專利名稱：一種光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光纖通信技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的系統(tǒng)及方法。
背景技術(shù)：
光纖干涉型傳感器本身具有靈敏度高、響應(yīng)速度快、動(dòng)態(tài)范圍寬、無(wú)源性、防爆、防電磁干擾、超高電絕緣、耐腐蝕、體積小、重量輕、成本低等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合信號(hào)解調(diào)和多路復(fù)用技術(shù)它可以實(shí)現(xiàn)解調(diào)極低頻信號(hào)，同時(shí)也具有高精度、高穩(wěn)定度、高線性度、易于組網(wǎng)復(fù)用、諧波失真低的優(yōu)點(diǎn)，在地震探測(cè)、海洋資源勘探、地球物理研究以及水下軍事對(duì)抗等方面具有極其廣泛的應(yīng)用前途。在光纖干涉型傳感器的多種解調(diào)方法中，相位生成載波(Phase GeneratorCarrier，簡(jiǎn)稱PGC)解調(diào)技術(shù)是一種無(wú)源解調(diào)技術(shù)，其具有高分辨率、高線性度、低諧波失真、大動(dòng)態(tài)范圍、穩(wěn)定性較好、不依賴于光器件、性能較為穩(wěn)定、易于復(fù)用的優(yōu)點(diǎn)，應(yīng)用最為廣泛。基于PGC解調(diào)技術(shù)的算法目前主要有兩種微分交叉相乘(DCM)算法和反正切(Arctan)算法。前者對(duì)信號(hào)光強(qiáng)度變化十分敏感，它不僅增加了解調(diào)系統(tǒng)的噪聲水平，同時(shí)還可能引入偽相位信息；而后者則不存在光強(qiáng)變化引起的干擾問題，具有較高的穩(wěn)定性，但其要求調(diào)制深度C值嚴(yán)格等于2. 63，否則會(huì)出現(xiàn)較大的諧波失真。

發(fā)明內(nèi)容
(一 )要解決的技術(shù)問題為解決上述的一個(gè)或多個(gè)問題，本發(fā)明提供了一種光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的系統(tǒng)及方法，以抑制諧波失真問題，提高穩(wěn)定性。( 二 )技術(shù)方案根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊，其輸入端與光纖干涉型傳感信號(hào)的兩輸入端相連接，用于分別對(duì)輸入的載波信號(hào)和光纖干涉信號(hào)進(jìn)行模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換，生成第一數(shù)字采樣結(jié)果和第二數(shù)字采樣結(jié)果；濾波器模塊，其輸入端與模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊的兩輸出端相連接，用于對(duì)模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊輸出的第一數(shù)字采樣結(jié)果及其倍頻和第二數(shù)字采樣結(jié)果進(jìn)行混頻處理和低通濾波，生成第一濾波結(jié)果和第二濾波結(jié)果；信號(hào)解調(diào)計(jì)算模塊，其輸入端與濾波器模塊的兩輸出端相連接，用于對(duì)濾波器模塊輸出的第一濾波結(jié)果和第二濾波結(jié)果采用微分自乘相加算法進(jìn)行信號(hào)解調(diào)計(jì)算，生成信號(hào)解調(diào)計(jì)算結(jié)果。根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，還提供了一種光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的方法。該方法包括分別對(duì)輸入的載波信號(hào)和光纖干涉信號(hào)進(jìn)行模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換，生成第一數(shù)字采樣結(jié)果和第二數(shù)字采樣結(jié)果；對(duì)第一數(shù)字采樣結(jié)果及其倍頻和第二數(shù)字采樣結(jié)果進(jìn)行混頻處理 和低通濾波，生成第一濾波結(jié)果和第二濾波結(jié)果；對(duì)第一濾波結(jié)果和第二濾波結(jié)果采用微分自乘相加算法進(jìn)行信號(hào)解調(diào)計(jì)算，生成信號(hào)解調(diào)計(jì)算結(jié)果。(三)有益效果 從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的系統(tǒng)及方法，具有如下有益效果I、諧波失真低結(jié)合微分自乘相加算法和低通濾波器與帶通濾波器的設(shè)置，可以有效的降低諧波失真；2、穩(wěn)定性高通過(guò)結(jié)果修正可以去除光強(qiáng)幅度的影響，能夠抑制光強(qiáng)變化引起的干擾問題，具有較高的穩(wěn)定性；3、操作方便可以通過(guò)全數(shù)字化實(shí)現(xiàn)，便于調(diào)整和應(yīng)用。


