專利名稱：制造發(fā)光裝置的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及制造使用有機(jī)化合物作為發(fā)光物的發(fā)光裝置的方法，特別是，用噴墨法制造發(fā)光裝置的方法。
背景技術(shù)：
形成有機(jī)發(fā)光元件以便于具有一種結(jié)構(gòu)，其中包含能得到熒光或磷光的有機(jī)化合物的薄膜夾在由陽極和陰極組成的一對(duì)電極之間。這種發(fā)光機(jī)理被認(rèn)為是一種現(xiàn)象，其中從陽極注入的電子和從陰極注入的空穴在包含發(fā)光物質(zhì)的發(fā)光層中復(fù)合，形成分子激子，且當(dāng)分子激子回到基態(tài)時(shí)發(fā)光。來自單重激發(fā)態(tài)的光發(fā)射(熒光)和來自三重激發(fā)態(tài)的光發(fā)射(磷光)作為發(fā)光過程存在。通過適當(dāng)?shù)剡x擇有機(jī)化合物和雜質(zhì)，即使外加電壓等于或小于10V時(shí)，從蘭色光到紅色光具有幾千到幾萬cd/m2亮度的光發(fā)射是可能的。因而，原則上，可以認(rèn)為將這類發(fā)光應(yīng)用到發(fā)光裝置等是十分可能的。
對(duì)將高分子量化合物和低分子量化合物用作有機(jī)化合物的考慮正在進(jìn)行，并且正在取得進(jìn)展。然而，無論用哪一種，因?yàn)樗鼈儗?duì)熱具有低抵抗力，它們都很難用于諸如光刻的圖形形成工藝。正在發(fā)展噴墨法以便于克服該問題，并且因?yàn)閳D形直接繪制在襯底上，光刻圖形形成工藝是不必要的。
關(guān)于噴墨法，制造有源矩陣有機(jī)EL顯示器的技術(shù)在JP-A-10-012377中公開。在具有薄膜晶體管的玻璃襯底上形成像素電極，且用噴墨法在每個(gè)像素的像素電極上形成紅、綠和蘭色發(fā)光層。
作為用于噴墨工藝的有機(jī)化合物材料，眾所周知的是氰基聚亞苯基亞乙烯基(cyano polyphenylenevinylene)、聚亞苯基亞乙烯基(polyphenylenevinylene)等的前驅(qū)物；芳族二胺(aromaticdiamine)、氧基二唑(oxydiazole)、distylarylene、三苯胺(triphenylamine)、聯(lián)苯乙烯(distyryl)等的衍生物；和諸如喹啉醇(quinolinol)金屬、甲亞胺鋅(azomethine zinc)、卟啉鋅(porphyrin zinc)、苯并惡唑鋅(benzoxazole zinc)、phenanethroline europium的配合物。
處于溶解或分散在溶劑中的狀態(tài)(以下稱作“合成物”)的上述有機(jī)化合物從噴墨打印機(jī)的墨頭中滴下，在襯底上形成膜。諸如粘度、表面張力和干燥速度的合成物的物理性質(zhì)變成至關(guān)重要的參數(shù)。墨頭幾何結(jié)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)條件對(duì)于可重復(fù)性地將合成物滴到襯底上是非常重要的，參數(shù)是合成物發(fā)射的重量、其方向、周期等。
在噴墨法中壓電元件用于從墨頭中發(fā)射合成物。裝填了合成物的容器的體積利用壓電元件的振動(dòng)改變，將合成物發(fā)射出來。
從墨頭中一次發(fā)射的合成物的量是10-40pl，并可以認(rèn)為1-20cp的粘度是有益的。如果粘度很低，那么不能得到所需的膜厚度。這樣，就發(fā)生了問題，諸如在沖擊后合成物流出襯底的表面，造成圖形變得比所需的更寬。另外，如果粘度太高，那么出現(xiàn)一些問題，諸如合成物不能從墨頭的發(fā)射口流暢地發(fā)射，一滴發(fā)射的化合物拉成線形，造成沖擊后有缺陷的圖形形狀。
滴到襯底上之后蒸發(fā)的溶劑作為合成物的溶劑是合適的。然而，如果滴落不連續(xù)地正常進(jìn)行，那么溶劑將揮發(fā)，合成物將在發(fā)射口硬化。例如，如果用諸如甲苯這樣易揮發(fā)的溶劑，那么就有必要特別地小心。即使，連續(xù)地實(shí)施發(fā)射，固體在發(fā)射口的附近漸漸地生長(zhǎng)，并且最壞的情形下，封閉噴嘴。即使發(fā)射口附近的固體沒有達(dá)到這種程度，它們也會(huì)改變合成物發(fā)射的方向，引起沖擊精度明顯的下降。此外，發(fā)生了一種缺陷，其中因?yàn)閲娮斓闹睆阶兊酶?，從噴嘴發(fā)射的合成物的量減少，這樣減小了在襯底上形成的有機(jī)化合物層厚度。為了防止這些問題，有必要進(jìn)行墨頭經(jīng)常的清潔以防止用傳統(tǒng)的噴墨法被固體堵塞。
發(fā)明簡(jiǎn)述考慮到上述問題，構(gòu)成了本發(fā)明，因而本發(fā)明的目的是提供一種技術(shù)，其中充分的、高速的工藝對(duì)于有機(jī)化合物通過噴墨法的形成是可能的。
為了解決這些問題，通過利用本發(fā)明形成有機(jī)化合物的方法，包含具有發(fā)光性能的有機(jī)化合物的合成物從墨頭中發(fā)射，形成連續(xù)的有機(jī)化合物層。有機(jī)化合物層在矩陣形狀中排列的像素電極上形成，且形成有機(jī)化合物層以在多個(gè)像素電極上連續(xù)。然后用這種制造方法制造使用有機(jī)發(fā)光元件的發(fā)光裝置。
本發(fā)明能用于制造發(fā)光元件的方法，其中有機(jī)發(fā)光元件在矩陣形狀中排列，形成像素部分。在采用有源矩陣驅(qū)動(dòng)的方法中，在具有薄膜晶體管的襯底上形成像素電極，在像素電極的上層形成空穴注入層、在空穴注入層上從墨頭中發(fā)射包含具有發(fā)光性能的有機(jī)化合物的合成物，形成連續(xù)的有機(jī)化合物層。
發(fā)射到襯底表面上的合成物通過溶劑的揮發(fā)硬化，形成有機(jī)化合物層。然而，如果合成物由于表面張力粘附在水滴形狀中，那么無法得到具有均勻厚度的有機(jī)化合物層。因而，有機(jī)化合物層用平坦化方法做得更平坦。至于平坦化方法，氣體從發(fā)射口射出，使合成物更平坦。另外，還可以通過用抹刀等平整連續(xù)形成的合成物的表面來進(jìn)行平坦化。
