法
【專利摘要】用于減小聲波元件中的電損耗的方法和裝置。在一示例中，一種聲波元件(60)包括具有上表面的壓電體(50)、設(shè)置在所述壓電體上的叉指換能器IDT電極(10、20)、設(shè)置在所述壓電體上并且電連接到所述IDT電極的連接布線(30)、以及設(shè)置在所述連接布線上方的加強電極(40)，所述連接布線包括下連接布線和設(shè)置在所述下連接布線上方的上連接布線，所述加強電極接觸并且電連接到所述下連接布線。
【專利說明】
聲波元件和使用聲波元件的梯型濾波器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及聲波元件和使用聲波元件的梯型濾波器。
[0002]相關(guān)申請的交叉引用
[0003]本申請依據(jù)美國法典第35卷第119節(jié)和PCT第8條主張2014年2月18日提交的題為“ACOUSTIC WAVE ELEMENTS AND LADDER FILTERS USING SAME” 的共同未決日本專利申請N0.2014-028059的權(quán)益，其通過引用整體合并于此以用于所有目的。
【背景技術(shù)】
[0004]圖1和圖2示出常規(guī)聲波元件6000的示例，其可用于諸如無線通信裝置之類的電子設(shè)備中。圖1示出常規(guī)聲波元件6000的平面圖，圖2示出沿圖1的線B-BB取得的對應(yīng)橫截面圖。如圖1和2所示，常規(guī)聲波元件6000包括第一叉指換能器(IDT)電極1000和第二IDT電極2000，二者都設(shè)置在壓電體5000的上表面上。常規(guī)聲波元件6000還包括將第一 IDT電極1000連接到第二 IDT電極2000的連接布線3000、以及設(shè)置在連接布線3000上的加強電極4000。設(shè)置加強電極4000以用于減小將第一 IDT電極1000連接到第二 IDT電極2000的連接布線3000的電阻。此外，連接布線3000包括下連接布線3002和上連接布線3001。上連接布線3001設(shè)置在下連接布線3002的上表面上。
[0005]日本專利申請公開N0.2011-71912描述了這樣的常規(guī)聲波元件的示例。
[0006]引文列表
[0007]專利文獻
[0008]專利文獻1:日本專利申請公開N0.2011-71912

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本申請的方面和實施例涉及聲波元件和使用聲波元件的梯型濾波器。
[0010]在諸如上面參照圖1和2論述的常規(guī)聲波元件中，僅在連接布線的上表面上設(shè)置加強電極不足以充分地減小電損耗。因此，根據(jù)本發(fā)明的聲波元件的實施例可配置為大幅度地減小電連接在IDT電極之間的連接布線中的電損耗，如下面更詳細地論述的那樣。
[0011]根據(jù)一實施例，一種聲波元件包括具有上表面的壓電體，設(shè)置在所述壓電體上方的叉指換能器(IDT)電極、設(shè)置在所述壓電體上方并且連接到所述IDT電極的連接布線、以及設(shè)置在所述連接布線上方的加強電極，所述連接布線具有下連接布線和設(shè)置在所述下連接布線上方的上連接布線，所述加強電極接觸并且電連接到所述下連接布線。
[0012]在所述聲波元件的一示例中，所述連接布線包括沿與所述壓電體的上表面垂直的方向延伸的孔電極，所述加強電極經(jīng)由所述孔電極電連接到所述下連接布線。在一示例中，所述孔電極延伸穿過所述上連接布線和所述下連接布線，在所述上連接布線中的所述孔電極的第一直徑大于在所述下連接布線中的所述孔電極的第二直徑。
