專利名稱：硅基麥克風(fēng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
珪基麥克風(fēng)
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種麥克風(fēng)，尤其涉及一種MEMS硅基麥克風(fēng)。背景技術(shù)：
隨著無線通訊的發(fā)展，全球移動(dòng)電話用戶越來越多，用戶對(duì)移動(dòng)電話 的要求已不僅滿足于通話，而且要能夠提供高質(zhì)量的通話效果，尤其是目 前移動(dòng)多媒體技術(shù)的發(fā)展，移動(dòng)電話的通話質(zhì)量更顯重要，移動(dòng)電話的麥 克風(fēng)作為移動(dòng)電話的語音拾取裝置，其設(shè)計(jì)好壞直接影響通話質(zhì)量。
目前應(yīng)用較多且性能較好的麥克風(fēng)是微電機(jī)系統(tǒng)麥克風(fēng)
(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone, 簡(jiǎn)稱MEMS),其封裝體 積比傳統(tǒng)的駐極體麥克風(fēng)小。MEMS麥克風(fēng)是基于硅基半導(dǎo)體材料制成， 故又稱硅基麥克風(fēng)。近幾年，硅基MEMS麥克風(fēng)已取得了很大的進(jìn)步。
如圖1所示，為現(xiàn)有常見的MEMS硅基麥克風(fēng)1的剖視示意圖。此類 麥克風(fēng)包括內(nèi)部設(shè)有空腔的基底10、實(shí)現(xiàn)電容效應(yīng)的背極板11和振膜12。 振膜的周緣被固定，與背極板相對(duì)且與背極板間隔一定距離。當(dāng)聲音氣流 傳遞到振膜上時(shí)，振膜上下振動(dòng)以產(chǎn)生位移，改變電容器的電容量，電容 量的改變使電容器的輸出端產(chǎn)生相應(yīng)的交變電場(chǎng)，形成了與聲波信號(hào)對(duì)應(yīng) 的電信號(hào)，從而完成聲電轉(zhuǎn)換的功能。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型需解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)獨(dú)特、靈敏度高的 硅基麥克風(fēng)。
根據(jù)上述需解決的技術(shù)問題，設(shè)計(jì)了一種硅基麥克風(fēng)，內(nèi)部設(shè)有空腔 的基底、收容于基底空腔內(nèi)的背極板、振膜，所述振膜包括振動(dòng)主體和與 振動(dòng)主體相連且位于振動(dòng)主體中央?yún)^(qū)域的連接部，所述連接部與背極板相 連，所述振動(dòng)主體與背極板相對(duì)。作為本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)，所述振動(dòng)主體為扁圓柱形，連接部為由 振動(dòng)主體中央?yún)^(qū)域延伸的長(zhǎng)圓柱形。
作為本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)，所述振膜的橫截面為T形。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型振膜振動(dòng)主體周緣未被固定，而是通過 位于振動(dòng)主體中央?yún)^(qū)域的連接部固定于背極板上，振動(dòng)主體與背極板相對(duì) 且可相對(duì)背極板上下振動(dòng)。此種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)獨(dú)特，所得產(chǎn)品的靈敏度也很高。

圖1是現(xiàn)有常見MEMS硅基麥克風(fēng)的剖視示意圖2是本實(shí)用新型硅基麥克風(fēng)的立體示意圖3是圖2中B-B方向的剖視示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
如圖2和圖3所示，為本實(shí)用新型實(shí)施方式硅基麥克風(fēng)2，包括基底 20、背極板21、振膜22。基底20內(nèi)設(shè)有空腔200，背極板21收容于空腔 200內(nèi)。在背極4反21上還設(shè)有通氣孔210。
振膜22的橫截面為T形，包括扁圓柱形的振動(dòng)主體220和與振動(dòng)主體 相連的連接部221。連接部221為由振動(dòng)主體中央?yún)^(qū)域延伸的長(zhǎng)圓柱形。 振動(dòng)主體220通過連接部221與背板板21相連而與背極板21相對(duì)'。振動(dòng) 主體可相對(duì)背極板上下振動(dòng)并與背極板形成電容效應(yīng)。當(dāng)聲音氣流傳遞到 振膜上時(shí)，振動(dòng)主體上下振動(dòng)以產(chǎn)生位移，改變電容器的電容量，電容量 的改變使電容器的輸出端產(chǎn)生相應(yīng)的交變電場(chǎng)，形成與聲波信號(hào)對(duì)應(yīng)的電 信號(hào)，從而完成聲電轉(zhuǎn)換的功能。
本實(shí)用新型振膜的振動(dòng)主體周緣未被固定，而是通過位于振動(dòng)主體中 央?yún)^(qū)域的連接部固定于背極板上，與現(xiàn)有技術(shù)相比，此結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)獨(dú)特，所 得產(chǎn)品的靈敏度也很高。
以上所述的僅是本實(shí)用新型的實(shí)施方式，在此應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域 的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做 出改進(jìn)，但這些均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1、一種硅基麥克風(fēng)，包括內(nèi)部設(shè)有空腔的基底、收容于基底空腔內(nèi)的背極板、振膜，其特征在于所述振膜包括振動(dòng)主體和與振動(dòng)主體相連且位于振動(dòng)主體中央?yún)^(qū)域的連接部，所述連接部與背極板相連，所述振動(dòng)主體與背極板相對(duì)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基麥克風(fēng)，其特征在于所述振動(dòng)主體為 扁圓柱形，連接部為由振動(dòng)主體中央?yún)^(qū)域延伸的長(zhǎng)圓柱形。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅基麥克風(fēng)，其特征在于所述振膜的 橫截面為T形。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種硅基麥克風(fēng)，包括內(nèi)部設(shè)有空腔的基底、收容于基底空腔內(nèi)的背極板、振膜，所述振膜包括振動(dòng)主體和與振動(dòng)主體相連且位于振動(dòng)主體中央?yún)^(qū)域的連接部，所述連接部與背極板相連，所述振動(dòng)主體與背極板相對(duì)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型振膜的振動(dòng)主體周緣未被固定，而是通過位于振動(dòng)主體中央?yún)^(qū)域的連接部固定于背極板上，振動(dòng)主體可相對(duì)背極板上下振動(dòng)，這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)獨(dú)特，所得產(chǎn)品的靈敏度也很高。
文檔編號(hào)H04R19/04GK201345734SQ20082023572
公開日2009年11月11日 申請(qǐng)日期2008年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月26日
發(fā)明者睿 張 申請(qǐng)人:瑞聲聲學(xué)科技(深圳)有限公司;瑞聲聲學(xué)科技(常州)有限公司