圖I為本發(fā)明實(shí)施例光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)方法的流程示意圖。主要元件符號(hào)說(shuō)明10-模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊；101-第一信號(hào)調(diào)理單元；102-第二信號(hào)調(diào)理單元；103-第一 AD采樣單元； 104-第二 AD采樣單元；20-濾波器模塊；201-第一信號(hào)處理單元；202-第二信號(hào)處理單元；203-頻率檢測(cè)單元；204-第一低通濾波器；205-第二低通濾波器；30-信號(hào)解調(diào)計(jì)算模塊；301-第一微分器；302-第二微分器；303-第一乘法器；304-第二乘法器；305-加法器；306-積分器；307-帶通濾波器；40-信號(hào)檢測(cè)結(jié)果存儲(chǔ)及顯示模塊401_結(jié)果修正單兀；402_彳目號(hào)檢測(cè)結(jié)果存儲(chǔ)及顯不單兀。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。雖然本文可提供包括特定值的參數(shù)的示范，但應(yīng)了解，參數(shù)無(wú)需確切等于相應(yīng)的值，而是可在可接受的誤差容限或設(shè)計(jì)約束內(nèi)近似于相應(yīng)的值。本發(fā)明提出了一種區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)兩種PGC解調(diào)方法-微分交叉相乘(DCM)算法和反正切(Arctan)算法的新方法，該方法采用微分自乘相加的算法，結(jié)合低通濾波器和帶通濾波器的設(shè)置，并適當(dāng)?shù)膶?duì)解調(diào)結(jié)果進(jìn)行處理和標(biāo)定，從而可以準(zhǔn)確的解調(diào)傳感信號(hào)。在本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施例中，提出了一種光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的系統(tǒng)。圖I為本發(fā)明實(shí)施例光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖I所示，本實(shí)施例包括模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊10、濾波器模塊20、信號(hào)解調(diào)計(jì)算模塊30和信號(hào)檢測(cè)結(jié)果存儲(chǔ)及顯示模塊40。以下分別對(duì)各組成模塊進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
首先，為便于說(shuō)明，設(shè)未經(jīng)調(diào)理的載波信號(hào)al和光纖干涉信號(hào)a2分別如下式(I)、
(2)所示X (t) = acos (2 π ft) (I)
y(t) = A +B cos[C cos(2π ft) + φ{(diào)t)](2)其中，&、八和8為信號(hào)1(1:)、7(1:)的幅值，C為調(diào)制深度，f為調(diào)制信號(hào)頻率,爐0)為待解調(diào)的信號(hào)。模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊10，其輸入端與光纖干涉型傳感信號(hào)的兩輸入端相連接，用于分別對(duì)輸入的載波信號(hào)al和光纖干涉信號(hào)a2進(jìn)行模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換，生成第一數(shù)字采樣結(jié)果bl和第二數(shù)字采樣結(jié)果b2，第一數(shù)字采樣結(jié)果bl和第二數(shù)字采樣結(jié)果b2輸出給濾波器模塊20。如圖I所示，模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊10，包括第一信號(hào)調(diào)理單元101、第二信號(hào)調(diào)理單元102、第一 AD米樣單兀103和第二 AD米樣單兀104。其中第一信號(hào)調(diào)理單兀101,與光纖干涉型傳感信號(hào)的載波信號(hào)輸入端相連接，用于對(duì)輸入的載波信號(hào)al進(jìn)行信號(hào)調(diào)理，使其電壓幅度在第一 AD采樣單元103所要求的范圍內(nèi)。第二信號(hào)調(diào)理單元102，與光纖干涉型傳感信號(hào)的光纖干涉信號(hào)輸入端相連接，用于對(duì)輸入的光纖干涉信號(hào)a2進(jìn)行信號(hào)調(diào)理，使其幅度在第二 AD采樣單元104所要求的范圍內(nèi)。優(yōu)選地，第一 AD采樣單元103和第二 AD米樣單兀104所要求的電壓幅度范圍為±10V。