如果諸如氮或氬的惰性氣體用作所射出的氣體，那么合成物溶劑可以揮發(fā)掉，可以防止氧化。另外，具有同心圓形狀的開口可以在發(fā)射口的外圍形成。通過從開口射出氣體，可進(jìn)行平坦化，同時(shí)可防止合成物在發(fā)射口干燥和硬化，引起阻塞。
用本發(fā)明，當(dāng)用噴墨法形成圖形時(shí)，其中有機(jī)發(fā)光材料或其前驅(qū)物溶解或分散在溶劑中的溶液用作具有發(fā)光性能的合成物。例如，可使用不具有升華性、并具有等于或小于20和分子量或具有等于或小于10μm的分子鏈長(zhǎng)度的有機(jī)化合物(本技術(shù)說明中稱作中等分子量化合物)。
此外，包含諸如聚對(duì)亞苯基乙烯基(polyparaphenylenevinylene)、聚對(duì)亞苯基(polyparaphenylene)、聚噻吩和聚芴的高分子量化合物的合成物可用作當(dāng)用噴墨法形成圖形時(shí)所用的具有發(fā)光性能的合成物的實(shí)例。至少一種用于改變發(fā)光性能的熒光染料可以加入到發(fā)光合成物中，以改變使用該合成物制造的有機(jī)發(fā)光元件發(fā)出的光的顏色。
用傳統(tǒng)噴墨法，通過重復(fù)地進(jìn)行墨頭的定位控制和發(fā)射合成物的操作形成預(yù)定的圖形。然而，通過連續(xù)地將合成物發(fā)射到每個(gè)點(diǎn)的襯底上形成線形或三角形的有機(jī)化合物層，可減少定位對(duì)準(zhǔn)所需的時(shí)間的總數(shù)，可使有機(jī)化合物層的形成更容易，并可減少處理時(shí)間的總數(shù)。
特別是，本發(fā)明用于生產(chǎn)的方法，其中多個(gè)顯示面板從一個(gè)大面積襯底上切割出來。另外，通過在多個(gè)像素區(qū)形成于大面積襯底上的情形中當(dāng)在像素區(qū)之間移動(dòng)時(shí)暫時(shí)停止混合物的發(fā)射，墨頭可相對(duì)于大面積襯底高速運(yùn)動(dòng)。
附圖簡(jiǎn)要說明在附隨的圖中圖1是說明用本發(fā)明的噴墨法連續(xù)地形成有機(jī)化合物層的概念的視圖；圖2是說明噴墨法的印刷設(shè)備的結(jié)構(gòu)的視圖；圖3是說明墨頭結(jié)構(gòu)的實(shí)例的橫截面視圖；圖4是說明墨頭結(jié)構(gòu)的實(shí)例的橫截面視圖；圖5是說明墨頭結(jié)構(gòu)的實(shí)例的橫截面視圖；圖6A-6E是說明形成連續(xù)有機(jī)化合物層的工藝的視圖；圖7A-7D是說明形成連續(xù)有機(jī)化合物層的工藝的視圖；圖8是說明相對(duì)于排列在矩陣形狀中的每個(gè)像素電極連續(xù)形成有機(jī)化合物層的概念的視圖；圖9是說明相對(duì)于排列在矩陣形狀中的每個(gè)像素電極連續(xù)形成有機(jī)化合物層的概念的視圖；圖10是說明用本發(fā)明的噴墨法連續(xù)形成有機(jī)化合物層的概念的視圖；圖11A-11C是給出頭部分發(fā)射開口的安排的視圖；圖12A-12E是說明用噴墨法制造有機(jī)發(fā)光裝置的工藝的橫截面視圖；圖13A-13D是說明用噴墨法制造有機(jī)發(fā)光裝置的工藝的橫截面視圖；圖14是說明具有形成于其中的有機(jī)發(fā)光元件的像素的結(jié)構(gòu)的俯視圖；圖15是說明在有機(jī)發(fā)光元件中形成的像素的結(jié)構(gòu)的橫截面視圖；圖16是說明發(fā)光裝置密封結(jié)構(gòu)的實(shí)例的橫截面視圖；圖17A和17B是分別示出有源矩陣驅(qū)動(dòng)發(fā)光裝置的結(jié)構(gòu)的俯視圖和橫截面視圖；圖18是說明無源型發(fā)光裝置的像素部分的結(jié)構(gòu)的透視圖19A-19F是給出電子設(shè)備的實(shí)例的視圖；以及圖20A-20C是給出電子設(shè)備的實(shí)例的視圖。
優(yōu)選實(shí)施方案的詳細(xì)說明實(shí)施方案樣式本發(fā)明的實(shí)施方案樣式參考圖1-11C說明。圖1給出一個(gè)臺(tái)子，在上面數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路104形成于襯底101上，有機(jī)化合物層用噴墨法形成于像素部分102上。在像素部分102中形成條形隔離物105，有機(jī)化合物層形成于隔離物之間。形成隔離物105以便于當(dāng)用噴墨法形成有機(jī)化合物層時(shí)防止相鄰的有機(jī)化合物層互相混合。
通過從墨頭107中發(fā)射包含具有發(fā)光性能的有機(jī)化合物材料的合成物形成有機(jī)化合物層106。合成物從墨頭中連續(xù)地發(fā)射，形成線形圖形。在有機(jī)化合物層材料上沒有設(shè)置特別的限制，但是為了實(shí)現(xiàn)彩色顯示，分別形成發(fā)紅色、綠色和蘭色光的有機(jī)化合物層106R、106G和106B。
當(dāng)使用適用于噴墨法的高分子量材料形成有機(jī)化合物層時(shí)，可以用單層結(jié)構(gòu)。還可以優(yōu)選地形成具有兩層或多層的疊層結(jié)構(gòu)以便于進(jìn)一步提高發(fā)光效率。典型的疊層結(jié)構(gòu)具有空穴輸運(yùn)層和與其層疊在一起的發(fā)光層。
作為形成有機(jī)化合物層的聚合物有機(jī)化合物，能使用諸如聚對(duì)亞苯基亞乙烯基衍生物、聚噻吩衍生物、聚芴(polyfluorerene)衍生物、聚對(duì)亞苯基衍生物、聚烷基亞苯基和聚乙炔衍生物的溶于有機(jī)溶劑的材料。
作為聚對(duì)亞苯基亞乙烯基衍生物，可用聚(2，5-二烷氧基-1，4亞苯基亞乙烯基)RO-PPV。具體地，可用諸如聚(2-甲氧基-5-(2-乙基-六氧基)-1，4亞苯基亞乙烯基)MEH-PPV和聚(2，5-二甲基辛基甲硅烷基-1，4-亞苯基亞乙烯基)DMOS-PPV的材料。
作為聚對(duì)亞苯基衍生物，可用聚(2，5-二烷氧基-1，4亞苯基)RO-PPP。
作為聚噻吩衍生物，可用聚(3-烷基噻吩)PAT。具體地，可用諸如聚(3-己基噻吩)PHT、聚(3-環(huán)己基噻吩)PCHT。除了上述材料以外，還可用聚(3-環(huán)己基-4-甲基噻吩)PCHMT、聚(3-[4-辛基苯基]-2，2’二噻吩]PTOPT、聚(3-(4-辛基苯基)-噻吩)POPT-1等。