[0013]所述下連接布線的材料可不同于所述上連接布線的材料。特別地，所述下連接布線的材料的氧親和力可小于所述上連接布線的材料的氧親和力。
[0014]所述加強電極可接觸并且電連接到所述下連接布線的上表面。在一示例中，在沿與所述壓電體的上表面垂直的方向取得的橫截面中，所述上連接布線被所述加強電極分開以提供第一和第二上連接布線，所述第一和第二上連接布線經(jīng)由所述加強電極彼此電連接。所述聲波元件還可包括設(shè)置在所述第一和第二上連接布線之間的所述壓電體上的第三連接電極，所述第三連接布線被絕緣層覆蓋，所述加強電極延伸于所述絕緣層之上。在另一示例中，在沿與所述壓電體的上表面垂直的方向取得的橫截面中，所述下連接布線被所述加強電極分開以提供第一和第二下連接布線，所述第一和第二下連接布線經(jīng)由所述加強電極彼此電連接。所述聲波元件還可包括設(shè)置在所述第一和第二下連接布線之間的所述壓電體上的第三連接布線，所述第三連接布線被絕緣層覆蓋，所述加強電極延伸于所述絕緣層之上。
[0015]在一示例中，所述IDT電極包括下IDT電極和設(shè)置在所述下IDT電極上方的上IDT電極，所述下IDT電極的材料與所述下連接布線的材料相同，所述上IDT電極的材料與所述上連接布線的材料相同。
[0016]根據(jù)另一實施例，一種聲波元件包括具有上表面的壓電體、設(shè)置在所述壓電體上的第一叉指換能器(IDT)電極、設(shè)置在所述壓電體上的第二 IDT電極、設(shè)置在所述壓電體的上表面上并且電連接到所述第一 IDT電極和所述第二 IDT電極的連接布線、以及設(shè)置在所述連接布線上方的加強電極，所述連接布線包括下連接布線和設(shè)置在所述下連接布線上方的上連接布線，所述加強電極接觸并且電連接到所述下連接布線。
[0017]在一示例中，所述下連接布線由第一材料形成，所述上連接布線由第二材料形成，所述第一材料的氧親和力小于所述第二材料的氧親和力。
[0018]在另一示例中，所述加強電極還接觸并且電連接到所述上連接布線。所述連接布線還可包括沿與所述壓電體的上表面垂直的方向延伸穿過所述上連接布線和所述下連接布線的孔電極。在一示例中，所述孔電極具有在所述上連接布線中的第一直徑和在所述下連接布線中的第二直徑，所述第一直徑大于所述第二直徑。所述加強電極經(jīng)由所述孔電極電連接到所述下連接布線。
[0019]在另一示例中，在沿與所述壓電體的上表面垂直的方向上取得的橫截面中，所述連接布線，包括所述上和下連接布線二者，被所述加強電極分開以提供第一和第二連接布線，所述第一和第二連接布線經(jīng)由所述加強電極彼此電連接。所述聲波元件還可包括設(shè)置在所述第一和第二連接布線之間的所述壓電體上的第三連接布線，所述第三連接布線被絕緣層覆蓋，所述加強電極延伸于所述絕緣層之上。
[0020]另一實施例涉及一種梯型濾波器，其包括上述示例中的任何示例的聲波元件。
[0021]根據(jù)另一實施例，一種聲波元件包括具有上表面的壓電體、設(shè)置在所述壓電體上的第一叉指換能器(IDT)電極、設(shè)置在所述壓電體上的第二 IDT電極、設(shè)置在所述壓電體的上表面上并且電連接到所述第一 IDT電極和所述第二 IDT電極的連接布線、以及用于減小所述連接布線中的電損耗的裝置。
[0022]下面將詳細論述這些示例性方面和實施例的又另一些方面、實施例和優(yōu)點。這里公開的實施例可以按與這里公開的原理中的至少一個一致的任何方式與其他實施例相組合，對“一實施例”、“一些實施例”、“一替代實施例”、“各種實施例”、“一個實施例”等的提及不一定是互斥的，旨在表明所描述的特定的特征、結(jié)構(gòu)、或特性可被包括在至少一個實施例中。文中這些術(shù)語的出現(xiàn)不一定全部都涉及同一實施例。
