專利名稱：低溫泵網(wǎng)絡(luò)的制作方法
低溫泵網(wǎng)絡(luò)相關(guān)申請(qǐng)案本申請(qǐng)案主張于2008年1月22日提申的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)案第 61/011，819號(hào)的權(quán)利。所述申請(qǐng)案的整體教示以引用方式納入本文中。
背景技術(shù)：
一個(gè)低溫真空系統(tǒng)典型地包含至少一個(gè)低溫真空泵(低溫泵，cryopump)及至少 一個(gè)壓縮器，其用于提供壓縮的氦至該低溫泵。該系統(tǒng)亦通常包含其它構(gòu)件，諸如粗抽泵、 水泵(單級(jí)低溫泵)、渦輪泵、隔離閥及量器。這些構(gòu)件一起操作以提供真空給一個(gè)較廣系 統(tǒng)，諸如一個(gè)用于半導(dǎo)體處理的群集工具。一個(gè)群集工具包含一個(gè)工具主控制器，其提供對(duì)于該群集工具內(nèi)所有系統(tǒng)的上層 控制。該工具包含一系列用于實(shí)施各種半導(dǎo)體制造過(guò)程的處理室，諸如晶圓蝕刻、化學(xué)或電 漿氣相沉積、氧化、燒結(jié)、除氣、晶圓傳送及退火。這些過(guò)程通常是于個(gè)別的室之內(nèi)實(shí)施，每 一個(gè)室可以包含該低溫真空系統(tǒng)的一個(gè)低溫泵。除了低溫泵之外，一個(gè)傳統(tǒng)的真空系統(tǒng)典型地是包含一個(gè)網(wǎng)絡(luò)接口終端，其作為 該系統(tǒng)內(nèi)的該工具主控制器及低溫泵的網(wǎng)絡(luò)之間的接口。其它真空系統(tǒng)構(gòu)件，諸如粗抽泵、 壓縮器、量器、水泵、渦輪分子泵與門閥典型地是與該工具主控制器連接，以允許該工具主 控制器發(fā)出命令，以控制這些構(gòu)件的操作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實(shí)施例是提供一種真空控制網(wǎng)絡(luò)，其包含多個(gè)節(jié)點(diǎn)，該些節(jié)點(diǎn)包含一或 多個(gè)低溫泵、壓縮器、其它真空泵及相關(guān)裝置。于節(jié)點(diǎn)對(duì)之間的網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段形成一個(gè)具有該 多個(gè)節(jié)點(diǎn)的環(huán)，藉此能夠通過(guò)該環(huán)的節(jié)點(diǎn)間通訊。一個(gè)位于該些節(jié)點(diǎn)的一處或該些節(jié)點(diǎn)外 部處的網(wǎng)絡(luò)控制器管理該網(wǎng)絡(luò)，使得僅一個(gè)單一路徑連接任兩個(gè)節(jié)點(diǎn)，且其亦決定是否一 個(gè)錯(cuò)誤已經(jīng)于該些環(huán)片段的一處或于該些節(jié)點(diǎn)的一處發(fā)生。根據(jù)一個(gè)偵測(cè)出的錯(cuò)誤，網(wǎng)絡(luò) 環(huán)片段能夠被致能及禁能，以重新建構(gòu)該網(wǎng)絡(luò)的拓樸，藉此致能所有網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)之間的持續(xù) 通訊。在本發(fā)明的進(jìn)一步的實(shí)施例中，網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段可以被禁能或致能，而不受該網(wǎng)絡(luò)連 接器的整體性控制，舉例而言，藉由禁能一個(gè)不危及的網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段連接器。于禁能網(wǎng)絡(luò)環(huán)片 段中，實(shí)際網(wǎng)絡(luò)環(huán)可以形成一個(gè)虛擬“總線”。一個(gè)先前禁能的網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段可以被致能，以運(yùn) 送于另一個(gè)網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段或節(jié)點(diǎn)處一個(gè)錯(cuò)誤之后的通訊。該些節(jié)點(diǎn)的每一個(gè)可以被建構(gòu)成監(jiān) 視及偵測(cè)相鄰網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段及節(jié)點(diǎn)的錯(cuò)誤，向一個(gè)共同節(jié)點(diǎn)或網(wǎng)絡(luò)控制器報(bào)告這些錯(cuò)誤。于一個(gè)進(jìn)一步的實(shí)施例中，至少一個(gè)節(jié)點(diǎn)可以可通訊地連接至一個(gè)個(gè)別真空網(wǎng)絡(luò) 控制器，以通過(guò)橫跨該真空控制網(wǎng)絡(luò)的通訊而控制真空泵及其它構(gòu)件。為了提供額外的錯(cuò) 誤復(fù)原，一個(gè)冗余訊號(hào)路徑可以被設(shè)置，以連接一個(gè)額外的節(jié)點(diǎn)及該真空網(wǎng)絡(luò)控制器。進(jìn)一步的冗余保護(hù)是于一個(gè)實(shí)施例中達(dá)成，該實(shí)施例包含自該真空控制網(wǎng)絡(luò)至該 工具主控制器或一個(gè)連接至該工具主控制器的集線器或類似裝置的冗余通訊路徑。于又一個(gè)進(jìn)一步實(shí)施例中，該網(wǎng)絡(luò)之一或多個(gè)節(jié)點(diǎn)可以包含邏輯電路，其是用于(或建構(gòu)成用于)起始、控制及管理真空控制系統(tǒng)的操作過(guò)程，諸如氦管理；控制安全互鎖 及協(xié)調(diào)低溫泵的群組再生及渦輪分子泵的粗及凈化控制。該些節(jié)點(diǎn)的每一個(gè)可以因此操 作作為一個(gè)過(guò)程主控器，控制位于本地且該網(wǎng)絡(luò)的其它節(jié)點(diǎn)處的真空構(gòu)件間的一組操作過(guò) 程。因此，每一個(gè)過(guò)程主節(jié)點(diǎn)可以確?？刂茖?duì)于構(gòu)成操作及管理該真空控制系統(tǒng)的整個(gè)過(guò) 程的一部分的一組過(guò)程。于分配如此的功能中，一或多個(gè)節(jié)點(diǎn)可以建構(gòu)成協(xié)調(diào)其它節(jié)點(diǎn)的 操作，舉例而言，藉由控制或分配氦供應(yīng)至一個(gè)節(jié)點(diǎn)或自一個(gè)節(jié)點(diǎn)供應(yīng)而來(lái)及控制接取一 個(gè)真空歧管，以用于一個(gè)低溫泵節(jié)點(diǎn)的再生。一個(gè)特別的節(jié)點(diǎn)可以建構(gòu)成操作作為真空網(wǎng) 絡(luò)管理器，其監(jiān)視及控制該網(wǎng)絡(luò)的操作及組態(tài)。于另一個(gè)實(shí)施例中，一個(gè)單一節(jié)點(diǎn)可以被選擇作為一個(gè)“超級(jí)節(jié)點(diǎn)”，以用于控制 其它節(jié)點(diǎn)的過(guò)程。當(dāng)作為該真空系統(tǒng)控制器的超級(jí)節(jié)點(diǎn)顯示一個(gè)錯(cuò)誤情況或者自該真空控 制網(wǎng)絡(luò)移除時(shí)，控制的責(zé)任被傳送至該網(wǎng)絡(luò)上另一個(gè)節(jié)點(diǎn)，其被選擇作為一個(gè)繼任超級(jí)節(jié) 點(diǎn)。類似地，于一個(gè)包含多個(gè)過(guò)程主控器的實(shí)施例中，當(dāng)該第一過(guò)程主控節(jié)點(diǎn)顯示一個(gè)錯(cuò)誤 或變成不能使用時(shí)，對(duì)于一組操作過(guò)程的責(zé)任可以自一個(gè)第一過(guò)程主控節(jié)點(diǎn)傳送至一個(gè)第 二過(guò)程主控節(jié)點(diǎn)。另一個(gè)實(shí)施例是在包含以太網(wǎng)絡(luò)環(huán)、星形及總線組態(tài)的拓樸中控制節(jié)點(diǎn)的錯(cuò)誤之 后使用真空網(wǎng)絡(luò)控制自一個(gè)節(jié)點(diǎn)傳送至另一個(gè)節(jié)點(diǎn)。一個(gè)另外的實(shí)施例是包含該構(gòu)件監(jiān)視服務(wù)器及該真空網(wǎng)絡(luò)上的節(jié)點(diǎn)之間的冗余 連接，以用于附加的錯(cuò)誤容許。另一個(gè)實(shí)施例包含用于一個(gè)或多個(gè)真空構(gòu)件是位于一或多個(gè)與該真空構(gòu)件的其 余構(gòu)件不同的集線器上的組態(tài)的錯(cuò)誤容許，諸如一個(gè)子組構(gòu)中的一個(gè)壓縮器。錯(cuò)誤容許是 透過(guò)其它項(xiàng)目冗余連接至不同的集線器及真空網(wǎng)絡(luò)控制器監(jiān)視及控制指定通訊片段至集 線器而達(dá)成。