作為聚芴衍生物，可用聚(二烷基芴)PDAF。具體地，可用諸如聚(二辛基芴)PDOF的材料。
作為聚乙炔的衍生物，可用諸如聚丙基苯基乙炔PPA-iPr、聚丁基苯基苯基乙炔(polybutylphenylphenylacetylene)PDPA-nBU、聚己基苯基乙炔PHPA。
而且，甲苯、苯、氯苯、二氯苯、氯仿、tetrallin、二甲苯、苯甲醚、二氯甲烷、γ-butyrlactone、丁基溶纖素、環(huán)己烷、NMP(N-甲基-2-吡咯烷酮)、二甲基亞砜、環(huán)己酮、二氧六環(huán)、THF(四氫呋喃)等用作這些高分子有機(jī)化合物的溶劑。
另外，PEDOT(聚(3，4-亞乙基二氧基噻吩))和聚苯胺(PA)還可用作具有空穴注入性能的高分子量化合物。注意，這些材料是水溶性的。有可能用涂敷法形成PEDOT。還可用噴墨法在用涂敷法形成的第一有機(jī)化合物層(PDOT)上形成第二有機(jī)化合物層。
此外，還可用沒有升華性、具有等于或小于10的分子量或具有等于或小于5μm的分子鏈長(zhǎng)度的有機(jī)化合物(這些化合物稱作中等分子量有機(jī)化合物)。四(2-巰基-苯并-惡唑)鎢(Tetrakis(2-mercapto-benzo-oxazolato)tungsten)可作為這些材料的實(shí)例給出。通過噴墨法用高分子量有機(jī)化合物材料的圖形形成中存在問題，諸如下落的混合物被拉成絲變成線形。然而，這類問題在具有少量連接著的分子的中等分子量有機(jī)化合物中不會(huì)發(fā)生。而且，如果形成高分子量有機(jī)化合物的混合物，那么有必要考慮用于溶解高分子量混合物的溶劑和構(gòu)造墨頭的材料的組合。實(shí)際上，有必要使用不引起墨頭材料腐蝕的溶劑。然而，這類問題不會(huì)在中等分子量化合物中發(fā)生，這是因?yàn)橛盟鼈兎稚⒃谒芤褐小?br> 而且，甲苯、苯、氯苯、二氯苯、氯仿、四氫化萘、二甲苯、二氯甲烷、環(huán)己烷、NMP(N-甲基-2-吡咯烷酮)、二甲基亞砜、環(huán)己酮、二氧六環(huán)、THF(四氫呋喃)等可用作溶劑。
圖2給出使用噴墨法的印刷設(shè)備的結(jié)構(gòu)。隨著襯底的運(yùn)動(dòng)速度，調(diào)節(jié)從墨頭201中發(fā)射的合成物的發(fā)射周期，以便于在襯底上連續(xù)地形成有機(jī)化合物圖形。用于射出氣體的噴嘴202作為平坦化合成物(或有機(jī)化合物)的裝置提供在鄰近墨頭201的位置。使用噴嘴通過從噴嘴射出的氣體來平坦化發(fā)射到襯底215上的合成物。另外，墨頭201和襯底215之間的空隙保持在等于或小于1mm的距離以提高發(fā)射合成物沖擊位置的精確性。這是通過形成上下移動(dòng)墨頭201的移動(dòng)機(jī)械裝置來構(gòu)造的，控制裝置203、襯底215只有在圖形形成過程中到達(dá)墨頭附近。
作為其它結(jié)構(gòu)，用諸如用于固定襯底、在x、y和θ方向移動(dòng)襯底、并用諸如真空吸盤的技術(shù)固定襯底的襯底臺(tái)的組件、用于向墨頭201提供合成物的裝置206和用于向噴嘴202提供氣體的裝置207。外殼210覆蓋諸如墨頭201和襯底臺(tái)205的部分。如果氣氛通過用形成于氣體供給裝置208和外殼210內(nèi)的噴頭209提供與合成物溶劑同樣的氣體來代替，可防止干燥到一定的程度，印刷能繼續(xù)很長(zhǎng)的時(shí)間?？梢园ㄆ渌M元，諸如用于支持待處理的襯底的盒子212、用于從盒子212移動(dòng)襯底并把襯底放入盒子212的傳輸裝置211、和用于通過發(fā)射清潔氣體減少工作區(qū)的灰塵的清潔單元213。
用于發(fā)射合成物以形成有機(jī)化合物層的墨頭在確定圖形精度中承當(dāng)非常重要的作用。圖3給出了墨頭結(jié)構(gòu)的實(shí)例。這就是說，外殼301具有壓力產(chǎn)生室304、其一個(gè)表面用塑料盤303密封、其上面安裝壓電元件302，和用于臨時(shí)存儲(chǔ)所供給的合成物的貯存器。在壓力產(chǎn)生室304的一個(gè)邊緣形成開口，并形成用于發(fā)射合成物的發(fā)射口306。由于壓電元件302的偏轉(zhuǎn)，構(gòu)造壓力產(chǎn)生室304的塑料盤303改變壓力產(chǎn)生室304的體積，使混合物發(fā)射出來。在墨頭發(fā)射口306的附近形成噴嘴307，其中形成開口308且其用作平坦化裝置向襯底表面射出氣體。
墨頭的另一個(gè)實(shí)例示于圖4。墨頭結(jié)構(gòu)具有在外殼401中形成的壓電元件402和塑料盤403，同樣允許混合物連續(xù)地發(fā)射。形成開口408，其在形成于壓力產(chǎn)生室406中的發(fā)射口406的外周界具有同心圓形。通過從開口408中射出氣體進(jìn)行平坦化。另外，提供具有與合成物溶劑類似性質(zhì)的氣體，防止合成物在發(fā)射口406干燥和固化。
圖5給出墨頭的結(jié)構(gòu)，其用壓縮的氣體推出合成物，連續(xù)向膜形成表面提供合成物。合成物所流動(dòng)的路徑在外殼501中形成，隔板閥503沿著路徑在中途形成，并在發(fā)射口513形成針形閥502。兩個(gè)都用于控制合成物的供給，但是形成針形閥502用于供給合成物并用于瞬時(shí)實(shí)施供給的中斷。合成物利用壓縮空氣供給裝置506從貯存器505中供給。供給的量通過利用超聲波的檢測(cè)器(由超聲頭504和檢測(cè)電路507組成的)來檢測(cè)，得到的信息通過A/D轉(zhuǎn)換器508輸入到處理單元512中。處理單元512通過接口向外部信息處理設(shè)備發(fā)送并從外部信息處理設(shè)備接受信號(hào)，并通過A/D或D/A轉(zhuǎn)換器509-511實(shí)施各種類型的每個(gè)閥的控制。還可以根據(jù)這種結(jié)構(gòu)形成線形圖形。
可以在墨頭中形成一個(gè)發(fā)射口，還可以形成多個(gè)發(fā)射口以實(shí)施非常有效地印刷。例如，可以在一對(duì)一的基礎(chǔ)上對(duì)應(yīng)一組壓力產(chǎn)生室形成發(fā)射口，且一組壓力產(chǎn)生室可以對(duì)應(yīng)多個(gè)發(fā)射口。