第一 AD米樣單兀103,用于對(duì)第一信號(hào)調(diào)理單元101的輸出進(jìn)行數(shù)字化采集，完成模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換，生成第一數(shù)字采樣結(jié)果bl。第二AD采樣單元104，用于對(duì)第一信號(hào)調(diào)理102的輸出進(jìn)行數(shù)字化采集，完成模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換，生成第二數(shù)字采樣結(jié)果b2，采樣速率與第一 AD采樣103保持同步。優(yōu)選地，第一 AD采樣單元103和第二 AD采樣單元104的采樣速率為10KS/s-200KS/s，最優(yōu)為2. 5KHz。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)清楚，如果能夠保證輸入的光纖干涉型傳感信號(hào)的第一 AD采樣單元和第二 AD采樣單元的范圍，第一信號(hào)調(diào)理單元101和第二信號(hào)調(diào)理單元102也可以省略，并且第一 AD采樣單元103和第二 AD采樣單元104的電壓幅度范圍和采樣速率也可以根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)整。濾波器模塊20，其輸入端與模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊10的兩輸出端相連接，用于對(duì)模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊10輸出的第一數(shù)字采樣結(jié)果bl及其倍頻和第二數(shù)字采樣結(jié)果b2進(jìn)行混頻處理和低通濾波，生成第一濾波結(jié)果Cl和第二濾波結(jié)果c2，以抑制諧波干擾，第一濾波結(jié)果Cl和第二濾波結(jié)果c2輸出給信號(hào)解調(diào)計(jì)算模塊30。如圖I所示，濾波器模塊20包括第一信號(hào)處理單元201、第二信號(hào)處理單元202、頻率檢測(cè)單元203、第一低通濾波器204和第二低通濾波器205。其中第一信號(hào)處理單元201，用于對(duì)第一數(shù)字采樣結(jié)果bl與第二數(shù)字采樣結(jié)果b2進(jìn)行混頻運(yùn)算，并將運(yùn)算結(jié)果輸出到第一低通濾波器204。第二信號(hào)處理單元202，用于對(duì)第一數(shù)字采樣結(jié)果bl的倍頻與第二數(shù)字采樣結(jié)果b2進(jìn)行混頻運(yùn)算，并將運(yùn)算結(jié)果輸出到第二低通濾波器205。頻率檢測(cè)單元203，與第二 AD采樣單元104的輸出端相連接，用于從模數(shù)轉(zhuǎn)換后的光纖干涉信號(hào)-第二數(shù)字采樣結(jié)果b2中檢測(cè)出其最高頻率，將此頻率的一倍至兩倍作為第一低通濾波器204和第二低通濾波器205的低通截止頻率，該低通截止頻率通常為2KHz 4KHz。
第一低通濾波器204,用于對(duì)第一信號(hào)處理單兀201輸出結(jié)果進(jìn)行低通濾波,生成第一濾波結(jié)果cl,濾波結(jié)果如公式(3)所不。第二低通濾波器205,用于對(duì)第二信號(hào)處理202輸出結(jié)果進(jìn)行低通濾波，生成第二濾波結(jié)果c2。濾波器低通設(shè)置由頻率檢測(cè)單元203輸出結(jié)果進(jìn)行控制，第二低通濾波器205的濾波器設(shè)置與第一低通濾波器204保持相同，濾波結(jié)果如公式(4)所示。
權(quán)利要求
1.一種光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的系統(tǒng)，其特征在于，包括 模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊，其輸入端與光纖干涉型傳感信號(hào)的兩輸入端相連接，用于分別對(duì)輸入的載波信號(hào)和光纖干涉信號(hào)進(jìn)行模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換，生成第一數(shù)字采樣結(jié)果和第二數(shù)字采樣結(jié)果; 濾波器模塊，其輸入端與模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊的兩輸出端相連接，用于對(duì)模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊輸出的第一數(shù)字采樣結(jié)果及其倍頻和第二數(shù)字采樣結(jié)果進(jìn)行混頻處理和低通濾波，生成第一濾波結(jié)果和第二濾波結(jié)果； 信號(hào)解調(diào)計(jì)算模塊，其輸入端與濾波器模塊的兩輸出端相連接，用于對(duì)濾波器模塊輸出的第一濾波結(jié)果和第二濾波結(jié)果采用微分自乘相加算法進(jìn)行信號(hào)解調(diào)計(jì)算，生成信號(hào)解調(diào)計(jì)算結(jié)果。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的系統(tǒng)，其特征在于，所述濾波器模塊包括 第一信號(hào)處理單元，用于對(duì)第一數(shù)字采樣結(jié)果與第二數(shù)字采樣結(jié)果進(jìn)行混頻運(yùn)算，并將混頻運(yùn)算結(jié)果輸出到第一低通濾波器； 第一低通濾波器，用于對(duì)第一信號(hào)處理單元輸出的混頻運(yùn)算結(jié)果進(jìn)行低通濾波，生成第一濾波結(jié)果； 第二信號(hào)處理單元，用于對(duì)第一數(shù)字采樣結(jié)果的倍頻與第二數(shù)字采樣結(jié)果進(jìn)行混頻運(yùn)算，并將運(yùn)算結(jié)果輸出到第二低通濾波器。
