固態(tài)圖像傳感器的制造方法
【專利摘要】一種圖像傳感器包括：第一像素，具有第一濾色器、反射來自第一濾色器的光的第一反射區(qū)域、以及第一光電轉(zhuǎn)換部分，第一光電轉(zhuǎn)換部分布置在半導(dǎo)體層中，并且位于第一濾色器與第一反射區(qū)域之間；以及第二像素，包括第二濾色器、反射來自第二濾色器的光的第二反射區(qū)域、以及第二光電轉(zhuǎn)換部分，第二光電轉(zhuǎn)換部分布置在半導(dǎo)體層中，并且位于第二濾色器與第二反射區(qū)域之間。與第一濾色器的最大透射率相應(yīng)的波長比與第二濾色器的最大透射率相應(yīng)的波長短。第一反射區(qū)域的面積小于第二反射區(qū)域的面積。
【專利說明】固態(tài)圖像傳感器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種固態(tài)圖像傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]美國專利N0.7，755，123描述了一種背照式成像裝置，在該背照式成像裝置中，縮小基板的厚度以使得光電傳感器可以容易地檢測入射在背面上的光。附于本說明書的圖7舉證了美國專利N0.7，755，123的圖1C中所描述的背照式成像裝置。美國專利N0.7，755，123中所描述的成像裝置包括輻射反射器128，輻射反射器128使入射在半導(dǎo)體裝置基板104或KMd1至104d3的背面上并透射通過該背面的光子朝向形成在該半導(dǎo)體裝置基板中的光電傳感器反射。
[0003]當(dāng)在例如紅色像素、綠色像素和藍(lán)色像素中分別包括輻射反射器時，傾斜入射在綠色像素的濾色器上并且透射通過該濾色器的一些光線可能被藍(lán)色像素的輻射反射器反射，并且可能入射在藍(lán)色像素的光電傳感器上。在這種情況下，在綠色像素與藍(lán)色像素之間可能發(fā)生顏色混合。同樣地，在綠色像素與藍(lán)色像素之間可能發(fā)生顏色混合。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供一種有利于改進(jìn)圖像質(zhì)量的技術(shù)。
[0005]本發(fā)明的各方面之一提供一種包括半導(dǎo)體層的固態(tài)圖像傳感器，該傳感器包括:第一類型的像素，包括第一濾色器、反射透射通過第一濾色器的光的第一反射區(qū)域、以及布置在半導(dǎo)體層中的第一光電轉(zhuǎn)換部分，第一光電轉(zhuǎn)換部分位于第一濾色器與第一反射區(qū)域之間；以及第二類型的像素，包括第二濾色器、反射透射通過第二濾色器的光的第二反射區(qū)域、以及布置在半導(dǎo)體層中的第二光電轉(zhuǎn)換部分，第二光電轉(zhuǎn)換部分位于第二濾色器與第二反射區(qū)域之間，其中，與第一濾色器的最大透射率相應(yīng)的波長比與第二濾色器的最大透射率相應(yīng)的波長短，并且第一反射區(qū)域的面積小于第二反射區(qū)域的面積。
[0006]從以下參照附圖對示例性實(shí)施例的描述，本發(fā)明的進(jìn)一步的特征將變得清楚。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1是示出根據(jù)第一實(shí)施例的固態(tài)圖像傳感器的布置的視圖；
[0008]圖2是示出根據(jù)第一實(shí)施例的固態(tài)圖像傳感器的布置的視圖；
[0009]圖3是示出根據(jù)第一實(shí)施例的固態(tài)圖像傳感器的功能的視圖；
[0010]圖4是示出根據(jù)第一實(shí)施例的固態(tài)圖像傳感器的功能的視圖；
[0011]圖5A和5B是示出第一實(shí)施例的修改形式的布置的視圖；
