基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置，其包括：窄線寬激光器，用于輸出連續(xù)光信號(hào)；雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器，其根據(jù)兩臂上加載的微波信號(hào)對(duì)所述光信號(hào)進(jìn)行強(qiáng)度調(diào)制，產(chǎn)生調(diào)制邊帶，并將兩臂上調(diào)制后的光載波和調(diào)制邊帶合束后輸出；寬帶微波源，用于提供微波信號(hào)給寬帶微波功分器；耦合器，用于將所述寬帶微波源輸出的微波信號(hào)分為兩路微波信號(hào)，其中一路相對(duì)于另一路有120°的相移，該兩路微波信號(hào)分別加載到所述雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器的兩臂；光帶通濾波器，用于濾除所述雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器輸出調(diào)制邊帶中的高階調(diào)制邊帶；光電探測(cè)器，用于將濾波之后的調(diào)制邊帶與光載波拍頻產(chǎn)生基頻微波信號(hào)以及三次諧波。
【專(zhuān)利說(shuō)明】基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于微波光子學(xué)【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體的說(shuō)是一種光生任意波形技術(shù)，一種基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科技的進(jìn)步，特別是信息技術(shù)的快速更新?lián)Q代，微波技術(shù)與光子技術(shù)相互融合成為科技進(jìn)步的必然趨勢(shì)并且其取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步。近幾年，基于光子技術(shù)產(chǎn)生三角形微波信號(hào)吸引了廣泛的關(guān)注，其中包括現(xiàn)代雷達(dá)和天線、射頻通信系統(tǒng)、電子測(cè)試系統(tǒng)以及全光信號(hào)處理和操縱等領(lǐng)域。基于電子技術(shù)產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的頻率低并且?guī)捫??；诠庾赢a(chǎn)生三角形微波信號(hào)的頻率高可以達(dá)到幾百G突破電子技術(shù)的電子瓶頸，帶寬大可以達(dá)到幾百G到幾個(gè)T。
[0003]基于光子技術(shù)產(chǎn)生高頻三角形微波信號(hào)克服了傳統(tǒng)微波系統(tǒng)在處理速度和傳輸帶寬等方面的嚴(yán)重電子瓶頸，產(chǎn)生的微波信號(hào)的相位噪聲低、頻率高以及具有靈活的可調(diào)諧能力，充分利用了光子技術(shù)的先天優(yōu)勢(shì)。同時(shí)，基于光子技術(shù)產(chǎn)生微波信號(hào)的系統(tǒng)相比于傳統(tǒng)的微波系統(tǒng)具有損耗低、重量輕、帶寬大、速度快、抗電磁干擾和頻率響應(yīng)平坦等諸多優(yōu)點(diǎn)。此外，基于光子技術(shù)產(chǎn)生微波，該系統(tǒng)可以與全光網(wǎng)絡(luò)以及光載射頻兼容。因此，產(chǎn)生高頻率、寬帶可調(diào)諧以及低相位噪聲的三角形微波信號(hào)具有重要的戰(zhàn)略意義以及迫切的應(yīng)用需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004](一 )要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0005]有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器與120°電耦合器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置，以克服傳統(tǒng)電子學(xué)方法在帶寬、重量、體積、電磁干擾等方面的劣勢(shì)，并突破電子技術(shù)產(chǎn)生高頻微波信號(hào)的瓶頸。
[0006]( 二 )技術(shù)方案
[0007]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置，其包括:
[0008]窄線寬激光器，用于輸出連續(xù)光信號(hào)；
[0009]雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器，其根據(jù)兩臂上加載的微波信號(hào)對(duì)所述光信號(hào)進(jìn)行強(qiáng)度調(diào)制，產(chǎn)生調(diào)制邊帶，并將兩臂上調(diào)制后的光載波和調(diào)制邊帶合束后輸出；
[0010]寬帶微波源，用于提供微波信號(hào)給寬帶微波功分器；
[0011]稱(chēng)合器，用于將所述寬帶微波源輸出的微波信號(hào)分為兩路微波信號(hào)，其中一路相對(duì)于另一路有120°的相移，該兩路微波信號(hào)分別加載到所述雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器的兩臂；
[0012]光帶通濾波器，用于濾除所述雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器輸出調(diào)制邊帶中的高階調(diào)制邊帶；[0013]光電探測(cè)器，用于將濾波之后的調(diào)制邊帶與光載波拍頻產(chǎn)生基頻微波信號(hào)以及三次諧波。
[0014](三)有益效果
[0015]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明具有以下有益效果:
[0016]1、本發(fā)明提供的基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器與120°電耦合器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置，由于采用全光信號(hào)處理的方案所以克服了傳統(tǒng)電子學(xué)方法在帶寬、重量、體積、電磁干擾等方面的劣勢(shì)，并突破了電子技術(shù)產(chǎn)生高頻三角形微波信號(hào)的瓶頸。
[0017]2、本發(fā)明提供的基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器與120°電耦合器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置，由于巧妙的利用了 120°電耦合器實(shí)現(xiàn)特定邊帶的干涉相消，從而抑制了 +2階邊帶；通過(guò)光濾波器濾除高階邊帶以及負(fù)邊帶進(jìn)而基頻以及三次諧波的產(chǎn)生，產(chǎn)生的基頻的功率值和三次諧波的功率值滿(mǎn)足傅里葉級(jí)數(shù)展開(kāi)的系數(shù)關(guān)系，所以該結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，響應(yīng)速度快，功率損耗小，產(chǎn)生微波信號(hào)的頻率高，通過(guò)巧妙構(gòu)建諧波功率比以及相位關(guān)系可以實(shí)現(xiàn)任意頻率以及任意形狀的微波信號(hào)產(chǎn)生；另外可以實(shí)現(xiàn)與全光網(wǎng)絡(luò)以及光載射頻網(wǎng)絡(luò)兼容。、
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1是本發(fā)明提供的基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是本發(fā)明提供的基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的原理示意圖；
[0020]圖3(a)?(C)是本發(fā)明提供的基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置產(chǎn)生實(shí)驗(yàn)結(jié)果的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0022]圖1是本發(fā)明提供的基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器與120°電耦合器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，該裝置包括:窄線寬激光器1、第一偏振控制器2、雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器3、寬帶微波源4、寬帶微波功分器5、寬帶微波移相器6、可調(diào)諧帶通光濾波器7、光電探測(cè)器8、采樣示波器9、頻譜分析儀10。
[0023]其中，窄線寬激光器I用于向偏振控制器2提供連光信號(hào)；
[0024]第一偏振控制器2用于調(diào)節(jié)該光信號(hào)的偏振態(tài)，改變偏振方向，這樣可實(shí)現(xiàn)雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器的兩個(gè)臂上的光信號(hào)強(qiáng)度相等，當(dāng)其相位相反時(shí)，合束之后就會(huì)發(fā)生干涉相消，第一偏振控制器的輸出光信號(hào)提供給雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器3 ；
[0025]雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器3，強(qiáng)度調(diào)制兩個(gè)臂上加載的微波信號(hào)，其中一路微波信號(hào)相對(duì)于另一路有120°的相移，強(qiáng)度調(diào)制之后的光信號(hào)可以實(shí)現(xiàn)+2，-1階邊帶干涉相消，+1階邊帶+3階邊帶以及光載波干涉相長(zhǎng)，這樣結(jié)合光濾波器可以實(shí)現(xiàn)三角形微波信號(hào)產(chǎn)生；其等效為兩個(gè)并行的相位調(diào)制器，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)為一個(gè)Y形波導(dǎo)，當(dāng)?shù)谝黄窨刂破鬏敵龅墓庑盘?hào)的偏振方向相對(duì)于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器的起偏方向?yàn)?5°時(shí),兩個(gè)臂上的光信號(hào)的幅度相等，其中一個(gè)臂上的微波信號(hào)相對(duì)于另一個(gè)臂上的微波信號(hào)的相位相差為120° ；經(jīng)過(guò)相位調(diào)制之后的光信號(hào)經(jīng)過(guò)Y形波導(dǎo)合束，合束之后的光信號(hào)就會(huì)發(fā)生干涉，其中上下兩臂的光信號(hào)的相位差為120°的整數(shù)倍，通過(guò)調(diào)整調(diào)制器的直流偏置可以實(shí)現(xiàn)-1階以及+2的光信號(hào)的上下兩臂的相位相反，故通過(guò)適當(dāng)?shù)恼{(diào)制偏置電壓可以實(shí)現(xiàn)+2階微波信號(hào)的抑制；雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器3用于將光載波信號(hào)進(jìn)行強(qiáng)度調(diào)制并且輸出給光濾波器7，+2階邊帶抑制的光信號(hào)經(jīng)過(guò)光帶通濾波器濾除高階邊帶以及負(fù)邊帶，濾除高階邊帶是為防止引入4次諧波對(duì)微波信號(hào)的形狀產(chǎn)生影響，濾除負(fù)邊帶是為防止-2階邊帶與光載波拍頻引起2次諧波的功率增加，濾波之后的光信號(hào)入射到光電探測(cè)器實(shí)現(xiàn)光電轉(zhuǎn)化；
