專利名稱：固體攝像裝置以及幀數(shù)據(jù)修正方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種具備配置成二維的多個受光部的固體攝像裝置、以及、對從該固 體攝像裝置輸出的幀數(shù)據(jù)進行修正的幀數(shù)據(jù)修正方法。
背景技術(shù)：
作為固體攝像裝置，眾所周知的有使用CMOS技術(shù)的固體攝像裝置，其中尤以被動 式像素傳感器(PPS =Passive Pixel Sensor)方式的固體攝像裝置最為人所知(參照專利 文獻1)。PPS方式的固體攝像裝置具有包含產(chǎn)生與入射光強度相應的量的電荷的光電二極 管的PPS型像素部二維排列成M行N列的結(jié)構(gòu)。在各像素部中，對應于光入射而在光電二 極管中產(chǎn)生電荷被存儲在積分電路的電容元件中，并輸出對應于該存儲電荷量的電壓值。一般來說，屬于各列的M個像素部各自的輸出端經(jīng)由對應于該列而設(shè)置的讀取用 配線，而與對應于該列而設(shè)置的積分電路的輸入端連接。然后，在像素部的光電二極管產(chǎn)生 的電荷自第1行至第M行為止依次經(jīng)由對應的讀取用配線而被輸入至對應的積分電路，并 從該積分電路輸出與電荷量相應的電壓值。另外，屬于各行的N個像素部分別經(jīng)由對應于該行而設(shè)置的行選擇用配線，而與 控制部連接。根據(jù)從該控制部并經(jīng)由行選擇用配線傳送的行選擇控制信號，各像素部向讀 取用配線輸出在光電二極管中產(chǎn)生的電荷。PPS方式的固體攝像裝置可用于各種用途，例如PPS方式的固體攝像裝置與閃爍 器面板組合而作為X射線平板并用于醫(yī)療用途以及工業(yè)用途。進而，具體來說，PPS方式的 固體攝像用于X射線CT裝置或微聚焦X射線檢查裝置等中。用于上述用途的固體攝像裝置 具備二維排列有MXN個像素部的大面積的受光部，該受光部可以在各邊的長度超過IOcm 的大小的半導體基板上被集成化。因此，有時由1片半導體晶圓只能制造1個固體攝像裝 置。專利文獻1 日本特開2006-234557號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的問題發(fā)明者們就現(xiàn)有的固體攝像裝置進行討論研究的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)了以下的問題。即在 現(xiàn)有的固體攝像裝置中，在對應于任意的行的行選擇用配線在制造途中發(fā)生斷線的情況 下，屬于該行的N個像素部中的位于相對于控制部更靠近斷線位置處的像素部，通過行選 擇用配線而與控制部連接，但是，位于相對于控制部更遠離斷線位置處的像素部未與控制 部連接。即在現(xiàn)有的固體攝像裝置中，在位于相對于控制部更遠離斷線位置處的像素部 中，對應于光入射而在光電二極管中產(chǎn)生的電荷沒有向積分電路讀取，而是存儲于該光電 二極管的接合電容部中。如果存儲于光電二極管的接合電容部的電荷的量超過飽和電平， 則超過飽和電平的部分的電荷向相鄰的像素部溢出。
因此，在現(xiàn)有的固體攝像裝置中，在1條行選擇用配線發(fā)生斷線時，其影響不僅涉 及到與該行選擇用配線連接的行的像素部，而且也涉及到相鄰兩邊的行的像素部，其結(jié)果， 對于連續(xù)的3行像素部產(chǎn)生缺陷線。另一方面，如果缺陷線不連續(xù)，1條缺陷線的相鄰兩邊的線是正常線，則可以使用 該相鄰兩邊的正常線的各像素數(shù)據(jù)來對缺陷線的像素數(shù)據(jù)進行插補。但是，在對于連續(xù)的3 行像素部產(chǎn)生缺陷線的情況下，難以進行上述那樣的插補。特別是具有上述那樣的大面積 的受光部的固體攝像裝置，由于行選擇用配線長，因而產(chǎn)生斷線的概率高。在上述專利文獻1中，提出有試圖解決這樣的問題的技術(shù)。即在上述專利文獻1所 提出的技術(shù)中，求出位于缺陷線的相鄰處的鄰接線的全部像素數(shù)據(jù)的平均值以及位于下一 相鄰處的正常的幾條線的全部像素數(shù)據(jù)的平均值。如果該2個平均值的差為固定值以上， 則判斷鄰接線也是缺陷的，并修正該鄰接線的像素數(shù)據(jù)，進而，基于該鄰接線的像素數(shù)據(jù)的 修正后的值，來修正缺陷線的像素數(shù)據(jù)。在上述專利文獻1所提出的技術(shù)中，在修正判斷為缺陷的鄰接線的像素數(shù)據(jù)時， 求出相對于該鄰接線的兩側(cè)最近的正常線上的2個像素數(shù)據(jù)的平均值，且該平均值成為該 鄰接線的像素數(shù)據(jù)。另外，在修正缺陷線的像素數(shù)據(jù)時，求出相對于該缺陷線的兩側(cè)的鄰接 線上的2個像素數(shù)據(jù)的平均值，且該平均值成為該缺陷線的像素數(shù)據(jù)。但是，在上述專利文獻1所提出的技術(shù)中，為了修正缺陷線(以及在缺陷線的附近 被判斷為缺陷的線)的像素數(shù)據(jù)，反復多次進行求出2個像素數(shù)據(jù)的平均的處理，因此，在 修正后的圖像中，在缺陷線附近的解析度變低。本發(fā)明是為了解決上述那樣的問題而完成的，其目的在于，提供一種固體攝像裝 置以及幀數(shù)據(jù)修正方法，該固體攝像裝置以及幀數(shù)據(jù)修正方法具備即使在配置于受光部內(nèi) 的任意的行選擇用配線發(fā)生斷線的情況下，也可以通過適當?shù)匦拚袼財?shù)據(jù)而獲得更加高 的解析度的圖像的結(jié)構(gòu)。解決問題的方法本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置具備受光部，其具有以構(gòu)成M(2以上的整數(shù))行 N(2以上的整數(shù))列的矩陣的方式二維排列的MXN個像素部Pu PM,N;讀取用配線L。,n， 其連接于分別包含于受光部中的屬于第n(l以上N以下的整數(shù))列的M個像素部Pi,n PM, 的讀取用開關(guān)；信號讀取部，其分別連接于讀取用配線Lai LaN ；控制部，其通過控制分 別包含于受光部中的屬于第m(l以上M以下的整數(shù))行的N個像素部Pnl,1 Pnl,N的讀取用 開關(guān)的開關(guān)動作，從而控制信號讀取部中的電壓值的輸出動作；以及行選擇用配線Lv, ffl,其 連接于分別包含于受光部中的屬于第m行的N個像素部Pu P-的讀取用開關(guān)。另外，由 受光部、讀取用配線Lan、信號讀取部、控制部以及行選擇用配線Lv,m構(gòu)成1個傳感器要素。構(gòu)成受光部的各個像素部Pi,工 PM,N包含光電二極管，其產(chǎn)生對應于入射光強度 的量的電荷；以及讀取用開關(guān)，其連接于該光電二極管。讀取用配線Lan經(jīng)由對應的讀取用 開關(guān)而讀取在包含于像素部Pi,n PM,n中的任意的像素部的光電二極管中產(chǎn)生的電荷。信 號讀取部暫時保持與經(jīng)過讀取用配線Lan而輸入的電荷的量對應的電壓值，之后，依次輸出 該保持的電壓值?？刂撇渴古c在分別包含于受光部中的MXN個像素部Pu PM, N的光電 二極管中產(chǎn)生的電荷的量對應的各個電壓值，作為幀數(shù)據(jù)而從信號讀取部反復輸出。行選 擇用配線Ly,-從控制部向該讀取用開關(guān)傳送控制該讀取用開關(guān)的開關(guān)動作的信號。
