專利名稱：微滴噴射設(shè)備、用基板制造面板的方法、圖像顯示設(shè)備及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及微滴噴射設(shè)備、用基板制造面板的方法、圖像顯示設(shè)備以及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
作為制造用于諸如液體顯示器的濾色器的圖像顯示設(shè)備的面板的方法，已知有一種使用微滴噴射設(shè)備(噴墨制圖裝置)(例如，參看JP-A-59-75205)。在這種方法中，通過使用微滴噴射設(shè)備將例如墨水等液體材料以微滴形式供應(yīng)到襯底上，在襯底上形成多個(gè)像素，以制造形成有多個(gè)像素(噴射區(qū)域)的面板。通過將諸如墨水的液體材料以微滴形式噴射到襯底上，同時(shí)使用于支撐襯底的平臺(tái)相對于其上設(shè)置有多個(gè)微粒噴射頭的頭單元相互移動(dòng)，這種用于制造面板的微滴噴射設(shè)備將用于形成像素的液體材料供給襯底上的多個(gè)像素上。
在一個(gè)微滴噴射頭上形成有多個(gè)噴嘴(噴嘴口)，以進(jìn)行對準(zhǔn)，多個(gè)噴嘴構(gòu)成噴嘴陣列。由于噴嘴陣列的長度小于襯底的尺寸，為了使頭單元的一次掃描操作噴射微滴的區(qū)域的寬度(待畫出的寬度)更長，從掃描方向觀察，多個(gè)微滴噴射頭被設(shè)置在頭單元上，使得其噴嘴陣列彼此連接。
然而，由于多個(gè)微滴噴射頭中的噴射量發(fā)生變化是不可避免的，例如，一個(gè)微滴噴射頭噴射液體材料的微滴到其上的像素的顏色變深，另一個(gè)微滴噴射頭噴射液體材料的微滴到其上的像素的顏色變淺。
在這種情況下，在面板中存在色差(colorheterogeneity)問題。
并且，在一個(gè)微滴噴射頭的噴嘴陣列和相鄰的微滴噴射頭的噴嘴陣列之間的接縫附近的像素供應(yīng)有液體材料，存在的問題在于在面板上產(chǎn)生沿著微滴噴射頭的掃描方向延伸的色差的條紋，原因在于兩個(gè)微滴噴射頭之間的噴射量存在差異或者是因?yàn)閲娮旃?jié)距的誤差。在面板中產(chǎn)生條紋的情況下，當(dāng)時(shí)用這種面板制造圖像顯示裝置時(shí)，圖像顯示裝置的顯示器會(huì)包括條紋。降低了圖像質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供能夠制造沒有色差的高質(zhì)量面板的微滴噴射設(shè)備、用基板制造面板的方法、圖像顯示設(shè)備以及設(shè)置有沒有色差的面板的電子設(shè)備。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，在本發(fā)明的一個(gè)方面，本發(fā)明涉及用于以微滴形式將一種或多種預(yù)定顏色的液體材料供給基板上的微滴噴射設(shè)備。本發(fā)明的設(shè)備包括頭單元，設(shè)置有多個(gè)微滴噴射頭，用于噴射一種或多種液體材料到基板上，每個(gè)微滴噴射頭均包括至少一個(gè)由多個(gè)線性排列的噴嘴構(gòu)成的噴嘴陣列，多個(gè)微滴噴射頭的噴嘴陣列在第一方向上彼此平行，液體材料適于從多個(gè)噴嘴以微滴形式噴射；平臺(tái)，包括兩個(gè)主面，所述平臺(tái)的兩個(gè)主面中的一個(gè)朝向頭單元的多個(gè)微滴噴射頭，且所述基板被支撐在所述平臺(tái)的一個(gè)主面上；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于使平臺(tái)相對于頭單元相互移動(dòng)；以及控制單元，用于控制頭單元和移動(dòng)機(jī)構(gòu)的操作，使得頭單元的多個(gè)微滴噴射頭中的每個(gè)將液體材料的微粒噴射到基板上，同時(shí)使平臺(tái)在垂直于第一方向的第二方向上相對于頭單元相互移動(dòng)，其中，基板具有一個(gè)區(qū)域，通過頭單元相對于平臺(tái)的一次相互移動(dòng)，相同顏色的液體材料適于從多個(gè)微滴噴射頭以微滴形式噴射到所述區(qū)域，所述區(qū)域包括位于第一方向的多個(gè)子區(qū)域，每個(gè)子區(qū)域具有多個(gè)用于形成像素的噴射區(qū)域，以及其中，所述多個(gè)微滴噴射頭設(shè)置在頭單元上，使得多個(gè)子區(qū)域的每個(gè)的噴射區(qū)域適于總是從多個(gè)微滴噴射頭中的兩個(gè)或更多個(gè)微滴噴射頭的不同組合的噴嘴接收微滴形式的液體材料。