[0012]圖6是示出根據(jù)第二實(shí)施例的固態(tài)圖像傳感器的布置的視圖；和
[0013]圖7是用于解釋美國專利N0.7，755，123中所描述的固態(tài)成像裝置的視圖。
【具體實(shí)施方式】[0014]以下將參照圖1至4以及圖5A和5B來描述根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的固態(tài)圖像傳感器100。圖1、3和4是固態(tài)圖像傳感器100沿著垂直于其圖像感測表面的平面截取的截面圖，為了簡單起見，僅示出了兩個像素。要注意的是，圖像感測表面是其上布置通過排列多個像素而形成的像素陣列的表面。圖2是固態(tài)圖像傳感器100沿著圖1中的作為平行于其圖像感測表面的平面的A-A’平面截取的截面圖。固態(tài)圖像傳感器100可以被配置為例如MOS圖像傳感器或CXD圖像傳感器。
[0015]固態(tài)圖像傳感器100包括具有第一面120和第二面121的半導(dǎo)體層101。半導(dǎo)體層101可以由例如硅基板構(gòu)成。固態(tài)圖像傳感器100還包括布線結(jié)構(gòu)WS和濾色器層107，布線結(jié)構(gòu)WS布置在半導(dǎo)體層101的第一面120的一側(cè)，濾色器層107布置在半導(dǎo)體層101的第二面121的一側(cè)。濾色器層107可以包括第一濾色器107a、第二濾色器107b和第三濾色器107c(未示出)。第一濾色器107a、第二濾色器107b和第三濾波器107c的布置可以采用例如Bayer矩陣。與第一濾色器107a的最大透射率相應(yīng)的波長比與第二濾色器107b的最大透射率相應(yīng)的波長短。與第一濾色器107a的最大透射率相應(yīng)的波長比與第三濾色器107c的最大透射率相應(yīng)的波長短。通常,濾色器的透射率的最大值可以在380nm至810nm的可見光波長范圍內(nèi)決定。
[0016]將在第一濾色器107a透射藍(lán)色(B)波長范圍的光、第二濾色器107b透射綠色(G)波長范圍內(nèi)的光、第三濾色器107c透射紅色(R)波長范圍內(nèi)的光的假設(shè)下給出以下描述。然而，還可以在其中第一濾色器107a透射藍(lán)色(B)波長范圍的光、第二濾色器107b透射紅色(R)波長范圍內(nèi)的光、第三濾色器107c透射綠色(G)波長范圍內(nèi)的光的布置中實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。
[0017]固態(tài)圖像傳感器100還可以包括排列在濾色器層107上的多個微透鏡108。固態(tài)圖像傳感器100還可以具有在半導(dǎo)體層101的第二面121與濾色器層107之間的平坦化層106。平坦化層106可以用作例如濾色器層107的基底(underlying)膜。在圖像感測定時，光經(jīng)由微透鏡108入射在光電轉(zhuǎn)換部分102上。在這種情況下，每個微透鏡108布置在半導(dǎo)體層101的第二面121 —側(cè)，布線結(jié)構(gòu)WS布置在半導(dǎo)體層101的第一面120—側(cè)。以這種方式，從與其上布置布線結(jié)構(gòu)的第一面一側(cè)相對的第二面一側(cè)接收光的固態(tài)圖像傳感器可以被稱為背照式固態(tài)圖像傳感器。
[0018]多個光電轉(zhuǎn)換部分102形成在半導(dǎo)體層101中。半導(dǎo)體層101和每個光電轉(zhuǎn)換部分102由相反傳導(dǎo)類型的雜質(zhì)半導(dǎo)體區(qū)域形成，并且它們形成p-n結(jié)(光電二極管)。光電轉(zhuǎn)換部分102是其中極性與將被作為信號讀出的電荷的極性相同的載流子是主要載流子的區(qū)域。在半導(dǎo)體層101中，可以形成使相鄰的光電轉(zhuǎn)換部分102彼此隔離的元件隔離部分103。元件隔離部分103可以包括傳導(dǎo)類型與光電轉(zhuǎn)換部分102的傳導(dǎo)類型相反的雜質(zhì)半導(dǎo)體區(qū)域和/或絕緣體。在這種情況下，絕緣體可以是LOCOS隔離、STI隔離等。
