一種等離子清洗系統(tǒng)的電極改進結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及印刷電路板PCB的清洗加工工藝領(lǐng)域，具體是指一種等離子清洗系統(tǒng)的電極改進結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]在印刷電路板PCB行業(yè)，清洗是包括任何與去除污染物有關(guān)的關(guān)鍵工藝，隨著微電子工藝的發(fā)展，傳統(tǒng)的濕法清洗越來越受到局限，對高厚徑比板、高頻板、剛?cè)岚宓鹊奶幚硪呀?jīng)達不到新的工藝要求，而干法清洗能夠滿足新的要求，并避免濕法清洗帶來的環(huán)境污染，同時生產(chǎn)率也大大提高，等離子清洗就是方便、高效、優(yōu)質(zhì)的干法清洗技術(shù)。等離子清洗器(Plasma Cleaner)也叫等離子清洗機、等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子清洗屬于干法清洗，采用氣相化學法去除材料表面污染物。氣相化學法主要有熱氧化法和等離子清洗法等，清洗過程就是將熱化學氣體或等離子態(tài)反應氣體導入反應室，反應氣體與需處理的PCB板表面發(fā)生化學反應生成易揮發(fā)性反應產(chǎn)物被真空抽去。等離子清洗原理與超聲波原理不同，當艙體里接近真空狀態(tài)時，開啟等離子發(fā)生電源，這時氣體分子電離，產(chǎn)生等離子體，并且伴隨輝光放電現(xiàn)象，等離子體在電場下加速，從而在電場作用下高速運動，對物體表面發(fā)生物理碰撞，等離子的能量足以去除各種污染物，同時氧離子可以將有機污染物氧化為二氧化碳和水蒸氣排出真空艙體外。等離子清洗不需要其他的原料，只要空氣就能夠滿足要求，使用方便而且沒有污染，同時比超聲波清洗更具有的優(yōu)勢是等離子不但可以進行表面清洗，更重要的是可以提高表面活性，等離子體與物體表面進行化學反應能夠產(chǎn)生活性化學基團，這些化學基團有很尚的活性，從而應用范圍很廣，比如提尚材料表面粘接能力，提尚焊接能力，邦定性，親水性等等很多方面，因此等離子清洗已經(jīng)成為清洗行業(yè)的主流趨勢。
[0003]目前PCB行業(yè)開始應用的等離子清洗系統(tǒng)多采用柵狀電極，在清洗過程中還存在一定的問題:通電時等離子區(qū)間不均勻，反應氣體也在柵極間流動，導致氣流不易控制，最終的蝕刻均勻性差。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的在于提供一種等離子清洗系統(tǒng)的電極改進結(jié)構(gòu)，解決目前的等離子清洗系統(tǒng)存在的蝕刻均勻性差的問題，提高產(chǎn)品的品質(zhì)。
[0005]本實用新型的目的通過下述技術(shù)方案實現(xiàn):
[0006]一種等離子清洗系統(tǒng)的電極改進結(jié)構(gòu)，包括電極板本體，電極板本體具有一定的厚度，在電極板本體內(nèi)部開設(shè)有循環(huán)管路，在電極板本體上安裝有與循環(huán)管路連通的管接頭。本實用新型是對等離子清洗系統(tǒng)的電極做出的改進，現(xiàn)有技術(shù)中普遍的電極結(jié)構(gòu)為柵狀電極，采用管道焊接加工而成，柵板的兩端分別安裝端部管道作為連接件，用于管道的固定以及整體的安裝，其管道作為冷卻劑流道，其冷卻效果較好，柵狀電極主要由可通冷媒的鋁導管和接頭組合焊接而成，組件數(shù)量多，加工復雜，焊縫長接點多；而且在這種電極板生產(chǎn)條件下PCB板產(chǎn)品的蝕刻均勻性不高，經(jīng)過申請人長期的研宄和分析，得到了產(chǎn)品蝕刻均勻性差的原因:由于柵板的管道之間存在一定的間隙，造成放電電場的不均勻。根據(jù)這樣的理論，申請人研制出了新的電極板結(jié)構(gòu):采用板狀的電極，其表面平整均勻，放電過程中可以形成均勻的電場，避免出現(xiàn)部分位置電場疊加的問題，徹底解決了現(xiàn)有的柵狀電極存在的放電不均勻的問題，使得PCB板產(chǎn)品的蝕刻均勻性明顯提升，其內(nèi)部設(shè)置的循環(huán)管路用于冷卻水的流通，循環(huán)管路的開口上安裝有接頭，便于與外部的冷卻循環(huán)系統(tǒng)進行連接。
[0007]所述的循環(huán)管路包括開設(shè)在電極板本體內(nèi)部相互垂直的多條橫向管道、縱向管道、以及安裝在橫向管道和/或縱向管道上的堵頭，堵頭將橫向管道與縱向管道連接形成循環(huán)管道。為了便于加工，利用現(xiàn)有的機加工設(shè)備可以對電極板本體進行打孔加工，在電極板本體的內(nèi)部形成相互垂直的兩租管道，分別為橫向管道和縱向管道，每一組都包括一根或一根以上的管道，管道之間基本相互平行，而兩租管道之間相互連通，通過在管道內(nèi)安裝堵頭，將局部管道進行封堵，將相互連通的管道封堵形成單向的循環(huán)管道，如此，根據(jù)設(shè)置的管道數(shù)量和進出接管的位置，可以形成不同長度的循環(huán)管路。
[0008]所述橫向管道、縱向管道的直徑為電極板本體厚度的60?80%。經(jīng)過多次的實驗和分析，申請人發(fā)現(xiàn)橫向管道、縱向管道的直徑會影響電極電場的均勻性，在眾多的可能性中找到了較為合適的直徑與厚度比例，同時滿足冷卻要求與均勻度的要求。
[0009]所述的管接頭為焊接接頭。保證了管道的密封性和循環(huán)管路的連接，方便電極板的安裝，而且便于拆卸，容易更換和檢修。
[0010]本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下的優(yōu)點和有益效果:
[0011]I本實用新型一種等離子清洗系統(tǒng)的電極改進結(jié)構(gòu)，采用板狀的電極，其表面均勻平穩(wěn)，放電過程中可以形成均勻的電場，避免出現(xiàn)部分位置電場疊加的問題，徹底解決了現(xiàn)有的柵板電極存在的放電不均勻的問題，使得產(chǎn)品的蝕刻較為均勻，其內(nèi)部設(shè)置的循環(huán)管路用于冷卻水的流通，從而進行降溫，循環(huán)管路的開口上安裝有接頭，便于與外部的冷卻循環(huán)系統(tǒng)進行連接；
[0012]2本實用新型一種等離子清洗系統(tǒng)的電極改進結(jié)構(gòu)，在電極板本體的內(nèi)部形成相互垂直的兩租管道，分別為橫向管道和縱向管道，每一組都包括一根或一根以上的管道，管道之間基本相互平行，而兩組管道之間相互連通，通過在管道內(nèi)安裝堵頭，將局部管道進行封堵，將相互連通的管道封堵形成單向的循環(huán)管道，如此，根據(jù)設(shè)置的管道數(shù)量和進出接管的位置，可以形成不同長度的循環(huán)管路。
【附圖說明】
[0013]此處所說明的附圖用來提供對本實用新型實施例的進一步理解，構(gòu)成本申請的一部分，并不構(gòu)成對本實用新型實施例的限定。在附圖中:
[0014]圖1為本實用新型半剖結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]附圖中標記及相應的零部件名稱:
[0016]1-電極板本體，2-管接頭，3-橫向管道，4-縱向管道，5-堵頭。
【具體實施方式】
[0017]為使本實用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚明白，下面結(jié)合實施例和附圖，對本實用新型作進一步的詳細說明，本實用新型的示意性實施方式及其說明僅用于解釋本實用新型，并不作為對本實用新型的限定。
實施例
[0018]如圖1所示，本實用新型一種等離子清洗系統(tǒng)的電極改進結(jié)構(gòu)，包括電極板本體1，電極板本體I長為180cm，寬150cm，厚度為2cm，在電極板本體I內(nèi)部開設(shè)有兩條相互平行的橫向管道3、與橫向管道3垂直的四條縱向管道4，四條縱向管道4和兩條橫向管道3相互連通，縱向管道4和橫向管道3在電極板本體I的側(cè)面形成12個開口，在適當?shù)奈恢脤⑵渲?0個開口用堵頭5進行密封，然后在電極板本體I的內(nèi)部利用堵頭5將橫向管道3和/或縱向管道4進行分割，形成單向的流通通道作為循環(huán)管道，根據(jù)實際的生產(chǎn)需要，循環(huán)管道的形式和流動方向可以變化組合，橫向管道3和縱向管道4的數(shù)量、間距都可以更改，橫向管道3和縱向管道4的直徑在3?4cm，在電極板本體I的側(cè)面剩余兩個開口用于焊接接頭作為管接頭2，作為其內(nèi)部循環(huán)管道與外部循環(huán)系統(tǒng)的連接接口。
[0019]以上所述的【具體實施方式】，對本實用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的【具體實施方式】而已，并不用于限定本實用新型的保護范圍，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種等離子清洗系統(tǒng)的電極改進結(jié)構(gòu)，其特征在于:包括電極板本體(1)，電極板本體(I)具有一定的厚度，在電極板本體(I)內(nèi)部開設(shè)有循環(huán)管路，在電極板本體(I)上安裝有與循環(huán)管路連通的管接頭(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子清洗系統(tǒng)的電極改進結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的循環(huán)管路包括開設(shè)在電極板本體(I)內(nèi)部相互垂直的多條橫向管道(3)、縱向管道(4)、以及安裝在橫向管道(3)和/或縱向管道(4)上的堵頭(5)，堵頭(5)將橫向管道(3)與縱向管道(4)連接形成循環(huán)管道。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種等離子清洗系統(tǒng)的電極改進結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述橫向管道(3)、縱向管道(4)的直徑為電極板本體(I)厚度的60?80%。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項所述的一種等離子清洗系統(tǒng)的電極改進結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的管接頭(2)為焊接接頭。
【專利摘要】本實用新型公布了一種等離子清洗系統(tǒng)的電極改進結(jié)構(gòu)，包括電極板本體，電極板本體具有一定的厚度，在電極板本體內(nèi)部開設(shè)有循環(huán)管路，在電極板本體上安裝有與循環(huán)管路連通的管接頭。本實用新型采用板狀的電極，其表面均勻平穩(wěn)，放電過程中可以形成均勻的電場，避免出現(xiàn)部分位置電場疊加的問題，徹底解決了現(xiàn)有的柵板電極存在的放電不均勻的問題，使得產(chǎn)品的蝕刻較為均勻，其內(nèi)部設(shè)置的循環(huán)管路用于冷卻水的流通，從而進行降溫，循環(huán)管路的開口上安裝有接頭，便于與外部的冷卻循環(huán)系統(tǒng)進行連接。
【IPC分類】B08B7-00, H05H1-24
【公開號】CN204272476
【申請?zhí)枴緾N201520011369
【發(fā)明人】劉鋒, 賀良武, 柳靈
【申請人】成都興睿寶電子科技有限公司
【公開日】2015年4月15日
【申請日】2015年1月8日