由顯示于后附圖式的本發(fā)明的示范性實(shí)施例的更特定敘述，本案將為顯明的，其 中，類似的組件符號(hào)于不同的圖中是指相同的組件。這些圖不需要依比例繪制，反而是強(qiáng)調(diào) 顯示本發(fā)明的實(shí)施例。圖1為一個(gè)采用一個(gè)真空泵網(wǎng)絡(luò)的系統(tǒng)的示意圖；圖2為一個(gè)采用一個(gè)具有一個(gè)總線組態(tài)的真空泵網(wǎng)絡(luò)的系統(tǒng)的示意圖；圖3為一個(gè)具有一個(gè)以太網(wǎng)絡(luò)環(huán)組態(tài)的真空控制系統(tǒng)的示意圖，其為示范本發(fā)明 的一個(gè)實(shí)施例；圖4a至b顯示在一個(gè)網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段錯(cuò)誤之前或期間一個(gè)具有一個(gè)以太網(wǎng)絡(luò)環(huán)的真 空控制系統(tǒng)；圖5a至c為顯示于圖4的真空泵系統(tǒng)的節(jié)點(diǎn)的過(guò)程的流程圖；圖6為一個(gè)顯示圖4的真空泵系統(tǒng)的節(jié)點(diǎn)處及節(jié)點(diǎn)之間的過(guò)程及通訊的暫時(shí)狀態(tài)圖；圖7為一個(gè)具有一個(gè)星形拓樸內(nèi)的節(jié)點(diǎn)的錯(cuò)誤容許的真空控制系統(tǒng)的示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的示范性實(shí)施例的說(shuō)明如下。
圖1為一個(gè)采用一個(gè)真空泵網(wǎng)絡(luò)18的典型的先前技術(shù)真空系統(tǒng)的示意圖。采用 如此的網(wǎng)絡(luò)的示范性真空系統(tǒng)在標(biāo)題為“真空系統(tǒng)信息網(wǎng)絡(luò)”的美國(guó)專利第6，671，583號(hào) 中提出，其整體以參照方式并入本文。一個(gè)網(wǎng)絡(luò)接口終端(Network Interface Terminal, NIT) 12通過(guò)該網(wǎng)絡(luò)18連接至一個(gè)群集工具內(nèi)的一或多個(gè)泵。圖1所示的系統(tǒng)包含各種泵， 包含一個(gè)低溫泵20、一個(gè)水泵22及一個(gè)渦輪及水泵的組合24。除此之外，該網(wǎng)絡(luò)接口終端12通過(guò)一個(gè)RS-232連結(jié)6而與一個(gè)工具主控制器4 接口連接。該網(wǎng)絡(luò)接口終端12亦能夠通過(guò)一個(gè)中央控制鏈路10而連接至諸如一個(gè)中央控 制站8的其它系統(tǒng)，且通過(guò)一個(gè)服務(wù)鏈路14而連接至一個(gè)服務(wù)終端16。該網(wǎng)絡(luò)接口終端12僅支持具有一個(gè)適當(dāng)?shù)木W(wǎng)絡(luò)通訊接口的真空構(gòu)件。不能夠連 接至該網(wǎng)絡(luò)接口終端12的第三方傳感器必須被直接連接至該工具主控制器4，因而對(duì)于工 具主控制器4放置更多負(fù)擔(dān)。圖2為一個(gè)先前技術(shù)已知的第二真空系統(tǒng)30的一個(gè)示意圖。一個(gè)真空網(wǎng)絡(luò)控制 器(VNC)34取代圖1的網(wǎng)絡(luò)接口終端12的位置。一個(gè)真空網(wǎng)絡(luò)控制器更完全敘述于標(biāo)題 為“真空網(wǎng)絡(luò)控制器”的美國(guó)專利第6，272，400號(hào)中提出，其整體是以參照方式并入本文。 該真空網(wǎng)絡(luò)控制器34通過(guò)一個(gè)工具通訊鏈路32而與工具主控制器4通訊，工具通訊鏈路 32不受限于只為圖1的連結(jié)6的RS-232。使用一個(gè)彈性的通訊接口 40，該真空網(wǎng)絡(luò)控制器 34通過(guò)各種協(xié)議的任一個(gè)而與一個(gè)中央控制站8通訊。于圖2的顯示系統(tǒng)中，該真空網(wǎng)絡(luò) 控制器34亦與一個(gè)制造設(shè)備網(wǎng)絡(luò)36及一個(gè)服務(wù)器38作接口連接。該真空網(wǎng)絡(luò)控制器34通過(guò)一個(gè)菊鏈串行總線42，諸如一個(gè)BitBus，而與多個(gè)真空 泵20、22、24、44及其它構(gòu)件通訊，其它構(gòu)件是諸如閥46、量器48、粗抽泵50及壓縮器52。 此系統(tǒng)的一個(gè)缺點(diǎn)為為了將一個(gè)新的構(gòu)件插入該總線42的中間，該總線及該些構(gòu)件之間 的連結(jié)必須打斷。此外，假如一個(gè)構(gòu)件或其的連結(jié)錯(cuò)誤，則所有設(shè)備中止控制中心。圖3為一個(gè)用于一個(gè)真空控制系統(tǒng)的真空控制網(wǎng)絡(luò)300的示意圖。該網(wǎng)絡(luò)300包 含許多連接為一個(gè)以太網(wǎng)絡(luò)“環(huán)”的節(jié)點(diǎn)，包含一個(gè)第一真空泵(泵1)340，一個(gè)第二真空泵 (泵2) 350，一個(gè)第三真空泵(泵N) 360，及一個(gè)壓縮器370。于真空應(yīng)用中，該第一真空泵 340、第二真空泵350及第三真空泵360的每一個(gè)可以為一個(gè)低溫泵或一個(gè)吸附或機(jī)械粗抽 泵，該壓縮器370提供一個(gè)冷凍劑(例如氦)給每一個(gè)低溫泵。一個(gè)網(wǎng)絡(luò)主機(jī)310操作作為一個(gè)整體主機(jī)工具控制器。該主機(jī)310提供高階命令 給一個(gè)分布式控制組態(tài)中的網(wǎng)絡(luò)300的每一個(gè)節(jié)點(diǎn)處的構(gòu)件。該主機(jī)310與該真空控制網(wǎng) 絡(luò)300上的每一個(gè)節(jié)點(diǎn)通訊，以監(jiān)視及控制于該第一真空泵340、第二真空泵350、第三真 空泵360、該壓縮器370及其它設(shè)備處的構(gòu)件及過(guò)程，其它設(shè)備諸如水泵、渦輪分子泵、粗抽 泵、量器或真空隔離閥，其可以包含該網(wǎng)絡(luò)300上另外的節(jié)點(diǎn)。于該主機(jī)310及該網(wǎng)絡(luò)300 的一個(gè)第一節(jié)點(diǎn)，泵1 340，之間的通訊是透過(guò)一個(gè)主機(jī)網(wǎng)絡(luò)鏈路315而實(shí)施。該網(wǎng)絡(luò)300可以包含一個(gè)利用傳輸控制協(xié)議及因特網(wǎng)協(xié)議(TCP/IP)的以太網(wǎng)絡(luò) 實(shí)體層，以便利該主機(jī)310、該第一真空泵340、第二真空泵350、第三真空泵360、該壓縮器 370及該網(wǎng)絡(luò)300上其它節(jié)點(diǎn)之間的節(jié)點(diǎn)間通訊。因此，每一個(gè)節(jié)點(diǎn)包含一個(gè)以太網(wǎng)絡(luò)開 關(guān)，以太網(wǎng)絡(luò)媒體存取控制(MAC)及其它邏輯(亦即，中央處理單元(CPU))，其為一個(gè)網(wǎng)絡(luò) 通訊接口，以用于致能節(jié)點(diǎn)間傳輸控制協(xié)議及因特網(wǎng)協(xié)議通訊。再者，該網(wǎng)絡(luò)300的節(jié)點(diǎn)連 接成致能一個(gè)以太網(wǎng)絡(luò)環(huán)拓樸泵1 340通過(guò)網(wǎng)絡(luò)鏈路(下文稱為“環(huán)片段”)335A連接至泵2 350;泵2 350通過(guò)網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段335B連接至泵N 360 (或一或多個(gè)中間節(jié)點(diǎn)，如以虛線 顯示)；泵N 360通過(guò)網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段335C連接至壓縮器370 ；且壓縮器370通過(guò)網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段 335D連接至泵1 340。