專利名稱：電光面板及電子儀器的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電光面板的制造方法和電子儀器的制造方法、電光面板的濾色器保護膜材料、電光面板、電光裝置和電子儀器。
背景技術(shù)：
能進行彩色顯示的液晶面板等電光面板為了從光源的白光有選擇地取出具有給定波長的光，所以包含具有濾色器的基板。濾色器一般通過由R(Red)、G(Green)、B(Blue)的色素著色的樹脂形成。而且，為了保護濾色器，并且使濾色器的表面平滑，在濾色器上形成濾色器保護膜。
以往，濾色器保護膜由以旋轉(zhuǎn)鍍膜法為代表的薄膜形成法制作，但是在這樣的方法中，要拋棄濾色器保護膜材料的90％以上，浪費多。此外，在旋轉(zhuǎn)鍍膜法中，由于離心力使液態(tài)的濾色器保護膜材料薄膜化，所以濾色器保護膜材料一直附著到濾色器基板的背面，從而需要洗凈濾色器基板的背面的工序。而且，它成為使生產(chǎn)性下降的原因。在旋轉(zhuǎn)鍍膜法中，由于離心力使液態(tài)的濾色器保護膜材料薄膜化，所以難以對應(yīng)尺寸大的濾色器基板。
因此，在近年中，例如，如專利文獻1、2所示，提出通過噴墨(液滴噴出)涂敷濾色器保護膜材料的技術(shù)。
根據(jù)噴墨法，從噴嘴向必要的地方噴出濾色器保護膜材料，所以幾乎不發(fā)生材料的浪費。此外，對于濾色器基板上的給定位置能準(zhǔn)確地噴出濾色器保護膜材料，所以不需要濾色器基板的背面洗凈。如果增大噴墨頭的掃描范圍，就能對應(yīng)尺寸大的濾色器基板。
特開平9-329707號公報 特開2002-189120號公報可是，噴墨以10～20Hz的高頻率從微細的噴嘴噴出液滴，所以根據(jù)噴出對象的液體種類，容易引起噴出不良和噴嘴的堵塞。特別是在使樹脂溶解于溶劑中的濾色器保護膜材料中，噴出條件嚴(yán)格，在所述專利文獻1、2中描述的技術(shù)中，容易發(fā)生噴墨頭內(nèi)的濾色器保護膜材料的供給不足或噴嘴的堵塞等，穩(wěn)定的噴出是困難的。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明是鑒于所述而提出的，其目的在于提供能實現(xiàn)從噴墨(液滴噴出頭)的噴嘴穩(wěn)定地噴出液體的濾色器保護膜材料、據(jù)此形成高質(zhì)量的濾色器保護膜中的至少一個的電光面板的制造方法和電子儀器的制造方法、電光面板的濾色器保護膜材料、電光面板、電光裝置和電子儀器。
為了實現(xiàn)所述目的，本發(fā)明的電光面板的制造方法的特征在于包括在基體材料上形成濾色器的濾色器形成工序；把該濾色器表面改質(zhì)的表面改質(zhì)工序；使用液滴噴出方式，對所述濾色器上涂敷包含樹脂和溶劑的保護膜材料的保護膜材料涂敷工序；使所述溶劑干燥，形成保護所述濾色器的濾色器保護膜的保護膜形成工序；所述保護膜材料的20℃的粘度為1～20mP·s，并且20℃的表面張力為20～70mN/m。
該電光面板的制造方法把保護膜材料的粘度和表面張力調(diào)整為所述給定范圍。據(jù)此，不會發(fā)生噴嘴的堵塞等引起的噴出不良，能穩(wěn)定地從噴嘴噴出保護膜材料的液滴。使用液滴噴出方式形成濾色器保護膜，所以與以往的旋轉(zhuǎn)鍍膜法相比，能減少保護膜材料的使用量。并且，不需要濾色器基板的背面洗凈工序，所以僅此就能縮短電光面板的制造時間，并且不需要洗凈液。
此外，以下發(fā)明的電光面板的制造方法在所述電光面板的制造方法中，其特征在于在所述保護膜材料涂敷工序中，從形成在板狀構(gòu)件上的噴嘴噴出所述保護膜材料的液滴，并且所述保護膜材料對于所述板狀構(gòu)件的接觸角為30度以上170度以下。
在該電光面板的制造方法中，保護膜材料對于板狀構(gòu)件(噴嘴板)的接觸角為30度以上170度以下。據(jù)此，抑制噴嘴板上的保護膜材料的浸濕擴展現(xiàn)象，提高液滴的噴出方向精度。此外，穩(wěn)定的噴出成為可能。
此外，以下發(fā)明的電光面板的制造方法在所述電光面板的制造方法中，其特征在于所述溶劑的沸點為180℃以上300℃以下。
沸點高的溶劑干燥慢，所以把保護膜材料向濾色器基板上涂敷時，也不能立刻干燥。如果保護膜材料中包含的溶劑的沸點為所述范圍，能確保在濾色器基板上保護膜材料的厚度變?yōu)榫鶆蛩璧臅r間。據(jù)此，能使濾色器保護膜的膜厚均勻。并且能防止噴嘴附近的固體成分析出引起的噴嘴堵塞。
此外，以下發(fā)明的電光面板的制造方法在所述電光面板的制造方法中，其特征在于使所述保護膜材料干燥的溫度為70℃以下，并且干燥時間為5分鐘以上。為了使濾色器保護膜的表面平滑，最好在較低溫度用一定時間，使溶劑揮發(fā)，但是如果是該范圍，就能使濾色器保護膜的表面平滑。據(jù)此，能防止形成在濾色器保護膜上的ITO的斷線或定向膜的破裂。
此外，以下發(fā)明的電光面板的制造方法在所述電光面板的制造方法中，其特征在于通過改變向所述濾色器上噴出的所述保護膜材料的液滴的間隔或液滴的質(zhì)量中的至少一方，控制所述干燥工序后的所述保護膜材料的膜厚。據(jù)此，如果保護膜材料的種類相同，就能容易控制濾色器保護膜的膜厚。
此外，以下發(fā)明的電光面板的制造方法在所述電光面板的制造方法中，其特征在于對形成了所述濾色器的母基體材料全面涂敷所述保護膜材料。這樣，如果對濾色器基板的全面涂敷保護膜材料，就容易均勻形成比它還小的芯片上的濾色器保護膜的厚度。
此外，以下發(fā)明的電光面板的制造方法在所述電光面板的制造方法中，其特征在于在形成了所述濾色器的母基體材料中，只對芯片上涂敷所述保護膜材料。如果這樣，就能只對必要的區(qū)域涂敷保護膜材料，所以保護膜材料的浪費減少。
此外，本發(fā)明的電子儀器的制造方法的特征在于包括在基體材料上形成濾色器的濾色器形成工序；把該濾色器表面改質(zhì)的表面改質(zhì)工序；使用液滴噴出方式，對所述濾色器上涂敷包含樹脂和溶劑的保護膜材料的保護膜材料涂敷工序；使所述溶劑干燥，形成保護所述濾色器的保護膜的保護膜形成工序；在保護膜形成后的所述基體材料上安裝給定構(gòu)件或部件，制造電光面板的工序；向所述電光面板安裝安裝部件的工序；所述保護膜材料的20℃的粘度為1～20mP·s，并且20℃的表面張力為20～70mN/m。