[0019]固態(tài)圖像傳感器100還包括形成在半導(dǎo)體層101的第一面120上的多個晶體管Tr,以便讀出光電轉(zhuǎn)換部分102或者102a、102b和102c的信號。每個晶體管Tr包括由例如多晶硅構(gòu)成的柵極電極104。在圖1、3和4中，沒有示出形成晶體管Tr的源極、漏極、柵極氧化物膜等。當(dāng)固態(tài)圖像傳感器100被配置為MOS圖像傳感器時，多個晶體管Tr可以包括例如將累積在光電轉(zhuǎn)換部分102上的電荷轉(zhuǎn)移到浮置擴(kuò)散(未示出)所需的轉(zhuǎn)移晶體管。
[0020]布線結(jié)構(gòu)WS包括堆疊布線部分109和層間絕緣膜105。堆疊布線部分109可以包括例如第一布線層110、第二布線層111和第三布線層112。層間絕緣膜105可以由例如硅氧化物膜形成。在本實(shí)施例中，第一布線層110形成反射區(qū)域，該反射區(qū)域反射透射通過濾色器107a、107b和107c、入射在光電轉(zhuǎn)換部分102上并透射通過光電轉(zhuǎn)換部分102的光線。如圖2中所例示的，第一布線層110可以包括第一反射區(qū)域110a、第二反射區(qū)域IlOb和第三反射區(qū)域110c。
[0021]作為堆疊布線部分109的第一布線層110、第二布線層111和第三布線層112可以含有作為主成分的例如鋁、銅、金、鎢、鈦和鉭中的一種?？商鎿Q地，第一反射區(qū)域110a、第二反射區(qū)域IlOb和第三反射區(qū)域IlOc可以由含有作為主成分的例如鋁、銅、金、鎢、鈦和鉭中的一種的構(gòu)件形成。
[0022]固態(tài)圖像傳感器100包括通過排列多個像素而構(gòu)成的像素陣列。多個像素至少包括第一類型的像素和第二類型的像素，并且通常包括第一類型的像素、第二類型的像素和第三類型的像素。在一個例子中，第一類型的像素可以包括第一濾色器107a、第一光電轉(zhuǎn)換部分102a和第一反射區(qū)域110a。第一反射區(qū)域IlOa使透射通過第一濾色器107a、入射在第一光電轉(zhuǎn)換部分102a上并透射通過第一光電轉(zhuǎn)換部分102a的光線朝向第一光電轉(zhuǎn)換部分102a反射。第二類型的像素可以包括第二濾色器107b、第二光電轉(zhuǎn)換部分102b和第二反射區(qū)域110b。第二反射區(qū)域IlOb使透射通過第二濾色器107b、入射在第二光電轉(zhuǎn)換部分102b上并透射通過第二光電轉(zhuǎn)換部分102b的光線朝向第二光電轉(zhuǎn)換部分102b反射。第三類型的像素可以包括第三濾色器107c、第三光電轉(zhuǎn)換部分102c和第三反射區(qū)域110c。第三反射區(qū)域IlOc使透射通過第三濾色器107c、入射在第三光電轉(zhuǎn)換部分102c上并透射通過第三光電轉(zhuǎn)換部分102c的光線朝向第三光電轉(zhuǎn)換部分102c反射。第一反射區(qū)域IlOa的面積小于第二反射區(qū)域IlOb的面積。此外，第一反射區(qū)域IlOa的面積小于第三反射區(qū)域IlOc的面積。