這些網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段335A-D為每一個(gè)節(jié)點(diǎn)處的兩個(gè)以太網(wǎng)絡(luò)端口(“泵 網(wǎng)絡(luò)1”及“泵網(wǎng)絡(luò)2”)之一，有效地形成一個(gè)連接所有節(jié)點(diǎn)的“環(huán)”。網(wǎng)絡(luò)鏈路335D顯示 為一個(gè)有點(diǎn)的線，以顯示一個(gè)禁能的冗余鏈路，下文參照?qǐng)D4a-b作進(jìn)一步敘述。因此，一個(gè)主機(jī)310利用該網(wǎng)絡(luò)300的環(huán)拓樸，以與該第一真空泵340、第二真空 泵350、第三真空泵360、該壓縮器370及該網(wǎng)絡(luò)300上其它節(jié)點(diǎn)通訊，以監(jiān)視及提供一個(gè)真 空泵系統(tǒng)的高水平控制程序。該主機(jī)310能夠通過(guò)以太網(wǎng)絡(luò)或現(xiàn)有RS-232方法與真空網(wǎng) 絡(luò)通訊。舉例而言，該主機(jī)可以發(fā)出通訊以起始群組再生、個(gè)別泵再生或氦管理，再組構(gòu)該 些節(jié)點(diǎn)或于一或多個(gè)真空泵處運(yùn)用隔離閥控制?；蛘?，稱為“主機(jī)功能”的如此之用于管理 及控制的功能可以分散于該第一真空泵340、第二真空泵350、第三真空泵360及該壓縮器 370之間，如下文參照?qǐng)D7作敘述。每一個(gè)節(jié)點(diǎn)可以被該主機(jī)310指定一個(gè)局域網(wǎng)絡(luò)地址(例如，一個(gè)因特網(wǎng)協(xié)議地 址)或者自主地與其它節(jié)點(diǎn)協(xié)調(diào)一個(gè)局域網(wǎng)絡(luò)地址。該主機(jī)310傳送網(wǎng)絡(luò)通訊訊息至網(wǎng)絡(luò) 集線器312或其它網(wǎng)絡(luò)接取點(diǎn)，其通過(guò)該主機(jī)網(wǎng)絡(luò)鏈路315而繞接該些通訊訊息至泵1?；?者，該網(wǎng)絡(luò)集線器312可以被省略，該主機(jī)310直接連接至泵1 340或其它節(jié)點(diǎn)。通訊訊息 系可以透過(guò)一個(gè)冗余主機(jī)連結(jié)335E而繞接至泵2或另一個(gè)節(jié)點(diǎn)，藉此于主機(jī)網(wǎng)絡(luò)鏈路315 或泵1變成不能使用或禁能的情況下，提供一個(gè)“備用”通訊鏈路。接著，主機(jī)通訊訊息于 以太網(wǎng)絡(luò)環(huán)內(nèi)的節(jié)點(diǎn)之間繞接，以到達(dá)該些通訊訊息被導(dǎo)引的節(jié)點(diǎn)。再者，每一個(gè)節(jié)點(diǎn)監(jiān)視 其之以太網(wǎng)絡(luò)端口的進(jìn)來(lái)及出去的網(wǎng)絡(luò)流量。通訊訊息被監(jiān)視及通過(guò)網(wǎng)絡(luò)300傳送的示范 性過(guò)程，且特別是于包含以太網(wǎng)絡(luò)環(huán)的網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)之間，系于下文參照?qǐng)D5a-c及圖6而更詳 細(xì)敘述。該壓縮器370，或者可替代地一個(gè)真空泵或其它節(jié)點(diǎn)，可以被建構(gòu)成通過(guò)一個(gè)外部 網(wǎng)絡(luò)鏈路386而與一個(gè)構(gòu)件監(jiān)視服務(wù)器(CMS)385通訊。于如此的操作中，一或多個(gè)節(jié)點(diǎn)， 諸如該第一真空泵340、第二真空泵350、第三真空泵360、該壓縮器370及量器是提供關(guān)于 其的效能、組態(tài)或其它特性的數(shù)據(jù)，其接著指示該真空泵系統(tǒng)的狀態(tài)。該數(shù)據(jù)是通過(guò)該些節(jié) 點(diǎn)之一而繞接至該構(gòu)件監(jiān)視服務(wù)器385，該些節(jié)點(diǎn)之一是諸如壓縮器370，該構(gòu)件監(jiān)視服務(wù) 器385收集該數(shù)據(jù)，以用于分析該真空泵系統(tǒng)。根據(jù)此分析，該真空泵系統(tǒng)的操作能夠被最 佳化或偵測(cè)錯(cuò)誤。由其它節(jié)點(diǎn)之一至該構(gòu)件監(jiān)視服務(wù)器385之一個(gè)另外的冗余鏈路(未顯 示)可以被使用于假如該主鏈路失敗的情況下，提供至該構(gòu)件監(jiān)視服務(wù)器385的冗余通訊。圖4a為一個(gè)真空控制系統(tǒng)400的一個(gè)方塊圖，其可以并入上文參照?qǐng)D3的網(wǎng)絡(luò) 300特色。低溫泵1 440、低溫泵2 450、真空泵3 460及壓縮器470是通過(guò)網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段 435A-D連接，以形成一個(gè)以太網(wǎng)絡(luò)環(huán)。主機(jī)410是通過(guò)主機(jī)網(wǎng)絡(luò)鏈路415而連接至低溫泵 1 440，以用于通過(guò)以太網(wǎng)絡(luò)環(huán)傳送通訊訊息。一個(gè)冗余主機(jī)網(wǎng)絡(luò)鏈路416致能于一個(gè)錯(cuò)誤 的情況下的如此的通訊訊息。低溫泵2通過(guò)一個(gè)外部網(wǎng)絡(luò)鏈路486而連接至一個(gè)構(gòu)件監(jiān)視 服務(wù)器(CMS)485。或者，該構(gòu)件監(jiān)視服務(wù)器485或冗余主機(jī)網(wǎng)絡(luò)鏈路416可以與該網(wǎng)絡(luò)內(nèi) 的其它節(jié)點(diǎn)連接。低溫泵1 440操作作為該網(wǎng)絡(luò)400的一個(gè)“超級(jí)節(jié)點(diǎn)”或者作為一個(gè)“過(guò)程主控 器”，其意謂其是實(shí)施額外的功能，以管理該真空網(wǎng)絡(luò)400及/或控制該節(jié)點(diǎn)構(gòu)件450、460及470處的過(guò)程。該節(jié)點(diǎn)440、450、460及470之一或多個(gè)可以被建構(gòu)成具有操作作為一個(gè)過(guò) 程主控器或一個(gè)超級(jí)節(jié)點(diǎn)的能力。于一個(gè)超級(jí)節(jié)點(diǎn)的組態(tài)中，該主機(jī)410指定該些節(jié)點(diǎn)的 一個(gè)單一節(jié)點(diǎn)作為該超級(jí)節(jié)點(diǎn)，或者該些節(jié)點(diǎn)可以于該些節(jié)點(diǎn)之間仲裁。作為指定的超級(jí) 節(jié)點(diǎn)，低溫泵1 440是實(shí)施網(wǎng)絡(luò)管理，控制網(wǎng)絡(luò)鏈路435A-D的一個(gè)斷接的指定，及控制該真 空控制系統(tǒng)的所有或大致上所有操作過(guò)程。或者，于一個(gè)過(guò)程主控器組態(tài)中，多個(gè)節(jié)點(diǎn)被選 擇作為過(guò)程主控器，其中，每一個(gè)節(jié)點(diǎn)控制一個(gè)個(gè)別組過(guò)程。該個(gè)別組過(guò)程可以彼此不同， 藉此提供給每一個(gè)過(guò)程主控器一個(gè)不同的責(zé)任、管理及控制的指定。為了容納節(jié)點(diǎn)選擇作 為過(guò)程主控器，該些節(jié)點(diǎn)的某些或全部(例如節(jié)點(diǎn)440，450，460，470)可以藉由硬件、軟件 及顯示對(duì)于可以被指定給多個(gè)節(jié)點(diǎn)的過(guò)程的任一個(gè)或全部的控制所需的網(wǎng)絡(luò)接口而建構(gòu)。 作為一個(gè)選擇的過(guò)程主控器，舉例而言，低溫泵1 440可以被選擇作為針對(duì)網(wǎng)絡(luò)管理過(guò)程 的過(guò)程主控器。假設(shè)所有網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A-D系為可操作的，于初始化該真空控制網(wǎng)絡(luò)400 時(shí)，低溫泵1 440 (作為一個(gè)過(guò)程主控器或超級(jí)節(jié)點(diǎn))是藉由映像一個(gè)“虛擬斷接”至個(gè)別 節(jié)點(diǎn)(低溫泵1 440及低溫泵2 450)之間的網(wǎng)絡(luò)而禁能一個(gè)諸如435A的網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段。