該電子儀器的制造方法把形成其中具有的電光面板的濾色器保護膜的保護膜材料的粘度和表面張力調(diào)整為所述給定范圍。據(jù)此，沒有噴嘴的堵塞引起的噴出不良，能穩(wěn)定地從噴嘴噴出保護膜材料的液滴。另外，使用液滴噴出形成濾色器保護膜，所以與以往的旋轉(zhuǎn)鍍膜法相比，能減少保護膜材料的使用量，據(jù)此，能以低成本制造電子儀器。并且不需要濾色器基板的背面洗凈工序，所以僅此就能縮短電子儀器的制造時間，也不需要洗凈液。
此外，以下發(fā)明的電光面板的濾色器保護膜材料的特征在于包含樹脂和溶劑，20℃的粘度為1～20mP·s，并且20℃的表面張力為20～70mN/m，使用液滴噴出方式向電光基板的濾色器上涂敷。
該電光面板的濾色器保護膜材料在液滴噴出中使用，粘度和表面張力調(diào)整為所述給定范圍。據(jù)此，沒有液滴噴出的噴嘴堵塞所引起的噴出不良，能從噴嘴穩(wěn)定地噴出保護膜材料的液滴。結(jié)果，能形成高質(zhì)量的濾色器保護膜。
此外，以下發(fā)明的電光面板的濾色器保護膜材料在所述電光面板的濾色器保護膜材料中，其特征在于在所述液滴噴出中，從形成在板狀構(gòu)件上的噴嘴噴出所述保護膜材料的液滴，并且所述保護膜材料對于所述板狀構(gòu)件的接觸角為30度以上170度以下。
該電光面板的濾色器保護膜材料對于形成了噴出它的噴嘴的板狀構(gòu)件(噴嘴板)接觸角為30度以上170度以下。據(jù)此，抑制噴嘴板的保護膜材料的浸濕擴展，能提高液滴的噴出方向精度。此外，穩(wěn)定的噴出也成為可能。
此外，以下發(fā)明的電光面板的濾色器保護膜材料的特征在于所述溶劑的沸點為180℃以上300℃以下。這樣，如果保護膜材料中包含的溶劑的沸點為所述范圍，則能確保在濾色器基板上保護膜材料的厚度變?yōu)榫鶆蛩璧臅r間。據(jù)此，能使濾色器保護膜的膜厚均勻，能形成高質(zhì)量的濾色器保護膜。此外，能防止噴嘴附近的固體成分析出引起的噴嘴堵塞。
此外，以下發(fā)明的電光面板的特征在于包括向通過表面改質(zhì)處理提高浸濕性的濾色器上，通過液滴噴出涂敷20℃的粘度為1～20mP·s、并且20℃的表面張力為20～70mN/m保護膜材料而形成的濾色器基板；與該濾色器基板相對配置的基板；保持在相對配置的所述基板之間的液晶。
該電光面板把形成濾色器保護膜的保護膜材料的粘度和表面張力調(diào)整為所述給定范圍，通過液滴噴出形成濾色器保護膜。據(jù)此，不會發(fā)生噴嘴的堵塞等引起的噴出不良，能穩(wěn)定地從噴嘴噴出保護膜材料的液滴，所以能形成膜厚均勻的濾色器保護膜。結(jié)果，ITO的斷線或定向膜的破裂減少，所以能提高制品的成品率。此外，能形成高質(zhì)量的濾色器保護膜，所以圖象的顯示質(zhì)量也提高。另外，使用液滴噴出方式形成濾色器保護膜，所以與以往的旋轉(zhuǎn)鍍膜法相比，能減少保護膜材料的使用量，能減少電光面板的制造成本。此外，不需要濾色器基板的背面洗凈工序，所以僅此就能縮短電光面板的制造時間，也不需要洗凈液。
此外，以下的發(fā)明的電光裝置的特征在于具有所述電光面板。因此，能提高制品的成品率，此外，圖象的顯示質(zhì)量也提高。另外，電光面板濾色器基板的背面洗凈工序變?yōu)椴恍枰?，所以僅此就能縮短電光面板的制造時間，也不需要洗凈液。
此外，以下的發(fā)明的電子儀器的特征在于具有所述電光面板。因此，能提高制品的成品率，此外，圖象的顯示質(zhì)量也提高。此外，電光面板濾色器基板的背面洗凈工序變?yōu)椴恍枰?，所以僅此就能縮短電光面板的制造時間，也不需要洗凈液。
本發(fā)明的電光面板的制造方法和電子儀器的制造方法、電光面板的濾色器保護膜材料、電光面板、電光裝置和電子儀器能實現(xiàn)從噴墨(液滴噴出)頭的噴嘴穩(wěn)定地噴出液體的濾色器保護膜材料、據(jù)此形成高質(zhì)量的濾色器保護膜中的至少一個。


下面簡要說明附圖。
圖1是表示本發(fā)明的電光面板的構(gòu)造的局部剖視圖。
圖2是表示本發(fā)明的濾色器基板的局部剖視圖。
圖3-1是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的說明圖。
圖3-2是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的說明圖。
圖3-3是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的說明圖。
圖3-4是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的說明圖。
圖3-5是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的說明圖。
圖3-6是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的說明圖。
圖3-7是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的說明圖。
圖4是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的程序流程圖。
圖5-1是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的說明圖。
圖5-2是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的說明圖。
圖5-3是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的說明圖。
圖5-4是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的說明圖。
圖5-5是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的說明圖。
圖6-1是表示涂敷包保護膜材料的狀態(tài)的平面圖。
圖6-2是表示涂敷包保護膜材料的狀態(tài)的平面圖。
圖7-1是表示保護膜材料的涂敷圖案的說明圖。
圖7-2是表示保護膜材料的涂敷圖案的說明圖。
圖8是表示實施例2的電光面板和電子儀器的制造方法的程序流程圖。
圖9是表示實施例2的電光面板的CF基板的說明圖。
圖10-1是表示實施例3的液滴噴出裝置的說明圖。
圖10-2是表示實施例3的液滴噴出裝置的說明圖。
圖10-3是表示實施例3的液滴噴出裝置的說明圖。
圖11是表示實施例4的CF保護膜形成裝置的立體圖。
圖12是只表示描繪部附近的概略構(gòu)成立體圖。