【附圖說明】
[0023]下面將參照附圖論述至少一實施例的各個方面，附圖無意是按比例繪制的。包括附圖以提供對各個方面和實施例的示范和進一步理解，并且其被包括在本說明書中構(gòu)成本說明書的一部分，但是無意定義對本發(fā)明的限制。在附圖中，各圖中示出的每個相同或幾乎相同的部件由類似的數(shù)字表示。為了清楚起見，可能并非每個部件在每幅附圖中都被標注。附圖中:
[0024]圖1是示意性示出常規(guī)聲波元件的示例的平面圖；
[0025]圖2是沿圖1中的線B-BB取得的圖1的常規(guī)聲波元件的橫截面視圖；
[0026]圖3是示意性示出根據(jù)本發(fā)明各方面的聲波元件的一示例的平面圖；
[0027]圖4A是沿圖3中的線A-AA取得的圖3的聲波元件的示例的橫截面視圖；
[0028]圖4B是沿圖3中的線A-AA取得的圖3的聲波元件的示例的橫截面視圖；
[0029]圖4C是沿圖3中的線A-AA取得的圖3的聲波元件的示例的橫截面視圖；
[0030]圖4D是沿圖3中的線A-AA取得的圖3的聲波元件的示例的橫截面視圖；
[0031]圖5A是常規(guī)聲波元件的一示例的橫截面視圖，示出了連接布線的接觸電阻值的測量條件；
[0032]圖5B是圖5A的示例常規(guī)聲波元件的對應(yīng)平面圖；
[0033]圖6A是根據(jù)本發(fā)明各方面的聲波元件的一示例的橫截面視圖，示出了連接布線的接觸電阻值的測量條件；
[0034]圖6B是圖6A的示例聲波元件的對應(yīng)平面圖；
[0035]圖7A是根據(jù)本發(fā)明各方面的聲波元件的另一示例的橫截面視圖，示出了連接布線的接觸電阻值的測量條件；
[0036]圖7B是圖7A的示例聲波元件的對應(yīng)平面圖；
[0037]圖8是示出與圖5A-7B的示例對應(yīng)的連接布線的接觸電阻值的測量結(jié)果的特性圖；
[0038]圖9A是常規(guī)聲波元件的一示例的橫截面視圖，示出了連接布線的每單位長度電阻值的測量條件；
[0039]圖9B是圖9A的示例常規(guī)聲波元件的對應(yīng)平面圖；
[0040]圖1OA是根據(jù)本發(fā)明各方面的聲波元件的一示例的橫截面視圖，示出了連接布線的每單位長度電阻值的測量條件；
[0041 ]圖1OB是圖1OA的示例聲波元件的對應(yīng)平面圖；
[0042]圖1lA是根據(jù)本發(fā)明各方面的聲波元件的另一示例的橫截面視圖，示出了連接布線的每單位長度電阻值的測量條件；
[0043]圖1IB是圖1IA的示例聲波元件的對應(yīng)平面圖；
[0044]圖12是示出與圖9A-11B的示例對應(yīng)的連接布線的電阻值的測量結(jié)果的特性圖；
[0045]圖13是根據(jù)本發(fā)明各方面的梯型濾波器的一示例的電路圖；以及
[0046]圖14是示出根據(jù)本發(fā)明各方面的梯型濾波器的通過特性的特性圖。
【具體實施方式】
[0047]下面將參照附圖和一示例性聲波元件60對某些方面和實施例進行描述。
[0048]圖3是示意性示出聲波元件60的一實施例的平面圖。圖4A-4D是沿圖3中的線A-AA取得的聲波元件60的各種示例的橫截面視圖。