于 如此實(shí)施之下，低溫泵1 440指示其本身及低溫泵2 450，以避免通過(guò)網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435傳送 任何通訊訊息。因此，剩余的網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435B-D形成一個(gè)網(wǎng)絡(luò)總線，節(jié)點(diǎn)間通訊及與主機(jī) 410的通訊是通過(guò)該網(wǎng)絡(luò)總線而被傳送。圖4b為一個(gè)錯(cuò)誤于一個(gè)網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段內(nèi)之后的真空控制網(wǎng)絡(luò)400的一個(gè)方塊圖。于 此，網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435B變成禁能的，其可以肇因于在一個(gè)節(jié)點(diǎn)處連接該連網(wǎng)硬件(例如以太 網(wǎng)絡(luò)開關(guān))的實(shí)體線的錯(cuò)誤或該節(jié)點(diǎn)處的設(shè)備被移除或完全不可操作。于此錯(cuò)誤之前，低 溫泵1 440藉由映像一個(gè)虛擬斷接至該片段435A而導(dǎo)致網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A被禁能，如示于 圖4a。返回圖4b，可看見(jiàn)的是，除了網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435B處的目前錯(cuò)誤之外，映像至網(wǎng)絡(luò)環(huán)片 段435A的先前的斷接是防止該網(wǎng)絡(luò)400的低溫泵2 450及其它節(jié)點(diǎn)之間的通訊。真空泵3 460舉例而言，藉由偵測(cè)封包錯(cuò)誤或發(fā)出一個(gè)周期性的ICMP “回波請(qǐng) 求(echo request)”及傾聽(tīng)自其它節(jié)點(diǎn)而來(lái)的一個(gè)對(duì)應(yīng)的“回波響應(yīng)”，而監(jiān)視網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段 435B-C上的網(wǎng)絡(luò)通訊。因此，真空泵3 460偵測(cè)于網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435B上的斷接，且傳送一個(gè) 指示該斷接的位置的錯(cuò)誤報(bào)告給低溫泵1 440。可替代地或此外，低溫泵2 450可以偵測(cè)于 網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435B處的斷接，且藉由致能網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A及傳送對(duì)應(yīng)的錯(cuò)誤報(bào)告跨越該網(wǎng) 絡(luò)環(huán)片段435A，而傳送該報(bào)告至低溫泵1 440?；蛘?，本發(fā)明的實(shí)施例可以采用擴(kuò)充樹協(xié)議(Spanning Tree protocol)，一個(gè)致 能以太網(wǎng)絡(luò)冗余的通訊協(xié)議。于擴(kuò)充樹協(xié)定中，于低溫泵1 440處的根節(jié)點(diǎn)是于一個(gè)循環(huán) 間隔(例如，2秒)下傳送拓樸信息至節(jié)點(diǎn)低溫泵2 450、真空泵3 460及壓縮器470處的 各種開關(guān)，且接收一個(gè)響應(yīng)，其指示是否每一個(gè)開關(guān)能夠驗(yàn)證此拓樸。假如不是，則其是于 其的拓樸表中實(shí)施適當(dāng)?shù)耐貥愀淖?，且傳送這些改變至該些開關(guān)。每一個(gè)開關(guān)建構(gòu)成回應(yīng) 一個(gè)在擴(kuò)充樹協(xié)議下定義的接收到的拓樸。為了響應(yīng)由低溫泵2 450所傳送的報(bào)告，低溫泵1 440 (作為一個(gè)過(guò)程主控器或超 級(jí)節(jié)點(diǎn))為移除于網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A的虛擬連結(jié)，且映像一個(gè)斷接至網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435B。于如 此實(shí)施時(shí)，低溫泵1 440藉由透網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A傳送指令至低溫泵2 450而致能網(wǎng)絡(luò)環(huán)片 段435A，以通過(guò)網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A傳送網(wǎng)絡(luò)封包。再者，低溫泵1 440傳送指令至低溫泵2 450及真空泵3 460，以禁能網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435B上的通訊。因此，網(wǎng)絡(luò)400被建構(gòu)成持續(xù)于所有節(jié)點(diǎn)之間操作及通訊，以響應(yīng)于該網(wǎng)絡(luò)400中的一個(gè)錯(cuò)誤。針對(duì)一個(gè)錯(cuò)誤事件于每一個(gè) 節(jié)點(diǎn)處的過(guò)程于下文參照?qǐng)D5a至c作更詳細(xì)敘述。圖5a為一個(gè)流程圖，其顯示可以被圖4a至b的低溫泵1 440所采用以用于初始 化網(wǎng)絡(luò)400、偵測(cè)錯(cuò)誤及自該錯(cuò)誤復(fù)原的方法。參照?qǐng)D4a，低溫泵1 440(作為一個(gè)過(guò)程主 控器或超級(jí)節(jié)點(diǎn))與該主機(jī)410通訊，其可以自該主機(jī)410接收關(guān)于初始化及建構(gòu)該網(wǎng)絡(luò) 400及對(duì)應(yīng)的真空控制系統(tǒng)的指令(510)。如此的指令可以關(guān)于，舉例而言，用于該網(wǎng)絡(luò)400 上的真空泵440、450、460及470的每一個(gè)的運(yùn)算命令及設(shè)定，以及一個(gè)辨識(shí)及初始化每一 個(gè)節(jié)點(diǎn)的程序。低溫泵1 440亦可以確認(rèn)網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A-D的每一個(gè)是藉由于該網(wǎng)絡(luò)400 上廣播狀態(tài)指示器而被致能。一旦其確認(rèn)網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A-D的每一個(gè)被致能，低溫泵1指定網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A 作為一個(gè)虛擬斷接，如上文所述(515)。因此，低溫泵1是通過(guò)網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435D繞接所有節(jié) 點(diǎn)間通訊，且監(jiān)視網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435D的狀態(tài)以及網(wǎng)絡(luò)400的狀態(tài)(525)。于監(jiān)視網(wǎng)絡(luò)狀態(tài)之 下，低溫泵1 440傾聽(tīng)起源于其它節(jié)點(diǎn)的報(bào)告，以偵測(cè)該網(wǎng)絡(luò)400上的一個(gè)錯(cuò)誤(530)。假 如一個(gè)錯(cuò)誤被報(bào)告，則該錯(cuò)誤的位置被決定(535)。參照?qǐng)D4b，舉例而言，真空泵3 460報(bào) 告網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435B上的錯(cuò)誤，其向低溫泵1 440指示該錯(cuò)誤的位置。