專利名稱：硅基電容麥克風(fēng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種硅基電容麥克風(fēng)，尤其涉及一種應(yīng)用在手機等便 攜式消費性電子產(chǎn)品上的硅基電容麥克風(fēng)。
背景技術(shù)：
隨著無線通訊的發(fā)展，全球移動電話用戶越來越多，用戶對移動電話 的要求已不僅滿足于通話，而且要能夠提供高質(zhì)量的通話效果，尤其是目 前移動多媒體技術(shù)的發(fā)展，移動電話的通話質(zhì)量更顯重要，移動電話的麥 克風(fēng)作為移動電話的語音拾取裝置，其設(shè)計好壞直接影響通話質(zhì)量。
而目前應(yīng)用較多且性能較好的麥克風(fēng)是微電機系統(tǒng)麥克風(fēng)
(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone, 簡稱MEMS ),其封裝體 積比傳統(tǒng)的駐極體麥克風(fēng)小。
與本發(fā)明相關(guān)的硅基電容麥克風(fēng)中，振膜的形狀為齒輪形狀。這種硅 基電容麥克風(fēng)振膜滑膜阻尼小，低頻效應(yīng)差。

實用新型內(nèi)容
本實用新型要解決的技術(shù)問題在于提供一種低頻效應(yīng)好的硅基電容 麥克風(fēng)。
為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供的技術(shù)方案為 一種硅基電容麥克風(fēng)，包括基底、平行于基底的背板、與背板相對形 成電容效應(yīng)的振膜，該振膜包括固定部和與固定部相連的振動部，在所述 振膜上設(shè)置有至少兩個貫通所述振膜的振膜扇片，所述振膜扇片包括第一 端部、第二端部以及連接第一端部和第二端部的連接部，所述第一端部和 第二端部分別自振膜的振動部延伸至振膜的固定部。 優(yōu)選的，該振膜扇片關(guān)于所述振膜的中心對稱。優(yōu)選的，所述振膜扇片的形狀為"幾"字形。 優(yōu)選的，所述振膜為圓形。 優(yōu)選的，所述振膜為矩形。 優(yōu)選的，所述振膜為橢圓形。
本實用新型的有益效果在于由于在振膜上設(shè)置有振膜扇片，所述振 膜扇片包括第一端部、第二端部以及連接第一端部和第二端部的連接部， 所述第一端部和第二端部分別跨越振膜的固定部和振動部，所以在加工過 程中，不受對位精度的影響，可以提高加工精度，使得振膜滑膜阻尼增大， 提高麥克風(fēng)的低頻特性。


圖1是本實用新型提供一個實施例的硅基電容麥克風(fēng)的剖視圖2是本實用新型提供的一個實施例的硅基電容麥克風(fēng)振膜的平面圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施方式對本實用新型作進一步說明。
本實用新型提供的硅基電容麥克風(fēng)1，主要用于手機上，接受聲音并 將聲音轉(zhuǎn)化為電信號。本實用新型提供的發(fā)明是通過在振膜上設(shè)置振膜扇 片來達到提高麥克風(fēng)的低頻特性的效果。
參見圖1，本實用新型提供的硅基電容麥克風(fēng)1包括基底IO、置于基 底10上的背板12、與背板12相連接的支撐層11、與背板12相對并通過 支撐層11相連的振膜13，該振膜13包括與支撐層11相連的固定部131 和與固定部131相連的振動部132,背板12上設(shè)置有背板孔121,背板 12和振膜13之間留有空氣隙15。在本實用新型提供的實施例中，振膜 13的固定部131和振動部132是一體成型的。
當(dāng)然，振膜13與背板12的位置關(guān)系不限于圖1中所示的方式。也可 以是振膜13位于背板12與基底IO之間；同樣，圖1中的支撐層也不是 必須的。只要振膜13與背板12能夠形成電容器就可以。
參見圖1和圖2,振膜13為圓形，振膜13上設(shè)置有4個貫通振膜13 的振膜扇片14,該振膜扇片14關(guān)于振膜13的中心對稱，即該4個振膜扇片14等分了振膜13;振膜扇片14包括第一端部141、第二端部142以 及連接第一端部141和第二端部142的連接部143，第一端部141和第二 端部142分別3夸越纟展膜13的固定部131和振動部132,即第一端部141 和第二端部142是分別自振膜13的振動部132延伸至振膜13的固定部 131，使得振膜扇片14呈現(xiàn)"幾"字形狀。
雖然本實用新型提供的實施例沖，振膜扇片14是4個，但實際上， 振膜扇片可以是2個、3個、或5個或更多，只要振膜扇片14能關(guān)于振 膜13的中心對稱即可。
振膜13不限于圓形，也可以是矩形、三角形、橢圓形等。
在本實用新型提供的實施例中，振膜扇片14呈現(xiàn)"幾"字形狀，但 實際上，振膜扇片14的形狀不限于此。只要滿足第一端部141和第二端 部142分別很快振膜13的固定部131和振動部132，連接部143將第一 端部141和第二端部142連4妄起來即可。
以上所述的僅是本實用新型的實施方式，在此應(yīng)當(dāng)指出，對于本領(lǐng)域 的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做 出改進，但這些均屬于本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1、一種硅基電容麥克風(fēng)，包括基底、平行于基底的背板、與背板相對形成電容效應(yīng)的振膜，該振膜包括固定部和與固定部相連的振動部，其特征在于在所述振膜上設(shè)置有至少兩個貫通所述振膜的振膜扇片，所述振膜扇片包括第一端部、第二端部以及連接第一端部和第二端部的連接部，所述第一端部和第二端部分別自振膜的振動部延伸至振膜的固定部。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基電容麥克風(fēng)，其特征在于該振膜扇 片關(guān)于所述振膜的中心對稱。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基電容麥克風(fēng)，其特征在于所述振膜 扇片的形狀為"幾"字形。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基電容麥克風(fēng)，其特征在于所述振膜 為圓形。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基電容麥克風(fēng)，其特征在于所述振膜 為矩形。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅基電容麥克風(fēng)，其特征在于所述振膜 為橢圓形。
專利摘要本實用新型提供了一種硅基電容麥克風(fēng)，包括基底、平行于基底的背板、與背板相對形成電容效應(yīng)的振膜，該振膜包括固定部和與固定部相連的振動部，在所述振膜上設(shè)置有至少兩個貫通所述振膜的振膜扇片，所述振膜扇片包括第一端部、第二端部以及連接第一端部和第二端部的連接部，所述第一端部和第二端部分別自振膜的振動部延伸至振膜的固定部。該種麥克風(fēng)能提高麥克風(fēng)的低頻特性。
文檔編號H04R7/04GK201403201SQ200920135949
公開日2010年2月10日 申請日期2009年3月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月27日
發(fā)明者睿 張, 舟 葛 申請人:瑞聲聲學(xué)科技(常州)有限公司;瑞聲聲學(xué)科技(深圳)有限公司