第二低通濾波器，用于對(duì)第二信號(hào)處理單元輸出的混頻運(yùn)算結(jié)果進(jìn)行低通濾波，生成第二濾波結(jié)果。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的系統(tǒng)，其特征在于，所述濾波器模塊還包括 頻率檢測(cè)單元，與模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊的輸出端相連接，用于從第二數(shù)字采樣結(jié)果中檢測(cè)出光纖干涉信號(hào)的最高頻率，將該最高頻率的一倍至兩倍作為第一低通濾波器和第二低通濾波器的低通截止頻率。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的系統(tǒng)，其特征在于，所述信號(hào)解調(diào)計(jì)算模塊包括 第一微分器，用于對(duì)第一濾波結(jié)果進(jìn)行微分運(yùn)算； 第一乘法器，用于對(duì)第一微分器的輸出的微分運(yùn)算結(jié)果進(jìn)行平方運(yùn)算； 第二微分器，用于對(duì)第二濾波結(jié)果進(jìn)行微分運(yùn)算； 第二乘法器，用于對(duì)第二微分器的輸出的微分運(yùn)算結(jié)果進(jìn)行平方運(yùn)算； 加法器，用于對(duì)第一乘法器輸出的平方運(yùn)算結(jié)果和第二乘法器的輸出的平方運(yùn)算結(jié)果進(jìn)行加法運(yùn)算； 積分器，用于對(duì)加法器的輸出的加法運(yùn)算結(jié)果進(jìn)行積分運(yùn)算； 帶通濾波器，用于對(duì)積分器輸出的積分運(yùn)算結(jié)果進(jìn)行帶通濾波，生成信號(hào)解調(diào)計(jì)算結(jié)果O
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的系統(tǒng)，其特征在于，所述模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊包括 第一信號(hào)調(diào)理單元，與光纖干涉型傳感信號(hào)的載波信號(hào)輸入端相連接，用于對(duì)輸入的載波信號(hào)進(jìn)行信號(hào)調(diào)理，使其電壓幅度在第一 AD采樣單元所要求的范圍內(nèi)； 第一 AD采樣單元，用于對(duì)第一信號(hào)調(diào)理單元的輸出信號(hào)進(jìn)行數(shù)字化采集，生成第一數(shù)字采樣結(jié)果； 第二信號(hào)調(diào)理單元，與光纖干涉型傳感信號(hào)的光纖干涉信號(hào)輸入端相連接，用于對(duì)輸入的光纖干涉信號(hào)進(jìn)行信號(hào)調(diào)理，使其幅度在第二 AD采樣單元所要求的范圍內(nèi)； 第二 AD采樣單元，用于對(duì)第一信號(hào)調(diào)理的輸出信號(hào)進(jìn)行數(shù)字化采集，生成第二數(shù)字采樣結(jié)果。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至5中任一項(xiàng)所述的光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的系統(tǒng)，其特征在于，還包括 信號(hào)檢測(cè)結(jié)果修正模塊，用于對(duì)信號(hào)解調(diào)計(jì)算模塊輸出的信號(hào)解調(diào)計(jì)算結(jié)果進(jìn)行歸一化修正運(yùn)算。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的系統(tǒng)，其特征在于，所述信號(hào)檢測(cè)結(jié)果修正模塊包括 結(jié)果修正單元，用于對(duì)信號(hào)解調(diào)計(jì)算模塊輸出的信號(hào)解調(diào)計(jì)算結(jié)果進(jìn)行歸一化修正運(yùn)算； 信號(hào)檢測(cè)結(jié)果存儲(chǔ)及顯示單元，用于對(duì)修正運(yùn)算后的信號(hào)解調(diào)計(jì)算結(jié)果進(jìn)行數(shù)字化存儲(chǔ)和顯示。