本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置除了上述的受光部、讀取用配線Lan、信號讀取部、 控制部以及行選擇用配線Lv,m之外，還具備修正處理部。該修正處理部取得從信號讀取部反 復輸出的各幀數(shù)據(jù)并進行修正處理。另外，本發(fā)明所涉及的幀數(shù)據(jù)修正方法是修正從具備 上述那樣的結(jié)構(gòu)的固體攝像裝置(本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置)輸出的幀數(shù)據(jù)的方法。特別的，本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置中的修正處理部進行本發(fā)明所涉及的幀修 正方法。即修正處理部將因行選擇用配線Lv，的第ml (1以上M以下的整數(shù))行的行選擇用 配線Lv,ml的斷線而與控制部不連接的像素部作為像素部Pml,nl (nl為1以上N以下的整數(shù))， 將屬于該像素部？‘㈣所屬的第ml行的鄰接的第m2(l以上M以下的整數(shù))行的像素部作 為像素部Pm2,nl，此時，基于幀數(shù)據(jù)Fk以及緊鄰其前的至少2個幀數(shù)據(jù)Fh，F(xiàn)k_2的各個中的對 應于同一像素部Pm2,nl的電壓值Vk，Vh，Vk_2，修正從信號讀取部輸出至第k個的該幀數(shù)據(jù)Fk 中對應于像素部Pm2,nl的電壓值Vk，然后，基于對應于像素部Pm2,nl的電壓值的修正后的值， 決定幀數(shù)據(jù)Fk中對應于像素部Pml,nl的電壓值。這樣，根據(jù)該固體攝像裝置中的修正處理部以及該幀數(shù)據(jù)修正方法，在修正對應 于與斷線的第ml行的行選擇用配線Lv, ffll鄰接的第m2行的行選擇用配線Lv, ffl2上的像素部 Pffl2,nl的電壓值Vk時，無須使用對應于正常線上的像素部的電壓值。因此，與記載于上述專 利文獻1的技術(shù)相比，在本發(fā)明中，在修正后的圖像中，缺陷線附近的解析度變高。本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置中的修正處理部(本發(fā)明所涉及的幀數(shù)據(jù)修正方 法)，作為在修正幀數(shù)據(jù)Fk中對應于像素部Pm2,nl的電壓值Vk時的處理，優(yōu)選進行從電壓值 Vk中減去通過各個電壓值V^, Vk_2乘以規(guī)定的系數(shù)而獲得的值的處理。另外，本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置中的修正處理部(本發(fā)明所涉及的幀數(shù)據(jù)修 正方法)，在行選擇用配線ki LV,M中任意的多條行選擇用配線發(fā)生斷線時，優(yōu)選分別對 應于該斷線的多條行選擇用配線而設(shè)定系數(shù)，來修正幀數(shù)據(jù)Fk中對應于像素部Pm2,nl的電 壓值Vk。此外，本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置也可以具備多個傳感器要素，該多個傳感器 要素分別具有與由上述的受光部、讀取用配線Lan、信號讀取部以及行選擇用配線Lv,m所構(gòu) 成的傳感器要素相同的結(jié)構(gòu)。在此情況下，該固體攝像裝置中的修正處理部(本發(fā)明所涉 及的幀數(shù)據(jù)修正方法)，在包含于多個傳感器要素中的任意的傳感器要素的任意的行選擇 用配線發(fā)生斷線時，優(yōu)選基于對應于包含該斷線的行選擇用配線的傳感器要素中的受光部 的幀數(shù)據(jù)的電壓值，來求出系數(shù)。本發(fā)明所涉及的X射線CT裝置具備X射線輸出部、具有上述那樣的結(jié)構(gòu)的固體 攝像裝置(本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置)、移動單元以及圖像解析部。X射線輸出部向著 被照物輸出X射線。該固體攝像裝置通過接收從X射線輸出部并經(jīng)過被照物而到達的X射 線，從而對該被照物進行攝像。移動單元使X射線輸出部以及固體攝像裝置相對于被照物 相對移動。圖像解析部輸入從固體攝像裝置輸出的修正處理后的幀數(shù)據(jù)，并基于該幀數(shù)據(jù) 而生成被照物的斷層圖像。另外，本發(fā)明所涉及的各實施例通過以下的詳細的說明以及附圖而可以更加充分 地理解。該實施例僅是為了例示而表示的例子，不應該認為是限定本發(fā)明的例子。另外，本發(fā)明的進一步的應用范圍可由以下的詳細的說明而明了。但是，詳細的說 明以及特定的事例表示本發(fā)明的優(yōu)選的實施例，并且僅是為了例示而表示，對于本領(lǐng)技術(shù)
7人員而言，由該詳細的說明，本發(fā)明的范圍中的各種變形以及改良是不言而喻的。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置以及幀數(shù)據(jù)修正方法，即使在任意的行選擇用 配線發(fā)生斷線的情況下，也能夠通過適當?shù)匦拚袼財?shù)據(jù)而獲得高解析度的圖像。


圖1是表示本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置的第1實施例的結(jié)構(gòu)的圖。圖2是第1實施例所涉及的固體攝像裝置中所包含的像素部Pm,n、積分電路Sn以 及保持電路扎各自的電路圖。圖3是用于說明第1實施例所涉及的固體攝像裝置的動作的時序圖。圖4是模式地表示從圖1中所示的信號讀取部輸出的幀數(shù)據(jù)中對應于正常線以及 鄰接線各自的像素部的電壓值的隨時間的變化的圖。圖5是表示從圖1中所示的信號讀取部輸出的幀數(shù)據(jù)中對應于鄰接線上的像素部 的電壓值的變化量與時刻之間的關(guān)系的圖。圖6是表示本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置的第2實施例的結(jié)構(gòu)的圖。圖7是表示本發(fā)明所涉及的X射線CT裝置的一個實施例的結(jié)構(gòu)的圖。符號的說明1、2…固體攝像裝置、10、10A、10B…受光部、20、20A、20B...信號讀取部、30…控制
部、40…修正處理部、Pia PM,N…像素部、PD…光電二極管、讀取用開關(guān)、Si SN…積 分電路、CV"積分用電容元件、SW2…放電用開關(guān)、A2…放大器、& HN…保持電路、C3…保持 用電容元件、SWf輸入用開關(guān)、SWv輸出用開關(guān)、Lv,m…第m行選擇用配線、LH,n…第n列 選擇用配線、L。,n…第n列讀取用配線山…放電控制用配線、LH…保持控制用配線、L。ut…電 壓輸出用配線
具體實施例方式以下，參照圖1 7，對本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置以及幀數(shù)據(jù)修正方法的各實 施例進行詳細的說明。另外，在附圖的說明中，對同一部位、同一要素標注同一符號，省略重 復的說明。(第1實施例)圖1是表示本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置的第1實施例的結(jié)構(gòu)的圖。該第1實施 例所涉及的固體攝像裝置1具備受光部10、信號讀取部20、控制部30以及修正處理部40。 另外，在用作X射線平板時，在該固體攝像裝置1的受光面10上重疊有閃爍器面板。受光部10具有二維排列成M行N列的MXN個像素部Pia PM, N。像素部Pm, n表 示第m行第n列的像素部。在此，M、N分別是2以上的整數(shù)，且m是1以上M以下的整數(shù)， n是1以上N以下的整數(shù)。各像素部Pm,n是PPS方式的像素部，且具有共同的結(jié)構(gòu)。屬于第m行的N個像素部Pu Pm,N分別經(jīng)由第m行選擇用配線Lv,m而連接于控 制部30。屬于第n列的M個像素部Pi,n PM,n的各自的輸出端，經(jīng)由第n列讀取用配線L。, n而連接于包含于信號讀取部20的積分電路Sn。信號讀取部20包含N個積分電路Si SN以及N個保持電路& HN。