專利名稱：用于晶體生長(zhǎng)工藝中的籽晶方位的控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于方位調(diào)節(jié)的控制裝置，尤指一種用于晶體生長(zhǎng)工藝中籽晶方位的控制裝置。
本實(shí)用新型的目的可通過如下措施來實(shí)現(xiàn)一種用于晶體生長(zhǎng)工藝中籽晶方位的控制裝置，包括籽晶桿，籽晶桿用于固定籽晶；其特征在于還包括-一X-Y二維位移調(diào)節(jié)裝置；-一Z軸傾角調(diào)節(jié)裝置；及所述的X-Y二維位移調(diào)節(jié)裝置的任一端與所述的Z軸傾角調(diào)節(jié)裝置相連，構(gòu)成X、Y、Z方位調(diào)節(jié)裝置，該方位調(diào)節(jié)裝置的任一端與籽晶桿相連，另一端與晶體生長(zhǎng)設(shè)備的軸桿相連。
上述的X-Y二維位移調(diào)節(jié)裝置包括-一Y/X位移滑槽座，在Y/X位移滑槽座內(nèi)設(shè)Y/X位移滑塊；-一X/Y位移滑槽座，在X/Y位移滑槽座內(nèi)設(shè)X/Y位移滑塊；及所述的X/Y位移滑槽座和Y/X位移滑槽座中的任一滑槽座或其上連接的滑塊為對(duì)方的位移滑塊。
在上述的Y/X位移滑槽座和X/Y位移滑槽座上分別設(shè)Y/X位移固定螺釘和X/Y位移固定螺釘，將其內(nèi)對(duì)應(yīng)的Y/X位移滑塊和X/Y位移滑塊固定。
上述的Z軸傾角調(diào)節(jié)裝置包括-一傾角調(diào)節(jié)座，與所述的籽晶桿或X-Y二維位移調(diào)節(jié)裝置或晶體生長(zhǎng)設(shè)備的軸桿的一端相連；-一頂柱即Z軸，該頂柱與所述的傾角調(diào)節(jié)座相觸；-一調(diào)節(jié)基座，其上部與所述的頂柱相連；其下部與所述的X-Y二維位移調(diào)節(jié)裝置或籽晶桿或晶體生長(zhǎng)設(shè)備的軸桿相連；及所述的傾角調(diào)節(jié)座與調(diào)節(jié)基座由至少三個(gè)傾角調(diào)節(jié)螺釘連接。
上述的Z軸傾角調(diào)節(jié)裝置的頂柱或與其相連的滑塊為X-Y二維位移調(diào)節(jié)裝置的滑塊。
在上述的Y/X位移滑槽座和Y/X位移滑塊之間設(shè)Y/X位移調(diào)節(jié)螺釘及與之相對(duì)的調(diào)節(jié)彈簧；Y/X位移調(diào)節(jié)螺釘及調(diào)節(jié)彈簧與其所對(duì)應(yīng)的Y/X位移滑塊相觸。
在上述的X/Y位移滑槽座和X/Y位移滑塊之間設(shè)X/Y位移調(diào)節(jié)螺釘及與之相對(duì)的調(diào)節(jié)彈簧；X/Y位移調(diào)節(jié)螺釘及調(diào)節(jié)彈簧與其所對(duì)應(yīng)的X/Y位移滑塊相觸。
本實(shí)用新型相比現(xiàn)有技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)在于本實(shí)用新型采用一種專用夾具來調(diào)節(jié)固定在籽晶桿上的籽晶的中心位置和傾角，其控制方法操作方便、可靠、省時(shí)和重復(fù)性好，其夾具設(shè)計(jì)小巧，即使在浮區(qū)單晶爐直徑為φ20的狹小空間中也能正常使用。
把籽晶3用鎳絲牢固的綁在籽晶桿1上。經(jīng)晶體定向和加工的籽晶端面為預(yù)期的結(jié)晶面；將整個(gè)籽晶夾具通過其上的夾具連接桿4旋緊固定在浮區(qū)單晶爐的下軸桿上。