[0049]根據(jù)一實施例，聲波元件60包括由單晶壓電材料制成的壓電體50。第一IDT電極10和第二 IDT電極20設(shè)置在壓電體50的上表面上。聲波元件60還包括在與第一 IDT電極10和第二 IDT電極20產(chǎn)生的聲波的傳播方向鄰近IDT電極10、20設(shè)置的兩個反射器13。聲波元件60還包括電連接第一 IDT電極10和第二 IDT電極20的連接布線30、以及設(shè)置在連接布線30的上表面上以用于減小連接布線30的電損耗的加強電極40。第一 IDT電極10具有梳形電極，其每個包括線形的第一母線條(bus bar)12和相對于線形第一母線條12的線方向垂直延伸的多個第一電極指11。第一 IDT電極10由對置的梳形電極制成。與第一 IDT電極10類似，第二 IDT電極20包括梳形電極，其每個具有第二母線條22和多個第二電極指21。第一 IDT電極10、第二IDT電極20、反射器13、連接布線30、以及加強電極40可通過對金屬性薄膜進行圖案化來形成。雖然圖中未示出，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員將意識到，受益于本公開，通過設(shè)置覆蓋壓電體50、第一 IDT電極10、第二 IDT電極20、反射器13、連接布線30、以及加強電極40的上表面的電介質(zhì)層，根據(jù)某些實施例的聲波元件60可得到其溫度特性的改善。
[0050]在一實施例中，連接布線30包括上連接布線31和下連接布線32。下連接布線32和加強電極40彼此接觸且電連接，從而能夠大幅降低連接布線30中的電損耗。當在薄膜加工期間在上連接布線31和下連接布線32的表面上形成的氧化膜阻擋了連接布線30和加強電極40之間的電連接時，會產(chǎn)生電損耗。換言之，由于氧化膜的存在，上述提供加強電極40而實現(xiàn)的減小連接布線30電阻的效果會喪失或變差。鑒于上述理由，某些方面和實施例解決了形成在連接布線30的表面上的氧化膜問題，并且通過減小連接布線30和加強電極40之間的接觸電阻而降低了連接布線30中的電損耗。
[0051]根據(jù)一實施例，形成上連接布線31和下連接布線32的材料可優(yōu)選是不易在表面上形成氧化膜的材料。通常，對氧化的易感性由氧親和力表示。此外，因為在一實施例中連接布線30中的電損耗降低效果的主要原因在于其中下連接布線32和加強電極40彼此接觸并且電連接的結(jié)構(gòu)，所以可優(yōu)選的是，使形成下連接布線32的材料的氧親和力小于形成上連接布線31的材料的氧親和力。材料的氧親和力一般與標準自由能相關(guān)聯(lián)，標準自由能(AG/kjmol—1)越小，氧親和力就越小。代表性材料按標準自由能升序例舉如下:
[0052]Pt<Ru<Cu<Mo^ff?Ti<Al<Mgo
[0053]將理解，雖然在至少一實施例中描述了上連接布線31和下連接布線32的兩層結(jié)構(gòu)，但是該結(jié)構(gòu)不限于兩層，可配置為三層或更多層。
[0054]下面將參照圖4A-4D詳細描述根據(jù)某些實施例的連接布線30和加強電極40的結(jié)構(gòu)。
[0055]如圖4A-4D所示，根據(jù)某些實施例，在連接布線30中，至少下連接布線32和加強電極40彼此接觸并且電連接。下連接布線32、上連接布線31、加強電極40順序設(shè)置在壓電體50的上表面上。此外，連接布線30可利用薄膜加工與第一 IDT電極10和第二 IDT電極20—體且同時形成。此外可優(yōu)選的是，使用相同的結(jié)構(gòu)(例如，上下兩層結(jié)構(gòu))和相同的材料以用于簡化制造工藝。
[0056]參照圖4A，在一實施例中，其特征在于上連接布線31被加強電極40分開，并且下連接布線32的上表面與加強電極40彼此接觸且電連接。此外，上連接布線31的上表面和側(cè)表面接觸并且電連接到加強電極40。