圖6A-6E給出逐步地形成線形有機(jī)化合物層的方法，其中墨頭601將合成物噴到襯底上的膜形成表面600上。圖6A給出初始狀態(tài)。當(dāng)在膜形成表面600上形成圖形時(shí)，墨頭601和噴嘴602如圖6B所示接近膜形成表面，然后開始合成物604的發(fā)射。
然后如圖6C所示通過使墨頭601和膜形成表面600相對(duì)彼此移動(dòng)形成線形圖形605。圖形可以用從平坦化裝置602射出的氣體做得更平坦。墨頭601到達(dá)預(yù)定的位置后停止發(fā)射合成物(圖6D)，然后從膜形成表面600移開(圖6E)。這樣在膜形成表面600上可形成具有預(yù)定厚度的連續(xù)有機(jī)化合物層圖形。
另外，圖7A-7C給出逐步地形成線形有機(jī)化合物層的另一個(gè)方法，其中墨頭701將合成物噴到襯底上的膜形成表面700上。圖7A給出初始狀態(tài)，當(dāng)在膜形成表面700上形成圖形時(shí)，墨頭701如圖7B所示接近膜形成表面700。然后開始合成物702的發(fā)射。
然后如圖7C所示通過使墨頭701和膜形成表面700相對(duì)彼此移動(dòng)形成線形圖形703。形成的有機(jī)化合物圖形通過發(fā)射的合成物的量控制。墨頭701到達(dá)預(yù)定的位置后停止發(fā)射合成物，然后從膜形成表面700移開(圖7D)。這樣在膜形成表面700上可形成連續(xù)有機(jī)化合物層圖形。
圖8給出形成有機(jī)化合物層801-803的像素部分的實(shí)例。像素部分有柵線804、數(shù)據(jù)線805、電源供給線806、像素電極811、以及半導(dǎo)體層809和810。這樣構(gòu)造薄膜晶體管820和830。像素電極811連接到薄膜晶體管830上，對(duì)像素部分以矩陣排列成整體。用圖3或圖4說明的墨頭形成有機(jī)化合物層，合成物一次一滴連續(xù)地發(fā)射到像素電極上，形成整個(gè)線形有機(jī)化合物層。
圖9給出用圖5的墨頭對(duì)于具有與上述像素部分類似結(jié)構(gòu)的像素部分形成有機(jī)化合物層850-853的實(shí)例。這個(gè)情形中，合成物連續(xù)地供給，因而在像素電極的上層上形成的有機(jī)化合物層也形成具有線形或帶狀的形狀。注意，對(duì)于彩色顯示，用于發(fā)射對(duì)應(yīng)紅、綠、蘭等的彩色光的有機(jī)化合物層可被形成用于這些有機(jī)化合物層。
圖10給出將有機(jī)化合物一次全部施加到在像素部分中形成的整個(gè)像素行上的實(shí)例。附連到頭部分20的發(fā)射口的數(shù)目與像素行的數(shù)目相同。用這類結(jié)構(gòu)，一次掃描在每個(gè)像素行中形成有機(jī)化合物層變得可能，這樣生產(chǎn)力大量提高。
另外，像素部分還可以分成多個(gè)區(qū)，可以用具有與包含在區(qū)中的像素行的數(shù)目同樣數(shù)目發(fā)射口的頭部分。換言之，如果像素部分分成n個(gè)區(qū)，那么有機(jī)化合物層能通過掃描n次在所有像素行中形成。
實(shí)際上，有一些情形，其中像素尺寸小到幾十個(gè)μm，因而像素行的寬度也在幾十個(gè)μm的數(shù)量級(jí)。這種情形中，很難把發(fā)射口在一個(gè)水平行中排成一列，因而有必要設(shè)計(jì)不同的發(fā)射口安排。圖11A-11C所示的是改變發(fā)射口附連到墨頭位置的實(shí)例。圖11A是一個(gè)實(shí)例，其中發(fā)射口52a-52c在相對(duì)于墨頭51對(duì)角地移動(dòng)的位置處形成。注意，參考編號(hào)52a指提供紅色發(fā)光合成物的發(fā)射口、參考編號(hào)52b指提供綠色發(fā)光合成物的發(fā)射口、參考編號(hào)52c指提供蘭色發(fā)光合成物的發(fā)射口。另外，每個(gè)箭頭對(duì)應(yīng)一個(gè)像素行。即使像素行之間的間隙很小，用這類發(fā)射口對(duì)準(zhǔn)可形成有機(jī)化合物層，而不會(huì)有相鄰發(fā)射口之間任何干擾。
把發(fā)射口作為一個(gè)單元52a-52c，如參考編號(hào)53所示，在頭部分形成一個(gè)到多個(gè)單元。如果有一個(gè)單一的單元53，那么合成物同時(shí)提供給三行像素。如果有n個(gè)單一單元53，那么合成物同時(shí)提供給3n行像素。這樣能增加發(fā)射口放置間距的自由度，且本發(fā)明能在高精度像素部分中很容易實(shí)現(xiàn)。而且，像素部分中所有像素行能用圖11A所示的墨頭51一批處理，有可能把像素部分分成多個(gè)區(qū)，然后進(jìn)行幾次處理。
其次，圖11b所示的墨頭54是圖11A的變種，是一種情形的實(shí)例，其中包含在一個(gè)單一單元55中的噴嘴數(shù)目增加了。各兩個(gè)下列發(fā)射口包含在單元55中用于提供紅色發(fā)光層合成物的發(fā)射口56a、用于提供綠色發(fā)光層合成物的發(fā)射口56b、用于提供蘭色發(fā)光層合成物的發(fā)射口56c。有機(jī)化合物能同時(shí)用一個(gè)單元55提供給全部6個(gè)像素行。
本實(shí)施方案樣式中形成一到多個(gè)單元55，如果形成n個(gè)單元55則合成物能同時(shí)施加給6n行像素。當(dāng)然沒有必要限制在單元55-6中形成的噴嘴的數(shù)目，還可以形成附加的多個(gè)噴嘴。用這類結(jié)構(gòu)還可一批處理像素部分中所有的像素行，類似于圖11A所示，有可能將像素部分分成多個(gè)區(qū)并進(jìn)行幾次處理。
還可用圖11C所示的墨頭57。在墨頭57中，形成3個(gè)，其三個(gè)像素行部分的間隔在它們之間的保持開放，是用于提供紅色發(fā)光涂敷液體的發(fā)射口58a、用于提供綠色發(fā)光涂敷液體的發(fā)射口58b、和用于提供蘭色發(fā)光涂敷液體的發(fā)射口58c。墨頭57首先掃描一次，這樣向像素行提供合成物。墨頭然后向右移三個(gè)像素行，再進(jìn)行一次掃描。此外，墨頭向右另外再移三個(gè)像素行，再進(jìn)行一次掃描。這樣能通過進(jìn)行三次掃描提供紅、綠、蘭彼此相鄰排列的條形合成物。用這類結(jié)構(gòu)，能一批處理像素部分中所有的像素行，類似于圖11A，有可能把將像素部分分成多個(gè)區(qū)并進(jìn)行幾次處理。