所述的籽晶夾具的籽晶桿1與傾角調(diào)節(jié)座201成一體，在傾角調(diào)節(jié)座201下有一頂柱203即Z軸與之相觸，頂柱203與調(diào)節(jié)基座204成一體，傾角調(diào)節(jié)座201和調(diào)節(jié)基座204由三個(gè)傾角調(diào)節(jié)螺釘202連接構(gòu)成Z軸傾角調(diào)節(jié)裝置20，通過微調(diào)三個(gè)傾角調(diào)節(jié)螺釘202實(shí)現(xiàn)籽晶桿1相對(duì)Z軸的傾角調(diào)節(jié)，并通過浮區(qū)單晶爐的CCD-CRT系統(tǒng)(放大倍率3.5倍)或其他觀測(cè)系統(tǒng)觀察調(diào)節(jié)效果，使籽晶3的端面與水平基準(zhǔn)線的偏差為0-±0.2°。所述的調(diào)節(jié)基座204的下部設(shè)于Y/X位移滑槽座210內(nèi)；所述的Y/X位移滑槽座210的下端為一X/Y位移滑塊設(shè)于X/Y位移滑槽座212內(nèi)；在所述的Y/X位移滑槽座210和X/Y位移滑槽座212上分別設(shè)Y/X位移固定螺釘211和X/Y位移固定螺釘213將其內(nèi)對(duì)應(yīng)的位移滑塊固定，構(gòu)成X-Y二維位移調(diào)節(jié)裝置21。由X-Y二維位移調(diào)節(jié)裝置21和Z軸傾角調(diào)節(jié)裝置20構(gòu)成方位調(diào)節(jié)裝置2。松開Y/X位移固定螺釘211和X/Y位移固定螺釘213后可分別調(diào)節(jié)Y/X或X/Y方向的位移，并通過浮區(qū)爐的CCD-CRT或其他觀測(cè)系統(tǒng)觀察調(diào)節(jié)效果，使籽晶端面的中心與籽晶夾具固定于其上的下軸桿的旋轉(zhuǎn)中心的偏差為0-±0.2mm，然后再旋緊固定螺釘211和213。
參見圖2，為本發(fā)明專用夾具的另一實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。在所述的Y/X位移滑槽座210及X/Y位移滑槽座212和與其對(duì)應(yīng)的Y/X及X/Y位移滑塊之間分別設(shè)Y/X及X/Y位移調(diào)節(jié)彈簧215，并在Y/X或X/Y位移滑槽座210、212的與調(diào)節(jié)彈簧215相對(duì)的另一側(cè)分別設(shè)Y/X及X/Y位移調(diào)節(jié)螺釘214，該調(diào)節(jié)螺釘214及調(diào)節(jié)彈簧215與其所對(duì)應(yīng)的Y/X或X/Y位移滑塊相觸。通過調(diào)節(jié)位移調(diào)節(jié)螺釘214使調(diào)節(jié)彈簧215壓縮或彈伸從而實(shí)現(xiàn)Y/X或X/Y位移滑塊的Y/X或X/Y方向的位移調(diào)節(jié)。與上述實(shí)施例同。
權(quán)利要求1.一種用于晶體生長(zhǎng)工藝中籽晶方位的控制裝置，包括籽晶桿，籽晶桿用于固定籽晶；其特征在于還包括-一X-Y二維位移調(diào)節(jié)裝置；-一Z軸傾角調(diào)節(jié)裝置；及所述的X-Y二維位移調(diào)節(jié)裝置的任一端與所述的Z軸傾角調(diào)節(jié)裝置相連，構(gòu)成X、Y、Z方位調(diào)節(jié)裝置，該方位調(diào)節(jié)裝置的任一端與籽晶桿相連，另一端與晶體生長(zhǎng)設(shè)備的軸桿相連。
2.如權(quán)利要求1所述的用于晶體生長(zhǎng)工藝中籽晶方位的控制裝置，其特征在于所述的X-Y二維位移調(diào)節(jié)裝置包括-一Y/X位移滑槽座，在Y/X位移滑槽座內(nèi)設(shè)Y/X位移滑塊；-一X/Y位移滑槽座，在X/Y位移滑槽座內(nèi)設(shè)X/Y位移滑塊；及所述的X/Y位移滑槽座和Y/X位移滑槽座中的任一滑槽座或其上連接的滑塊為對(duì)方的位移滑塊。