[0026]寬帶微波源4，用于提供微波信號(hào)；輸出為點(diǎn)頻微波信號(hào)，并提供給寬帶微波功分器5 ；
[0027]寬帶微波功分器5，用于將寬帶微波源4輸出的微波信號(hào)分為等功率的兩路，一路觸發(fā)米樣不波器9,另一路輸入移相器6 ；
[0028]120°耦合器6，其可以是電耦合器器也可以微波光子移相器，用于將所述微波信號(hào)分為等功率的兩路微波信號(hào)，并且其中一路加載120°移相輸入雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器的射頻端口，另一路進(jìn)入馬赫曾德調(diào)制器3的另一路射頻端口，對(duì)于寬帶微波移相器6需要和雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器的直流偏置結(jié)合使用，方可實(shí)現(xiàn)+2階邊帶的干涉相消；
[0029]光濾波器7用于濾除雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器3產(chǎn)生高階調(diào)制邊帶以及負(fù)階邊帶，留下載波、+1階以及+3階邊帶，實(shí)現(xiàn)基頻以及三次諧波的輸出；
[0030]光電探測(cè)器8，用于將濾波之后的載波、+1階以及+3階邊帶拍頻，產(chǎn)生基頻微波信號(hào)以及三次諧波，其中三次諧波的功率較基頻微波信號(hào)低20dB左右；對(duì)應(yīng)的時(shí)域波形為三角形微波信號(hào)，通過(guò)光載波與+1階邊帶+3階邊帶拍頻產(chǎn)生基頻以及三次諧波微波信號(hào)，產(chǎn)生的微波信號(hào)利用頻譜分析儀記錄頻譜信息，應(yīng)用采樣示波器進(jìn)行時(shí)域波形采集，通過(guò)寬帶功分器分出的其中一路微波信號(hào)經(jīng)過(guò)除頻器進(jìn)行觸發(fā)采樣示波器；
[0031]采樣示波器9用于捕獲產(chǎn)生的微波信號(hào)的時(shí)域波形；要求采樣示波器的采樣率和模擬帶寬符合實(shí)驗(yàn)要求，其中采樣示波器的觸發(fā)端有時(shí)需要加微波除頻器，將觸發(fā)信號(hào)的頻率降低到示波器時(shí)鐘要求的頻率范圍之內(nèi)同時(shí)通過(guò)除頻也可以選擇不同的觸發(fā)模式，另外有時(shí)需要加微波衰減器，將微波功率將低到時(shí)鐘的工作電壓范圍之內(nèi)；
[0032]頻譜分析儀10，用于采集產(chǎn)生微波信號(hào)的頻譜值，根據(jù)周期函數(shù)的傅里葉級(jí)數(shù)展開(kāi)式可知，三角形周期函數(shù)的傅里葉級(jí)數(shù)展開(kāi)僅有奇次項(xiàng)，并且高階項(xiàng)的滾降特性比較大，故可以忽略高次諧波從而產(chǎn)生周期性三角波的近似表達(dá)式為基頻以及三次諧波之和，并且功率相差為81倍即19.08dBm，相位為同相。根據(jù)這一數(shù)據(jù)基本模型實(shí)現(xiàn)寬帶可調(diào)諧高頻的三角形微波信號(hào)產(chǎn)生，通過(guò)調(diào)節(jié)雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器的偏置電壓可以實(shí)現(xiàn)+2階邊帶抑制，進(jìn)而控制濾波器的帶寬、中心頻率以及微波信號(hào)的功率實(shí)現(xiàn)滿(mǎn)足數(shù)學(xué)表達(dá)式的基頻以及三次諧波產(chǎn)生，由于為大信號(hào)調(diào)制故需要通過(guò)濾波器的寬帶移相特性可以實(shí)現(xiàn)一定的相位補(bǔ)償，使二者的相位相等，根據(jù)這一技術(shù)同樣可以實(shí)現(xiàn)方形微波信號(hào)產(chǎn)生甚至任意形狀的微波信號(hào)產(chǎn)生，三角微波信號(hào)由于具有重大的實(shí)際應(yīng)用潛力以及作為一個(gè)經(jīng)典的時(shí)域波形，故本發(fā)明主要公布三角形微波信號(hào)的產(chǎn)生方法。另外，通過(guò)調(diào)諧輸出微波信號(hào)的頻率可以實(shí)現(xiàn)任意頻率的三角形微波信號(hào)產(chǎn)生，故該發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)寬帶、高頻可調(diào)諧的三角形微波信號(hào)產(chǎn)生。該光子技術(shù)產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)支持S，C，X，Ku，K，Ka多頻段三角形微波信號(hào)的產(chǎn)生。
[0033]窄線寬激光器I可以是半導(dǎo)體激光器或光纖激光器。第一偏振控制器2可以是光纖結(jié)構(gòu)的偏振控制器、波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的偏振控制器或空間結(jié)構(gòu)的偏振控制器。雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器3可以采用鈮酸鋰晶體、半導(dǎo)體聚合物或有機(jī)聚合物。寬帶微波源4可以是矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀或微波信號(hào)源。光濾波器7可以是基于硅基液晶技術(shù)的波形整形器，或者是光帶通濾波器，或者是波分復(fù)用器，或者是光纖光柵。光電探測(cè)器8可以是光電二極管或光電倍增管，采用磷化銦材料或硅基材料。如圖2所示給出了本發(fā)明提供的基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器與120°電耦合器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置的原理示意圖，通過(guò)光譜圖可以發(fā)現(xiàn)由于寬帶微波移相器與雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器的聯(lián)合應(yīng)用可以實(shí)現(xiàn)-1以及+2階光邊帶的干涉相消，通過(guò)光濾波器濾除負(fù)階邊帶以及>3階的正邊帶可以實(shí)現(xiàn)1、3次諧波的產(chǎn)生，同時(shí)通過(guò)移動(dòng)光濾波器可是實(shí)現(xiàn)一定產(chǎn)生微波信號(hào)的相位的補(bǔ)償；