低溫泵1 440致能網(wǎng) 絡(luò)環(huán)片段435A，且映像一個(gè)斷接至網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435B，藉此致能一個(gè)包含網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A、 網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435D及網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435C的通訊總線。然而，在映像該斷接至網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435B之前，該些網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)的每一個(gè)可以已經(jīng)建 構(gòu)成通過(guò)對(duì)應(yīng)于一個(gè)網(wǎng)絡(luò)路徑的特定端口而繞接網(wǎng)絡(luò)訊號(hào)流至接收的節(jié)點(diǎn)。一個(gè)如此的建 構(gòu)方法參照?qǐng)D5c于下文敘述。網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435B及網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A的該致能及禁能可以 分別導(dǎo)致如此的建構(gòu)成為不能實(shí)行的。因此，低溫泵1 440廣播一個(gè)“地址建構(gòu)重置”命令 至該網(wǎng)絡(luò)400上所有節(jié)點(diǎn)，導(dǎo)致每一個(gè)節(jié)點(diǎn)重置繞接組態(tài)，及鑒于重新建構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)400而重 新建構(gòu)這些設(shè)定。圖5b為一個(gè)流程圖，其顯示可以被圖4a至b的低溫泵2 450所采用以用于建構(gòu) 及監(jiān)視該節(jié)點(diǎn)的網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)流的方法。當(dāng)?shù)蜏乇? 440指定網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A作為一個(gè)虛擬 斷接時(shí)(515)，低溫泵2 450藉由禁能經(jīng)過(guò)網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A的數(shù)據(jù)流而接收及實(shí)施此指定 (560)。因此，所有網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)流通過(guò)網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435B而被繞接，且低溫泵2 450監(jiān)視網(wǎng)絡(luò)環(huán) 片段435B的整體性(565)。當(dāng)?shù)蜏乇? 450偵測(cè)到網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435B內(nèi)的一個(gè)錯(cuò)誤時(shí)，其可 以致能網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A(雖然其被指定為一個(gè)虛擬斷接)，以將該錯(cuò)誤向低溫泵1 440報(bào)告。圖5c為一個(gè)流程圖，其顯示可以被圖4a至b的真空泵3 460所采用以用于建構(gòu) 及再建構(gòu)網(wǎng)絡(luò)尋址及數(shù)據(jù)流的方法。此方法可以被其它節(jié)點(diǎn)采用，諸如低溫泵1 440、低溫 泵2 450及壓縮器470，以用于決定網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)流設(shè)定。于建構(gòu)之前，真空泵3 460可能不具 有關(guān)于該網(wǎng)絡(luò)400內(nèi)其它節(jié)點(diǎn)的信息，包含其的位置，且因此可能并不知道哪一個(gè)網(wǎng)絡(luò)被 使用于傳送至一個(gè)特定的節(jié)點(diǎn)。因此，真空泵3 460反而是于網(wǎng)絡(luò)端口上廣播一個(gè)接收節(jié) 點(diǎn)的位置，諸如低溫泵1 440。因此一個(gè)網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段系被禁能(例如，網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A)，真 空泵3 460將僅于一個(gè)端口(例如，連接至網(wǎng)絡(luò)鏈路435C的端口)處接收自接收節(jié)點(diǎn)而來(lái) 的響應(yīng)(592)。真空泵3 460指定此端口用于傳送網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)流至該接收節(jié)點(diǎn)(594)。上述 程序?qū)τ谝粋€(gè)端口尚未被指定的每一個(gè)新的接收地址重復(fù)實(shí)施。為了回應(yīng)于一個(gè)舉例而言由低溫泵1 440所發(fā)出的重置命令(545)，真空泵3 460重置所有如此的指定(594)，且返 回廣播每一個(gè)接收節(jié)點(diǎn)的地址(590)，藉此根據(jù)一個(gè)重新建構(gòu)網(wǎng)絡(luò)400而建立指定端口。圖6為一個(gè)顯示圖4的真空控制系統(tǒng)的節(jié)點(diǎn)處及節(jié)點(diǎn)之間的通訊及過(guò)程，且可以 結(jié)合上文參照?qǐng)D5a至c的方法。超級(jí)節(jié)點(diǎn)低溫泵1 440顯示于狀態(tài)圖的右方及左方兩者， 以顯示其與壓縮器470及低溫泵2 450的連接。于狀態(tài)610中，網(wǎng)絡(luò)400是以一個(gè)映像于 網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A的虛擬斷接而建構(gòu)，虛擬斷接如低溫泵1 440及低溫泵2 450之間的“X” 所顯示。根據(jù)示于圖5c的方法，真空泵3 460為廣播一個(gè)尋址至低溫泵2 450的封包。左 邊封包是通過(guò)網(wǎng)絡(luò)400而傳遞，其中，其終止于低溫泵1 440，此是由于網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A處 的斷接。右邊封包是于低溫泵2 450處被接收及確認(rèn)。為了響應(yīng)，于狀態(tài)620中，低溫泵2 450指派(指定)其的右邊端口，以用于與真空泵3 460通訊，且傳送一個(gè)響應(yīng)至真空泵3 460。類似地，真空泵3 460接收該回應(yīng)，且指定其的右邊端口，以用于與低溫泵2 450的進(jìn) 一步通訊。于狀態(tài)630中，低溫泵2 450偵測(cè)于網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435B處的錯(cuò)誤，如示于其左方的 一個(gè)“X”。于狀態(tài)640中，低溫泵2 450致能網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A，以傳送一個(gè)錯(cuò)誤報(bào)告至低溫 泵1 440。低溫泵1 440確認(rèn)該錯(cuò)誤報(bào)告，且重新建構(gòu)該網(wǎng)絡(luò)400，以分別致能及禁能網(wǎng)絡(luò) 環(huán)片段435A及網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435B。為了傳遞此組態(tài)至所有節(jié)點(diǎn)，低溫泵1 440于狀態(tài)650之下于該網(wǎng)絡(luò)400廣播一 個(gè)地址組態(tài)重置(端口重置)，其是于所有其它節(jié)點(diǎn)處被確認(rèn)，且導(dǎo)致這些節(jié)點(diǎn)重置地址端 口指定。因此，于狀態(tài)660中，真空泵3 460重復(fù)于狀態(tài)610處之前一個(gè)廣播，且除了網(wǎng)絡(luò) 環(huán)片段435B，而非網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段435A，被禁能。因此，朝向低溫泵2 450的廣播僅于真空泵3 460的左邊端口處被傳送。該廣播封包跨越該網(wǎng)絡(luò)400而被傳送至低溫泵2 450，其接收及 確認(rèn)該封包。