專利名稱:光纖型x射線圖像增強(qiáng)傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型屬于光電技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種對(duì)光學(xué)透鏡型X射線圖像增強(qiáng)傳感器的改進(jìn)。
傳統(tǒng)光學(xué)透鏡型X射線圖像增強(qiáng)傳感器主要包括轉(zhuǎn)換屏、光電陰極、像增強(qiáng)器、透鏡、接收器。它將X射線源通過轉(zhuǎn)換屏轉(zhuǎn)換成可見光圖像經(jīng)過像增強(qiáng)器中的光電陰極增強(qiáng),使可見光圖像經(jīng)過透鏡成像到接收器上,由于采用光學(xué)透鏡的工作方式使得這種傳感器的成像面積較大,則圖像分辨率不高;傳感器只能通過接收器目視觀察其圖像,由于它不能輸出電信號(hào)則無法對(duì)圖像進(jìn)行定量測(cè)量;傳感器的圖像噪聲大、成本高。
本實(shí)用新型的目的是解決光學(xué)透鏡型X射線圖像增強(qiáng)傳感器成像面積較大,造成圖像分辨率低,不能輸出電信號(hào)則無法對(duì)圖像進(jìn)行定量測(cè)量,圖像噪聲大、成本高的問題,提供一種低成本、高分辨率、能輸出電信號(hào)與計(jì)算機(jī)連接進(jìn)行定量測(cè)量的X射線圖像增強(qiáng)型傳感器。
本實(shí)用新型的詳細(xì)內(nèi)容主要包括轉(zhuǎn)換屏1、光電陰極2、像增強(qiáng)器3、熒光屏4、光纖5、成像接收器件6,其特點(diǎn)是轉(zhuǎn)換屏1的襯底與像增強(qiáng)器3中的光電陰極2輸入端面耦合,光纖5的輸入端面與像增強(qiáng)器3中的熒光屏4耦合,光纖5的輸出端面與成像接收器件6的硅片耦合。本實(shí)用新型的動(dòng)態(tài)工作過程X射線源發(fā)出的光照在被測(cè)物體上,將傳感器對(duì)準(zhǔn)被測(cè)物體,傳感器的轉(zhuǎn)換屏1接收到經(jīng)過被測(cè)物體的X光信號(hào)并轉(zhuǎn)換成可見光信號(hào)。通過光纖4將可見光信號(hào)成像到光電陰極2,利用像增強(qiáng)器3對(duì)較暗的圖像增強(qiáng);用光纖耦合技術(shù)將光纖5與成像接收器件6耦合起來,增強(qiáng)的圖像經(jīng)過光纖5被成像接收器件6接收并輸出電信號(hào)與計(jì)算機(jī)連接,計(jì)算機(jī)對(duì)圖像進(jìn)行定量測(cè)量。
本實(shí)用新型的積極效果采用光纖技術(shù),克服已有技術(shù)采用透鏡結(jié)構(gòu)帶來的成像面積大,造成圖像分辨率低的問題;采用成像器件與光纖耦合技術(shù)克服了已有技術(shù)只能目視觀察其圖像,不能輸出電信號(hào)則無法對(duì)圖像進(jìn)行定量測(cè)量;圖像噪聲大、成本高的問題,提供一種光纖型X射線圖像增強(qiáng)傳感器??蓮V泛應(yīng)用于小物體的工業(yè)檢測(cè)、無損探傷和非接觸在線檢測(cè)、農(nóng)業(yè)種子檢驗(yàn)、醫(yī)療骨科診斷等等。
圖1是本實(shí)用新型光纖面板型實(shí)施例的主視圖圖2是本實(shí)用新型光纖錐體型實(shí)施例的主視圖本實(shí)用新型光纖面板型實(shí)施例傳感器主要包括三部分轉(zhuǎn)換屏1,像增強(qiáng)器3,帶光纖面板5的成像接收器件6。轉(zhuǎn)換屏1是選用X射線轉(zhuǎn)換屏它需要襯底制備、粉選、涂屏、涂有機(jī)膜、真空鍍鋁、烘烤一系列工藝制成,既是在光學(xué)玻璃制成的襯底上涂一層熒光粉,然后涂有機(jī)膜,在有機(jī)膜表面再蒸一層鋁金屬反射膜、烘烤制成;轉(zhuǎn)換屏1的襯底與像增強(qiáng)器3中的光電陰極2輸入端面用硅膠耦合;像增強(qiáng)器3采用國(guó)產(chǎn)一代單級(jí)像增強(qiáng)器,而光電陰極2是像增強(qiáng)器3的接收極,熒光屏4是像增強(qiáng)器3的輸出極;光纖5采用光纖面板,可選用市場(chǎng)供應(yīng)的光纖經(jīng)過光學(xué)加工制成;成像接收器件6采用工業(yè)級(jí)高靈敏度的硅成像器件,首先去除成像接收器件6玻璃窗口,露出待耦合的硅表面,使光纖面板5與成像接收器件6用硅膠粘結(jié)工藝耦合制成。最后傳感器整體耦合既轉(zhuǎn)換屏1的襯底與像增強(qiáng)器3中的光電陰極2輸入端面用硅膠耦合;光纖5的輸入端面與像增強(qiáng)器3中的熒光屏4耦合;光纖5的輸出端面與成像接收器件6的硅片耦合。
本實(shí)用新型光纖錐體型實(shí)施例中光纖5采用光纖錐體,其它部件使用方式不變。
權(quán)利要求1.一種光纖型X射線圖像增強(qiáng)傳感器,主要包括轉(zhuǎn)換屏1、光電陰極2、像增強(qiáng)器3、熒光屏4,其特征在于其特點(diǎn)是轉(zhuǎn)換屏1的襯底與像增強(qiáng)器3中的光電陰極2輸入端面耦合,光纖5的輸入端面與像增強(qiáng)器3中的熒光屏4耦合,光纖5的輸出端面與成像接收器件6的硅片耦合。
專利摘要本實(shí)用新型屬于光電技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種對(duì)光學(xué)透鏡型X射線圖像增強(qiáng)傳感器的改進(jìn)。包括轉(zhuǎn)換屏、光電陰極、像增強(qiáng)器、熒光屏、光纖、成像接收器件。采用光纖技術(shù)解決了成像面積大,圖像分辨率低的問題;采用成像接收器件與光纖耦合技術(shù)解決了只能目視觀察其圖像,不能輸出電信號(hào)則無法對(duì)圖像進(jìn)行定量測(cè)量;圖像噪聲大、成本高的問題,提供一種低成本、高分辨率、能輸出電信號(hào)與計(jì)算機(jī)連接進(jìn)行定量測(cè)量的X射線圖像增強(qiáng)型傳感器??蓮V泛用于小物體的工業(yè)檢測(cè)、無損探傷和非接觸在線檢測(cè)、農(nóng)業(yè)種子檢驗(yàn)、醫(yī)療骨科診斷等。
文檔編號(hào)H05G1/00GK2441277SQ0025155
公開日2001年8月1日 申請(qǐng)日期2000年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2000年9月7日
發(fā)明者李哲 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所