一種用于半導(dǎo)體刻蝕機(jī)的帶通濾波器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于機(jī)電領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體刻蝕機(jī)的帶通濾波器。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體行業(yè)中有很多刻蝕機(jī)使用13.56MHz射頻電源來(lái)供電，由于部分半導(dǎo)體刻蝕機(jī)在使用過(guò)程中同時(shí)采用13.56MHz和2MHz電源進(jìn)行供電，導(dǎo)致2MHz頻率的諧波通過(guò)腔體內(nèi)的等離子體串?dāng)_進(jìn)13.56MHz電源。
[0003]為了濾除13.56MHz射頻的高次諧波，同時(shí)抑制2MHz射頻的干擾，需設(shè)計(jì)一種帶通濾波器。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為解決上述問(wèn)題本實(shí)用新型提供了一種用于半導(dǎo)體刻蝕機(jī)的帶通濾波器。本實(shí)用新型體積小、功率大、選頻性能優(yōu)異、帶外抑制強(qiáng)、插入損耗和回波損耗小、可用于專用場(chǎng)入口 ο
[0005]為達(dá)到上述技術(shù)效果，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:
[0006]—種用于半導(dǎo)體刻蝕機(jī)的帶通濾波器，包括信號(hào)輸入端口，信號(hào)輸入端口依次串聯(lián)有3階高通LC濾波電路，3階低通LC濾波電路，2階低通LC濾波電路和信號(hào)輸出端；信號(hào)輸入端口的一端和信號(hào)輸出端的一端均接地。
[0007]進(jìn)一步的改進(jìn)，信號(hào)輸入端口依次串聯(lián)第一電容、第三電感、第四電感和信號(hào)輸出端;第一電容的兩端分別連接第一電感的一端和第二電感的一端;第一電感的另一端和第二電感的另一端相連后接地;第三電感的兩端分別連接第二電容的一端和第三電容的一端，第二電容的另一端和第三電容的另一端相連后接地;第四電感和信號(hào)輸出端連接第四電容的一端，第四電容的另一端接地;3階高通LC濾波電路包括第一電容、第一電感和第二電感;3階低通LC濾波電路包括第三電感、第二電容和第三電容;2階低通LC濾波電路包括第四電感和第四電容。
[0008]進(jìn)一步的改進(jìn)，所述第一電感、第二電感、第三電感和第四電感之間互相垂直或交錯(cuò)設(shè)置。
[0009]進(jìn)一步的改進(jìn)，濾波器外設(shè)有殼體;所述第一電感軸向平行于殼體的底板;第二電感軸向垂直于殼體的底板;第三電感軸向垂直于第一電感的軸向和第二電感的軸向；第四電感軸向垂直于第三電感的軸向且平行于第一電感的軸向；第四電感與第一電感交錯(cuò)設(shè)置。
[0010]本實(shí)用新型體積小、功率大、選頻性能優(yōu)異、帶外抑制強(qiáng)、插入損耗和回波損耗小、可用于專用場(chǎng)合。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1是本實(shí)用新型的電路結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]實(shí)施例1
[0013]如圖1所示的一種用于半導(dǎo)體刻蝕機(jī)的帶通濾波器。本設(shè)計(jì)采用8階LC電路構(gòu)成用于半導(dǎo)體刻蝕機(jī)的專用帶通濾波器，包括信號(hào)輸入端口和信號(hào)輸出端口，接地端GND，3階高通LC濾波電路A，3階低通LC濾波電路B，2階低通LC濾波電路C。如圖1所示，3階高通LC濾波電路A的輸入端接信號(hào)輸入端，輸出端接3階低通LC濾波電路B的輸入端;3階低通LC濾波電路B的輸出端接2階低通LC濾波電路C的輸入端；2階低通LC濾波電路C的輸出端接信號(hào)輸出端OUT。信號(hào)從信號(hào)輸入端進(jìn)入，經(jīng)過(guò)上述共8階濾波電路后從信號(hào)輸出端輸出。
[0014]如圖1所示，具體連接方式如下:信號(hào)輸入端口依次串聯(lián)第一電容C1、第三電感L3、第四電感L4和信號(hào)輸出端;第一電容C1的兩端分別連接第一電感L1的一端和第二電感L2的一端;第一電感L1的另一端和第二電感L2的另一端相連后接地;第三電感L3的兩端分別連接第二電容C2的一端和第三電容C3的一端，第二電容C2的另一端和第三電容C3的另一端相連后接地;第四電感L4和信號(hào)輸出端連接第四電容C4的一端，第四電容C4的另一端接地。