根據(jù)本發(fā)明，通過連續(xù)發(fā)射合成物并連續(xù)形成有機(jī)化合物層，印刷有機(jī)化合物層時(shí)用于控制位置的時(shí)間的量能縮短。
實(shí)施方案實(shí)施方案1如圖12A所示，在襯底1200上以40-120μm的間距形成透明像素電極1201-1204，并具有0.1μm的厚度。氧化銦、氧化鋅、氧化錫或這三種氧化物的混合化合物用于形成透明像素電極。
其次，如圖12B所示，在透明像素電極的圖形之間形成由樹脂材料構(gòu)成的隔離物1205。隔離物具有1-2μm的厚度、20μm的寬度，并且被形成以便于覆蓋透明像素電極的邊緣部分。形成隔離物從而從墨頭中發(fā)射并在透明像素電極上沖擊的合成物不會(huì)流出來并混合到相鄰像素中去。
其次，通過使用聚(乙烯-二氧噻吩)(poly(ethylene-dioxythiophene))和聚(苯乙烯-磺酸)的水溶液(下文中稱作PEDOT/PSS)的旋轉(zhuǎn)涂敷法在具有透明像素電極(陽極)1201-1204的玻璃襯底1200上形成具有30nm厚度的第一有機(jī)化合物層。PDOT/PSS用作空穴注入層1206(圖12C)。
然后通過熱處理過程蒸發(fā)濕氣，用噴墨印刷設(shè)備1207施加合成物，形成具有0.05μm-0.2μm膜厚度的第二有機(jī)化合物層。溶解在乙腈中具有π共軛配體的金屬螯合配合物用作合成物。例如，對(duì)具有90μm間距的像素，合成物以1-20cp的粘度和大約80μm的直徑發(fā)射。通過噴墨發(fā)射該合成物以后，在80-120℃實(shí)施加熱，蒸發(fā)溶劑并形成具有50-150nm厚度的發(fā)光層1208。通過與發(fā)射的合成物重疊形成發(fā)光層1208，形成線形或條形層，如實(shí)施方案樣式所說明的(圖12D)。
具有0.1μm-0.2μm厚度的鎂合金(例如，AlMg)作為陽極1209通過真空蒸發(fā)形成。這樣完成了發(fā)光裝置。(圖12E)。
實(shí)施方案2圖13A-13D給出用本發(fā)明的制造方法通過噴墨法制造有源矩陣驅(qū)動(dòng)法光裝置的實(shí)例。圖13A中，在襯底1300上形成薄膜晶體管1301-1303作為有源元件。薄膜晶體管由其中形成諸如溝道形成區(qū)、源區(qū)和漏區(qū)的部分的半導(dǎo)體膜、柵電極、柵絕緣膜等組成。薄膜晶體管具有依賴于類型二不同的性能，諸如頂部柵型和低部柵型，但是應(yīng)用本發(fā)明時(shí)在結(jié)構(gòu)的類型上沒有設(shè)置限制。
例如，在65μm的間距中形成連接到薄膜晶體管源或漏區(qū)的像素電極1304-1306，具有0.1μm的厚度。當(dāng)用噴墨法在精細(xì)的間距中形成有機(jī)化合物層時(shí)，如果用本發(fā)明的合成物，不需要拉伸圖形就能形成微細(xì)的圖形。由樹脂材料在像素電極圖形之間形成隔離物1308。形成隔離物并具有1-2μm的厚度，以便于覆蓋像素電極的邊緣部分。形成隔離物從而從墨頭中發(fā)射并在透明像素電極上沖擊的合成物不會(huì)流出來并混合到鄰近像素中(圖13A)。
其次，通過使用聚(乙烯-二氧噻吩)和聚(苯乙烯-磺酸)的水溶液(下文中稱作PEDOT/PSS)的旋涂在具有薄膜晶體管1301-1303的玻離襯底1300上形成具有30nm厚度的第一有機(jī)化合物層。PDOT/PSS用作空穴注入層1308(圖13B)。
然后通過熱處理過程蒸發(fā)濕氣，用噴墨印刷設(shè)備1309涂敷合成物，形成具有0.05μm-0.2μm膜厚度的有機(jī)化合物層作為第二有機(jī)化合物層。溶解在乙腈中具有δ共軛配體的金屬螯合配合物用作合成物。通過噴墨發(fā)射該合成物以后，在80-120℃實(shí)施加熱，蒸發(fā)溶劑并形成發(fā)光層1310(圖13C)。
具有0.1μm-0.2μm厚度的鎂合金(例如，AlMg)作為陽極1311通過真空蒸發(fā)形成。這樣完成了有源驅(qū)動(dòng)發(fā)光裝置。(圖13D)。
注意，給出了實(shí)例，具有圖12A-12E以及圖13A-13D所示的用于有機(jī)發(fā)光裝置的空穴注入層和發(fā)光層的兩層結(jié)構(gòu)，在結(jié)構(gòu)上沒有設(shè)置限制。還能使用一些結(jié)構(gòu)，其中用本發(fā)明的合成物通過噴墨法任意地形成發(fā)光層和相關(guān)的注入層。
實(shí)施方案3參考


用本發(fā)明的合成物通過噴墨法制造的發(fā)光裝置的具體實(shí)例。圖14給出用于有源矩陣發(fā)光裝置的像素結(jié)構(gòu)的實(shí)例的俯視圖。另外，圖15是對(duì)應(yīng)圖14沿著線段A-A’切割的橫截面視圖。像素結(jié)構(gòu)用共同的參考編號(hào)以兩個(gè)圖來說明。
像素結(jié)構(gòu)具有形成于一個(gè)像素中的兩個(gè)薄膜晶體管。一個(gè)薄膜晶體管是用于開關(guān)操作的n溝道薄膜晶體管1604、另一個(gè)是用于控制在有機(jī)發(fā)光元件中流動(dòng)的電流的p溝道薄膜晶體管1605。當(dāng)然，當(dāng)用本發(fā)明的噴墨印刷設(shè)備制造有源矩陣發(fā)光裝置時(shí)不需要限制每一個(gè)像素中形成的晶體管?？梢允褂梅向?qū)動(dòng)發(fā)光裝置的方法的合適的電路結(jié)構(gòu)。
如圖15所示，有機(jī)發(fā)光元件1575的組成包括第一電極1546、空穴注入層1571、發(fā)光層1572、和第二電極1573。第一電極和第二電極通過它們的極性在陽極和陰極之間區(qū)分開來。諸如氧化銦、氧化錫或氧化鋅的高功函數(shù)材料用作形成陽極的材料，而諸如MgAg、AlMg、Ca、Mg、Li、AlLi和AlLiAg等的由堿金屬或堿土金屬形成的低功函數(shù)材料，典型地鎂化合物，用于形成陰極。