圖13-1是從液滴噴出頭的噴嘴一側(cè)觀察大型基準(zhǔn)板的立體圖。
圖13-2是1個液滴噴出頭的放大圖。
圖13-3是從噴嘴一側(cè)觀察液滴噴出頭的平面圖。
圖14-1是表示液滴噴出頭的內(nèi)部構(gòu)造的立體圖。
圖14-2是表示液滴噴出頭的內(nèi)部構(gòu)造的剖視圖。
符號的說明1-基體材料；9-電子儀器；10a-濾色器基板；11-濾色器；20-濾色器保護膜(CF保護膜)；50、50a-液滴噴出裝置；52-液滴噴出頭；54-噴嘴；54p-噴嘴板；60-臺；65-控制裝置；100-電光面板；103-CF保護膜形成裝置。
具體實施例方式
下面，參照附圖詳細說明本發(fā)明。須指出的是，本發(fā)明并不限定于實施本發(fā)明的最佳形態(tài)。此外，在以下實施例的構(gòu)成要素中，包含本領(lǐng)域技術(shù)人員能容易想到的要素或?qū)嵸|(zhì)上相同的要素。
須指出的是，作為本發(fā)明的電光面板，能列舉出液晶顯示面板或DMD(Digital Micromirror Device)顯示面板或有機EL(Electro Luminescence)顯示面板。
圖1是表示本發(fā)明的電光面板的構(gòu)造的局部剖視圖。該電光面板100的特征在于通過液滴噴出方式向形成了濾色器的濾色器基板上涂敷把粘度和表面張力調(diào)整為給定范圍的液狀保護膜材料。
如圖1所示，該電光面板100在基體材料1上，在表面上形成了濾色器11的濾色器基板10a和與它相對配置的對置基板10b之間密封入液晶12。在濾色器基板10a和對置基板10b之間配置有隔離塊13，兩基板的間隔t在全面上大致一定。
圖2是表示本發(fā)明的濾色器基板的局部剖視圖。在濾色器基板10a的與對置基板10b相對的一側(cè)形成有濾色器11。在濾色器11間形成有黑底17。在濾色器11上，通過本發(fā)明的保護膜材料形成有濾色器保護膜20(以下稱作CF保護膜)。據(jù)此，保護形成在基板1上的濾色器11。
此外，在CF保護膜20上形成有ITO(Indium Tin Oxide)電極14和定向膜16。CF保護膜20具有從形成ITO14時的高溫保護濾色器11的功能、使濾色器11間的凹凸平坦并且抑制ITO電極14的斷線和定向膜16的摩擦(rubbing)不良的功能。
在對置基板10b，在其內(nèi)表面，與濾色器11一側(cè)的電極正交，把多個電極15形成帶狀，在這些電極15上形成有定向膜16。須指出的是，所述濾色器11分別配置在各基板上的ITO電極14、電極15的交叉位置。須指出的是，電極39也由ITO等透明導(dǎo)電材料形成。下面，說明包含CF保護膜的形成方法的電光面板、包含該電光面板的制造方法的電子儀器的制造方法。
圖3-1～圖3-7是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的說明圖。圖4是表示本發(fā)明的電光面板和電子儀器的制造方法的程序流程圖。圖5-1～圖5-5是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的說明圖。首先，如圖3-1所示，在基體材料1上，通過光刻或噴墨或柱塞等的液滴噴出，形成濾色器11(步驟S101)。
接著，為了提高濾色器11與涂敷在其上的液態(tài)保護膜材料的浸濕性，如圖3-2所示，對濾色器11上實施表面改質(zhì)處理(步驟S102)，提高對保護膜材料的浸濕性。如果浸濕性差，則保護膜材料容易變成滴狀，所以無法向濾色器11上均勻涂敷保護膜材料。此外，保護膜材料難以浸透濾色器11間，有時向該部分產(chǎn)生氣泡，有可能使電光面板的顯示圖象質(zhì)量下降。在本實施例中，通過使用UV燈3照射紫外線光，實施表面改質(zhì)處理，但是此外，也能應(yīng)用氧等離子體處理。根據(jù)氧等離子體處理，能除去濾色器11上的殘渣，所以CF保護膜20的質(zhì)量提高，是所優(yōu)選的。
能用保護膜材料對于濾色器11的接觸角β規(guī)定濾色器11和涂敷在其上的液態(tài)保護膜材料的浸濕性(參照圖3-3)。在本發(fā)明的電光面板的制造方法中，所述接觸角β優(yōu)選為10度以下。如果是該范圍，則能使保護膜材料充分浸透到濾色器11間，此外，能以均勻的厚度向濾色器11上形成保護膜材料，所以能形成高質(zhì)量的CF保護膜20。
表面改質(zhì)處理結(jié)束后，如圖3-4所示，通過液滴噴出向濾色器11上涂敷液態(tài)的保護膜材料(步驟S103)。這里，使用圖5說明保護膜材料的涂敷。在本發(fā)明中，使用噴墨作為液滴噴出。液滴噴出裝置50具有液滴噴出頭52和臺60。從容器56通過供給管58向液滴噴出頭52供給液體的保護膜材料。
如圖5-2所示，液滴噴出頭52在排列寬度H之間以一定間隔P排列多個噴嘴54。此外，各噴嘴54具有壓電元件，根據(jù)來自控制裝置65的指令，從任意的噴嘴54噴出保護膜材料的液滴。此外，通過使提供給壓電元件的驅(qū)動脈沖變化，能使從噴嘴54噴出的保護膜材料的噴出量變化。須指出的是，控制裝置65也可以使用個人電腦或工作站。
此外，液滴噴出頭52以垂直于該頭中心的旋轉(zhuǎn)軸A為旋轉(zhuǎn)中心，圍繞旋轉(zhuǎn)軸A旋轉(zhuǎn)。如圖5-4、圖5-5所示，如果使液滴噴出頭52圍繞旋轉(zhuǎn)軸A旋轉(zhuǎn)，為噴嘴54的排列方向和X方向提供角度θ，則在外觀上噴嘴54的間隔能為P’＝P×Sinθ。據(jù)此，能按照濾色器基板10a的涂敷區(qū)域或保護膜材料的種類等其他涂敷條件，變更噴嘴54的間隔。濾色器基板10a設(shè)置在臺60上。臺60能向Y方向(副掃描方向)移動，此外，能以垂直于臺60的中心的旋轉(zhuǎn)軸B為旋轉(zhuǎn)中心，圍繞旋轉(zhuǎn)軸B旋轉(zhuǎn)。
液滴噴出頭52在圖中的X方向(主掃描方向)往返，其間，以噴嘴54的排列寬度H向濾色器基板10a上涂敷保護膜材料的液滴。在一次掃描中，涂敷保護膜材料后，臺60只向Y方向移動噴嘴54的排列寬度H，液滴噴出頭52向下一區(qū)域噴出保護膜材料。液滴噴出頭52的動作、噴嘴54的噴出和臺60的動作由控制裝置65控制。如果預(yù)先把這些動作模式編程，就能按照濾色器基板10a的涂敷區(qū)域或保護膜材料的種類等其他涂敷條件，容易地變更涂敷圖案。重復(fù)所述動作，能在濾色器基板10a的全部區(qū)域涂敷保護膜材料。與此同樣，當(dāng)臺60向Y方向移動時，一邊從液滴噴出頭52進行保護膜材料的噴出，然后，只使液滴噴出頭52向X方向移動排列寬度H，能向下一區(qū)域噴出保護膜材料。