[0057]參照圖4B，在另一實施例中，除了圖4A所示的示例的特性之外，下連接布線32也被加強電極40分開，并且壓電體50也具有與加強電極40相接觸的表面。加強電極40的特征可在于接觸并且電連接到下連接布線32的側(cè)表面的結(jié)構(gòu)。
[0058]參照圖4C，根據(jù)另一實施例，設(shè)置沿與壓電體50的上表面垂直的方向延伸穿過上連接布線31和下連接布線32的孔電極70，使得下連接布線32和加強電極40彼此接觸并且電連接。此外，關(guān)于沿與壓電體50的上表面平行的方向取得的孔電極70的橫截面，可優(yōu)選的是，使設(shè)置在下連接布線32中的孔電極70的橫截面積小于設(shè)置在上連接布線31中的孔電極70的橫截面積，使得不僅下連接布線32的側(cè)面，而且其上表面可以接觸并且電連接到加強電極40。結(jié)果，接觸面積更大，從而進一步減小接觸電阻。
[0059]將理解，孔電極70的形狀不限于圖4C所示的示例，而是可具有任何橫截面形狀，包括例如圓形、矩形等。此外，橫截面可以在孔電極70的深度方向上不同地配置。還將理解，雖然圖中未示出，但是孔電極70可以僅設(shè)置在上連接布線31中，使得下連接布線32的上表面接觸并且電連接到孔電極70。
[0060]參照圖4D，其示出根據(jù)某些示例的連接布線的另一結(jié)構(gòu)。在該結(jié)構(gòu)中，當被加強電極40分開的一連接布線30被指定為第一連接布線100，另一連接布線30被指定為第二連接布線110時，第三連接布線120設(shè)置在第一連接布線100和第二連接布線110之間的壓電體50的上表面上。第三連接布線120被絕緣層80覆蓋。作為特征結(jié)構(gòu)，加強電極40經(jīng)由絕緣層80與第三連接布線120的上方立體交叉，同時與第一連接布線100和第二連接布線110彼此接觸和電連接。第三連接布線120可以是具有與第一連接布線100或第二連接布線110不同的電勢的電極。在一示例中，第三連接布線120可以與第一連接布線100和第二連接布線110—體且同時形成?？蓛?yōu)選地是，采用相同結(jié)構(gòu)(例如，上下兩層結(jié)構(gòu))和相同材料以簡化制造工
-H-
O
[0061]下面將參照圖5A-7B，將聲波元件60的實施例與常規(guī)聲波元件相比較，來描述連接布線30和加強電極40之間的接觸電阻，圖5A-7B示出了測量連接布線30和加強電極40中的接觸電阻的示例。
[0062]圖5A和5B分別是與圖2的常規(guī)聲波元件的結(jié)構(gòu)對應(yīng)的橫截面視圖和平面圖。圖5A和5B示出了其中加強電極40僅接觸和電連接到上連接布線31的比較例。
[0063]圖6A和6B分別示出聲波元件60的實施例的一示例的橫截面視圖和對應(yīng)的平面圖，其中與上連接布線31和下連接布線32都彼此接觸和電連接。
[0064]圖7A和7B分別示出聲波元件60的實施例的另一示例的橫截面視圖和對應(yīng)的平面圖，其中僅下連接布線32接觸和電連接到加強電極40。
[0065]對于這些示例中的每個，加強電極40由鋁(Al)制成，上連接布線31由鋁合金制成，下連接布線32由鉬(Mo)制成，加強電極40和連接布線30之間的總接觸面積為400μπι2。