各積分電路Sn具有共同的結(jié)構(gòu)。另外，各保持電路Hn具有共同的結(jié)構(gòu)。各積分電路Sn具有連接于 讀取用配線Lan的輸入端，在暫時存儲輸入至該輸入端的電荷之后，將對應于該存儲電荷量 的電壓值從輸出端向保持電路Hn輸出。N個積分電路S1 Sn分別經(jīng)由放電控制用配線Lk 而連接于控制部30。各保持電路Hn具有與積分電路Sn的輸出端連接的輸入端，在暫時保持輸入至該輸 入端的電壓值之后，將該保持的電壓值從輸出端向輸出用配線L。ut輸出。N個保持電路H1 Hn分別經(jīng)由保持控制用配線Lh而連接于控制部30。另外，各保持電路Hn經(jīng)由第η列選擇 用配線Lh,η而連接于控制部30?？刂撇?0將第m行選擇控制信號Vsel (m)向第m行選擇用配線Lv, m輸出，并將 該第m行選擇控制信號Vsel (m)分別賦予屬于第m行的N個像素部Pnbl Pm, N。M個行選 擇控制信號Vsel(I) Vsel (M)依次成為有效值?？刂撇?0為了將M個行選擇控制信號 Vsel (1) Vsel (M)依次作為有效值輸出，而包含移位緩存器?？刂撇?0將第η列選擇控制信號Hsel (η)向第η列選擇用配線Lh,η輸出，并將該 第η列選擇控制信號Hsel (η)賦予保持電路Hn。N個列選擇控制信號Hsel (1) Hsel (N) 也依次成為有效值?？刂撇?0為了將N個列選擇控制信號Hsel(I) Hsel (N)依次作為 有效值輸出，而包含移位緩存器。另外，控制部30將放電控制信號Reset向放電控制用配 線Lk輸出，并將該放電控制信號Reset分別賦予N個積分電路S1 SN。另外，控制部30將 保持控制信號Hold向保持控制用配線Lh輸出，并將該保持控制信號Hold分別賦予N個保 持電路H1 Hn。如以上所述，控制部30控制分別包含于受光部10中的屬于第m行的N個像素部 Pffl,! Pm,N的讀取用開關(guān)SW1的開關(guān)動作，并且控制信號讀取部20中的電壓值的保持動作 以及輸出動作。由此，控制部30使對應于在分別包含于受光部10中的MXN個像素部P1, ！ PM,N的光電二極管PD中產(chǎn)生的電荷的量的電壓值，作為幀數(shù)據(jù)而從信號讀取部20反復 輸出。修正處理部40取得從信號讀取部20反復輸出的各幀數(shù)據(jù)，在實施修正處理后，輸 出該修正處理后的幀數(shù)據(jù)。后面就該修正處理部40中的修正處理內(nèi)容進行詳細敘述。圖2是第1實施例所涉及的固體攝像裝置中所包含的像素部Pm, n、積分電路Sn以 及保持電路Hn各自的電路圖。此外，圖2表示像素部Pm, n的電路圖來代表MXN個像素部 P1,! PM, N，表示積分電路Sn的電路圖來代表N個積分電路S1 SN，另外，表示保持電路Hn 的電路圖來代表N個保持電路H1 Hn。即在圖2中表示與第m行第η列的像素部Pm,η以及 第η列讀取用配線Lan相關(guān)聯(lián)的電路部分。像素部Pm, η包含光電二極管PD以及讀取用開關(guān)SW115光電二極管PD的陽極端子 接地，光電二極管PD的陰極端子經(jīng)由讀取用開關(guān)SW1而連接于第η列讀取用配線La η。光 電二極管PD產(chǎn)生對應于入射光強度的量的電荷，并將該產(chǎn)生的電荷存儲于接合電容部。讀 取用開關(guān)SW1從控制部30經(jīng)過第m行選擇用配線Lv,m而賦予第m行選擇控制信號。第m行 選擇控制信號是指示分別包含于受光部10中的屬于第m行的N個像素部Pnbl Pm, N的讀 取用開關(guān)SW1的開關(guān)動作的電信號。在該像素部Pm,n中，在第m行選擇控制信號Vsel (m)為低電平時，讀取用開關(guān)SW1 打開。在此情況下，在光電二極管PD中產(chǎn)生的電荷不向第η列讀取用配線Lan輸出，而存儲
9于接合電容部。另一方面，在第m行選擇控制信號Vsel (m)為高電平時，讀取用開關(guān)SW1閉 合。在此情況下，至此為止在光電二極管PD中產(chǎn)生病存儲于接合電容部的電荷經(jīng)過讀取用 開關(guān)SW1而向第η列讀取用配線Lan輸出。第η列讀取用配線Laη連接于分別包含于受光 部10中的屬于第η列的M個像素部Plin ΡΜ,η的讀取用開關(guān)SW115第η列讀取用配線Lq,η 經(jīng)由包含于該像素部的讀取用開關(guān)SW1,讀取在包含于M個像素部P1,η ΡΜ,η中的任意的像 素部的光電二極管PD中產(chǎn)生的電荷，然后，向積分電路Sn轉(zhuǎn)送。積分電路Sn包含放大器A2、積分用電容元件C2以及放電用開關(guān)SW2。積分用電容 元件C2以及放電用開關(guān)SW2彼此并聯(lián)連接，并設(shè)于放大器A2的輸入端子與輸出端子之間。 放大器A2的輸入端子連接于第η列讀取用配線La η。放電用開關(guān)SW2從控制部30經(jīng)過放 電控制用配線Lk而被賦予放電控制信號Reset。放電控制信號Reset是指示分別包含于N 個積分電路S1 Sn的放電用開關(guān)SW2的開關(guān)動作的電信號。在該積分電路Sn中，在放電 控制信號Reset為高電平時，閉合放電用開關(guān)SW2。在此情況下，通過積分用電容元件C2放 電，而將從積分電路Sn輸出的電壓值初始化。在放電控制信號Reset為低電平時，打開放電 用開關(guān)SW2。在此情況下，輸入至輸入端的電荷存儲于積分用電容元件C2中，并從積分電路 3 輸出對應于該存儲電荷量的電壓值。保持電路Hn包含輸入用開關(guān)SW31、輸出用開關(guān)SW32 以及保持用電容元件C3。保持用電容元件C3的一端接地。保持用電容元件C3的另一端經(jīng) 由輸入用開關(guān)SW31而連接于積分電路Sn的輸出端，并且經(jīng)由輸出用開關(guān)SW32而連接于電壓 輸出用配線L。ut。輸入用開關(guān)SW31從控制部30被賦予經(jīng)過保持控制用配線Lh的保持控制 信號Hold。保持控制信號Hold是指示分別包含于N個保持電路H1 Hn的輸入用開關(guān)SW31 的開關(guān)動作的電信號。輸出用開關(guān)SW32從控制部30被賦予經(jīng)過第η列選擇用配線Lh,η的 第η列選擇控制信號Hsel (η)。第η列選擇控制信號Hsel (η)是指示包含于保持電路Hn的 輸出用開關(guān)SW32的開關(guān)動作的電信號。在該保持電路Hn中，在保持控制信號Hold從高電平轉(zhuǎn)為低電平時，輸入用開關(guān) SW31從閉合狀態(tài)轉(zhuǎn)為打開狀態(tài)。此時，輸入至輸入端的電壓值被保持于保持用電容元件c3。 另外，在第η列選擇控制信號Hsel (η)為高電平時，輸出用開關(guān)SW32閉合。在此情況下，保 持于保持用電容元件C3的電壓值向電壓輸出用配線L。ut輸出?？刂撇?0在輸出對應于受光部10中的屬于第m行的N個像素部Pma Pm,N的各自 的受光強度的電壓值時，通過放電控制信號Reset，指示將分別包含于N個積分電路S1 Sn 的放電用開關(guān)SW2在暫時閉合后打開。其后，控制部30通過第m行選擇控制信號Vsel (m)， 指示在規(guī)定期間內(nèi)持續(xù)閉合分別包含于受光部10中的第m行的N個像素部Pnbl Pm, N的 讀取用開關(guān)SW115控制部30在該規(guī)定期間內(nèi)，通過保持控制信號Hold，指示將分別包含于N 個保持電路H1 Hn的輸入用開關(guān)SW31從閉合狀態(tài)轉(zhuǎn)為打開狀態(tài)。然后，控制部30在經(jīng)過 該規(guī)定期間后，通過列選擇控制信號Hsel (1) Hsel (N)，指示僅在一定期間依次閉合分別 包含于N個保持電路H1 Hn的輸出用開關(guān)SW32?？