3.如權(quán)利要求2所述的用于晶體生長(zhǎng)工藝中籽晶方位的控制裝置，其特征在于在所述的Y/X位移滑槽座和X/Y位移滑槽座上分別設(shè)Y/X位移固定螺釘和X/Y位移固定螺釘，將其內(nèi)對(duì)應(yīng)的Y/X位移滑塊和X/Y位移滑塊固定。
4.如權(quán)利要求1所述的用于晶體生長(zhǎng)工藝中籽晶方位的控制裝置，其特征在于所述的Z軸傾角調(diào)節(jié)裝置包括-一傾角調(diào)節(jié)座，與所述的籽晶桿或X-Y二維位移調(diào)節(jié)裝置或晶體生長(zhǎng)設(shè)備的軸桿的一端相連；-一頂柱即Z軸，該項(xiàng)柱與所述的傾角調(diào)節(jié)座相觸；-一調(diào)節(jié)基座，其上部與所述的項(xiàng)柱相連；其下部與所述的X-Y二維位移調(diào)節(jié)裝置或籽晶桿或晶體生長(zhǎng)設(shè)備的軸桿相連；及所述的傾角調(diào)節(jié)座與調(diào)節(jié)基座由至少三個(gè)傾角調(diào)節(jié)螺釘連接。
5.如權(quán)利要求4所述的用于晶體生長(zhǎng)工藝中籽晶方位的控制裝置，其特征在于所述的Z軸傾角調(diào)節(jié)裝置的頂柱或與其相連的滑塊為X-Y二維位移調(diào)節(jié)裝置的滑塊。
6.如權(quán)利要求1所述的用于晶體生長(zhǎng)工藝中籽晶方位的控制裝置，其特征在于在所述的Y/X位移滑槽座和Y/X位移滑塊之間設(shè)Y/X位移調(diào)節(jié)螺釘及與之相對(duì)的調(diào)節(jié)彈簧；Y/X位移調(diào)節(jié)螺釘及調(diào)節(jié)彈簧與其所對(duì)應(yīng)的Y/X位移滑塊相觸。
7.如權(quán)利要求1所述的用于晶體生長(zhǎng)工藝中籽晶方位的控制裝置，其特征在于在所述的X/Y位移滑槽座和X/Y位移滑塊之間設(shè)X/Y位移調(diào)節(jié)螺釘及與之相對(duì)的調(diào)節(jié)彈簧；X/Y位移調(diào)節(jié)螺釘及調(diào)節(jié)彈簧與其所對(duì)應(yīng)的X/Y位移滑塊相觸。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于晶體生長(zhǎng)工藝中籽晶方位的控制裝置，包括籽晶桿，籽晶桿用于固定籽晶；其中還包括一X－Y二維位移調(diào)節(jié)裝置；一Z軸傾角調(diào)節(jié)裝置；及所述的X－Y二維位移調(diào)節(jié)裝置的任一端與所述的Z軸傾角調(diào)節(jié)裝置相連，構(gòu)成X、Y、Z方位調(diào)節(jié)裝置，該方位調(diào)節(jié)裝置的任一端與籽晶桿相連，另一端與晶體生長(zhǎng)設(shè)備的軸桿相連；本實(shí)用新型既可以調(diào)節(jié)籽晶的中心位置又可以調(diào)節(jié)其傾角，并且操作方便、可靠、省時(shí)和重復(fù)性好、設(shè)計(jì)小巧，即使在浮區(qū)單晶爐直徑為φ20的狹小空間中也能正常使用。
文檔編號(hào)C30B35/00GK2556210SQ0224431
公開日2003年6月18日 申請(qǐng)日期2002年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月7日
發(fā)明者周放, 吳祖安, 遆文新, 熊季午, 趙忠賢 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院物理研究所