[0023]以下將在半導(dǎo)體層101的厚度為3μπι的假設(shè)下描述半導(dǎo)體層101對光的吸收以及當(dāng)反射區(qū)域IlOaUlOb和IlOc被布置時所獲得的效果，以便提供實(shí)際的例子。第二面121與第一面120之間的半導(dǎo)體區(qū)域?qū)θ肷湓诘诙?21上的光的吸收的比率(與入射在第二面121上的光的比率)根據(jù)光的波長而不同。以下將檢查光垂直入射在第二面121上的情況。在這種情況下，直到通過第二面121的光到達(dá)第一面120為止，透射通過綠色濾色器107b的550nm的波長的光線的大約87.2%被吸收，并且透射通過紅色濾色器107c的620nm的波長的光線的大約70.3%被吸收。此時，如圖3所示，沒有被吸收的光線114被包括反射區(qū)域IlOaUlOb和IlOc的第一布線層110反射,返回到光電轉(zhuǎn)換部分102,并且被光電轉(zhuǎn)換部分102吸收。因此，通過布置反射區(qū)域110a、IlOb和110c，可以改進(jìn)靈敏度。
[0024]另一方面，透射通過藍(lán)色濾色器107a的450nm的波長的光線113在它們從第二面121起行進(jìn)之后在它們到達(dá)第一面120之前有99.9%被吸收。也就是說，450nm的波長的光線113在它們到達(dá)第一面120之前大部分被光電轉(zhuǎn)換部分102光電轉(zhuǎn)換。由于這個原因，如果布置在藍(lán)色像素(第一類型的像素)的第一面120 —側(cè)的反射區(qū)域IlOa的面積小于布置在綠色像素和紅色像素的第一面120 —側(cè)的反射區(qū)域IlOb和IlOc的面積，則反射區(qū)域IlOa對靈敏度幾乎沒有影響。相反，如圖4所示，綠色區(qū)域和紅色區(qū)域的透射通過周圍像素的光電轉(zhuǎn)換部分102的光線114可以入射在藍(lán)色像素(第一類型的像素)中所包括的第一反射區(qū)域IlOa上。這樣的光線114可以被藍(lán)色像素(第一類型的像素)中所包括的第一反射區(qū)域IlOa反射，并且可以入射在藍(lán)色像素的第一光電轉(zhuǎn)換部分102a上。因此，因?yàn)槠渌伾南袼氐男盘柣旌显谒{(lán)色像素的信號中，所以顏色混合發(fā)生。
[0025]因此，因?yàn)樗{(lán)色像素(第一類型的像素)的第一反射區(qū)域IlOa的面積被設(shè)置為小于第二反射區(qū)域IlOb和第三反射區(qū)域IlOc的面積，所以可以實(shí)現(xiàn)靈敏度的改進(jìn)和顏色混合的減少。在這種情況下，通過僅將藍(lán)色像素(第一類型的像素)的第一反射區(qū)域IlOa的面積設(shè)置為小于第二反射區(qū)域IlOb和第三反射區(qū)域IlOc之一的面積，可以獲得靈敏度改進(jìn)和顏色混合減少的效果。
[0026]在第一實(shí)施例中，因?yàn)榉瓷鋮^(qū)域IlOaUlOb和IlOc由布線層110形成，所以無需添加另一層，從而抑制制造處理復(fù)雜化。在第一實(shí)施例中，反射區(qū)域110a、I IOb和I IOc由多個布線層110、111和112中最靠近半導(dǎo)體層101的第一面120的布線層形成。因此，可以縮短反射區(qū)域IlOaUlOb和IlOc與光電轉(zhuǎn)換部分102之間的距離，并且可以減少雜散光。結(jié)果，可以改進(jìn)靈敏度，并且可以減少顏色混合。
[0027]在第一實(shí)施例中，反射區(qū)域IlOaUlOb和IlOc由多個布線層110、111和112中最靠近的半導(dǎo)體層101的第一面120的布線層形成。然而，反射區(qū)域IlOaUlOb和IlOc可以由另一布線層111或112形成，或者可以由多個布線層110、111和112中的兩個或更多個形成。反射區(qū)域的面積可以被評估為當(dāng)用作反射區(qū)域的部分投影到第一面120上時投影到第一面120上的部分的面積。圖5A和5B舉例說明這樣的情況，在該情況中，反射區(qū)域110a、IlOb和IlOc由第一布線層110形成，反射區(qū)域IllaUllb和Illc由第二布線層111形成，反射區(qū)域112a、112b和112c由第三布線層112形成。