在p溝道薄膜晶體管1605和n溝道薄膜晶體管1605中，由多晶半導(dǎo)體膜形成有源層1516和1517，其中形成溝道形成區(qū)、源區(qū)、漏區(qū)、LDD區(qū)等。第一柵電極1533和1534通過柵絕緣膜1518形成，第二柵電極1506和1509通過絕緣膜1510和1511形成，以便于對(duì)著中間夾有源層的第一電極。夾層絕緣膜1543和1544通過無機(jī)絕緣膜和有機(jī)絕緣膜的組合形成。導(dǎo)線1505是基于圖象數(shù)據(jù)的信號(hào)線、導(dǎo)線1507是用于向有機(jī)發(fā)光元件提供電流的電源供給線。
有機(jī)發(fā)光元件1575的第一電極1546連接道p溝道薄膜晶體管1605的電極1553。隔離物1570分離相鄰的像素，為了隔離每個(gè)像素的目的而形成從而當(dāng)通過噴墨法形成發(fā)光層時(shí)合成物不到達(dá)相鄰的像素。隔離物由諸如聚酰亞胺、丙烯酸(acrylic)、聚酰亞胺酰胺、或聚苯并咪唑的光敏材料或熱凝固樹脂材料形成，以便于覆蓋第一電極的邊緣部分。有機(jī)化合物層可以在垂直方向連續(xù)地形成，或者在水平方向連續(xù)地形成。
由樹脂材料形成的隔離物1570的表面可以在性能上通過使用諸如氬的等離子處理修改以硬化表面。通過首先用旋轉(zhuǎn)涂敷法在整個(gè)襯底表面上涂敷聚(乙烯-二氧噻吩)和聚(苯乙烯-磺酸)的水溶液(下文中稱作PEDOT/PSS)、然后實(shí)施干燥形成空穴注入層1571，具有30nm的厚度。
用噴墨印刷設(shè)備通過施加合成物形成發(fā)光層，該合成物中用作基質(zhì)材料的π共軛聚合物材料聚(N-乙烯咔唑PVK)、和用作客體材料(guest material)具有π共軛配體的金屬螯合物配合物分散在溶劑中。從墨頭中發(fā)射的合成物沖擊由隔離物包圍的區(qū)域。其次在80-120℃的溫度下氮?dú)夥罩羞M(jìn)行熱處理，形成0.1μm-0.2μm厚度的發(fā)光層1572。
在發(fā)光層1572上形成鈍化膜1574。對(duì)于氧和水蒸氣是良好的阻擋層的材料，諸如氮化硅、氧化硅、和類金剛石碳(DLC)可以用于形成鈍化膜。
這樣能制造有源矩陣驅(qū)動(dòng)發(fā)光裝置。通過用本發(fā)明的合成物制造發(fā)光裝置，能夠以高精度形成發(fā)光層圖形，并能降低不發(fā)光的缺陷像素出現(xiàn)的比率。
實(shí)施方案4如圖16所示，具有良好密封質(zhì)量的發(fā)光裝置能根據(jù)圖12A-12E通過在發(fā)光裝置上形成由諸如丙烯酸、聚酰亞胺、聚酰亞胺酰胺、或聚苯并咪唑的樹脂材料構(gòu)成的樹脂層1211，此外在樹脂層上固定由諸如塑料或玻璃的材料構(gòu)成的密封片1212。通過在密封片1212的表面上形成氮化硅或DLC的涂層，能提高氣體阻擋層性能，并因而提高發(fā)光裝置的可靠性。
實(shí)施方案5
在實(shí)施方案5中具有有機(jī)發(fā)光元件的發(fā)光顯示裝置的實(shí)施方案示于圖17A和17B中。圖17A是給出發(fā)光裝置的俯視圖，沿著線段A-A’切割的發(fā)光裝置的橫截面視圖示于圖17B中。在具有絕緣表面的襯底1700(例如，玻璃襯底、晶化的玻璃襯底或塑料襯底)上形成像素區(qū)1702、源側(cè)驅(qū)動(dòng)電路1701和柵側(cè)驅(qū)動(dòng)電路1703。用本發(fā)明的噴墨法形成像素區(qū)中的有機(jī)化合層。另外，已知的薄膜晶體管和已知的電路技術(shù)可用于驅(qū)動(dòng)電路。
參考編號(hào)1718指密封材料、參考編號(hào)1719指DLC膜。像素區(qū)和驅(qū)動(dòng)電路部分由密封材料1718覆蓋，密封材料由DLC膜1719覆蓋。此外，它可以通過使用粘合劑的覆蓋材料1720密封。優(yōu)選的是與襯底1700一樣的材料用于覆蓋材料1720以便于允許發(fā)光裝置承受由于熱和外力引起的形變。例如，優(yōu)選的是用玻璃襯底，其用諸如噴沙的方法加工成圖17B所示的凹形(3-10μm的深度)。另外優(yōu)選的是用附加的工藝形成凹面部分(50-200μm的深度)，該工藝中可以容納干燥劑1721。注意，參考編號(hào)1708指用于向源側(cè)驅(qū)動(dòng)電路1701和柵側(cè)驅(qū)動(dòng)電路1703傳送信號(hào)輸入的導(dǎo)線，從變成外部輸入終端的FPC(柔性印刷電路)1709中接收視頻信號(hào)和時(shí)鐘信號(hào)。
其次用圖17B說明橫截面結(jié)構(gòu)。在襯底1700上形成絕緣膜1710，在絕緣膜1710上形成像素區(qū)域1702和柵側(cè)驅(qū)動(dòng)電路1703。由每個(gè)包含電流控制薄膜晶體管1711的多個(gè)像素、和電連接到薄膜晶體管1711的漏的發(fā)光元件的一個(gè)電極1712形成像素區(qū)1702。另外，用其中n溝道薄膜晶體管1713和p溝道薄膜晶體管1714組合的CMOS電路形成柵側(cè)驅(qū)動(dòng)電路1703?？梢愿鶕?jù)已知的技術(shù)制造薄膜晶體管(包括晶體管1711、1713和1714)。
像素電極1712作為有機(jī)發(fā)光元件的陽極起作用。另外，在像素電極1712的兩個(gè)邊緣形成隔離物1715，在發(fā)光元件電極1712上形成有機(jī)化合物層1716和有機(jī)發(fā)光元件的陰極1717。通過合適地組合諸如空穴注入層、發(fā)光層和電子注入層的層形成有機(jī)化合物層1716。所有這些可以用噴墨印刷技術(shù)形成，還可以通過把旋轉(zhuǎn)涂敷法與噴墨法組合形成。
例如，第一有機(jī)化合物層可由作為空穴注入層的PEDOT形成，通過使用噴墨印刷設(shè)備能在第一有機(jī)化合物上形成線形或條形第二有機(jī)化合物層。這個(gè)情形中，第二有機(jī)化合物層變成發(fā)光元件。有可能用高分子量材料或中等分子量材料作為有機(jī)化合物材料。
