一種振膜的生產(chǎn)方法

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一種振膜的生產(chǎn)方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及揚聲器領域，特別是一種振膜及其生產(chǎn)方法。
【背景技術】
[0002]振膜即振動的膜片，它的名字體現(xiàn)了其工作狀態(tài):振動，以及其某些物理特征:薄。其作為振動系統(tǒng)廣泛應用于麥克風及揚聲器。隨著小型電子裝置的發(fā)展，振膜的設計也趨向微型化。雖然現(xiàn)有的制造振膜的方法制得了具有比較滿意的參數(shù)的振膜，但在靈敏度、強度、重量等方面仍需進一步改進和加強。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種能夠是實現(xiàn)微型化生產(chǎn)及具有高靈敏度的一種振膜及其生產(chǎn)方法。
[0004]為達到上述目的，本發(fā)明采用的技術方案是:一種振膜的生產(chǎn)方法，其包括以下步驟:
1)在石墨烯薄膜上附著至少兩個振膜環(huán)，所述振膜環(huán)的一端面被所述平面石墨烯薄膜覆蓋；
2)沿著所述振膜環(huán)的外緣裁切所述石墨烯薄膜，得到至少兩個振膜，所述振膜由所述振膜環(huán)組成的振膜邊緣，裁切后的所述石墨烯薄膜組成振膜薄膜。
[0005]優(yōu)選地，步驟1)中所述石墨烯薄膜根據(jù)所述振膜環(huán)的形狀沖切成至少兩個部分相連的石墨烯薄膜單元，通過載具將所述振膜環(huán)固定附著到對應的所述石墨烯薄膜單元之上。
[0006]優(yōu)選地，步驟1)中根據(jù)所述振膜環(huán)的形狀制作至少兩個部分相連的銅質的基底單元，采用化學氣相沉積法在其表面生長得到至少兩個部分相連的石墨烯薄膜單元，轉移生長而成的部分相連的石墨烯薄膜單元并通過載具將所述振膜環(huán)固定附著到對應的所述石墨烯薄膜單元之上。
[0007]優(yōu)選地，步驟1)中所述石墨烯薄膜可通過多次PVD (物理氣相沉積)、CVD (化學氣相沉積)的方法實現(xiàn)石墨烯薄膜與真空鍍膜的疊加組合，從而實現(xiàn)對石墨烯薄膜的改性。
[0008]優(yōu)選地，所述振膜環(huán)與所述石墨烯薄膜的連接方式為膠水粘合。
[0009]優(yōu)選地，步驟1中的振膜環(huán)為銅環(huán)，因為石墨烯具有自我修復的能力，當振膜環(huán)為銅環(huán)等其他可用于生長石墨烯的金屬時，亦可透過化學氣相沉積法(CVD)制程讓銅環(huán)表面生長石墨烯，然后借助石墨烯自我修復能力(碳原子具有結合傾向)讓石墨烯薄膜單元連接在一起。
[0010]進一步優(yōu)選地，所述步驟1)包括以下步驟:
a)在板狀的銅基材的一個表面上采用化學氣相沉積法附上石墨烯薄膜；
b)在銅基材的另一個表面上附上一層感光膜，根據(jù)振膜的形狀以及需要的振膜環(huán)的寬度制作菲林片，將菲林片附在感光膜上方，并曝光； C)去掉菲林片并洗去感光膜未感光的部分，將銅基材放入蝕刻液中，腐蝕掉不需要的銅基材部分；
d)去掉剩下的感光膜，得到附著在石墨烯薄膜上的銅環(huán)。
[0011]由于上述技術方案運用，本發(fā)明與現(xiàn)有技術相比具有下列優(yōu)點:
由于本發(fā)明采用金屬環(huán)與石墨烯薄膜制成振膜，能夠提高振膜的靈敏度、強度，同時，將采用曝光、顯影等加工工藝，能夠滿足微型化生產(chǎn)的需求。
【附圖說明】
[0012]附圖1為實施例一石墨烯薄膜示意圖；
附圖2為實施例一裁切如的振膜意圖；
附圖3為本發(fā)明所制造的振膜示意圖；
附圖4為實施例二裁切前的振膜示意圖附圖5為實施例三中菲林片圖案示意圖；
附圖6為實施例三蝕刻后的石墨烯薄膜與銅環(huán)示意圖。
[0013]以上附圖中:1、振膜環(huán)；2、振膜薄膜；3、石墨烯薄膜單元；4、銅環(huán)；5、菲林片；6、石墨烯薄膜。
【具體實施方式】
[0014]下面結合附圖所示的實施例對本發(fā)明作進一步描述:
實施例一:參見附圖1-3所示，一種振膜的生產(chǎn)方法，其包括以下步驟:
a)石墨烯薄膜根據(jù)振膜環(huán)1的形狀沖切成至少兩個部分相連的石墨烯薄膜單元3(如附圖1所示);
b)通過載具將振膜環(huán)1固定附著到對應的石墨烯薄膜單元3之上(如附圖2所示)；
c)沿著振膜環(huán)1的外緣裁切石墨烯薄膜，得到至少兩個振膜，振膜包括振膜環(huán)1組成的振膜邊緣，裁切后的石墨烯薄膜組成振膜薄膜2 (如附圖3所示)。