刂撇?0對各行依次進行以上那樣的控 制。其次，就第1實施例所涉及的固體攝像裝置1的動作進行說明。在該第1實施例所 涉及的固體攝像裝置1中，在控制部30的控制下，M個行選擇控制信號Vsel (1) Vsel (M)、 N個列選擇控制信號Hsel(I) Hsel (N)、放電控制信號Reset以及保持控制信號Hold分 別以規(guī)定的時序進行電平變化。由此，能夠?qū)θ肷涞绞芄饷?0的光的像進行攝像而獲得幀數(shù)據(jù)，進而，能夠通過修正處理部40來修正幀數(shù)據(jù)。圖3是用于說明第1實施例所涉及的固體攝像裝置的動作的時序圖。在該圖3中， 表示有(a)指示分別包含于N個積分電路S1 Sn的放電用開關(guān)SW2的開關(guān)動作的放電控 制信號Reset ； (b)指示分別包含于受光部10中的屬于第1行的N個像素部Plil P1, N的 讀取用開關(guān)SW1W開關(guān)動作的第1行選擇控制信號Vsel(I) ； (c)指示分別包含于受光部10 中的屬于第2行的N個像素部P2,工 P2, N的讀取用開關(guān)SW1的開關(guān)動作的第2行選擇控制 信號Vsel(2)；以及(d)指示分別包含于N個保持電路Hi HN的輸入用開關(guān)SW31W開關(guān)動 作的保持控制信號Hold。進而，在該圖3中，也表示有(e)指示包含于保持電路H1的輸出用開關(guān)SW32的開 關(guān)動作的第1列選擇控制信號Hsel⑴；(f)指示包含于保持電路H2的輸出用開關(guān)SW32的 開關(guān)動作的第2列選擇控制信號Hsel⑵；(g)指示包含于保持電路H3的輸出用開關(guān)SW32 的開關(guān)動作的第3列選擇控制信號Hsel (3) ； (h)指示包含于保持電路Hn的輸出用開關(guān)SW32 的開關(guān)動作的第η列選擇控制信號Hsel (η)；以及(i)指示包含于保持電路Hn的輸出用開 關(guān)SW32的開關(guān)動作的第N列選擇控制信號Hsel (N)。在分別包含于屬于第1行的N個像素部Plil P1, N的光電二極管PD中產(chǎn)生并存 儲于接合電容部的電荷的讀取，如以下所述進行。即在時刻t1(1之前，M個行選擇控制信號Vsel⑴ Vsel (M)、N個列選擇控制信號 Hsel(I) Hsel (N)、放電控制信號Reset以及保持控制信號Hold分別成為低電平。在從 時刻t1(l至時刻tn的期間，從控制部30輸出至放電控制用配線Lk的放電控制信號Reset成 為高電平，由此，分別在N個積分電路S1 Sn中，放電用開關(guān)SW2閉合，積分用電容元件C2 被放電。另外，在從時刻tn之后的時刻t12至時刻t15的期間，從控制部30輸出至第1行選 擇用配線Lv,工的第1行選擇控制信號Vsel(I)成為高電平，由此，分別包含于受光部10中 的屬于第1行的N個像素部Pia P1,,的讀取用開關(guān)SW1閉合。在期間(t12 t15)內(nèi)，在從時刻t13至時亥Ij t14的期間，從控制部30輸出至保持控 制用配線Lh的保持控制信號Hold成為高電平。由此，在N個保持電路H1 Hn的各個中， 輸入用開關(guān)SW31閉合。在期間(t12 t15)內(nèi)，包含于屬于第1行的各像素部P1,n的讀取用開關(guān)SW1閉合， 而各積分電路Sn的放電用開關(guān)SW2打開。因此，至此為止在各像素部P1,n的光電二極管PD 中產(chǎn)生并存儲于接合電容部的電荷，經(jīng)過該像素部P1, n的讀取用開關(guān)SW1以及第η列讀取 用配線Lan而轉(zhuǎn)送至積分電路Sn的積分用電容元件C2 (在積分用電容元件C2中存儲)。然 后，從積分電路Sn的輸出端輸出對應于存儲于各積分電路Sn的積分用電容元件C2的電荷 的量的電壓值。在期間(t12 t15)內(nèi)的時刻t14，如果保持控制信號Hold從高電平轉(zhuǎn)為低電平，則 在N個保持電路H1 Hn的各個中，輸入用開關(guān)SW31從閉合狀態(tài)轉(zhuǎn)為打開狀態(tài)。此時，從積 分電路Sn的輸出端輸出并輸入至保持電路Hn的輸入端的電壓值被保持于保持用電容元件 C3。然后，在期間(t12 t15)之后，從控制部30輸出至列選擇用配線Lim Lh,N的列選擇控 制信號Hsel(I) Hsel (N)僅在一定期間依次成為高電平。由此，分別包含于N個保持電 路H1 Hn的輸出用開關(guān)SW32僅在一定期間依次閉合。此時，保持于各保持電路Hn的保持 用電容元件C3的電壓值經(jīng)過輸出用開關(guān)SW32向電壓輸出用配線L。ut依次輸出。該向電壓輸出用配線L。ut輸出的電壓值V。ut表示分別包含于屬于第1行的N個像素部Plil P1, N的光 電二極管PD中的受光強度。分別從N個保持電路H1 Hn向電壓輸出用配線L-輸出的電 壓值V。ut通過電壓輸出用配線L。ut而輸入至修正處理部40。接著，在分別包含于屬于第2行的N個像素部P2,i P2,N的光電二極管PD中產(chǎn)生 并存儲于接合電容部的電荷的讀取，如以下所述進行。即在從時刻t2(l至時刻t21的期間，從控制部30輸出至放電控制用配線Lk的放電 控制信號Reset成為高電平。由此，在N個積分電路S1 Sn的各個中，放電用開關(guān)SW2閉 合，積分用電容元件C2放電。另外，在從時刻t21之后的時刻t22至時刻t25的期間，從控制 部30輸出至第2行選擇用配線Lv,2的第2行選擇控制信號Vsel (2)成為高電平。由此，分 別包含于受光部10中的屬于第2行的N個像素部P2,工 P2,N的讀取用開關(guān)SW1閉合。在期間(t22 t25)內(nèi)，在從時刻t23至時刻t24的期間，從控制部30輸出至保持控 制用配線Lh的保持控制信號Hold成為高電平。由此，在N個保持電路H1 Hn的各個中， 輸入用開關(guān)SW31閉合。然后，在期間(t22 t25)之后，從控制部30輸出至列選擇用配線Lim LH,N的列 選擇控制信號Hsel(I) Hsel (N)僅在一定期間依次成為高電平。由此，分別包含于N個 保持電路H1 Hn的輸出用開關(guān)SW32僅在一定期間依次閉合。如以上所述，表示分別包含于屬于第2行的N個像素部P2,工 P2, N的光電二極管 PD中的受光強度的電壓值V。ut向電壓輸出用配線L。ut輸出。分別從N個保持電路H1 Hn 向電壓輸出用配線L。ut輸出的電壓值V。ut經(jīng)過電壓輸出用配線L。ut而輸入至修正處理部40。接著以上那樣的關(guān)于第1行以及第2行的動作，以后，通過從第3行至第M行進行 同樣的動作，從而獲得表示由1次攝像而獲得的圖像的幀數(shù)據(jù)。另外，如果關(guān)于第M行的動 作結(jié)束，那么再次通過從第1行進行同樣的動作，從而獲得表示下一個的圖像的幀數(shù)據(jù)。這 樣，通過以一定周期反復進行同樣的動作，從而表示受光部10所接收的光的像的二維強度 分布的電壓值V。ut被輸出至電壓輸出用配線L。ut (反復獲得幀數(shù)據(jù))。該幀數(shù)據(jù)被輸入至修 正處理部40?？墒?，在分別包含于屬于第m行的N個像素部Pnbl Pm, N的讀取用開關(guān)SW1閉合 的期間內(nèi)，在屬于第m行的各像素部Pm,n的光電二極管PD中產(chǎn)生并存儲于接合電容部的電 荷，經(jīng)過該像素部Pm,n的讀取用開關(guān)SW1以及第η列讀取用配線Lan，轉(zhuǎn)送至積分電路Sn的 積分用電容元件C2。此時，屬于第m行的像素部Pm,n的光電二極管PD的接合電容部的存儲 電荷被初始化。但是，在某個第m行選擇用配線Lv, m在中途發(fā)生斷線的情況下，屬于該第m行的N 個像素部Pu Pm,N中位于相對于控制部30更遠離斷線位置處的像素部，沒有從控制部30 被傳送第m行選擇控制信號Vsel (m)。