圖6-1、圖6-2是表示涂敷保護膜材料的狀態(tài)的平面圖。在濾色器基板10a上，在主掃描方向(X方向)以10μm的間隔、在副掃描方向(Y方向)以140μm的間隔涂敷保護膜材料的液滴。副掃描方向的液滴的間隔y與噴嘴54的間隔P(在實施例1中，140μm)相同。主掃描方向的液滴的間隔x依存于液滴噴出頭52的掃描速度和噴出頻率。
在實施例1中，1滴保護膜材料的質(zhì)量m為20ng，但是在所述液滴間隔中，使保護膜材料的溶劑揮發(fā)后，能形成膜厚s＝1μm的CF保護膜20。當(dāng)保護膜材料相同時，能根據(jù)1滴保護膜材料的質(zhì)量、濾色器基板10a上的主、副掃描方向的液滴間隔x和y，控制CF保護膜20的膜厚。即能把所述m、x、y作為參數(shù)決定CF保護膜20的膜厚s。在本發(fā)明中，這些參數(shù)都能控制，所以通過調(diào)整它們中的至少一個，能控制膜厚s。
當(dāng)1滴保護膜材料的質(zhì)量m為20ng時，濾色器基板10a上的保護膜材料擴展為直徑約200μm的圓形。因此，如果是所述x和y的值，則相鄰的保護膜材料的液滴全部連接，成為一體。如果濾色器基板10a上的保護膜材料的直徑為d，則如圖6-2所示，如果x和y都超過d×2/2,]]>則保護膜材料的液滴變?yōu)椴贿B接。因此，有必要在x和y都不超過d×2/2的范圍中決定濾色器基板10a上的保護膜材料的液滴間隔。即在濾色器基板10a上，相鄰配置，形成四邊形的4個液滴有必要位于重疊的位置。
這里，副掃描方向的液滴的間隔y依存于噴嘴54的間隔P，所以，如果減小它，則如果是相同的噴嘴數(shù)，噴嘴54的排列寬度H也減小。因此，如果減小噴嘴54的間隔，則只要不增加噴嘴數(shù)，保護膜材料的涂敷速度變慢。在本發(fā)明中，x和y都為d×2/2]]>以下，所以即使y為x的14倍，不變更主掃描方向的噴嘴54的間隔P，也能連接濾色器基板10a上的保護膜材料的液滴。據(jù)此，不降低保護膜材料的涂敷速度，能形成CF保護膜20。
圖7-1、圖7-2是表示保護膜材料的涂敷圖案的說明圖。參照圖7-1、圖7-2，說明保護膜材料的涂敷圖案。圖7-1表示在母基體材料即濾色器基板10a”的整個面上涂敷保護膜材料的例子，圖7-2表示向形成了濾色器11的區(qū)域即濾色器基板10a”上局部涂敷保護膜材料的例子。當(dāng)為圖7-2所示的涂敷例時，只在必要的區(qū)域涂敷保護膜材料，所以保護膜材料的浪費減少。而當(dāng)為圖7-2所示的涂敷例時，在濾色器基板10a”的整個面上涂敷保護膜材料。因此，在比濾色器基板10a”尺寸小的芯片15上，容易均勻地形成CF保護膜的厚度。能兼顧制造成本，選擇任意的涂敷圖案。這里，芯片15構(gòu)成一個電光面板。須指出的是，通過預(yù)先對控制裝置65輸入與這些涂敷圖案對應(yīng)的液滴噴出頭52和臺60的控制數(shù)據(jù)，能容易地用這些涂敷圖案涂敷保護膜材料。
在液滴噴出中，有必要從噴嘴54穩(wěn)定噴出保護膜材料的液滴。因此，把本發(fā)明保護膜材料調(diào)整為適合于液滴噴出的物理參數(shù)。具體而言，20℃的粘度為1～20mPa·s，20℃的表面張力為20～70mN/m的范圍。如果是該范圍，能穩(wěn)定地向噴嘴54供給保護膜材料，此外，噴嘴54的出口的保護膜材料液的彎液面也穩(wěn)定。據(jù)此，從噴嘴54穩(wěn)定噴出保護膜材料的液滴，能形成高質(zhì)量的CF保護膜20。此外，如果是該粘度和表面張力的范圍，則液滴噴出所需的能量也不會過分高，所以不會超過壓電元件的噴出能力。
更優(yōu)選20℃的粘度為4～8mPa·s，20℃的表面張力為25～35mN/m的范圍。如果是該范圍，就能更穩(wěn)定地向噴嘴54供給保護膜材料，此外，噴嘴54出口的保護膜材料液的彎液面也穩(wěn)定。據(jù)此，從噴嘴54噴出的保護膜材料的液滴進一步穩(wěn)定，能形成高質(zhì)量的CF保護膜20。
下面，說明本發(fā)明的保護膜材料。在該保護膜材料中至少包含丙烯酸樹脂、環(huán)氧樹脂、亞胺樹脂、氟類樹脂中的至少一種。保護膜材料中的溶劑揮發(fā)后，這些樹脂變?yōu)闉V色器11的CF保護膜20。此外，作為樹脂的溶劑，包含丙三醇、二甘醇、甲醇、乙醇、水、1、3-二甲基-2-咪唑啉酮、乙氧基乙醇、N、N-二甲基甲酰胺、N-甲基-2-吡咯啉酮、乙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、醋酸丁酯、2-庚酮、丙二醇單甲醚、γ-丁內(nèi)酯、醋酸二甘醇一丁醚、二甘醇二甲醚、二甘醇甲乙醚中的至少一個。根據(jù)所述樹脂和所述溶劑的混合比，調(diào)整粘度或表面張力。
這些溶劑中，優(yōu)選沸點高的。沸點高的溶劑干燥慢，所以當(dāng)向濾色器基板10a上涂敷保護膜材料時，不立刻干燥。結(jié)果，能充分確保在濾色器基板10a上保護膜材料的厚度變?yōu)榫鶆虻臅r間，所以能使CF保護膜20的膜厚均勻。此外，在噴嘴附近，能防止固體成分的析出引起的噴嘴堵塞。若要得到這樣的結(jié)果，優(yōu)選溶劑的沸點為180℃以上，若要形成更均勻厚度的CF保護膜20，優(yōu)選為200℃以上。在所述溶劑中，醋酸二甘醇一丁醚的沸點為246℃，所以適合于本發(fā)明的電光面板的制造方法。此外，通過組合所述溶劑，可以調(diào)整到所需的沸點而使用。
另外，保護膜材料和板狀構(gòu)件即噴嘴板54p的接觸角α(參照圖5-2、圖5-3)優(yōu)選為30度～170度的范圍。如果保護膜材料和噴嘴板54p的接觸角α過小，則從噴嘴54噴出保護膜材料時，把保護膜材料拉向噴嘴板54p。結(jié)果，保護膜材料的液滴向濾色器基板10a上附著的位置偏移，有時CF保護膜20的膜厚變?yōu)椴痪鶆?。如果接觸角α是所述范圍，則不會把保護膜材料拉向噴嘴板54p，保護膜材料的液滴附著到濾色器基板10a上的給定位置。若要使保護膜材料的液滴穩(wěn)定附著到給定位置，所述接觸角α優(yōu)選為50度以上，更優(yōu)選為80度以上。