[0066]圖8示出了連接布線30和加強電極40之間的每單位面積接觸電阻的測量結(jié)果。在圖8中，對于圖5Α-7Β中的每個繪制了五個測量點。如圖8所示，圖6Α-6Β和7Α-7Β的實施例的每單位面積接觸電阻低于圖5Α-5Β的比較例的每單位面積接觸電阻。這是因為在薄膜加工期間在上連接布線31的上表面上形成的氧化膜增大了加強電極40和連接布線30之間的每單位面積接觸電阻。此外，圖7A-7B的實施例的每單位面積接觸電阻低于圖5A-5B和6A-6B的實施例的每單位面積接觸電阻。這是因為下連接布線32(Mo)的氧親和力小于上連接布線31(Al合金)，使得氧化膜更不易形成。此外，比較每單位面積接觸電阻的測量值表明，圖6A-6B和7A-7B的實施例的測量值比圖5A-5B的比較例變化更小且更穩(wěn)定。此外，圖7A-7B的實施例的變化小于圖6A-6B的實施例的變化。這表明加強電極40和其上可能形成氧化膜的上連接布線31之間的接觸面積越大，接觸電阻的測量值的變化越大。因此，根據(jù)某些實施例配置連接布線30使得至少下連接布線32接觸且電連接到加強電極40減小了連接布線30和加強電極40之間的接觸電阻。結(jié)果，可以減小連接布線30中的電損耗。
[0067]下面將參照圖9A-1IB，通過比較聲波元件60的另一實施例和常規(guī)聲波元件，來描述連接布線30的每單位長度電阻值的示例，圖9A-11B示出了測量連接布線30的每單位長度電阻值的示例。連接布線結(jié)構(gòu)和每個結(jié)構(gòu)的構(gòu)成材料類似于圖4所示并且上面描述的結(jié)構(gòu)。下連接布線32設(shè)置在壓電體50的上表面上，加強電極40繼而設(shè)置在下連接布線32的上表面上。
[0068]圖9A和9B分別示出其中加強電極40和下連接布線32之間沒有接觸的比較例的橫截面視圖和對應(yīng)的平面圖。圖1OA的橫截面視圖和圖1OB的對應(yīng)平面圖示出其中孔電極70具有8μπι直徑并且延伸穿過上連接布線31和下連接布線32的示例實施例?？纂姌O70被填充有加強電極40，加強電極40與下連接布線32的側(cè)表面經(jīng)由孔電極70彼此電連接。
[0069]圖12示出連接布線30的每單位長度電阻值的測量結(jié)果。如圖12所示，圖1OA-1OBK示的示例實施例的連接布線30中的每單位長度電阻值低于圖9Α-9Β所示的比較例的連接布線30中的每單位長度電阻值。下連接布線32和加強電極40可彼此接觸和電連接甚至一小的面積，結(jié)果是可減小連接布線30中的電損耗。
[0070]圖1lA和IlB分別不出另一結(jié)構(gòu)的橫截面視圖和平面圖，在該結(jié)構(gòu)中，孔電極70被填充有加強電極40并且僅設(shè)置在上連接布線31中以使得加強電極40接觸并且電連接到下連接布線32的上表面。相對于圖9Α-9Β的比較例，該結(jié)構(gòu)也可減小連接布線30的每單位長度電阻值，并且也可實現(xiàn)減小連接布線30中的電損耗的效果。
[0071]將理解，孔電極70的直徑不限于上述8μπι的示例，減小電損耗的效果可通過下連接布線32和加強電極40彼此接觸和電連接來實現(xiàn)。
[0072]下面描述使用聲波元件60的實施例的梯型濾波器和使用常規(guī)聲波元件6000的梯型濾波器的通過特性。
[0073]圖13是使用聲波元件60的實施例的梯型濾波器400的一示例的電路圖。如圖13所示，根據(jù)一實施例的梯型濾波器400包括串聯(lián)連接在輸入端子201和輸出端子202之間的第一串聯(lián)諧振器301、第二串聯(lián)諧振器302、第三串聯(lián)諧振器303、以及第四串聯(lián)諧振器304。第一并聯(lián)諧振器305和第二并聯(lián)諧振器306在一端連接在第一串聯(lián)諧振器301和第二串聯(lián)諧振器302之間，在另一端連接到地。第三并聯(lián)諧振器307和第四并聯(lián)諧振器308在一端連接在第三串聯(lián)諧振器303和第四串聯(lián)諧振器304之間，在另一端連接到地。諧振器301、302、303、304、305、306、307和308中的每個可包括聲波元件60。