于狀態(tài)670中，低溫泵2 450指定其的右邊端口用于與真空泵3 460通訊，且 傳送一個(gè)響應(yīng)至真空泵3 460。類似地，真空泵3 460接收該回應(yīng)，且指定其的左邊端口用 于與低溫泵2 450的進(jìn)一步通訊。圖7為一個(gè)具有一個(gè)星形拓樸內(nèi)的分布式控制功能及錯(cuò)誤容許控制的真空控制 系統(tǒng)700的示意網(wǎng)絡(luò)圖。低溫泵1 740被指定為一個(gè)“主控”節(jié)點(diǎn)，其為一個(gè)過(guò)程主控制 器或一個(gè)超級(jí)節(jié)點(diǎn)，且響應(yīng)于由主機(jī)710所發(fā)出的如此的命令，且作為該真空系統(tǒng)控制器。 于一個(gè)超級(jí)節(jié)點(diǎn)組態(tài)中，指定的超級(jí)節(jié)點(diǎn)可以建構(gòu)成控制于每一個(gè)其它節(jié)點(diǎn)的所有功能操 作，包含于低溫泵、壓縮器及其它真空構(gòu)件的功能。舉例而言，超級(jí)節(jié)點(diǎn)可以監(jiān)視及控制每 一個(gè)節(jié)點(diǎn)的馬達(dá)速度或溫度，管理一個(gè)壓縮器處的氦分配，或者可以藉由協(xié)調(diào)多個(gè)低溫泵 內(nèi)的再生而起始一個(gè)再生過(guò)程。于一個(gè)過(guò)程主控制器組態(tài)中，操作過(guò)程可以于多個(gè)選擇成 為過(guò)程主控制器的節(jié)點(diǎn)之間分配，其中，該些過(guò)程主控制器的每一個(gè)可以顯示對(duì)于其它節(jié) 點(diǎn)的控制，以管理其的個(gè)別的操作過(guò)程。如此的操作過(guò)程能夠包含，舉例而言，與一個(gè)網(wǎng)絡(luò) 主機(jī)的通訊，網(wǎng)絡(luò)監(jiān)視及管理，氦管理，構(gòu)件監(jiān)視及操作數(shù)據(jù)收集，安全互鎖的控制，低溫泵 再生，粗抽及凈化級(jí)，及控制低溫泵構(gòu)件互鎖。該真空控制系統(tǒng)700的這些及其它操作過(guò)程 可以于一組分散于多個(gè)節(jié)點(diǎn)的過(guò)程之下被考慮，其中，每一個(gè)被選擇作為一個(gè)過(guò)程主控制 器的節(jié)點(diǎn)被指定這些過(guò)程的一個(gè)子集。低溫泵的每一個(gè)以及其它真空系統(tǒng)構(gòu)件740、750及760可以包含邏輯，以操作 作為一個(gè)主控節(jié)點(diǎn)(亦即，作為一個(gè)過(guò)程主控器或超級(jí)節(jié)點(diǎn))，于此情況下，真空系統(tǒng)構(gòu)件740、750及760的任一個(gè)可以被指定為一或多個(gè)操作過(guò)程的一個(gè)主控器，或者可以取得如 此的過(guò)程的控制，以響應(yīng)于先前指定低溫泵或真空系統(tǒng)構(gòu)作變成不可使用或錯(cuò)誤。假如如 此的一個(gè)變成不可使用的節(jié)點(diǎn)為一個(gè)超級(jí)節(jié)點(diǎn)，則另一個(gè)低溫泵可以被選擇成為超級(jí)節(jié) 點(diǎn)。于該網(wǎng)絡(luò)的初始化及響應(yīng)于一個(gè)錯(cuò)誤兩者的期間，一個(gè)超級(jí)節(jié)點(diǎn)的選擇或指定過(guò)程至 多個(gè)過(guò)程主控器可以被一個(gè)網(wǎng)絡(luò)主機(jī)710所控制，或者可以藉由于多個(gè)節(jié)點(diǎn)740、750、760 及770之間仲裁而完成。真空控制網(wǎng)絡(luò)軟件將認(rèn)知控制器的損失，且重新指定一個(gè)新的節(jié) 點(diǎn)作為一個(gè)過(guò)程主控器或用于真空網(wǎng)絡(luò)控制器的超級(jí)節(jié)點(diǎn)。當(dāng)?shù)蜏乇? 740的錯(cuò)誤或移除 是于該網(wǎng)絡(luò)上被偵測(cè)出時(shí)，該真空網(wǎng)絡(luò)或操作過(guò)程的控制可以自低溫泵1 740傳送至真空 泵3 760。決定一個(gè)主控節(jié)點(diǎn)的喪失的方法可以包含該主控器的回波檢查的偵測(cè)的節(jié)點(diǎn)喪 失或者喪失該主控器對(duì)于該些節(jié)點(diǎn)所傳送的回波檢查的回應(yīng)，且傳送該“主控”節(jié)點(diǎn)功能至 該階層表上線上的下一個(gè)，該表的構(gòu)件及狀態(tài)自動(dòng)更新。低溫泵1 740包含硬件及軟件，以作為用于實(shí)施多個(gè)過(guò)程的真空系統(tǒng)控制器，以 響應(yīng)于自主機(jī)710而來(lái)的指令。于某些如此的過(guò)程中，每一個(gè)低溫泵及壓縮器可以被建構(gòu) 成用于實(shí)施這些過(guò)程，以響應(yīng)于自該主機(jī)710而來(lái)的高階指令，其意謂每一個(gè)低溫泵及壓 縮器節(jié)點(diǎn)可以被選擇成為一個(gè)用于多個(gè)操作過(guò)程的任一個(gè)的過(guò)程主控器。舉例而言，低溫 泵2 750及壓縮器770可以使用一個(gè)類似于如上文所述的低溫泵1 740的方式建構(gòu)，藉此 可以被選擇作為一個(gè)過(guò)程主控器。于其它系統(tǒng)過(guò)程中，特別是需要于多個(gè)系統(tǒng)構(gòu)件(亦即， 低溫泵及壓縮器)之間協(xié)調(diào)的過(guò)程，一個(gè)“主控”節(jié)點(diǎn)(包含一個(gè)低溫泵、壓縮器或其它真 空系統(tǒng)構(gòu)件)可以控制其它系統(tǒng)處的過(guò)程，以完成該過(guò)程。舉例而言，作為一個(gè)超級(jí)節(jié)點(diǎn)或 作為一個(gè)用于再生過(guò)程的過(guò)程主控器的低溫泵1 740可以接收指令，以實(shí)施一個(gè)群組再生 以于該些低溫泵740、750、760的每一個(gè)低泵面板處蒸發(fā)捕獲的氣體。為了最佳化再生，低 溫泵1 740控制其它低溫泵750、760，以協(xié)調(diào)低溫泵740、750、760之間的再生的階段。特 別是，于起始時(shí)或于再生的“粗抽”階段，低溫泵1 740可以同時(shí)對(duì)于所有低溫泵740、750、 760致能接取一個(gè)粗抽歧管(未顯示)。一旦起始階段完成，低溫泵1 740可以防止多個(gè)低 溫泵接取該粗抽歧管，反而是致能于一個(gè)交替順序下一次接取一個(gè)低溫泵，藉此防止于多 個(gè)低溫泵之間氣體的交互污染。類似地，壓縮器770建構(gòu)成自主地或響應(yīng)于由主機(jī)710或低溫泵1 740所提供的 指令而實(shí)施某些功能，而非直接被該主機(jī)710控制。舉例而言，該壓縮器能夠建構(gòu)成作為一 個(gè)用于氦管理的過(guò)程主控器，藉由監(jiān)視于每一個(gè)低溫泵的氦壓力及操作條件，管理至每一 個(gè)低溫泵740、750、760的每一個(gè)的氦供應(yīng)。氦管理可以藉由通過(guò)該網(wǎng)絡(luò)與每一個(gè)低溫泵通 訊、通過(guò)傳感器測(cè)量氦壓力或者上述兩者而完成。根據(jù)此監(jiān)視，該壓縮器770因而可以增加 或減少分配給每一個(gè)低溫泵的氦。該壓縮器亦能夠收集操作數(shù)據(jù)，如上文所述，以用于傳送 至一個(gè)構(gòu)件監(jiān)視服務(wù)器785。如圖所示的真空控制系統(tǒng)700建構(gòu)為一個(gè)集中化網(wǎng)絡(luò)，其中，每一個(gè)節(jié)點(diǎn)(亦即， 低溫泵740、750、760及壓縮器770)連接至一個(gè)中央網(wǎng)絡(luò)集線器712，以用于該些節(jié)點(diǎn)之間 及該主機(jī)710的通訊?；蛘?，該系統(tǒng)700可以建構(gòu)為一個(gè)以太網(wǎng)絡(luò)環(huán)網(wǎng)絡(luò)，諸如參照?qǐng)D3于 上文所敘述的網(wǎng)絡(luò)300。如此的組態(tài)能夠致能一個(gè)簡(jiǎn)化的網(wǎng)絡(luò)拓樸及自網(wǎng)絡(luò)錯(cuò)誤中回復(fù)，同 時(shí)亦致能真空控制系統(tǒng)構(gòu)件之間的分配功能。雖然本發(fā)明已經(jīng)參照其的示范實(shí)施例而特別地予以顯示及敘述，熟悉本項(xiàng)技術(shù)者將了解的是，形式及細(xì)節(jié)上許多變化可以于本文在不偏離由權(quán)利要求書所涵蓋的本發(fā)明的 范疇之下實(shí)施。
權(quán)利要求