為了使保護膜材料和噴嘴板54p的接觸角α收斂在所述范圍中，對噴嘴板54p進行防液處理。通過對噴嘴板54p涂敷防液材料，能實現(xiàn)防液處理。作為這樣的材料，能使用包含氟的有機硅烷偶合劑。具體而言，使用三氟丙基三氯硅氧烷作為防液材料，以乙醇為溶劑，把它稀釋為濃度0.1％后，向噴嘴板54p涂敷。還有，除了三氟丙基三氯硅烷，也能使用十七氟癸基三氯硅烷、三氟丙基三甲氧基硅烷、十七基三氟癸基三甲氧基硅烷等含氟的有機硅烷偶合劑作為表面改質(zhì)劑。此外，防液是指噴嘴板54p排斥保護膜材料，使兩者的浸濕性變差的處理是防液處理。
向濾色器基板10a上涂敷保護膜材料后，為了使保護膜材料中的溶劑揮發(fā)，使保護膜材料干燥(步驟S104)。在本實施例中，如圖3-5所示，把涂敷了保護膜材料液滴的基體材料1放到加熱板67上，使保護膜材料中的溶劑揮發(fā)。這時，為了使CF保護膜20的平面平滑，優(yōu)選在較低的溫度下，用某程度的時間進行干燥。具體而言，優(yōu)選在70℃以下，用5分鐘以上的時間。為了進一步使CF保護膜20的表面狀態(tài)平滑，優(yōu)選在50℃以下，用10分鐘以上的時間，更優(yōu)選在30℃以下，用1小時以上的時間。還有，干燥并不局限于加熱板67，也可以通過紅外線加熱器的加熱，使其干燥，或在爐子內(nèi)使其干燥。這樣，使保護膜材料中的溶劑揮發(fā)，向濾色器基板10a形成CF保護膜20。
接著，向CF保護膜20上形成ITO14和定向膜16(步驟S105)。然后，經(jīng)過定向膜16的摩擦(rubbing)工序、濾色器基板10a和對置基板10b的粘貼工序以及液晶的注入工序(步驟S106)，電光面板100完成。如圖3-6所示，在完成的電光面板100上安裝導(dǎo)線、FPC(Flexible PrintedCircuit)7或驅(qū)動器IC5(步驟S107)。然后，如圖3-7所示，向移動電話或PDA等電子儀器9安裝，完成這些電子儀器(步驟S108)。
以上，根據(jù)本發(fā)明實施例1，使保護膜材料的粘度和表面張力收斂給定范圍中，所以不會發(fā)生保護膜材料的浸濕擴展或噴嘴的堵塞引起的噴出不良，能穩(wěn)定地從噴嘴噴出保護膜材料的液滴。此外，在本發(fā)明中，使用液滴噴出形成CF保護膜，所于與以往的旋轉(zhuǎn)鍍膜相比，能減少保護膜材料的使用量。此外，不需要濾色器基板的背面洗凈工序，所以僅此就能縮短電光面板、電光儀器的制造時間，洗凈液也變?yōu)椴恍枰?br> 圖8是表示實施例2的電光面板和電子儀器的制造方法的程序流程圖。此外，圖9是表示實施例2的電光面板的CF基板的說明圖。
實施例2的電光面板和電子儀器的制造方法的不同點在于設(shè)置隔板(bank)，在其中形成濾色器11，向濾色器11上形成CF保護膜20。其他結(jié)構(gòu)與實施例1同樣，所以省略其說明，并且對相同的構(gòu)成要素付與相同的符號。
首先，在基體材料1上形成隔板30(步驟S201)，生成形成濾色器11的區(qū)域。例如通過旋轉(zhuǎn)鍍膜，把排墨性的樹脂涂敷給定厚度，接著使用光刻等構(gòu)圖，通過把所述樹脂的薄膜劃分為格子狀，形成隔板30。排墨性是對于把著色的樹脂溶解于溶劑中的濾色器墨水的浸濕性差的性質(zhì)。
此外，隔板也能為層疊構(gòu)造。例如形成由無機材料構(gòu)成的第一隔板層，可以在其上形成由有機材料構(gòu)成的第二隔板層。例如，對第一隔板層能使用由SiO2、Cr等構(gòu)成的材料。此外，對第二隔板層能使用丙烯基(acryl)、聚酰亞胺等材料。須指出的是，也能層疊不同的有機材料。
接著形成濾色器11(步驟S202)。通過使用液滴噴出方式，把在溶劑中溶解著色的樹脂的濾色器墨水向由隔板30劃分的區(qū)域內(nèi)涂敷，能形成濾色器11。即使向由隔板30劃分的區(qū)域內(nèi)稍微偏移噴出時，通過由排墨性的樹脂形成的隔板30，能向所述區(qū)域內(nèi)涂敷濾色器墨水。須指出的是，在液滴噴出中能使用實施例1中的液滴噴出裝置50(參照圖5)。
在基體材料1上形成濾色器11后，對濾色器11實施表面改質(zhì)處理(步驟S203)。其理由如實施例1所述。特別是隔板30由排墨性的樹脂形成，所以為了能形成均勻厚度的CF保護膜20，充分地對隔板30進行表面改質(zhì)處理。表面改質(zhì)處理后，通過液滴噴出，在濾色器11上涂敷保護膜材料(步驟S204)。涂敷保護膜材料后，進行干燥(步驟S205)，形成ITO、定向膜(步驟S206)，完成濾色器基板10a’。此后的工序與實施例1的電光面板以及電子儀器的制造方法的步驟S106～S108同樣，所以省略說明。
這樣，即使是在由隔板劃分的區(qū)域內(nèi)形成濾色器11的電光面板，也能應(yīng)用本發(fā)明。因此，不會發(fā)生保護膜材料的浸濕擴展或噴嘴的堵塞引起的噴出不良，能穩(wěn)定地從噴嘴噴出保護膜材料的液滴。此外，與以往的旋轉(zhuǎn)鍍膜法相比，能減少保護膜材料的使用量，此外，濾色器基板的背面洗凈工序變?yōu)椴恍枰牟糠帜芸s短電光面板、電光儀器的制造時間，也不需要洗凈液。
圖10-1～圖10-3是表示實施例3的液滴噴出裝置的說明圖。該液滴噴出裝置50a的特征在于使用柱塞作為液滴噴出。柱塞70由在頂端設(shè)置噴嘴頭71的圓筒74、插入其中的活塞76構(gòu)成。噴嘴頭71如圖10-2所示，多個噴嘴72以給定間隔P排列。此外，在圓筒74內(nèi)保護膜材料存留，通過使活塞76向噴嘴頭71方向移動，從噴嘴72噴出保護膜材料。
在活塞76上安裝進給螺絲78，通過安裝了進給螺絲78的步進電機73旋轉(zhuǎn)，活塞76向噴嘴頭71方向移動。步進電機73根據(jù)來自控制部80的指令，只旋轉(zhuǎn)給定轉(zhuǎn)數(shù)。如果進給螺絲78旋轉(zhuǎn)一圈，則活塞76只移動進給螺絲78的導(dǎo)程PS。此外，活塞76的移動量和保護膜材料的噴出量成比例關(guān)系，所以根據(jù)進給螺絲78的轉(zhuǎn)速，能控制保護膜材料的噴出量。
濾色器基板10a設(shè)置在X-Y臺82上，能向X以及Y方向移動。向裝置主體50b安裝柱塞70，使噴嘴72的排列方向與Y方向平行。當(dāng)向濾色器基板10a上形成CF保護膜20時，首先，使X-Y臺移動，決定對于濾色器基板10a的保護膜材料的涂敷開始位置。接著根據(jù)來自控制部80的指令，使步進電機73只旋轉(zhuǎn)給定量，從噴嘴72向配光基板上涂敷一定量的保護膜材料。