[0015]實施例二:參見附圖3、4所示，本實施例與實施例一基本相同，不同之處在于:本實施例先根據(jù)振膜環(huán)1的形狀制作至少兩個部分相連的銅質的基底單元，采用化學氣相沉積法在其表面生長得到至少兩個部分相連的石墨烯薄膜單元3，再轉移生長而成的部分相連的石墨烯薄膜單元3并通過載具將振膜環(huán)1固定附著到對應的石墨烯薄膜單元3之上。
[0016]上述的第一、第二實施例中，振膜環(huán)1的材料為常見的用于制作振膜邊緣的材料，振膜環(huán)1與石墨烯薄膜單元3之間通化學氣相沉積法或膠水(導電膠、銀膠、UV膠等)粘合粘合固定。
[0017]實施例三:參見附圖5-6所示，一種振膜的生產(chǎn)方法，其包括以下步驟:
a)在板狀的銅基材的一個表面上采用化學氣相沉積法附上石墨烯薄膜6；
b)在銅基材的另一個表面上附上一層感光膜，根據(jù)振膜的形狀以及需要的振膜環(huán)1的寬度制作菲林片5，該菲林片5上設置有多個銅環(huán)的圖案，將菲林片5附在感光膜上方，并曝光;
c)去掉菲林片5并洗去感光膜未感光的部分，將銅基材放入蝕刻液中，腐蝕掉不需要的銅基材部分； d)去掉剩下的感光膜，得到附著在石墨烯薄膜6上的銅環(huán)4。
[0018]e)沿著銅環(huán)4的外緣裁切石墨烯薄膜6，得到至少兩個振膜(如圖3所示)，振膜包括振膜環(huán)1組成的振膜邊緣，裁切后的石墨烯薄膜6組成振膜薄膜2。
[0019]本實施例的振膜具有高振膜的靈敏度、強度的特點，同時，將采用曝光、顯影等加工工藝，加工的精度較高，能夠滿足微型化生產(chǎn)的需求。
[0020]上述實施例只為說明本發(fā)明的技術構思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實施，并不能以此限制本發(fā)明的保護范圍。凡根據(jù)本發(fā)明精神實質所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【主權項】
1.一種振膜的生產(chǎn)方法，其包括以下步驟: 1)在石墨烯薄膜上附著至少兩個振膜環(huán)，所述振膜環(huán)的一端面被所述平面石墨烯薄膜覆蓋； 2)沿著所述振膜環(huán)的外緣裁切所述石墨烯薄膜，得到至少兩個振膜，所述振膜由所述振膜環(huán)組成的振膜邊緣，裁切后的所述石墨烯薄膜組成振膜薄膜。2.根據(jù)權利要求1所述的一種振膜的生產(chǎn)方法，其特征在于:步驟1)中所述石墨烯薄膜根據(jù)所述振膜環(huán)的形狀沖切成至少兩個部分相連的石墨烯薄膜單元，通過載具將所述振膜環(huán)固定附著到對應的所述石墨烯薄膜單元之上。3.根據(jù)權利要求1所述的一種振膜的生產(chǎn)方法，其特征在于:步驟1)中根據(jù)所述振膜環(huán)的形狀制作至少兩個部分相連的銅質的基底單元，采用化學氣相沉積法在其表面生長得到至少兩個部分相連的石墨烯薄膜單元，轉移生長而成的部分相連的石墨烯薄膜單元并通過載具將所述振膜環(huán)固定附著到對應的所述石墨烯薄膜單元之上。4.根據(jù)權力要求1所述的一種振膜的生產(chǎn)方法，其特征在于:所述石墨烯薄膜可通過多次PVD或者CVD的方法實現(xiàn)石墨烯薄膜與真空鍍膜的疊加組合。5.根據(jù)權利要求1所述的一種振膜的生產(chǎn)方法，其特征在于:所述振膜環(huán)與所述石墨烯薄膜的連接方式為化學氣相沉積法或膠水粘合。6.根據(jù)權利要求1所述的一種振膜的生產(chǎn)方法，其特征在于:步驟1中的振膜環(huán)為銅環(huán)。7.根據(jù)權利要求6所述的一種振膜的生產(chǎn)方法，其特征在于:所述步驟1)包括以下步驟: a)在板狀的銅基材的一個表面上采用化學氣相沉積法附上石墨烯薄膜； b)在銅基材的另一個表面上附上一層感光膜，根據(jù)振膜的形狀以及需要的振膜環(huán)的寬度制作菲林片，將菲林片附在感光膜上方，并曝光； c)去掉菲林片并洗去感光膜未感光的部分，將銅基材放入蝕刻液中，腐蝕掉不需要的銅基材部分； d)去掉剩下的感光膜，得到附著在石墨烯薄膜上的銅環(huán)。
【專利摘要】本發(fā)明公開一種振膜及其生產(chǎn)方法，所述振膜包括金屬制成的環(huán)形振膜邊緣、平面石墨烯薄膜制成的振膜薄膜，所述振膜薄膜與所述振膜邊緣固定連接，由于本發(fā)明采用金屬環(huán)與石墨烯薄膜制成振膜，能夠提高振膜的靈敏度、強度，同時，將采用用CVD、PVD、曝光、顯影等加工工藝，能夠滿足微型化生產(chǎn)的需求。
【IPC分類】H04R31/00
【公開號】CN105323698
【申請?zhí)枴緾N201410381315
【發(fā)明人】劉澤宇, 李志遠, 袁媛
【申請人】美特科技(蘇州)有限公司
【公開日】2016年2月10日
【申請日】2014年8月5日

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