圖5B示出用作反射區(qū)域并投影到第一面120上的部分。第一類型的像素包括第一反射區(qū)域110a、Illa和112a，第二類型的像素包括第二反射區(qū)域IlObUllb和112b，第三類型的像素包括第三反射區(qū)域110c、lllc和112c。就這種布置而言，因?yàn)榭梢钥s小用于形成反射區(qū)域IlOaUlOb和IlOc的第一布線層110的面積，所以第一布線層110與半導(dǎo)體層101之間的寄生電容可以較小，從而減小噪聲分量。
[0028]在以上實(shí)際例子中，半導(dǎo)體層101的厚度為3 μ m。然而，半導(dǎo)體層101的厚度可以是例如2 μ m或更大。當(dāng)半導(dǎo)體層101的厚度為2 μ m或更大時，透射通過藍(lán)色濾色器107a的450nm的波長的光線在它們從第二面121起行進(jìn)之后在它們到達(dá)第一面120之前有99.0%或更多被吸收。因此，透射通過藍(lán)色濾波器107a的450nm的波長的這些光線在它們達(dá)到第一面120之前大部分被光電轉(zhuǎn)換部分102光電轉(zhuǎn)換。由于這個原因，如果形成在藍(lán)色像素(第一類型的像素)的第一面120 —側(cè)的反射區(qū)域IlOa的面積小于形成在綠色像素和紅色像素的第一面120 —側(cè)的反射區(qū)域IlOb和IlOc的面積，則反射區(qū)域IIOa對靈敏度幾乎沒有影響。
[0029]反射區(qū)域110a、I IOb和IlOc可以具有凹面形狀，以便使光會聚在相應(yīng)的光電轉(zhuǎn)換部分102上。
[0030]通過將微透鏡108的焦點(diǎn)位置設(shè)置在第一面120與反射區(qū)域IlOaUlOb和IlOc之間，可以抑制被反射區(qū)域IlOaUlOb和IlOc反射的光線的擴(kuò)展。因此，可以提高被反射區(qū)域IlOaUlOb和IlOc反射到光電轉(zhuǎn)換部分102的光的返回比率，從而改進(jìn)靈敏度。
[0031]以下將參照圖6來描述根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的固態(tài)圖像傳感器200。在本實(shí)施例中沒有提及的項(xiàng)目可以遵循第一實(shí)施例。在第二實(shí)施例的固態(tài)圖像傳感器200中，反射區(qū)域210a、210b和210c布置在不同于堆疊布線部分109的位置處。要注意的是，如前述反射區(qū)域IlOaUlOb和IlOc中那樣，反射區(qū)域210a、210b和210c使透射通過濾色器107、入射在光電轉(zhuǎn)換部分102上并透射通過光電轉(zhuǎn)換部分102的光線朝向光電轉(zhuǎn)換部分102反射。第一反射區(qū)域210a包括在具有第一濾色器107a的第一類型的像素中。第二反射區(qū)域210b包括在具有第二濾色器107b的第二類型的像素中。第三反射區(qū)域210c包括在具有第三濾色器107c的第三類型的像素中。當(dāng)具有反射區(qū)域210a、210b和210c的構(gòu)件由諸如金屬的導(dǎo)電材料制成時，該構(gòu)件可以被施加固定電勢，或者可以維持處于浮置狀態(tài)。
[0032]反射區(qū)域210a、210b和210c可以由含有作為主成分的鋁、銅、金、鎢、鈦和鉭中的一種的構(gòu)件形成?？商鎿Q地，反射區(qū)域210a、210b和210c可以由電介質(zhì)多層膜形成。第一反射區(qū)域210a的面積小于第二反射區(qū)域210b的面積。此外,第一反射區(qū)域210a的面積小于第三反射區(qū)域210c的面積。