因此，在受到斷線的影響的像素部中，讀取用開關(guān)SW1 依舊照樣打開，而無法向積分電路Sn轉(zhuǎn)送電荷。即在受到斷線的影響的像素部中，無法進 行由電荷轉(zhuǎn)送得到的光電二極管PD的接合電容部的存儲電荷的初始化。在這樣的情況下， 在受到斷線的影響的像素部中，對應于光入射而在光電二極管中產(chǎn)生的電荷一直存儲于該 光電二極管的接合電容部中。當超過飽和電平時，向相鄰兩邊的行的像素部溢出，從而關(guān)于 連續(xù)的3行的像素部產(chǎn)生缺陷線。因此，在該第1實施例所涉及的固體攝像裝置1中，修正處理部40取得從信號讀取部20反復輸出的各幀數(shù)據(jù)，并對該取得的各個幀數(shù)據(jù)進行以下那樣的修正處理(本發(fā)明 所涉及的幀數(shù)據(jù)修正方法)。此外，以下的說明的前提條件為行選擇用配線Lv,工 Lv, M中意的第ml行的行選 擇用配線Lv, ml發(fā)生斷線。將屬于第ml行的N個像素部Pmlil Pml, N中因第ml行的行選擇 用配線Lv,ml的斷線而與控制部30不連接的缺陷線上的像素部作為像素部Pml,nl。將屬于第 ml行的相鄰的第m2行并且鄰接于像素部Pml, nl的鄰接線上的像素部作為像素部Pm2, nl。在 此，ml、m2是1以上M以下的整數(shù)，nl是1以上N以下的整數(shù)，ml與m2的差是1。另外，將 從信號讀取部20輸出至第k個的幀數(shù)據(jù)表示為Fk。即從信號讀取部20輸入至修正處理部 40的幀數(shù)據(jù)依次為...，F(xiàn)k_2，F(xiàn)k_1; Fk, Fk+1，F(xiàn)k+2，... 0在此，k是整數(shù)。修正處理部40基于該幀數(shù)據(jù)Fk以及緊鄰其前的至少2個幀數(shù)據(jù)Fk_1; Fk_2的各個 中的對應于同一像素部Pm2,nl的電壓值Vk^1，Vk_2，對幀數(shù)據(jù)Fk中對應于鄰接線上的像素部 Pffl2, nl的電壓值Vk進行修正。此時，作為在修正幀數(shù)據(jù)Fk中對應于鄰接線上的像素部Pm2, nl 的電壓值Vk時的處理，修正處理部40能夠使用將各個電壓值\，Vk^1, Vk_2作為變量的多項 式等的函數(shù)。但是，優(yōu)選進行從電壓值Vk中減去通過各個電壓值Vk，Vk^Vlrf乘以系數(shù)而獲 得的值的處理。另外，修正處理部40在行選擇用配線Lv,工 Lv,M中的任意的多個行選擇用 配線發(fā)生斷線時，優(yōu)選通過分別對應于斷線的多個行選擇用配線而設(shè)定上述系數(shù)，來修正 幀數(shù)據(jù)Fk中對應于像素部Pm2, nl的電壓值Vk。進而，修正處理部40基于對應于鄰接線上的像素部Pm2,nl的電壓值的修正后的值， 決定幀數(shù)據(jù)Fk中對應于缺陷線上的像素部Pml,nl的電壓值。該決定優(yōu)選也可以通過基于對 應于鄰接線上的像素部Pm2,nl的電壓值的插補計算來進行。然后，修正處理部40將如上所述修正了分別對應于鄰接線上的像素部Pm2, nl以及 缺陷線上的像素部Pml,nl的電壓值之后的幀數(shù)據(jù)，作為修正后幀數(shù)據(jù)輸出。以下，就對應于鄰接線上的像素部Pm2, nl的電壓值Vk的修正處理進行更詳細的說 明。圖4是模式地表示從圖1中所示的信號讀取部輸出的幀數(shù)據(jù)中對應于正常線以及 鄰接線的各個像素部的電壓值的隨時間的變化的圖。在該圖4中，時刻、之前的期間表示 在受光部10整體上入射相同的強度的光的期間。另外，時刻、之后表示在受光部10整體 上未入射光的期間。此外，所謂正常線，不是行選擇用配線發(fā)生斷線的缺陷線，也不是從缺 陷線上的像素部流入電荷的鄰接線。如該圖4所示，在受光部10整體上入射相同的強度的光的時刻、之前，從信號讀 取部20輸出的幀數(shù)據(jù)中對應于鄰接線上的像素部的電壓值，比對應于正常線上的像素部 的電壓值W大。其理由是由于在缺陷線上的像素部中對應于光入射而在光電二極管中產(chǎn)生 的電荷沒有向信號讀取部20讀取，而一直存儲于該光電二極管的接合電容部中。即在缺陷 線上的像素部中，對應于光入射而在光電二極管中產(chǎn)生的電荷，在該存儲電荷量超過飽和 電平時，超過飽和電平的部分的電荷會向鄰接線上的像素部溢出。在受光部10整體上未入射光的時刻、之后，從信號讀取部20輸出的幀數(shù)據(jù)中對 應于正常線以及鄰接線的各個像素部的電壓值均減少，并馬上收斂到初始值(表示未入射 光的值)。但是，與對應于正常線上的像素部的電壓值的變化對比，對應于鄰接線上的像素 部的電壓值的變化不僅有時間延遲，而且減少速度也緩慢。其理由是由于從缺陷線上的像
13素部向鄰接線上的像素部漏出電荷時需要時間?；诒景l(fā)明者們對上述那樣的現(xiàn)象的見解，修正處理部40修正從信號讀取部20 輸出的幀數(shù)據(jù)Fk中對應于鄰接線上的像素部Pm2, nl的電壓值Vk。具體而言，對應于像素部 Pffl2,nl的電壓值Vk基于幀數(shù)據(jù)Fk以及緊鄰其前的至少2個幀數(shù)據(jù)Fk_1; Fk_2的各個中的對應 于同一像素部Pm2,nl的電壓值Vk，Vk_i; Vk_2而被修正。如圖4所示，從信號讀取部20輸出的幀數(shù)據(jù)中對應于鄰接線上的像素部的電壓值 將時刻、之后的從時刻tA至時刻tB的期間的變化量作為B，將從時刻tB至時刻的期間 的變化量作為C，將從時刻t。至時刻tD的期間的變化量作為D，而且將從時刻tD至時刻tE 的期間的變化量作為Ε。然后，如以下的式(Ia) (Id)所示，將該變化量B、C、D、E除以在受光部10整體 上入射相同的強度的光的時刻、之前從信號讀取部20輸出的幀數(shù)據(jù)中對應于正常線上的 像素部的電壓值W，而獲得系數(shù)b、c、d、e。[數(shù)1]b = B/ff ... (la)c = C/ff …(lb)d = D/ff ... (Ic)e = E/ff ... (Id)圖5是表示從圖1中所示的信號讀取部輸出的幀數(shù)據(jù)中對應于鄰接線上的像素部 的電壓值的變化量與時刻之間的關(guān)系的圖。如該圖5所示，系數(shù)b、c、d、e的各個對數(shù)值與 對應的時刻tB、t。、tD、tE的關(guān)系為大致直線關(guān)系。利用此，通過外插而求出時刻tA中的系 數(shù)a。進而，按照以下的式(2a) (2e)所示的關(guān)系式，將系數(shù)a e變換為系數(shù) e10即系數(shù) ei是對系數(shù)a e乘以一定系數(shù)的數(shù)值，且總和為值1。[數(shù)2]B1=a/(a+b+c+d+e) ··(2a)
bi=b/(a+b+c+d+e) ··(2b)
Cl=c/(a+b+c+d+e) ··(2c)
Cl1=d/(a+b+c+d+e) ··(2d)