接著，根據(jù)來自控制部80的指令，使X-Y臺82只向X方向移動給定寬度，同樣，從噴嘴72向配光基板上涂敷一定量的保護膜材料。如果把它重復(fù)直到濾色器基板10a的寬度，就能以噴嘴72的排列寬度對濾色器基板10a的寬度方向(X方向)涂敷保護膜材料。接著，根據(jù)來自控制部80的指令，只以噴嘴72的排列寬度H使X-Y臺82向Y方向移動，通過重復(fù)所述步驟，在Y方向的下一列涂敷保護膜材料。通過跨濾色器基板10a的Y方向重復(fù)以上的步驟，能向濾色器基板10a上形成CF保護膜20。這樣，即使在液滴噴出中使用柱塞，也能與噴墨同樣，向濾色器基板10a上形成CF保護膜20。
已經(jīng)說明的實施例1的液滴噴出裝置50把液滴噴出頭52自身在基板上往返運動，并且向垂直于液滴噴出頭52的運動方向的方向輸送基板，向濾色器上形成保護膜。在實施例4中，通過排列多個頭，固定放大液滴的涂敷區(qū)域的頭，一邊輸送基板，一邊描繪CF保護膜。
圖11是表示實施例4的CF保護膜形成裝置的立體圖。CF保護膜形成裝置103如圖11所示，從上游一側(cè)向下游一側(cè)(圖11中的箭頭Y)方向，具有基板供給部161、表面改質(zhì)部162、描繪部163、檢查部164、干燥部165、基板搬出部166。作為大致的處理流程，對于從基板供給部161供給的形成了濾色器的基板S，在表面改質(zhì)部162中進行親液處理。然后，在描繪部163中，對濾色器的表面噴出、描繪所述實施例中說明的保護膜材料。接著，在檢查部164中檢查描繪狀態(tài)，在干燥部165中進行保護膜材料的干燥后，通過基板搬出部166排出描繪后的基板。在本裝置中，沿著基板S的流動方向把各部161～166配置為直線狀。須指出的是，本裝置3是能處理大型基板的大規(guī)模的裝置，所以設(shè)置用于作業(yè)者維護后面描述的頭部件的通路67。
基板供給部161和基板搬出部166能由任意的基板輸送機構(gòu)構(gòu)成，例如能使用滾筒式輸送器、皮帶輸送器等。在提高涂敷所述保護膜材料的濾色器表面的浸濕性的方向進行改質(zhì)(以下，稱作親液化)。根據(jù)該表面改質(zhì)處理，濾色器的表面提高對保護膜材料的浸濕性。作為實施例4的表面改質(zhì)處理，在大氣氣氛中，使用以氧為反應(yīng)氣體的氧等離子體處理(O2等離子體處理)，把濾色器表面親液化。在濾色器表面的親液化中，除了氧等離子體處理，也能應(yīng)用使用UV燈的親液化處理。
圖12是只表示描繪部的附近的概略結(jié)構(gòu)立體圖。描繪部163通過向已經(jīng)形成濾色器的基板S的濾色器表面噴出液體的保護膜材料，對濾色器表面形成CF保護膜。如圖12所示，把已經(jīng)形成濾色器的基板S在能在一方向(圖12中，用箭頭Y表示的方向)上移動的臺170上吸附保持，在該狀態(tài)下，把基板S向一方向(圖12中從右側(cè)向左側(cè))輸送。在描繪部163中，在裝置主體上架設(shè)在與基板S的輸送方向正交的方向(圖12中的X方向)延伸的頭部件171。即本實施例的描繪部163的結(jié)構(gòu)為液滴噴出頭固定，只有基板S移動。頭部件171具有固定排列在與基板S的輸送方向正交的方向上的多個液滴噴出頭134的大型基準(zhǔn)板174。
圖13-1是從液滴噴出頭的噴嘴一側(cè)觀察大型基準(zhǔn)板的立體圖，圖13-2是1個液滴噴出頭的放大圖(圖13-1中的符號D的圓內(nèi)放大圖)。圖13-3是從噴嘴一側(cè)觀察液滴噴出頭的平面圖。如這些圖所示，對于1塊小型基準(zhǔn)板73，固定一個液滴噴出頭134，對于1塊大型基準(zhǔn)板174，固定頭的個數(shù)的小型基準(zhǔn)板73。在本實施例中，多個液滴噴出頭134每多個排列為三列，配置在各列間，在大型基準(zhǔn)板174的長度方向上偏移的位置。此外，各液滴噴出頭134具有多個噴嘴118(噴出口圖13-3)。如果液滴噴出頭134具有的噴嘴118的數(shù)為n，噴嘴118間的間隔為P，則配置在液滴噴出頭134具有的噴嘴列兩端的噴嘴118間的距離變?yōu)?n-1)×P。把它稱作噴嘴排列寬度，用H((n-1)×P)表示。
如圖13-3所示，液滴噴出頭134具有的多個噴嘴118對于大型基準(zhǔn)板174的長度方向即圖13-3的X方向，大致平行排列。斜向相鄰的液滴噴出頭134配置為位于相鄰的端部的噴嘴118彼此的間隔等于噴嘴間隔P。據(jù)此，描繪部163的對于X方向的描繪長度為把所述噴嘴排列寬度H乘以所述大型基準(zhǔn)板174上設(shè)置的液滴噴出頭134的總數(shù)m的值即H×m。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，該頭部件171在大型基準(zhǔn)板174的長度方向即與基板S的輸送方向正交的方向，跨數(shù)m長的尺寸，能以給定間隔P噴出保護膜材料的液滴。而且，通過一邊在與液滴噴出頭134的排列方向正交的方向輸送基板S，一邊噴出保護膜材料的液滴，能跨基板S的全面，以所需的圖案形狀描繪R的保護膜材料。據(jù)此，在與所述輸送方向正交的方向的尺寸大的基板S的輸送中，能對濾色器上形成CF保護膜，所以生產(chǎn)效率極高。此外，如果傾斜與噴嘴118的排列方向平行的大型基準(zhǔn)板174的軸xb，則能變更噴嘴118間的外觀上的間隔。據(jù)此，也能對應(yīng)描繪間隔不同的多個條件。在圖12中，由符號176表示的構(gòu)成要素是保護膜材料容器。保護膜材料容器176儲存液體的保護膜材料，通過管道(未圖示)向液滴噴出頭134供給保護膜材料。
圖14-1是表示液滴噴出頭的內(nèi)部構(gòu)造的立體圖。圖14-2是表示液滴噴出頭的內(nèi)部構(gòu)造的剖視圖。液滴噴出頭134如上所述，例如通過壓電元件壓縮液室，用該壓力波使液體噴出。液滴噴出頭134具有排列為一列或多列的多個噴嘴。如果說明該液滴噴出頭134的構(gòu)造的一例，則液滴噴出頭134如圖14-1所示，例如具有不銹鋼制的噴嘴板112、振動板113，通過分隔構(gòu)件(儲存板)114接合兩者。在噴嘴板112、振動板113之間，通過分隔構(gòu)件114形成多個空間115和液體存儲部116。各空間115和液體存儲部116的內(nèi)部由保護膜材料充滿，各空間115和液體存儲部116通過供給口117連通。此外，在噴嘴板112上形成用于從空間115噴射保護膜材料的噴嘴118。另外，在振動板113上形成用于向液體存儲部116供給保護膜材料的孔119。