[0074]根據(jù)一實施例，梯型濾波器400的諧振器的每個IDT電極的兩端都在單個部位處設(shè)置有孔電極70，如圖1OB所示，而比較例制造成沒有孔電極70。在圖14中比較了每個梯型濾波器的通過特性。
[0075]圖14示出梯型濾波器400中的通過特性的測量結(jié)果。如圖14所示，相對于比較例，示例實施例的梯型濾波器可增強通帶中的衰減量，并且可減小通帶中的最小插入損耗。
[0076]這里論述的聲波元件的實施例在梯型濾波器結(jié)構(gòu)和/或諸如蜂窩電話之類的各種電子設(shè)備中是有用的。
[0077]上面已經(jīng)描述了至少一實施例的若干方面，將理解，對本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，各種替代、修改和改進是容易產(chǎn)生的。這樣的替代、修改和改進旨在是本公開的一部分并且旨在落在本發(fā)明的范圍內(nèi)。因此，這里公開的方法和裝置的實施例在應(yīng)用時不限于前面描述或附圖所示的部件構(gòu)造和布置的細節(jié)。方法和裝置能實施在其他實施例中并且以各種方式實踐和執(zhí)行。這里僅出于示范的目的提供了【具體實施方式】的示例，而無意成為限制。此外，這里使用的短語和術(shù)語是用于描述，而不應(yīng)視為限制。這里使用的“包括”、“包含”、“具有”、“含有”、“涉及”及其變型意味著涵蓋其后所列項和其等價物、以及附加項。對“或”的提及可解釋為包括性的，從而用“或”描述的任何術(shù)語可表明描述項中的單個、超過一個、以及全部中的任何一種。還將理解，表明垂直方向、平行方向、深度方向等的術(shù)語用于描述性目的，以說明本發(fā)明的各方面。因此，這些術(shù)語不指定絕對方向，無意成為限制。前面的描述和附圖僅是示例方式的，本發(fā)明的范圍應(yīng)根據(jù)對所附權(quán)利要求的適當理解及其等價物來確定。
【主權(quán)項】
1.一種聲波元件，包括: 具有上表面的壓電體； 設(shè)置在所述壓電體上的叉指換能器IDT電極； 設(shè)置在所述壓電體上并且電連接到所述IDT電極的連接布線，所述連接布線包括下連接布線和設(shè)置在所述下連接布線上方的上連接布線；以及 設(shè)置在所述連接布線上方的加強電極，所述加強電極接觸并且電連接到所述下連接布線。2.如權(quán)利要求1所述的聲波元件，其中，所述連接布線包括沿與所述壓電體的上表面垂直的方向延伸的孔電極，所述加強電極經(jīng)由所述孔電極電連接到所述下連接布線。3.如權(quán)利要求2所述的聲波元件，其中，所述孔電極延伸穿過所述上連接布線和所述下連接布線，所述上連接布線中的所述孔電極的第一直徑大于所述下連接布線中的所述孔電極的第二直徑。4.如權(quán)利要求1所述的聲波元件，其中，所述下連接布線的材料不同于所述上連接布線的材料。5.如權(quán)利要求4所述的聲波元件，其中，所述下連接布線的材料的氧親和力小于所述上連接布線的材料的氧親和力。6.如權(quán)利要求1所述的聲波元件，其中，所述加強電極接觸并且電連接到所述下連接布線的上表面。7.如權(quán)利要求6所述的聲波元件，其中，在沿與所述壓電體的上表面垂直的方向取得的橫截面中，所述上連接布線被所述加強電極分開以提供第一和第二上連接布線，所述第一和第二上連接布線經(jīng)由所述加強電極彼此電連接。