ei=e/(a+b+c+d+e) ··(2e)另外，在時刻、、tA tE的間隔與從信號讀取部20輸出幀數(shù)據(jù)時的周期相等時， 如果求出系數(shù)A ei的各值，則該值的一個例子如以下的式(3a) (3e)所示。[數(shù)3]B1 = 0. 5354... (3a)I3l = O^edT-(Sb)C1 = 0. 1177... (3c)Cl1 = 0. 05633— (3d)ei = 0. 02587... (3e)另外，按照以下的式(4a) (4f)所示的關(guān)系式，將系數(shù) 力變換為系數(shù)a2 e2。式(4f)中的Vavel是在受光部10整體上入射相同的強度的光的時刻、之前從信號讀取部20輸出的幀數(shù)據(jù)中對應于鄰接線上的像素部的電壓值的平均值。Vave2是該幀數(shù)據(jù)中對 應于正常線上的像素部的電壓值的平均值。即式(4f)的參數(shù)ζ表示對應于鄰接線上的像 素部的電壓值的平均值Vavel相對于對應于正常線上的像素部的電壓值的平均值Vave2的增 加比率。[數(shù)4]a2 = ap ... (4a)b2 = Io1Z ... (4b)c2 = C1Z ... (4c)d2 = Cl1Z ... (4d)e2 = ep ... (4e)ζ = Vavel/Vave2-1 ...(4f)然后，按照以下的式(5)所示的關(guān)系式，幀數(shù)據(jù)Fk中對應于鄰接線上的像素部Pm2, nl的電壓值Vk基于該幀數(shù)據(jù)Fk以及緊鄰其前的4個幀數(shù)據(jù)Flri Fk_4的各個中的對應于同 一像素部Pm2,nl的電壓值Vk Vk_4而被修正。即從電壓值Vk中減去通過電壓值Vk \_4分 別乘以系數(shù)a2 e2而獲得的值。這樣，求出修正了電壓值Vk后的電壓值Vk。。[數(shù)5]Vkc = Vm-b^-^-c^-e^H …(5)修正處理部40在經(jīng)過以上的處理而求出從信號讀取部20輸出的幀數(shù)據(jù)Fk中對 應于鄰接線上的像素部pm2,nl的電壓值Vk的修正后的電壓值vk。之后，基于該修正后的電壓 值vk。，決定對應于缺陷線上的像素部Pml,nl的電壓值。修正處理部40在以上的處理時，優(yōu)選預先對從信號讀取部20輸出的幀數(shù)據(jù)Fk的 對應于各像素部的電壓值進行暗修正。另外，修正處理部40也可以通過模擬處理進行以上 的處理。另外，優(yōu)選修正處理部40在將從信號讀取部20輸出的幀數(shù)據(jù)Fk進行數(shù)字變換后 進行數(shù)字處理，在此情況下，優(yōu)選具備將幾個幀的幀數(shù)據(jù)作為數(shù)字值存儲的幀存儲器。修正處理部40為了執(zhí)列以上的處理，優(yōu)選具備預先存儲行選擇用配線L^1 Lv, M 中的斷線的行選擇用配線以及該斷線的行選擇用配線中的斷線位置的存儲部。進而，也可 以使在第1實施例所涉及的固體攝像裝置1的制造途中或者制造后的檢查中獲得的斷線信 息，從外部存儲于上述存儲部中。另外，修正處理部40也可以與受光部10、信號讀取部20以及控制部30 —起一體 地設(shè)置。在此情況下，優(yōu)選該第1實施例所涉及的固體攝像裝置1整體在半導體基板上被 集成化。另外，也可以使受光部10、信號讀取部20以及控制部30—體化，并與這樣的結(jié)構(gòu) 分開地設(shè)置修正處理部40。在此情況下，修正處理部40例如可以由計算機而實現(xiàn)。如以上說明的那樣，在第1實施例所涉及的固體攝像裝置1或者修正從該固體攝 像裝置1的信號讀取部20輸出的幀數(shù)據(jù)Fk的方法(本發(fā)明所涉及的幀數(shù)據(jù)修正方法)中， 對幀數(shù)據(jù)Fk中對應于鄰接線上的像素部Pm2, nl的電壓值Vk，基于該幀數(shù)據(jù)Fk以及緊鄰其前 的4個幀數(shù)據(jù)Flri Fk_4的各個中的對應于同一像素部Pm2, nl的電壓值Vk Vk_4而進行修 正。即在修正對應于鄰接線上的像素部Pm2, nl的電壓值Vk時，不需要對應于正常線上的像 素部的電壓值。因此，與記載于上述專利文獻1的現(xiàn)有技術(shù)相比較，在該第1實施例中，在 修正后的圖像中，缺陷線附近的解析度變高。
另外，在該第1實施例中，在修正幀數(shù)據(jù)Fk中對應于鄰接線上的像素部Pm2,nl的電 壓值Vk時，利用該幀數(shù)據(jù)Fk以及緊鄰其前的4個幀數(shù)據(jù)Flri Fk_4的各個中的對應于同一 像素部Pm2,nl的電壓值Vk Vk_4。但是，由上述式(3a) (e)以及式(4a) (4f)可知，值 以系數(shù)a2、b2、C2、d2、e2的順序大致減半。因此，與記載于上述專利文獻1的現(xiàn)有技術(shù)對比， 為了獲得高解析度，在該第1實施例中，也可以基于修正對象的幀數(shù)據(jù)Fk以及緊鄰其前的 至少2個幀數(shù)據(jù)FkfF1^2的各個中的對應于同一像素部Pm2,nl的電壓值Vk_1; Vk_2，來修正 電壓值Vk。由信號讀取部20得到的幀數(shù)據(jù)的輸出動作與由修正處理部40得到的修正處理， 可以交互地進行，另外，也可以并聯(lián)地進行。在前者的情況下，在由信號讀取部20得到的幀 數(shù)據(jù)Fk的輸出動作后，進行由修正處理部40得到的幀數(shù)據(jù)Fk的修正處理。然后，在修正處 理結(jié)束之后，從信號讀取部20向修正處理部40輸出下一個的幀數(shù)據(jù)Fk+1。另一方面，在后 者的情況下，在由信號讀取部20得到的幀數(shù)據(jù)Fk的輸出動作后，進行由修正處理部40得 到的幀數(shù)據(jù)Fk的修正處理。然后，在至少一部分與修正處理的期間重疊的期間，從信號讀 取部20向修正處理部40輸出下一個的幀數(shù)據(jù)Fk+1。電荷從缺陷線上的像素部向鄰接線上的像素部的漏出相對于缺陷線的兩側(cè)的鄰 接線上的像素部而產(chǎn)生。因此，優(yōu)選對缺陷線的兩側(cè)的鄰接線上的像素部，進行利用以前的 幀數(shù)據(jù)的電壓值的修正。但是，在將與缺陷線的一側(cè)鄰接的鄰接線上的像素部的電壓值與 在相同側(cè)進一步鄰接的正常線上的像素部的電壓值相加(重疊(binning))而讀取時，僅對 與缺陷線的另一側(cè)鄰接的鄰接線上的像素部的電壓值，進行利用以前的幀數(shù)據(jù)的電壓值的 修正。在此情況下，與記載于上述專利文獻1的現(xiàn)有技術(shù)相比較，也可以獲得高解析度。(第2實施例)其次，就本發(fā)明所涉及的固體攝像裝置的第2實施例進行說明。圖6是表示本發(fā) 明所涉及的固體攝像裝置的第2實施例的結(jié)構(gòu)的圖。該第2實施例所涉及的固體攝像裝置 2具備受光部10A、10B、信號讀取部20A、20B、控制部30、修正處理部40以及緩沖部50A、 50B。另外，在用作X射線平板時，在該固體攝像裝置2的受光面10AU0B上重疊閃爍器面 板。構(gòu)成該第2實施例所涉及的固體攝像裝置2的一部分的受光部10A、10B,分別具有 與上述的第1實施例所涉及的固體攝像裝置1中所包含的受光部10同樣的結(jié)構(gòu)。另外，構(gòu) 成該第2實施例所涉及的固體攝像裝置2的一部分的信號讀取部20A、20B，也分別具有與上 述的第1實施例所涉及的固體攝像裝置1中所包含的信號讀取部20同樣的結(jié)構(gòu)。固體攝像裝置2中的控制部30通過將第m行的行選擇控制信號Vsel (m)向第m 行的行選擇用配線Lv, m輸出，并將該第m行選制信號Vsel (m)賦予分別包含于受光部10A、 IOB的屬于第m行的像素部Pnbl Pm,N?？刂撇?0為了賦予信號讀取部20A中所包含的各 保持電路Hn，將第η列選擇控制信號Hsel (η)向第η列的列選擇用配線Lha,η輸出，并且為了 賦予信號讀取部20Β中所包含的各保持電路Hn，將第η列選擇控制信號Hsel (η)向第η列 的列選擇用配線Lhb,η輸出。另外，控制部30為了賦予分別包含于信號讀取部20Α、20Β的各積分電路Sn，將放 電控制信號Reset向放電控制用配線Lk輸出。控制部30為了賦予分別包含于信號讀取部 20A.20B的各保持電路Hn，將保持控制信號Hold向保持控制用配線Lh輸出。