此外，在振動板的與空間115相對的面的相反一側(cè)的面上，如圖14-2所示，接合壓電元件120。該壓電元件120位于一對電極121之間，如果通電，則它向外側(cè)突出，撓曲。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，結(jié)合壓有電元件120的振動板113與壓電元件120成為一體，同時向外側(cè)撓曲，據(jù)此，空間115的容積增大。因此，相當(dāng)于空間115內(nèi)增大的容積部分的保護膜材料從液體存儲部116通過供給口117流入。此外，如果從這樣的狀態(tài)解除對壓電元件120的通電，則壓電元件120和振動板113都恢復(fù)到原來的形狀。據(jù)此，空間115也恢復(fù)到原來的容積，所以空間115內(nèi)部的保護膜材料的壓力上升，從噴嘴118向基板噴出保護膜材料的液滴L。
噴嘴板112的至少噴出液滴L的一側(cè)的面優(yōu)選進行排液處理。具體而言，使保護膜材料和噴嘴板112的所述面的接觸角為50度以上，更優(yōu)選為80度以上。為了如此，例如用含氟的有機硅烷偶合劑涂敷噴嘴板112的所述面。至少對噴嘴板112的所述面進行防液處理，抑制從噴嘴118噴出的保護膜材料的液滴的落下位置偏移，能取得均勻質(zhì)量的保護膜。須指出的是，作為液滴噴出頭134的噴墨方式，也可以是使用所述壓電元件120的壓電噴墨類型以外的方式，例如也可以采用使用電熱變換體作為能量發(fā)生元件的方式。
如圖12所示，在頭部件171的長度方向的側(cè)方設(shè)置有吸引和清潔部180。吸引和清潔部180是為了防止各液滴噴出頭134的堵塞等引起的噴出不良，以給定頻率進行各液滴噴出頭134的吸引和清潔作業(yè)。作為具體的結(jié)構(gòu)，在吸引和清潔部180上設(shè)置在吸引時用于堵塞各液滴噴出頭134的噴嘴的蓋部件81、用于擦拭噴嘴及其周圍的擦拭器82。此外，在頭部件171的下游一側(cè)設(shè)置有檢測描繪后的基板S的描繪狀態(tài)即保護膜材料的液滴是否可靠地噴出到給定位置的檢查部164。
檢查部164由使用CCD等的線路傳感器構(gòu)成。
還有在本實施例中，在頭部件171的上游一側(cè)設(shè)置當(dāng)通過檢查部164發(fā)現(xiàn)保護膜材料未噴出到給定位置的不良地方時，只對該地方再度噴出保護膜材料，用于修補不良地方的修補用頭186。因為修補用頭186位于頭部件171的上游一側(cè)，所以只在修補時，臺170向反向(圖3的從左側(cè)向右側(cè))移動。修補用頭186只具有一個液滴噴出頭134，能在與基板S的輸送方向正交的方向移動。或者修補用頭186也可以位于頭部件171的下游一側(cè)，這時，臺170沒必要向反向移動。此外，在檢查部164的下游一側(cè)設(shè)置有基于激光干燥方式的干燥部165。須指出的是，干燥部165并不局限于此，可以通過加熱板或紅外線加熱器使其干燥，或在爐子內(nèi)使其干燥。
以上，說明了CF保護膜形成裝置103的結(jié)構(gòu)，但是也可以在CF保護膜形成裝置103的表面改質(zhì)部162的上游一側(cè)設(shè)置洗凈部。對CF保護膜形成裝置103供給形成了濾色器的基板S，但是在進行基板S的表面改質(zhì)前，用洗凈部用濕洗凈、臭氧洗凈等方法，把基板S洗凈，把清潔的基板S向表面改質(zhì)部162供給。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能抑制形成在基板S上的濾色器表面上附著的異物引起的描繪不良的發(fā)生，能提高成品率。
本實施例的CF保護膜形成裝置103在連接基板供給部161和基板搬出部166的直線狀的基板輸送線途中設(shè)置描繪部163，在與多個液滴噴出頭134的排列方向交叉的方向，使基板S移動，從液滴噴出頭134噴出保護膜材料，形成所需形狀的圖案。即從描繪部163的一端供給形成CF保護膜前的基板S，從描繪部163的另一端排出形成CF保護膜后的基板S。
據(jù)此，能使基板S連續(xù)在描繪部163內(nèi)流動，在只有一方向的輸送中，使用多個液滴噴出頭134，能一氣進行描述。因此，與從輸送線向CF保護膜形成裝置內(nèi)一塊一塊輸送基板S的以往的裝置相比，能縮短處理一塊基板所必要的生產(chǎn)節(jié)拍時間，能實現(xiàn)生產(chǎn)性優(yōu)異的裝置。此外，基板供給部161、描繪部163、基板搬出部166配置為直線狀，所以與在輸送線的側(cè)方配置著色裝置的以往的裝置相比，能縮小裝置的占有空間。不需要以往裝置那樣的具有改變被處理基體材料的輸送方向的功能的輸送裝置，所以能簡化裝置結(jié)構(gòu)。
此外，因為在描繪部163上設(shè)置表面改質(zhì)部162，所以在噴出保護膜材料前，能對基板表面進行親液處理或防液處理，能對基板上的所需區(qū)域可靠噴出保護膜材料。因此，能抑制向所需區(qū)域以外的區(qū)域涂敷保護膜材料，或保護膜材料在所需區(qū)域內(nèi)浸濕擴展等描繪不良的發(fā)生。此外，在描繪部163的下游一側(cè)設(shè)置干燥部165，所以描繪后，能使噴出到基板上的保護膜材料干燥。據(jù)此，在接著的工序中噴出不同種類的液體材料時，能防止液體材料混合存在。此外，設(shè)置檢查描繪狀態(tài)的檢查部164，所以判定描繪不良的有無，能選擇噴出保護膜材料的基板的良/不良。根據(jù)情形，能把不良的基板送到修復(fù)作業(yè)中。
須指出的是，本發(fā)明的技術(shù)范圍并不局限于所述實施例，在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍中，能進行各種變更。例如關(guān)于所述實施例的液滴噴出裝置或CF保護膜形成裝置等的具體的結(jié)構(gòu)，能適當(dāng)變更。此外，在所述實施例中，列舉了把本發(fā)明的電光面板的制造方法應(yīng)用于CF保護膜的形成中的例子，但是不僅CF保護膜，也能在濾色器或定向膜、液晶的密封、有機EL元件等器件的形成、各種布線形成技術(shù)等的薄膜、微細圖案的形成中應(yīng)用。
(本發(fā)明的適用對象)作為能應(yīng)用本發(fā)明的電光面板的電子儀器，除了移動電話，能列舉出例如稱作PDA(Personal Digital Assistants)的便攜式信息儀器、便攜式個人電腦、個人電腦、數(shù)字相機、車載用監(jiān)視器、數(shù)字?jǐn)z影機、液晶電視、尋象器型、監(jiān)視器直視型的錄像機、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機、電子記事本、計算器、字處理器、工作站、電視電話機、POS終端機、使用電光裝置即電光面板的儀器。因此，即使是這些電子儀器中的電連接構(gòu)造，當(dāng)然也能應(yīng)用本發(fā)明。