[0033]在第二實(shí)施例中，因?yàn)榉瓷鋮^(qū)域210a、210b和210c布置在不同于堆疊布線部分109的位置處,所以必須添加用于形成反射區(qū)域210a、210b和210c的處理。然而，與使用為了布線的目的而形成的堆疊布線部分109也作為反射區(qū)域的構(gòu)造相比，反射區(qū)域210a、210b和210c的布置的自由度高，并且反射區(qū)域210a、210b和210c可以布置在更靠近第一面120的位置處。因此，可以減少雜散光。結(jié)果，可以改進(jìn)靈敏度，并且可以減少顏色混合。此外，與使用為了布線的目的而形成的堆疊布線部分109也作為反射區(qū)域的構(gòu)造相比，因?yàn)榉瓷鋮^(qū)域210a、210b和210c在選擇形成它們所需的材料時具有更高的自由度，所以可以使用反射率高于鋁和銅的材料。因此，可以改進(jìn)靈敏度。另外，與使用為了布線的目的而形成的堆疊布線部分109也作為反射區(qū)域的構(gòu)造相比，反射區(qū)域210a、210b和210c在形狀上具有更高的自由度。例如，可以采用用于使光會聚在光電轉(zhuǎn)換部分上的凹面形狀。因此，可以改進(jìn)靈敏度。
[0034]在第二實(shí)施例中，所有的第一類型、第二類型和第三類型的像素都具有由不同于堆疊布線部分109的構(gòu)件形成的反射區(qū)域。然而，在本發(fā)明中，第一類型、第二類型和第三類型的像素中的一些可以具有由不同于堆疊布線部分109的構(gòu)件形成的反射區(qū)域，而其余像素可以具有由堆疊布線部分109形成的反射區(qū)域。例如，藍(lán)色像素和綠色像素的反射區(qū)域可以由第一布線層110形成，紅色像素的反射區(qū)域可以布置在第一面120與第一布線層110之間的位置處。這種布置有利于將紅色像素的反射區(qū)域的反射率設(shè)置得高于藍(lán)色像素和綠色像素的反射區(qū)域的反射率并且改進(jìn)紅色像素的靈敏度?？商鎿Q地，藍(lán)色像素的反射區(qū)域可以由第一布線層110形成，綠色像素和紅色像素的反射區(qū)域可以布置在第一面120與第一布線層110之間的位置處。這種布置有利于將綠色像素和紅色像素的反射區(qū)域的反射率設(shè)置得高于藍(lán)色像素的反射區(qū)域的反射率并且改進(jìn)綠色像素和紅色像素的靈敏度。
[0035]反射區(qū)域210a、210b和210c的形成位置不限于半導(dǎo)體層101和堆疊布線部分109之間的那些位置。例如，反射區(qū)域210a、210b和210c可以形成在堆疊布線部分109中的布線層110、111和112之間。反射區(qū)域210a、210b和210c可以布置在根據(jù)第一類型、第二類型和第三類型的像素的位置處(也就是說，布置在根據(jù)將被反射的光線的波長范圍的位置處)。因此，可以單個地改進(jìn)第一類型、第二類型和第三類型的像素的靈敏度。
[0036]盡管已經(jīng)參照示例性實(shí)施例描述了本發(fā)明，但是要理解本發(fā)明不限于所公開的示例性實(shí)施例。以下權(quán)利要求的范圍應(yīng)遵循最寬泛的解釋，以便包含所有這樣的修改以及等同的結(jié)構(gòu)和功能。
[0037]本申請要求于2011年9月I日提交的日本專利申請N0.2011-191072的權(quán)益，該專利申請的全部內(nèi)容特此通過弓I用并入本文。
【權(quán)利要求】