一種真空控制網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)，其具有多個(gè)節(jié)點(diǎn)，該系統(tǒng)包含一個(gè)第一節(jié)點(diǎn)，其包含一個(gè)第一低溫泵及一個(gè)第一網(wǎng)絡(luò)通訊接口；及一個(gè)第二節(jié)點(diǎn)，其包含一個(gè)第二網(wǎng)絡(luò)通訊接口，該第二節(jié)點(diǎn)建構(gòu)成控制該第一低溫泵處的過(guò)程。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，該第二節(jié)點(diǎn)進(jìn)一步包含一個(gè)第二低溫泵，且該第一 節(jié)點(diǎn)建構(gòu)成控制該第一低溫泵及該第二低溫泵處的過(guò)程。
3.如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其中，該網(wǎng)絡(luò)內(nèi)的多個(gè)節(jié)點(diǎn)的每一個(gè)建構(gòu)成控制該網(wǎng)絡(luò) 的其它節(jié)點(diǎn)的過(guò)程，且被選擇作為一個(gè)主控器。
4.如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包含一個(gè)網(wǎng)絡(luò)主機(jī)，該網(wǎng)絡(luò)主機(jī)建構(gòu)成選擇該 第一及第二節(jié)點(diǎn)之一作為一個(gè)主控器。
5.如權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中，該網(wǎng)絡(luò)主機(jī)于偵測(cè)到主機(jī)節(jié)點(diǎn)處的一個(gè)錯(cuò)誤時(shí)，指 定該第一及第二節(jié)點(diǎn)的另一個(gè)作為主控節(jié)點(diǎn)。
6.如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中，該多個(gè)節(jié)點(diǎn)的每一個(gè)彼此仲裁，以選擇一個(gè)主控器。
7.如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中，一個(gè)單一節(jié)點(diǎn)被選擇作為一個(gè)主控器，該主控器為 一個(gè)超級(jí)節(jié)點(diǎn)。
8.如權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其中，于偵測(cè)到該超級(jí)節(jié)點(diǎn)的一個(gè)錯(cuò)誤時(shí)，該多個(gè)節(jié)點(diǎn)的 其它節(jié)點(diǎn)彼此仲裁，以選擇一個(gè)繼任超級(jí)節(jié)點(diǎn)。
9.如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中，多個(gè)節(jié)點(diǎn)可被選擇作為過(guò)程主控器。
10.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中，該第一及第二節(jié)點(diǎn)被選擇作為過(guò)程主控器，該第 一節(jié)點(diǎn)控制一個(gè)與該第一及第二低溫泵相關(guān)的第一組過(guò)程，該第二節(jié)點(diǎn)控制一個(gè)與該第一 及第二低溫泵相關(guān)的第一組過(guò)程，該第一組包含至少一個(gè)與該第二組不同的過(guò)程。
11.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中，該第一及第二組過(guò)程的每一個(gè)包含下列之一或 多個(gè)與一個(gè)網(wǎng)絡(luò)主機(jī)的通訊，網(wǎng)絡(luò)管理，氦管理，構(gòu)件監(jiān)視及操作數(shù)據(jù)收集，安全互鎖的控 制，低溫泵再生，粗抽及凈化級(jí)，及控制低溫泵構(gòu)件互鎖。
12.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包含一個(gè)網(wǎng)絡(luò)主機(jī)，該網(wǎng)絡(luò)主機(jī)建構(gòu)成指定 過(guò)程至該第一及第二組過(guò)程。
13.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中，該第一及第二節(jié)點(diǎn)建構(gòu)成彼此通訊，以指定過(guò)程 至該第一及第二組過(guò)程。
14.如權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中，該些節(jié)點(diǎn)響應(yīng)于接收將于該多個(gè)節(jié)點(diǎn)之間分配 的第三組過(guò)程，而于該第一及第二節(jié)點(diǎn)之一或者兩者處通訊。
15.如權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中，該第一及第二節(jié)點(diǎn)兩者建構(gòu)成包含完成第三組 的所有過(guò)程的能力。
16.如權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包含一個(gè)第三節(jié)點(diǎn)，其具有一個(gè)第三網(wǎng)絡(luò)接 口，該第三組過(guò)程于包含該第三節(jié)點(diǎn)的多個(gè)節(jié)點(diǎn)之間分配。
17.如權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中，該第三節(jié)點(diǎn)建構(gòu)成于偵測(cè)到第一節(jié)點(diǎn)的一個(gè)錯(cuò) 誤時(shí)，控制該第一組過(guò)程的至少一個(gè)過(guò)程。
18.如權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中，該第三節(jié)點(diǎn)進(jìn)一步包含一個(gè)壓縮器。
19.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中，該第一節(jié)點(diǎn)建構(gòu)成于偵測(cè)到第二節(jié)點(diǎn)的一個(gè)錯(cuò)誤時(shí)，將該第二組的至少一個(gè)過(guò)程輸入至該第一組之中，以控制該第二組的至少一個(gè)過(guò)程。
20.一種真空控制網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)，其包含多個(gè)節(jié)點(diǎn)，至少一個(gè)節(jié)點(diǎn)包含一個(gè)低溫泵；網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段，其于節(jié)點(diǎn)對(duì)之間，形成一個(gè)具有多個(gè)節(jié)點(diǎn)的環(huán)；及一個(gè)網(wǎng)絡(luò)控制器，其建構(gòu)成決定該網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段的一個(gè)錯(cuò)誤，且控制網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段的致能 及禁能。
21.如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中，該網(wǎng)絡(luò)控制器建構(gòu)成禁能該網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段之一，而 不論該網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段或相關(guān)節(jié)點(diǎn)的整體性。
22.如權(quán)利要求21所述的系統(tǒng)，其中，該多個(gè)節(jié)點(diǎn)建構(gòu)成通過(guò)一個(gè)由被致能的網(wǎng)絡(luò)環(huán) 片段所形成的總線而通訊。
23.如權(quán)利要求21所述的系統(tǒng)，其中，該網(wǎng)絡(luò)控制器為了響應(yīng)于接收一個(gè)指示一個(gè)錯(cuò) 誤的網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段或節(jié)點(diǎn)的錯(cuò)誤報(bào)告，而致能被禁能的網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段及禁能錯(cuò)誤的網(wǎng)絡(luò)環(huán)片 段。