如以上所述，控制部30控制分別包含于受光部10A、IOB中屬于第m行的N個像素 部Pma Pm,N的讀取用開關(guān)SW1的開關(guān)動作，并且控制信號讀取部20A、20B的各個中的電壓 值的保持動作以及輸出動作。由此，控制部30在受光部10AU0B的各個中，使對應于在分 別包含于MXN個像素部Plil PM, n的光電二極管PD中產(chǎn)生的電荷的量的電壓值，作為幀 數(shù)據(jù)而從信號讀取部20A、20B反復輸出。這樣，該第2實施例所涉及的固體攝像裝置2通過具備多組受光部以及信號讀取 部，從而能夠擴大受光區(qū)域，或者能夠使像素數(shù)增加。另外，該第2實施例所涉及的固體攝 像裝置2可以使多個信號讀取部彼此并聯(lián)地動作，且可以高速讀取像素數(shù)據(jù)。修正處理部40輸入依次從信號讀取部20A中所包含的各保持電路Hn輸出至電壓 輸出用配線L。ut A并經(jīng)過緩沖部50A的電壓值，并且輸入依次從信號讀取部20B中所包含的 各保持電路扎輸出至電壓輸出用配線L。utB并經(jīng)過緩沖部50B的電壓值。然后，修正處理部 40對從信號讀取部20A、20B反復輸出的各幀數(shù)據(jù)進行修正處理，并輸出修正處理后的幀數(shù) 據(jù)。該修正處理部40中的處理內(nèi)容如上所述。但是，緩沖部50A與緩沖部50B的動作 特性未必一致，即使輸入電壓值相同，輸出電壓值也可能不同。因此，修正處理部40在受光 部IOA中所包含的任意的行的行選擇用配線發(fā)生斷線時，優(yōu)選基于對應于該受光部IOA的 幀數(shù)據(jù)中的鄰接線以及正常線的電壓值，求出系數(shù)a2 e2。同樣地，修正處理部40在受光 部IOB中所包含的任意的行的行選擇用配線發(fā)生斷線時，優(yōu)選基于對應于該受光部IOB的 幀數(shù)據(jù)中的鄰接線以及正常線的電壓值，求出系數(shù)a2 e2。(X射線CT裝置)上述的第1實施例所涉及的固體攝像裝置1或者修正從該固體攝像裝置1的信號 讀取部20輸出的幀數(shù)據(jù)的方法，可以在X射線CT裝置中適當?shù)厥褂?。因此，接著就具備?述的第1實施例所涉及的固體攝像裝置1的X射線CT裝置進行說明。圖7是表示本發(fā)明所涉及的X射線CT裝置的一個實施例的結(jié)構(gòu)的圖。在該圖7所 示的X射線CT裝置100中，X射線源106朝向被照物產(chǎn)生X射線。從X射線源106產(chǎn)生的 X射線的輻射場被1次狹縫板106b控制。X射線源106內(nèi)置有X射線管，通過對該X射線 管的管電壓、管電流以及通電時間等的條件進行調(diào)整，來控制朝向被照物的X射線照射量。 X射線攝像器107內(nèi)置有具備二維排列的多個像素部的CMOS固體攝像裝置，對通過被照物 的X射線像進行檢測。在X射線攝像器107的前方，設(shè)置有限制X射線入射區(qū)域的2次狹 縫板107a。旋轉(zhuǎn)臂104在以使X射線源106以及X射線攝像器107相對的方式保持X射線源 106以及X射線攝像器107的狀態(tài)下，使其在全景斷層攝影時圍繞被照物的周圍進行旋轉(zhuǎn)。 另外，在旋轉(zhuǎn)臂104上設(shè)置有滑動機構(gòu)113，該滑動機構(gòu)113用于在線性斷層攝影時，使X射 線攝像器107相對于被照物而直線移位。旋轉(zhuǎn)臂104由構(gòu)成旋轉(zhuǎn)平臺的臂馬達110所驅(qū)動， 其旋轉(zhuǎn)角度由角度傳感器112來檢測。另外，臂馬達110搭載于XY平臺114的可動部上， 可在水平面內(nèi)任意調(diào)整旋轉(zhuǎn)中心。將從X射線攝像器107輸出的圖像信號通過AD變換器120而變換為例如10位 (=1024階(level))的數(shù)字數(shù)據(jù)，并暫時被存入CPU(中央處理裝置)121。之后，被變換 為數(shù)字數(shù)據(jù)的來自X射線攝像器107的圖像信號被存儲于幀存儲器122中。由被存儲于幀
17存儲器122中的圖像數(shù)據(jù)，通過規(guī)定的運算處理而再生沿著任意的斷層面的斷層圖像。再 生的斷層圖像被輸出至視頻內(nèi)存124，通過DA變換器125變換成模擬信號后，通過CRT(陰 極射線管)等的圖像顯示部126顯示(被提供給各種診斷)。在CPU121上連接有信號處理所需的工作存儲器123，進而連接有具備面板開關(guān)以 及X射線照射開關(guān)等的操作面板119。另外，CPU121分別連接于對臂馬達110進行驅(qū)動的 馬達驅(qū)動電路111、對1次狹縫板106b以及2次狹縫板107a的開口范圍進行控制的狹縫 控制電路115、116、以及對X射線源106進行控制的X射線控制電路118，進而輸出用于對 X射線攝像器107進行驅(qū)動的時鐘信號。X射線控制電路118可以基于被X射線攝像器107所攝像的信號，來反饋控制朝向 被照物的X射線照射量。以如上方式而構(gòu)成的X射線CT裝置100中，X射線攝像器107相當于上述的第1 實施例所涉及的固體攝像裝置1的受光部10、信號讀取部20以及控制部30，且在受光部10 的前面設(shè)置有閃爍器面板。另外，CPU121以及工作存儲器123相當于上述的第1實施例所 涉及的固體攝像裝置1的修正處理部40。X射線CT裝置100具備上述的第1實施例所涉及的固體攝像裝置1，而且具備 CPU121來作為基于從固體攝像裝置1輸出的修正處理后的幀數(shù)據(jù)而生成被照物的斷層圖 像的圖像解析部。利用這樣的結(jié)構(gòu)，該X射線CT裝置100能夠獲得缺陷線附近的解析度較 高的斷層圖像。尤其在X射線CT裝置100中，由于短期間內(nèi)連續(xù)地獲取大量(例如300)的 幀數(shù)據(jù)，并且對固體攝像裝置1的受光部10的入射光量會在每個幀中變動，因而從缺陷線 上的像素部溢出至鄰接線上的像素部的電荷的量會在每個幀中變動。這樣的X射線CT裝 置100通過具備固體攝像裝置1，從而能夠?qū)瑪?shù)據(jù)進行有效的修正。此外，X射線CT裝置 100也可以具備第2實施例所涉及的固體攝像裝置2來代替上述的第1實施例所涉及的固 體攝像裝置1。由以上的本發(fā)明的說明，可將本發(fā)明作各種變形。這樣的變形不能夠被視為脫離 本發(fā)明的思想以及范圍，對所有本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，作為不言而喻的改良均包含于權(quán)利 要求范圍中。
權(quán)利要求
一種固體攝像裝置，其特征在于，包含受光部，其具有以構(gòu)成M(2以上的整數(shù))行N(2以上的整數(shù))列的矩陣的方式二維排列的M×N個像素部P1，1～PM，N，且所述像素部P1，1～PM，N分別包含產(chǎn)生對應于入射光強度的量的電荷的光電二極管和連接于該光電二極管的讀取用開關(guān)；讀取用配線LO，n，其連接于分別包含于所述受光部中的屬于第n(1以上N以下的整數(shù))列的M個像素部P1，n～PM，n的讀取用開關(guān)，并經(jīng)由對應的讀取用開關(guān)讀取在包含于所述像素部P1，n～PM，n中的任意的像素部的光電二極管中產(chǎn)生的電荷；信號讀取部，其分別連接于所述讀取用配線LO，1～LO，N，并暫時保持與經(jīng)過所述讀取用配線LO，n而輸入的電荷的量對應的電壓值，之后，依次輸出該保持的電壓值；控制部，其通過控制分別包含于所述受光部中的屬于第m(1以上M以下的整數(shù))行的N個像素部Pm，1～Pm，N的讀取用開關(guān)的開關(guān)動作，從而控制所述信號讀取部中的電壓值的輸出動作，并使與在分別包含于所述受光部中的M×N個像素部P1，1～PM，N的光電二極管中產(chǎn)生的電荷的量對應的各個電壓值，作為幀數(shù)據(jù)而從所述信號讀取部反復輸出；行選擇用配線LV，m，其連接于分別包含于所述受光部中的屬于第m行的N個像素部Pm，1～Pm，N的讀取用開關(guān)，并從所述控制部向該讀取用開關(guān)傳送控制該讀取用開關(guān)的開關(guān)動作的信號；以及修正處理部，其對從所述信號讀取部反復輸出的各個幀數(shù)據(jù)進行修正處理，所述修正處理部為在將因所述行選擇用配線LV，1～LV，M中第m1(1以上M以下的整數(shù))行的行選擇用配線LV，m1的斷線而與所述控制部不連接的像素部作為像素部Pm1，n1(n1為1以上N以下的整數(shù))，將鄰接于該像素部Pm1，n1且屬于鄰接于第m1行的第m2(1以上M以下的整數(shù))行的像素部作為像素部Pm2，n1時，基于幀數(shù)據(jù)Fk以及緊鄰其前的至少2個幀數(shù)據(jù)Fk 1，F(xiàn)k 2的各個中的對應于同一像素部Pm2，n1的電壓值Vk，Vk 1，Vk 2，修正從所述信號讀取部輸出至第k個的該幀數(shù)據(jù)Fk中對應于所述像素部Pm2，n1的電壓值Vk，然后，基于對應于所述像素部Pm2，n1的電壓值的修正后的值，決定所述幀數(shù)據(jù)Fk中對應于像素部Pm1，n1的電壓值。