1.一種包括半導(dǎo)體層的固態(tài)圖像傳感器，所述傳感器包括: 第一類型的像素，所述第一類型的像素包括第一濾色器、反射透射通過第一濾色器的光的第一反射區(qū)域、以及布置在所述半導(dǎo)體層中的第一光電轉(zhuǎn)換部分，所述第一光電轉(zhuǎn)換部分位于第一濾色器與第一反射區(qū)域之間；以及 第二類型的像素，所述第二類型的像素包括第二濾色器、反射透射通過第二濾色器的光的第二反射區(qū)域、以及布置在所述半導(dǎo)體層中的第二光電轉(zhuǎn)換部分，所述第二光電轉(zhuǎn)換部分位于第二濾色器與第二反射區(qū)域之間， 其中，與第一濾色器的最大透射率相應(yīng)的波長比與第二濾色器的最大透射率相應(yīng)的波長短，并且第一反射區(qū)域的面積小于第二反射區(qū)域的面積。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其中，所述半導(dǎo)體層包括第一面和第二面， 所述第一濾色器和所述第二濾色器布置在第二面一側(cè)， 所述第一類型的像素還包括形成在所述半導(dǎo)體層的第一面上以便讀出第一光電轉(zhuǎn)換部分的信號的晶體管，以及 所述第二類型的像素還包括形成在所述半導(dǎo)體層的第一面上以便讀出第二光電轉(zhuǎn)換部分的信號的晶體管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其中，所述半導(dǎo)體層包括第一面和第二面， 所述第一濾色器和所述第二濾色器布置在第二面一側(cè)，以及 所述第一反射區(qū)域和所述第二反射區(qū)域中的至`少一個由布置在第一面一側(cè)的布線層形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其中，所述半導(dǎo)體層包括第一面和第二面， 所述第一濾色器和所述第二濾色器布置在第二面一側(cè)， 包括多個布線層的布線結(jié)構(gòu)布置在第一面一側(cè)，以及 所述第一反射區(qū)域和所述第二反射區(qū)域由所述多個布線層中最靠近第一面的布線層形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，其中，所述半導(dǎo)體層包括第一面和第二面， 所述第一濾色器和所述第二濾色器布置在第二面一側(cè)， 所述第一反射區(qū)域和所述第二反射區(qū)域中的至少一個由布置在第一面一側(cè)的構(gòu)件形成，以及 所述構(gòu)件被施加固定電勢或者維持處于浮置狀態(tài)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器，還包括: 第三類型的像素，所述第三類型的像素包括第三濾色器、反射透射通過第三濾色器的光的第三反射區(qū)域、以及布置在所述半導(dǎo)體層中的第三光電轉(zhuǎn)換部分，所述第三光電轉(zhuǎn)換部分位于第三濾色器與第三反射區(qū)域之間， 其中，與第一濾色器的最大透射率相應(yīng)的波長比與第三濾色器的最大透射率相應(yīng)的波長短，并且第一反射區(qū)域的面積小于第三反射區(qū)域的面積。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任何一個所述的傳感器，其中，所述第一反射區(qū)域和所述第二反射區(qū)域由含有作為主成分的鋁、銅、金、鎢、鈦和鉭中的一種的構(gòu)件形成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任何一個所述的傳感器，其中，所述第一反射區(qū)域和所述第二反射區(qū)域由電介質(zhì)多層膜形成。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中的任何一個所述的傳感器，其中，所述半導(dǎo)體層的厚度不小于2 μ m0
【文檔編號】H04N5/369GK103765590SQ201280041321
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2012年8月21日 優(yōu)先權(quán)日:2011年9月1日
【發(fā)明者】加藤太朗 申請人:佳能株式會社