8.如權(quán)利要求7所述的聲波元件，還包括設(shè)置在所述第一和第二上連接布線之間的所述壓電體上的第三連接電極，所述第三連接布線被絕緣層覆蓋，所述加強電極延伸于所述絕緣層之上。9.如權(quán)利要求7所述的聲波元件，其中，在沿與所述壓電體的上表面垂直的方向取得的橫截面中，所述下連接布線被所述加強電極分開以提供第一和第二下連接布線，所述第一和第二下連接布線經(jīng)由所述加強電極彼此電連接。10.如權(quán)利要求9所述的聲波元件，還包括設(shè)置在所述第一和第二下連接布線之間的所述壓電體上的第三連接布線，所述第三連接布線被絕緣層覆蓋，所述加強電極延伸于所述絕緣層之上。11.如權(quán)利要求1所述的聲波元件，其中，所述IDT電極包括下IDT電極和設(shè)置在所述下IDT電極上方的上IDT電極，所述下IDT電極的材料與所述下連接布線的材料相同，所述上IDT電極的材料與所述上連接布線的材料相同。12.—種梯型濾波器，包括權(quán)利要求1-11中的任何一項的聲波元件。13.—種聲波元件，包括: 具有上表面的壓電體； 設(shè)置在所述壓電體上的第一叉指換能器IDT電極； 設(shè)置在所述壓電體上的第二 IDT電極； 設(shè)置在所述壓電體的上表面上并且電連接到所述第一 IDT電極和所述第二 IDT電極的連接布線，所述連接布線包括下連接布線和設(shè)置在所述下連接布線上方的上連接布線；以及 設(shè)置在所述連接布線上方的加強電極，所述加強電極接觸并且電連接到所述下連接布線。14.如權(quán)利要求13所述的聲波元件，其中，所述下連接布線由第一材料形成，所述上連接布線由第二材料形成，所述第一材料的氧親和力小于所述第二材料的氧親和力。15.如權(quán)利要求13所述的聲波元件，其中，所述加強電極還接觸并且電連接到所述上連接布線。16.如權(quán)利要求15所述的聲波元件，其中，所述連接布線還包括在與所述壓電體的上表面垂直的方向上延伸穿過所述上連接布線和所述下連接布線的孔電極，所述孔電極具有在所述上連接布線中的第一直徑和在所述下連接布線中的第二直徑，所述第一直徑大于所述第二直徑，所述加強電極經(jīng)由所述孔電極電連接到所述下連接布線。17.如權(quán)利要求13所述的聲波元件，其中，在沿與所述壓電體的上表面垂直的方向上取得的橫截面中，所述連接布線，包括所述上連接布線和所述下連接布線兩者，被所述加強電極分開以提供第一和第二連接布線，所述第一和第二連接布線經(jīng)由所述加強電極彼此電連接。18.如權(quán)利要求17所述的聲波元件，還包括設(shè)置在所述第一和第二連接布線之間的所述壓電體上的第三連接布線，所述第三連接布線被絕緣層覆蓋，所述加強電極延伸于所述絕緣層之上。19.一種梯型濾波器，包括權(quán)利要求13-18中的任意一項所述的聲波元件。20.—種聲波元件，包括: 具有上表面的壓電體； 設(shè)置在所述壓電體上的第一叉指換能器IDT電極； 設(shè)置在所述壓電體上的第二 IDT電極； 設(shè)置在所述壓電體的上表面上并且電連接到所述第一 IDT電極和所述第二 IDT電極的連接布線；以及 用于減小所述連接布線中的電損耗的裝置。
【文檔編號】H03H9/02GK106031031SQ201580008819
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2015年2月17日
【發(fā)明人】濱岡陽介, 宮成光則, 中村弘幸, 中西秀和
【申請人】天工濾波方案日本有限公司