24.如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中，該網(wǎng)絡(luò)控制器包含于多個(gè)節(jié)點(diǎn)的一個(gè)第一節(jié)點(diǎn) 處的電路。
25.如權(quán)利要求24所述的系統(tǒng)，其中，該多個(gè)節(jié)點(diǎn)的一個(gè)第二節(jié)點(diǎn)建構(gòu)成向該第一節(jié) 點(diǎn)報(bào)告網(wǎng)絡(luò)連接錯(cuò)誤。
26.如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中，至少一個(gè)節(jié)點(diǎn)建構(gòu)成監(jiān)視及偵測(cè)相鄰網(wǎng)絡(luò)環(huán)片 段內(nèi)的錯(cuò)誤。
27.如權(quán)利要求26所述的系統(tǒng)，其中，該至少一個(gè)節(jié)點(diǎn)進(jìn)一步建構(gòu)成自一個(gè)共同節(jié)點(diǎn) 報(bào)告一個(gè)偵測(cè)出的錯(cuò)誤。
28.如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中，至少一個(gè)節(jié)點(diǎn)可通訊地連接至一個(gè)真空工具控 制器，以通過(guò)跨越該些網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段的通訊而控制該至少一個(gè)低溫泵。
29.如權(quán)利要求28所述的系統(tǒng)，其進(jìn)一步包含一個(gè)冗余訊號(hào)路徑，其于一個(gè)第二節(jié)點(diǎn) 及該真空工具控制器之間。
30.如權(quán)利要求28所述的系統(tǒng)，其中，該網(wǎng)絡(luò)控制器包含于該真空工具控制器處的電路。
31.如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中，至少一個(gè)節(jié)點(diǎn)包含用于控制該低溫泵處的安全 互鎖的邏輯電路。
32.如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中，該多個(gè)節(jié)點(diǎn)的一個(gè)額外的節(jié)點(diǎn)包含一個(gè)壓縮器 及用于管理氦分配至該低溫泵的邏輯電路。
33.如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中，該低溫泵為一個(gè)第一低溫泵，且該多個(gè)節(jié)點(diǎn)的一 個(gè)額外的節(jié)點(diǎn)包含一個(gè)第二低溫泵，該至少一個(gè)節(jié)點(diǎn)包含用于控制該第一及第二低溫泵接 取一個(gè)共同真空歧管的邏輯電路。
34.如權(quán)利要求33所述的系統(tǒng)，其中，該邏輯電路進(jìn)一步建構(gòu)成用于在該多個(gè)節(jié)點(diǎn)之 一或多個(gè)低溫泵或壓縮器處監(jiān)視及控制下列之一或多個(gè)馬達(dá)速度、溫度、再生過(guò)程及氦分 配。
35.如權(quán)利要求33所述的系統(tǒng)，其中，該邏輯電路進(jìn)一步建構(gòu)成用于大致上控制于該 第一及第二低溫泵的所有操作。
36.如權(quán)利要求33所述的系統(tǒng)，其中，該額外的節(jié)點(diǎn)包含用于控制該第一及第二低溫 泵接取一個(gè)共同真空歧管的邏輯電路，該額外的節(jié)點(diǎn)建構(gòu)成實(shí)施該控制，以回應(yīng)于至少一 個(gè)節(jié)點(diǎn)終止該控制。
37.如權(quán)利要求33所述的系統(tǒng)，其中，該多個(gè)節(jié)點(diǎn)包含下列之一或多個(gè)于多個(gè)節(jié)點(diǎn)之 一或多個(gè)的渦輪分子泵、粗抽泵及壓力量器。
38.如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中，該多個(gè)節(jié)點(diǎn)的至少一個(gè)節(jié)點(diǎn)建構(gòu)成用于傳送關(guān) 于多個(gè)節(jié)點(diǎn)之一或多個(gè)的操作的數(shù)據(jù)至一個(gè)外部的構(gòu)件管理服務(wù)器。
39.如權(quán)利要求38所述的系統(tǒng)，其中，該多個(gè)節(jié)點(diǎn)的一個(gè)第二節(jié)點(diǎn)建構(gòu)成用于傳送關(guān) 于多個(gè)節(jié)點(diǎn)之一或多個(gè)的操作的數(shù)據(jù)至一個(gè)外部的構(gòu)件管理服務(wù)器。
40.一種提供真空控制系統(tǒng)的方法，該真空控制系統(tǒng)具有多個(gè)建構(gòu)成于一個(gè)環(huán)網(wǎng)絡(luò)內(nèi) 的節(jié)點(diǎn)，該方法包含于環(huán)網(wǎng)絡(luò)的一個(gè)第一節(jié)點(diǎn)處傳送一個(gè)訊號(hào)橫跨該環(huán)網(wǎng)絡(luò)，該環(huán)網(wǎng)絡(luò)具有一個(gè)對(duì)應(yīng)于該 環(huán)網(wǎng)絡(luò)的一個(gè)第二節(jié)點(diǎn)的地址；于該第一節(jié)點(diǎn)處，根據(jù)該第二節(jié)點(diǎn)響應(yīng)于該訊號(hào)而來(lái)的通訊而建構(gòu)橫跨該環(huán)網(wǎng)絡(luò)的通 訊方向，該第二節(jié)點(diǎn)包含一個(gè)真空泵；及于該第一節(jié)點(diǎn)處再建構(gòu)通訊的方向，以響應(yīng)于一個(gè)自另一個(gè)節(jié)點(diǎn)接收而來(lái)的訊號(hào)。
41.一種管理真空控制系統(tǒng)的方法，該真空控制系統(tǒng)具有多個(gè)節(jié)點(diǎn)，其被網(wǎng)絡(luò)片段連 接，以形成一個(gè)具有多個(gè)節(jié)點(diǎn)的環(huán)，至少一個(gè)節(jié)點(diǎn)包含一個(gè)低溫泵，該方法包含禁能一個(gè)第一網(wǎng)絡(luò)連接器，而不論該第一網(wǎng)絡(luò)連接器的完整性； 于該多個(gè)節(jié)點(diǎn)的兩個(gè)或更多個(gè)處，監(jiān)視鄰接該兩個(gè)或更多個(gè)節(jié)點(diǎn)的每一個(gè)的網(wǎng)絡(luò)連接 器的完整性；于一個(gè)節(jié)點(diǎn)處，偵測(cè)一個(gè)第二網(wǎng)絡(luò)連接器處的錯(cuò)誤，該第二網(wǎng)絡(luò)連接器相鄰于該節(jié)占.^ w\ 致能第一網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段；及 禁能第二網(wǎng)絡(luò)環(huán)片段。
全文摘要
一種真空網(wǎng)絡(luò)控制系統(tǒng)包含多個(gè)節(jié)點(diǎn)，其建構(gòu)成用于控制該系統(tǒng)的操作過(guò)程。該多個(gè)節(jié)點(diǎn)以一個(gè)網(wǎng)絡(luò)環(huán)或其它拓樸建構(gòu)，作為一個(gè)用于控制操作過(guò)程的可選擇的主節(jié)點(diǎn)。控制能夠分散于及傳通于每一個(gè)節(jié)點(diǎn)之間。該網(wǎng)絡(luò)上的每一個(gè)節(jié)點(diǎn)監(jiān)視相鄰網(wǎng)絡(luò)連接器，以偵測(cè)該網(wǎng)絡(luò)上一個(gè)錯(cuò)誤。為了回應(yīng)于一個(gè)偵測(cè)出的錯(cuò)誤，一個(gè)斷接映像至該錯(cuò)誤，且該網(wǎng)絡(luò)拓樸為重新建構(gòu)，以用于節(jié)點(diǎn)之間及與外部裝置的持續(xù)通訊。
文檔編號(hào)H04L12/28GK101933292SQ200980102849
公開日2010年12月29日 申請(qǐng)日期2009年1月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月22日
發(fā)明者丹尼爾·R.·詹金斯, 奧立佛·J.·杜馬斯, 約瑟夫二世·喬比, 約翰·J.·威榮, 羅勃·P.·蘇利文, 藍(lán)道爾·J.·麥唐諾 申請(qǐng)人:布魯克機(jī)械公司