[0034]如圖3所示給出了本發(fā)明產(chǎn)生的寬帶可調(diào)諧三角形微波信號(hào)產(chǎn)生結(jié)果圖，該圖為類(lèi)似結(jié)果圖，圖(a)和圖(b)為通過(guò)采樣示波器采集的三角形微波信號(hào)的時(shí)域波形，同時(shí)圖(b)為通過(guò)調(diào)制微波信號(hào)的頻率實(shí)現(xiàn)三角形微波信號(hào)的可調(diào)諧，由圖可得三角形微波信號(hào)的基本特征為正斜率和負(fù)斜率的絕對(duì)值相等，波形鏡像對(duì)稱(chēng)；圖(C)為產(chǎn)生基頻以及三次諧波的頻譜示意圖，頻譜為只有一階以及只有三階微波信號(hào)，并且二者的功率相差為19dBm左右。
[0035]以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置，其包括: 窄線寬激光器，用于輸出連續(xù)光信號(hào)； 雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器，其根據(jù)兩臂上加載的微波信號(hào)對(duì)所述光信號(hào)進(jìn)行強(qiáng)度調(diào)制，產(chǎn)生調(diào)制邊帶； 寬帶微波源，用于提供微波信號(hào)給寬帶微波功分器；率禹合器，用于將所述寬帶微波源輸出的微波信號(hào)分為兩路微波信號(hào)，其中一路相對(duì)于另一路有120°的相移，該兩路微波信號(hào)分別加載到所述雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器的兩臂；光帶通濾波器，用于濾除所述雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器輸出調(diào)制邊帶中的高階調(diào)制邊帶; 光電探測(cè)器，用于將濾波之后的調(diào)制邊帶與光載波拍頻產(chǎn)生基頻微波信號(hào)以及三次諧波。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置，其特征在于，所述窄線寬激光器是半導(dǎo)體激光器或光纖激光器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置，其特征在于，還包括: 所述第一偏振控制器，用于調(diào)節(jié)所述窄線寬激光器輸出的連續(xù)光信號(hào)的偏振態(tài)，使得進(jìn)入所述雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器的兩臂上的光信號(hào)強(qiáng)度相等；其可以是光纖結(jié)構(gòu)的偏振控制器、波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的偏振控制器或空間結(jié)構(gòu)的偏振控制器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置，其特征在于，所述雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器是光纖結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度控制器、波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度控制器或空間結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度控制器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置，其特征在于，所述寬帶微波源是矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀或微波信號(hào)源。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置，其特征在于，所述耦合器可以是電耦合器也可以是微波光子移相器。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置，其特征在于，所述光濾波器是基于硅基液晶技術(shù)的波形整形器，或者是光帶通濾波器，或者是波分復(fù)用器，或者是光纖光柵。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置，其特征在于，所述光電探測(cè)器是光電二極管或光電倍增管，采用磷化銦材料或硅基材料。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置，其特征在于，還包括: 采樣示波器，用于捕獲所述光電探測(cè)器產(chǎn)生微波信號(hào)的時(shí)域波形。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于雙驅(qū)動(dòng)馬赫曾德調(diào)制器產(chǎn)生三角形微波信號(hào)的裝置，其特征在于，還包括: 頻譜分析儀，用于采集所述光電探測(cè)器產(chǎn)生微波信號(hào)的頻譜值，其可以是微波頻譜分析儀也可以是信號(hào)源分析儀。
【文檔編號(hào)】H04B1/04GK103957058SQ201410192952
【公開(kāi)日】2014年7月30日 申請(qǐng)日期:2014年5月8日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月8日
【發(fā)明者】王文亭, 李偉, 孫文惠, 劉建國(guó), 祝寧華 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所