陰極1717還作為所有像素的公共導(dǎo)線起作用，并通過連接導(dǎo)線1708電連接道FPC1709。此外，包含在像素區(qū)1702和柵側(cè)驅(qū)動(dòng)電路1703中的所有元件由陰極1717、密封材料1718和保護(hù)膜1719覆蓋。另外，優(yōu)選的是用密封材料1718完全覆蓋有機(jī)發(fā)光元件之后，如圖17A和17B所示，至少在密封材料1718的表面上(暴露的表面)形成至少由DLC膜等構(gòu)成的保護(hù)膜1719。保護(hù)膜還可以在所有的表面上形成，包括襯底的后面。有必要在這一點(diǎn)小心從而在形成外部輸入終端(FPC)的部分中不形成保護(hù)膜?？梢杂醚谀?，從而保護(hù)膜不在那兒形成，或者可以用掩膜帶覆蓋外部輸入終端部分從而不在那兒形成保護(hù)膜。
用這類結(jié)構(gòu)，有機(jī)發(fā)光元件能通過用密封材料1718和保護(hù)膜密封有機(jī)發(fā)光元件完全地與外界隔離，從而防止來自外界的諸如濕氣和氧這樣促進(jìn)有機(jī)化合物層氧化造成的退化的物質(zhì)滲入。這樣可得到具有高可靠性的發(fā)光裝置。而且，還可以用一種結(jié)構(gòu)，其中光在圖17A和17B相反的方向發(fā)出，由此像素電極作為陰極，有機(jī)化合物層和陽極層疊在像素電極上。
實(shí)施方案6圖18給出發(fā)光裝置外觀的實(shí)例。形成透明像素電極(陽極)902和陰極906以便于交叉，且有機(jī)化合物層形成于其間。透明像素電極(陽極)902之間形成絕緣膜903，在絕緣膜上形成隔離904。注意，還可以省略絕緣膜903。有可能通過適當(dāng)?shù)貙娔ㄅc旋轉(zhuǎn)涂敷法組合形成有機(jī)化合物層。如果用旋轉(zhuǎn)涂敷法，正形成的膜還可以在隔離904上形成。
當(dāng)用這些材料形成諸如發(fā)光層的層時(shí)，使用沒有升華性的有機(jī)化合物，其具有等于或小于10的分子量或具有等于或小于10μm的分子鏈長(zhǎng)，(中等分子量有機(jī)化合物)。對(duì)于用噴墨法實(shí)施圖形形成的情形，這些材料可以溶解在或分散在水、乙醇或乙二醇溶劑中。無論用哪種，其粘度規(guī)定為能通過噴墨法用于圖形形成的粘度，在優(yōu)化的條件很短的時(shí)間內(nèi)簡(jiǎn)單地進(jìn)行膜形成。
從墨頭中發(fā)射的合成物沖擊在隔離904之間，并能通過干燥形成包含發(fā)光層等的有機(jī)層905。如圖12A-12E所示，形成隔離904，具有條形，且有機(jī)化合物層905在條之間連續(xù)地形成。通過以這種方法形成有機(jī)化合物層，能進(jìn)行具有良好效率的發(fā)光層的圖形形成，且能減少不發(fā)光的缺陷像素出現(xiàn)的比率。
實(shí)施方案7各種電子設(shè)備能用本發(fā)明的發(fā)光裝置完成。作為這些電子設(shè)備的實(shí)例之一，可以指出的有視頻相機(jī)、數(shù)碼相機(jī)、投影儀、頭戴式顯示器(護(hù)目鏡式顯示器)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、投影儀、汽車立體聲、個(gè)人計(jì)算機(jī)、便攜式信息終端(移動(dòng)式計(jì)算機(jī)、便攜式電話或電子圖書)等。這些設(shè)備的實(shí)例示于圖19A-19C和20A-20C。
圖19A給出包括主體2001、圖象輸入部分2002、顯示部分2003、鍵盤2004等的個(gè)人計(jì)算機(jī)。由本發(fā)明形成的發(fā)光裝置能引入顯示部分2003，這樣就能完成個(gè)人計(jì)算機(jī)。
圖19B給出包括主體2101、顯示部分2102、聲音輸入部分2103、操作開關(guān)2104、電池2105、圖像接收部分2106等的視頻相機(jī)。由本發(fā)明形成的發(fā)光裝置能引入顯示部分2102，這樣就能完成視頻照相機(jī)。
圖19C給出包括主體2201、相機(jī)部分2202、圖像接收部分2203、操作開關(guān)2204、顯示部分2205等的可移動(dòng)計(jì)算機(jī)。由本發(fā)明形成的發(fā)光裝置能引入顯示部分2205，這樣就能完成可移動(dòng)式計(jì)算機(jī)。
圖19D給出包括主體2301、顯示部分2302和臂部分2303的護(hù)目鏡式顯示器。由本發(fā)明形成的發(fā)光裝置能引入顯示部分2302，這樣就能完成護(hù)目鏡式顯示器。
圖19E給出使用上面記錄了節(jié)目的記錄介質(zhì)(以下稱作記錄介質(zhì))的播放器，其包括主體2401、顯示部分2402、揚(yáng)聲器部分2403、記錄介質(zhì)2404和操作開關(guān)2405。該播放器用DVD(數(shù)字通用盤)或CD作為記錄介質(zhì)并能欣賞音樂、欣賞電影以及玩游戲或上互聯(lián)網(wǎng)。由本發(fā)明形成的發(fā)光裝置能引入顯示部分2402，這樣就能完成播放器。
圖19F給出包括主機(jī)2501、顯示部分2502、眼睛接觸部分2503、操作開關(guān)2504和圖像接收部分(沒有圖示)的數(shù)碼相機(jī)。由本發(fā)明形成的發(fā)光裝置能引入顯示部分2502，這樣就能完成數(shù)碼相機(jī)。
圖20A給出包括主體2901、聲音輸出部分2902、聲音輸入部分2903、顯示部分2904、操作開關(guān)2905、天線2906和圖像輸入部分(CCD、圖像傳感器等)2907的便攜式電話。由本發(fā)明形成的發(fā)光裝置能引入顯示部分2904，這樣就能完成便攜式電話。
圖20B給出包括主體3001、顯示部分3002和3003、記錄介質(zhì)3004、操作開關(guān)3005和天線3006的便攜式圖書(電子圖書)。由本發(fā)明形成的發(fā)光裝置能引入顯示部分3002和3003，這樣就能完成便攜式圖書。
圖20C給出包括主體3101、支撐基座3102、顯示部分3103等的顯示器。由本發(fā)明形成的發(fā)光裝置能引入顯示部分3103，這樣就能完成顯示器。此外，圖20C所示的顯示器是小型、中型或大型，例如尺寸5-20英寸的顯示屏幕。而且，優(yōu)選的是通過用尺寸1×1m的襯底執(zhí)行多個(gè)圖形以形成這樣尺寸的顯示部分。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，當(dāng)一次一個(gè)點(diǎn)連續(xù)地在襯底上發(fā)射合成物時(shí)通過形成線形或條形有機(jī)化合物層，能縮短位置對(duì)準(zhǔn)所需時(shí)間的總數(shù)，有機(jī)化合物層的形成變得更容易，并能減少處理時(shí)間的總數(shù)。