此外，該電光面板是透射型或反射型的電光面板，把未圖示的照明裝置作為背光使用。須指出的是，即使是有源矩陣型的彩色電光面板，也是同樣。例如在以上說明的各實施例中，都例示無源矩陣型的電光面板，但是作為本發(fā)明的電光裝置，也同樣能應(yīng)用于有源矩陣型的電光面板(例如，把TFT(薄膜晶體管)或TFD(薄膜二極管)作為開關(guān)元件的電光面板)。本發(fā)明不僅能適用于作為這種電光面板的液晶顯示裝置中，而且象有機場致發(fā)光裝置、無機場致發(fā)光裝置、等離子體顯示裝置、電泳顯示裝置、場致發(fā)射顯示裝置、LED(發(fā)光二極管)顯示裝置那樣，也能應(yīng)用于對多個象素分別控制顯示狀態(tài)的各種電光裝置中。特別是在場致發(fā)光裝置(有機、無機)中，使發(fā)出光為白色，在裝置的前表面配置濾色器，能進行全彩色顯示。
如上所述，本發(fā)明的電光面板的制造方法和電子儀器的制造方法、電光面板的濾色器保護膜材料、電光面板、電光裝置和電子儀器，對于通過噴墨(液滴噴出)形成薄膜是有用的，特別適合于通過噴墨法形成濾色器的保護膜材料。
權(quán)利要求
1.一種電光面板的制造方法，其特征在于包括在基體材料上形成濾色器的濾色器形成工序；把該濾色器表面改質(zhì)的表面改質(zhì)工序；使用液滴噴出方式，對所述濾色器上涂敷包含樹脂和溶劑的保護膜材料的保護膜材料涂敷工序；使所述溶劑干燥，形成保護所述濾色器的濾色器保護膜的保護膜形成工序；所述保護膜材料的20℃的粘度為1～20mP·s，并且20℃的表面張力為20～70mN/m。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電光面板的制造方法，其特征在于在所述保護膜材料涂敷工序中，從形成在板狀構(gòu)件上的噴嘴噴出所述保護膜材料的液滴，并且所述保護膜材料對于所述板狀構(gòu)件的接觸角為30度以上170度以下。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電光面板的制造方法，其特征在于所述溶劑的沸點為180℃以上300℃以下。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任意一項所述的電光面板的制造方法，其特征在于使所述保護膜材料干燥的溫度為70℃以下，并且干燥時間為5分鐘以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中的任意一項所述的電光面板的制造方法，其特征在于通過改變向所述濾色器上噴出的所述保護膜材料的液滴的間隔或液滴的質(zhì)量中的至少一方，控制所述干燥工序后的所述保護膜材料的膜厚。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中的任意一項所述的電光面板的制造方法，其特征在于對形成了所述濾色器的母基體材料全面涂敷所述保護膜材料。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～5中的任意一項所述的電光面板的制造方法，其特征在于在形成了所述濾色器的母基體材料中，只對芯片上涂敷所述保護膜材料。
8.一種電子儀器的制造方法，其特征在于包括在基體材料上形成濾色器的濾色器形成工序；把該濾色器表面改質(zhì)的表面改質(zhì)工序；使用液滴噴出方式，對所述濾色器上涂敷包含樹脂和溶劑的保護膜材料的保護膜材料涂敷工序；使所述溶劑干燥，形成保護所述濾色器的濾色器保護膜的保護膜形成工序；在保護膜形成后的所述基體材料上安裝給定構(gòu)件或部件，制造電光面板的工序；向所述電光面板安裝安裝部件的工序；所述保護膜材料的20℃的粘度為1～20mP·s，并且20℃的表面張力為20～70mN/m。
9.一種電光面板的濾色器保護膜材料，其特征在于包含樹脂和溶劑，20℃的粘度為1～20mP·s，并且20℃的表面張力為20～70mN/m，使用液滴噴出方式向電光面板的濾色器上涂敷。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電光面板的濾色器保護膜材料，其特征在于在所述液滴噴出中，從形成在板狀構(gòu)件上的噴嘴噴出所述保護膜材料的液滴，并且所述保護膜材料對于所述板狀構(gòu)件的接觸角為30度以上170度以下。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的電光面板的濾色器保護膜材料，其特征在于所述溶劑的沸點為180℃以上300℃以下。
12.一種電光面板，其特征在于包括向通過表面改質(zhì)處理提高浸濕性的濾色器上，通過液滴噴出涂敷20℃的粘度為1～20mP·s、并且20℃的表面張力為20～70mN/m的保護膜材料而形成的濾色器基板；與該濾色器基板相對配置的基板；保持在相對配置的所述基板之間的液晶。
13.一種電光裝置，其特征在于包括根據(jù)權(quán)利要求12所述的電光面板。
14.一種電子儀器，其特征在于包括根據(jù)權(quán)利要求12所述的電光面板。
全文摘要
一種電光面板、電子儀器的制造方法、電光面板的濾色器保護膜材料、電光面板、電光裝置和電子儀器，在基體材料(1)上，通過光刻或噴墨或柱塞等的液滴噴出，形成濾色器(11)。接著，對濾色器(11)上進行表面改質(zhì)處理。如果表面改質(zhì)處理結(jié)束，就通過液滴噴出，對濾色器(11)上涂敷液態(tài)的保護膜材料。該保護膜材料包含樹脂和溶劑，調(diào)整為20℃的粘度為1～20mP·s，并且20℃的表面張力為20～70mN/m的范圍。向基體材料(1)上涂敷保護膜材料后，為了使保護膜材料中的溶劑揮發(fā)，使保護膜材料干燥。根據(jù)本發(fā)明，從噴墨頭的噴嘴穩(wěn)定噴出液態(tài)的保護膜材料。
文檔編號H05B33/14GK1530705SQ20041003965
公開日2004年9月22日 申請日期2004年3月12日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月13日
發(fā)明者櫻田和昭 申請人:精工愛普生株式會社