8.一種光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的方法，其特征在于，包括 分別對(duì)輸入的載波信號(hào)和光纖干涉信號(hào)進(jìn)行模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換，生成第一數(shù)字采樣結(jié)果和第二數(shù)字采樣結(jié)果； 對(duì)第一數(shù)字采樣結(jié)果及其倍頻和第二數(shù)字采樣結(jié)果進(jìn)行混頻處理和低通濾波，生成第一濾波結(jié)果和第二濾波結(jié)果； 對(duì)第一濾波結(jié)果和第二濾波結(jié)果采用微分自乘相加算法進(jìn)行信號(hào)解調(diào)計(jì)算，生成信號(hào)解調(diào)計(jì)算結(jié)果。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的方法，其特征在于，所述對(duì)第一數(shù)字采樣結(jié)果及其倍頻和第二數(shù)字采樣結(jié)果進(jìn)行混頻處理和低通濾波，生成第一濾波結(jié)果和第二濾波結(jié)果的步驟包括 對(duì)第一數(shù)字采樣結(jié)果與第二數(shù)字采樣結(jié)果進(jìn)行混頻運(yùn)算，對(duì)混頻運(yùn)算結(jié)果進(jìn)行低通濾波，生成第一濾波結(jié)果； 對(duì)第一數(shù)字采樣結(jié)果的倍頻與第二數(shù)字采樣結(jié)果進(jìn)行混頻運(yùn)算，對(duì)混頻運(yùn)算結(jié)果進(jìn)行低通濾波，生成第二濾波結(jié)果。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的方法，其特征在于，所述對(duì)第一濾波結(jié)果和第二濾波結(jié)果采用微分自乘相加算法進(jìn)行信號(hào)解調(diào)計(jì)算，生成信號(hào)解調(diào)計(jì)算結(jié)果的步驟包括 對(duì)第一濾波結(jié)果進(jìn)行微分運(yùn)算，對(duì)第一濾波結(jié)果的微分運(yùn)算結(jié)果進(jìn)行平方運(yùn)算，生成第一平方運(yùn)算結(jié)果； 對(duì)第二濾波結(jié)果進(jìn)行微分運(yùn)算，對(duì)第二濾波結(jié)果的微分運(yùn)算結(jié)果進(jìn)行平方運(yùn)算，生成第二平方運(yùn)算結(jié)果； 對(duì)第一平方運(yùn)算結(jié)果和第二平方運(yùn)算結(jié)果進(jìn)行加法運(yùn)算；對(duì)加法運(yùn)算結(jié)果進(jìn)行積分運(yùn)算； 對(duì)積分運(yùn)算結(jié)果進(jìn)行帶通濾波，生成信號(hào)解調(diào)計(jì)算結(jié)果。
11.根據(jù)權(quán)利要求8至10中任一項(xiàng)所述的光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的方法，其特征在于，所述對(duì)第一濾波結(jié)果和第二濾波結(jié)果采用微分自乘相加算法進(jìn)行信號(hào)解調(diào)計(jì)算，生成信號(hào)解調(diào)計(jì)算結(jié)果的步驟之后還包括 對(duì)信號(hào)解調(diào)計(jì)算結(jié)果進(jìn)行歸一化修正運(yùn)算。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種光纖干涉型傳感信號(hào)解調(diào)的系統(tǒng)及方法。該系統(tǒng)包括模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊，用于分別對(duì)輸入的載波信號(hào)和光纖干涉信號(hào)進(jìn)行模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換，生成第一數(shù)字采樣結(jié)果和第二數(shù)字采樣結(jié)果；濾波器模塊，用于對(duì)模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊輸出的第一數(shù)字采樣結(jié)果及其倍頻和第二數(shù)字采樣結(jié)果進(jìn)行混頻處理和低通濾波，生成第一濾波結(jié)果和第二濾波結(jié)果；信號(hào)解調(diào)計(jì)算模塊，用于對(duì)濾波器模塊輸出的第一濾波結(jié)果和第二濾波結(jié)果采用微分自乘相加算法進(jìn)行信號(hào)解調(diào)計(jì)算，生成信號(hào)解調(diào)計(jì)算結(jié)果。本發(fā)明結(jié)合微分自乘相加算法和低通濾波器與帶通濾波器的設(shè)置，其能夠有效的抑制調(diào)制深度C值變化帶來(lái)的諧波失真問題。
文檔編號(hào)H04B10/12GK102624456SQ20121004159
公開日2012年8月1日 申請(qǐng)日期2012年2月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月21日
發(fā)明者徐團(tuán)偉, 李芳 , 王國(guó)慶 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所