[0015]本實(shí)用新型用于半導(dǎo)體刻蝕機(jī)的專用帶通濾波器采用空氣冷卻的方式進(jìn)行冷卻。為了防止電感線圈之間產(chǎn)生互感，四個(gè)電感采用互相垂直或交錯(cuò)的方式進(jìn)行安裝。第一電感L1軸向平行于濾波器殼體底板，第二電感L2軸向垂直于濾波器殼體底板同時(shí)，第三電感L3軸向垂直于第二電感L2的軸向同時(shí)垂直于第一電感L1的軸向，第四電感L4軸向垂直于第三電感L3的軸向同時(shí)平行于第一電感L1的軸向但位置與第一電感L1交錯(cuò)(即第四電感L4與第一電感L1處于第三電感L3不同側(cè))，這樣在結(jié)構(gòu)上實(shí)現(xiàn)四個(gè)電感互不干擾。
[0016]本實(shí)用新型的貢獻(xiàn)在與提供了一種體積小、功率大、選頻性能優(yōu)異、帶外抑制強(qiáng)、插入損耗和回波損耗小、用于專用場(chǎng)合的帶通濾波器。功率上限5KW，高次諧波抑制度50dB以上，輸入輸出駐波比小于1.05，輸入信號(hào)端和輸出信號(hào)端的阻抗為50Ω。
[0017]以上實(shí)例的說(shuō)明只是用于幫助理解本實(shí)用新型的核心思想；同時(shí)，對(duì)于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員，依據(jù)本實(shí)用新型的思想，在【具體實(shí)施方式】及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處，綜上所述，本說(shuō)明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于半導(dǎo)體刻蝕機(jī)的帶通濾波器，包括信號(hào)輸入端口，其特征在于，信號(hào)輸入端口依次串聯(lián)有3階高通LC濾波電路，3階低通LC濾波電路，2階低通LC濾波電路和信號(hào)輸出端；信號(hào)輸入端口的一端和信號(hào)輸出端的一端均接地。2.如權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體刻蝕機(jī)的帶通濾波器，其特征在于，信號(hào)輸入端口依次串聯(lián)第一電容、第三電感、第四電感和信號(hào)輸出端;第一電容的兩端分別連接第一電感的一端和第二電感的一端;第一電感的另一端和第二電感的另一端相連后接地;第三電感的兩端分別連接第二電容的一端和第三電容的一端，第二電容的另一端和第三電容的另一端相連后接地;第四電感和信號(hào)輸出端連接第四電容的一端，第四電容的另一端接地;3階高通LC濾波電路包括第一電容、第一電感和第二電感;3階低通LC濾波電路包括第三電感、第二電容和第三電容;2階低通LC濾波電路包括第四電感和第四電容。3.如權(quán)利要求2所述的用于半導(dǎo)體刻蝕機(jī)的帶通濾波器，其特征在于，所述第一電感、第二電感、第三電感和第四電感之間互相垂直或交錯(cuò)設(shè)置。4.如權(quán)利要求3所述的用于半導(dǎo)體刻蝕機(jī)的帶通濾波器，其特征在于，濾波器外設(shè)有殼體;所述第一電感軸向平行于殼體的底板;第二電感軸向垂直于殼體的底板;第三電感軸向垂直于第一電感的軸向和第二電感的軸向；第四電感軸向垂直于第三電感的軸向且平行于第一電感的軸向；第四電感與第一電感交錯(cuò)設(shè)置。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于半導(dǎo)體刻蝕機(jī)的帶通濾波器，包括信號(hào)輸入端口,信號(hào)輸入端口依次串聯(lián)有3階高通LC濾波電路，3階低通LC濾波電路，2階低通LC濾波電路和信號(hào)輸出端；信號(hào)輸入端口的一端和信號(hào)輸出端的一端均接地。本實(shí)用新型體積小、功率大、選頻性能優(yōu)異、帶外抑制強(qiáng)、插入損耗和回波損耗小、可用于專用場(chǎng)合。
【IPC分類】H03H7/09
【公開(kāi)號(hào)】CN205092834
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520948040
【發(fā)明人】李光健, 喬世波
【申請(qǐng)人】北京北廣科技股份有限公司
【公開(kāi)日】2016年3月16日
【申請(qǐng)日】2015年11月24日