特別是，本發(fā)明適用于一些情形，其中本發(fā)明用于生產(chǎn)方法，而多個(gè)顯示面板從一個(gè)大面積襯底切割出來。而且，對(duì)于大量像素區(qū)域在大尺寸襯底中形成的情形有著有利的作用。優(yōu)勢(shì)在于，通過在像素區(qū)域之間運(yùn)動(dòng)的周期內(nèi)瞬間停止混合物的發(fā)射，墨頭能相對(duì)于大尺寸襯底高速移動(dòng)，這樣能提高生產(chǎn)力。
權(quán)利要求
1.一種制造發(fā)光裝置的方法，所述方法包括在具有薄膜晶體管的襯底上形成像素電極；在像素電極上形成空穴注入層；以及通過從墨頭發(fā)射包括具有發(fā)光性能的有機(jī)化合物的合成物在空穴注入層上形成連續(xù)的有機(jī)化合物層。
2.一種制造發(fā)光裝置的方法，所述方法包括在具有薄膜晶體管的襯底上形成像素電極；用旋轉(zhuǎn)涂敷法在像素電極上形成空穴注入層；以及利用噴墨法從墨頭發(fā)射包括具有發(fā)光性能的有機(jī)化合物的合成物在空穴注入層上形成連續(xù)的有機(jī)化合物層。
3.一種制造發(fā)光裝置的方法，所述方法包括通過從墨頭發(fā)射包括具有發(fā)光性能的有機(jī)化合物的合成物在矩陣形式的像素電極上形成連續(xù)的有機(jī)化合物層，同時(shí)用平坦化裝置使從墨頭中發(fā)射的合成物平坦。
4.一種制造發(fā)光裝置的方法，所述方法包括以矩陣形式排列一對(duì)薄膜晶體管和像素電極；通過從墨頭發(fā)射包括具有發(fā)光性能的有機(jī)化合物的合成物在像素電極上形成連續(xù)的有機(jī)化合物層，同時(shí)用平坦化裝置使從墨頭中發(fā)射的合成物平坦。
5.一種制造發(fā)光裝置的方法，所述方法包括在具有薄膜晶體管的襯底上形成像素電極；通過從墨頭發(fā)射包括具有發(fā)光性能的有機(jī)化合物的合成物在像素電極上形成連續(xù)的有機(jī)化合物層，同時(shí)用平坦化裝置使從墨頭中發(fā)射的合成物平坦。
6.一種制造發(fā)光裝置的方法，所述方法包括在具有薄膜晶體管的襯底上形成像素電極；在像素電極上形成空穴注入層；以及通過從墨頭發(fā)射包括具有發(fā)光性能的有機(jī)化合物的合成物在空穴注入層上形成連續(xù)的有機(jī)化合物層，同時(shí)用平坦化裝置使從墨頭中發(fā)射的合成物平坦。
7.一種制造發(fā)光裝置的方法，所述方法包括在具有薄膜晶體管的襯底上形成像素電極；用旋轉(zhuǎn)涂敷法在像素電極上形成空穴注入層；以及通過用噴墨法從墨頭發(fā)射包括具有發(fā)光性能的有機(jī)化合物的合成物在空穴注入層上形成連續(xù)的有機(jī)化合物層，同時(shí)用平坦化裝置使從墨頭中發(fā)射的合成物平坦。
8.根據(jù)權(quán)利要求1制造發(fā)光裝置的方法，其中有機(jī)發(fā)光材料或其前驅(qū)物溶解或分散在溶劑中的溶液被用作合成物。
9.根據(jù)權(quán)利要求2制造發(fā)光裝置的方法，其中有機(jī)發(fā)光材料或其前驅(qū)物溶解或分散在溶劑中的溶液被用作合成物。
10.根據(jù)權(quán)利要求3制造發(fā)光裝置的方法，其中有機(jī)發(fā)光材料或其前驅(qū)物溶解或分散在溶劑中的溶液被用作合成物。
11.根據(jù)權(quán)利要求4制造發(fā)光裝置的方法，其中有機(jī)發(fā)光材料或其前驅(qū)物溶解或分散在溶劑中的溶液被用作合成物。
12.根據(jù)權(quán)利要求5制造發(fā)光裝置的方法，其中有機(jī)發(fā)光材料或其前驅(qū)物溶解或分散在溶劑中的溶液用作合成物。
13.根據(jù)權(quán)利要求6制造發(fā)光裝置的方法，其中有機(jī)發(fā)光材料或其前驅(qū)物溶解或分散在溶劑中的溶液被用作合成物。
14.根據(jù)權(quán)利要求7制造發(fā)光裝置的方法，其中有機(jī)發(fā)光材料或其前驅(qū)物溶解或分散在溶劑中的溶液被用作合成物。
15.根據(jù)權(quán)利要求3制造發(fā)光裝置的方法，其中平坦化裝置是用于射出氣體的噴嘴，其在墨頭的發(fā)射口附近提供，并通過從噴嘴中射出氣體平坦合成物。
16.根據(jù)權(quán)利要求4制造發(fā)光裝置的方法，其中平坦化裝置是用于射出氣體的噴嘴，其在墨頭的發(fā)射口附近提供，并通過從噴嘴中射出氣體平坦合成物。
17.根據(jù)權(quán)利要求5制造發(fā)光裝置的方法，其中平坦化裝置是用于射出氣體的噴嘴，其在墨頭的發(fā)射口附近提供，并通過從噴嘴中射出氣體平坦合成物。
18.根據(jù)權(quán)利要求6制造發(fā)光裝置的方法，其中平坦化裝置是用于射出氣體的噴嘴，其在墨頭的發(fā)射口附近提供，并通過從噴嘴中射出氣體平坦化合成物。
19.根據(jù)權(quán)利要求7制造發(fā)光裝置的方法，其中平坦化裝置是用于射出氣體的噴嘴，其在墨頭的發(fā)射口附近提供，并通過從噴嘴中射出氣體平坦化合成物。
全文摘要
提供通過噴墨法用于有機(jī)化合物層的形成的有效、高速的工藝。在通過噴墨法形成有機(jī)化合物層的方法中，包含具有發(fā)光性能的有機(jī)化合物的合成物從墨頭中發(fā)射，形成連續(xù)的有機(jī)化合物層。有機(jī)化合物層在以矩陣形狀對(duì)準(zhǔn)的像素電極上形成，并在多個(gè)像素電極上以連續(xù)的方式形成。根據(jù)這個(gè)制造方法用有機(jī)發(fā)光元件制造發(fā)光裝置。
文檔編號(hào)H05B33/10GK1396792SQ0214113
公開日2003年2月12日 申請(qǐng)日期2002年7月5日 優(yōu)先權(quán)日2001年7月6日
發(fā)明者山崎舜平, 荒井康行 申請(qǐng)人:株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所