2.如權(quán)利要求1所述的固體攝像裝置，其特征在于，作為在修正所述幀數(shù)據(jù)Fk中對應于所述像素部Pm2, nl的電壓值Vk時的處理，所述修正 處理部進行從所述電壓值Vk中減去通過各個所述電壓值Vk^1, Vk_2乘以規(guī)定的系數(shù)而獲 得的值的處理。
3.如權(quán)利要求2所述的固體攝像裝置，其特征在于，所述修正處理部在所述行選擇用配線Lv,工 Lv,M中任意的多條行選擇用配線發(fā)生斷線 時，分別對應于該斷線的多條行選擇用配線而設(shè)定所述系數(shù)，并修正所述幀數(shù)據(jù)Fk中對應 于像素部Pm2, nl的電壓值Vk。
4.如權(quán)利要求2所述的固體攝像裝置，其特征在于，在由所述受光部、所述讀取用配線Lan、所述信號讀取部以及所述行選擇用配線Lv,m構(gòu) 成1個傳感器要素時，該固體攝像裝置具備多個傳感器要素，該多個傳感器要素分別具有與所述傳感器要素相同的結(jié)構(gòu)，所述修正處理部在所述多個傳感器要素中的任意的傳感器要素中所包含的行選擇用 配線中的任意行選擇用配線發(fā)生斷線時，基于對應于包含斷線了的行選擇用配線的傳感器 要素中的受光部的幀數(shù)據(jù)的電壓值，來求出所述系數(shù)。
5.一種X射線CT裝置，其特征在于， 包含X射線輸出部，其朝向被照物輸出X射線；權(quán)利要求1 4中的任意一項所述的固體攝像裝置，其通過接收從所述X射線輸出部 經(jīng)過所述被照物而到達的X射線，從而對所述被照物進行攝像；移動單元，其使所述X射線輸出部以及所述固體攝像裝置相對于所述被照物相對移 動；以及圖像解析部，其輸入從所述固體攝像裝置輸出的修正處理后的幀數(shù)據(jù)，并基于該幀數(shù) 據(jù)生成所述被照物的斷層圖像。
6.一種幀數(shù)據(jù)修正方法，其特征在于，所述幀數(shù)據(jù)修正方法是用于修正從固體攝像裝置輸出的幀數(shù)據(jù)的幀數(shù)據(jù)修正方法， 所述固體攝像裝置包含受光部，其具有以構(gòu)成M(2以上的整數(shù))行N(2以上的整數(shù))列的矩陣的方式二維排 列的MXN個像素部Pu PM, n，且所述像素部Pu PM, n分別包含產(chǎn)生對應于入射光強度 的量的電荷的光電二極管和連接于該光電二極管的讀取用開關(guān)；讀取用配線Lan，其連接于分別包含于所述受光部中的屬于第η (1以上N以下的整數(shù)) 列的M個像素部P1, η ΡΜ, η的讀取用開關(guān)，并經(jīng)由對應的讀取用開關(guān)讀取在包含于所述像 素部P1,η ΡΜ,η中的任意的像素部的光電二極管中產(chǎn)生的電荷；信號讀取部，其分別連接于所述讀取用配線Lai La Ν，并暫時保持與經(jīng)過所述讀取用 配線Lq, η而輸入的電荷的量對應的電壓值，之后，依次輸出該保持的電壓值；控制部，其通過控制分別包含于所述受光部中的屬于第m(l以上M以下的整數(shù))行的 N個像素部Pnbl Pm,N的讀取用開關(guān)的開關(guān)動作，從而控制所述信號讀取部中的電壓值的輸 出動作，并使與在分別包含于所述受光部中的MXN個像素部Pu PM,N的光電二極管中產(chǎn) 生的電荷的量對應的各個電壓值，作為幀數(shù)據(jù)而從所述信號讀取部反復輸出；以及行選擇用配線Lv, m，其連接于分別包含于所述受光部中的屬于第m行的N個像素部Pm, ！ Pm,N的讀取用開關(guān)，并從所述控制部向該讀取用開關(guān)傳送控制該讀取用開關(guān)的開關(guān)動作 的信號，所述幀數(shù)據(jù)修正方法包括在將因所述行選擇用配線Lv,工 Lv, M中第ml (1以上M以下的整數(shù))行的行選擇用配 線、^的斷線而與所述控制部不連接的像素部作為像素部Pml, nl(nl為1以上N以下的整 數(shù))，將鄰接于該像素部Pml,η1且屬于鄰接于第ml行的第m2(l以上M以下的整數(shù))行的像 素部作為像素部Pm2,nl時，基于幀數(shù)據(jù)Fk以及緊鄰其前的至少2個幀數(shù)據(jù)Fk+Fn的各個中的對應于同一像素部 Pffl2,nl的電壓值vk，Vk+Vk_2，修正從所述信號讀取部輸出至第k個的該幀數(shù)據(jù)Fk中對應于所 述像素部Pm2, ^的電壓值\，然后，基于對應于所述像素部Pm2,nl的電壓值的修正后的值，決定所述幀數(shù)據(jù)Fk中對應 于像素部Pml,nl的電壓值。
7.如權(quán)利要求6所述的幀數(shù)據(jù)修正方法，其特征在于，作為在修正所述幀數(shù)據(jù)Fk中對應于所述像素部Pm2, nl的電壓值Vk時的處理，從所述電 壓值Vk中減去通過各個所述電壓值Vk^1, Vk_2乘以規(guī)定的系數(shù)而獲得的值。
8.如權(quán)利要求7所述的幀數(shù)據(jù)修正方法，其特征在于，在所述行選擇用配線Lv,工 Lv, M中任意的多條行選擇用配線發(fā)生斷線時，通過分別對 應于該斷線的多條行選擇用配線而設(shè)定所述系數(shù)，從而修正所述幀數(shù)據(jù)Fk中對應于像素部 Pm2,nl& 電壓值 Vk。
9.如權(quán)利要求7所述的幀數(shù)據(jù)修正方法，其特征在于，在由所述受光部、所述讀取用配線Lan、所述信號讀取部以及所述行選擇用配線Lv,m構(gòu) 成1個傳感器要素時，該固體攝像裝置具備多個傳感器要素，該多個傳感器要素分別具有 與所述傳感器要素相同的結(jié)構(gòu)，在所述多個傳感器要素中的任意的傳感器要素中所包含的行選擇用配線中的任意行 選擇用配線發(fā)生斷線時，基于對應于包含斷線了的行選擇用配線的傳感器要素中的受光部 的幀數(shù)據(jù)的電壓值，來求出所述系數(shù)。
全文摘要
本發(fā)明涉及即使在任意的行選擇用配線斷線時，也可以通過適當?shù)匦拚袼財?shù)據(jù)而獲得高解析度的圖像的固體攝像裝置等。該固體攝像裝置(1)具備受光部(10)、信號讀取部(20)、控制部(30)以及修正處理部(40)。受光部(10)以M行N列的矩陣狀二維排列有M×N個像素部(P1，1～PM，N)，各像素部(P1，1～PM，N)包含光電二極管以及讀取用開關(guān)。在各像素部(Pm，n)中產(chǎn)生的電荷經(jīng)過讀取用配線(LO，n)而輸入至積分電路(Sn)，并從積分電路(Sn)輸出對應于該電荷量的電壓值。來自積分電路(Sn)的電壓值經(jīng)過保持電路(Hn)向輸出用配線(Lout)輸出。修正處理部(40)中，對從信號讀取部(20)反復輸出的各幀數(shù)據(jù)進行修正處理，并輸出該修正處理后的幀數(shù)據(jù)。
文檔編號H04N5/367GK101926163SQ200980103008
公開日2010年12月22日 申請日期2009年1月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月24日
發(fā)明者久嶋龍次, 本田真彥, 森治通, 澤田純一, 藤田一樹 申請人:浜松光子學株式會社