根據(jù)本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備，使用噴嘴陣列的重疊，通過多個(gè)微滴噴射頭的噴嘴將液體材料的微滴噴射到一個(gè)噴射區(qū)域(也就是一個(gè)像素)。因此，即使在多個(gè)微滴噴射頭的噴射量中存在偏差(誤差)的情況下，使用本發(fā)明的頭單元，可以防止有害色差在由基板制造的面板的表面產(chǎn)生。換言之，與本發(fā)明相比，在僅通過一個(gè)微滴噴射頭的噴嘴將液體材料供應(yīng)到一個(gè)噴射區(qū)域的情況下，微滴噴射頭的噴射量的改變直接導(dǎo)致將供應(yīng)給每個(gè)噴射區(qū)域的液體材料的量的改變(誤差)，從而面板上的色差更加強(qiáng)烈。另一方面，在本發(fā)明中，由于將供應(yīng)給一個(gè)噴射區(qū)域的液體材料的量變成在掃描方向重疊的多個(gè)微滴噴射頭的噴射量的平均值，可以使供應(yīng)給每個(gè)噴射區(qū)域的液體材料均勻，從而可以防止產(chǎn)生色差。
并且，通過將通過多個(gè)微滴噴射頭中的兩個(gè)或更多個(gè)微滴噴射頭的不同組合的噴嘴噴射的液體材料的微滴供應(yīng)到基板上的多個(gè)子區(qū)域中的每個(gè)的噴射區(qū)域上，可以相對于噴射區(qū)域的每個(gè)使液體材料的噴射量均勻(平衡)，而不使它們存在偏差。因此，可以更確定地防止在將被制造的面板的表面上產(chǎn)生有害色差。
在本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備中，優(yōu)選的是，用于將液體材料以微滴形式噴射到基板的一個(gè)子區(qū)域的噴射區(qū)域上的兩個(gè)或更多微滴噴射頭與用于將液體材料以微滴形式噴射到基板的相鄰子區(qū)域的噴射區(qū)域上的兩個(gè)或更多微滴噴射頭的組合不同，同時(shí)兩個(gè)或更多個(gè)微滴噴射頭的這些組合使用至少一個(gè)公共微滴噴射頭。
因此，由于基板上的鄰近子區(qū)域的邊界處的液體材料的噴射量的誤差變小，可以更確定地防止每個(gè)相鄰子區(qū)域的邊界處的條紋變得更顯著。
在本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備中，多個(gè)微滴噴射頭優(yōu)選包括多組微滴噴射頭，一些類型的不同顏色的液體材料可通過其被噴射，從而使得多個(gè)子區(qū)域被形成在用于多組微滴噴射頭的每組的基板上，以及其中，用于一種顏色的液體材料的子區(qū)域中的相鄰子區(qū)域的邊界的位置與其它顏色的液體材料的子區(qū)域中的相鄰子區(qū)域的邊界的位置不同。
因此，即使在基板上的相鄰子區(qū)域的每個(gè)的邊界產(chǎn)生條紋的情況下，也可以使條紋變得不顯著，原因在于每種顏色的噴射區(qū)域上產(chǎn)生的條紋并不相互重疊，而不是分散在將要制造的面板的不同的位置。
在本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備中，優(yōu)選的是，一些類型的液體材料包括三種液體材料，分別為紅色、綠色和藍(lán)色液體材料。
在本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備中，優(yōu)選的是，該基板是用于制造用于液晶顯示器的濾色襯底的基板材料，一種或更多種液體材料是用于形成濾色襯底的過濾層的墨水。
這使得制造無有害色差和條紋并具有高成品率(制造效率)的液晶顯示器的濾色襯底成為可能。
在本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備中，優(yōu)選的是，基板是用于制造電致發(fā)光(場致發(fā)光)顯示器的基板材料，一種或多種液體材料包括用于制造電致發(fā)光(場致發(fā)光)顯示器的發(fā)光材料。
這使得制造無有害色差和條紋并具有高成品率(制造效率)的電致發(fā)光(場致發(fā)光)顯示器成為可能。
在本發(fā)明的另一方面，本發(fā)明涉及用于使用上述的微滴噴射設(shè)備由基板制造面板的方法。該方法包括以下步驟制備基板；以及通過利用微滴噴射設(shè)備噴射微滴，同時(shí)使基板在垂直于第一方面的第二方向上關(guān)于頭單元相互移動(dòng)，將一種或多種預(yù)定顏色的液體材料供應(yīng)到基板上。
根據(jù)使用本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備由基板制造面板的方法，使用重疊的噴嘴陣列通過多個(gè)微滴噴射頭的噴嘴將液體材料的微滴噴射到噴射區(qū)域(也就是，一個(gè)像素)。因此，即使在多個(gè)微滴噴射頭的噴射量的改變(誤差)的情況下，也可以防止在使用本發(fā)明的頭單元由基板制造面板的表面上產(chǎn)生不良色差。換言之，與本發(fā)明相比，在僅通過一個(gè)微滴噴射頭的噴嘴將液體材料供應(yīng)到一個(gè)噴射區(qū)域的情況下，微滴噴射頭的噴射量的改變直接導(dǎo)致將供應(yīng)給每個(gè)噴射區(qū)域的液體材料的量的改變(誤差)，從而面板上的色差更加強(qiáng)烈。另一方面，在本發(fā)明中，由于將供應(yīng)給一個(gè)噴射區(qū)域的液體材料的量變成在掃描方向重疊的多個(gè)微滴噴射頭的噴射量的平均值，可以使供應(yīng)給每個(gè)噴射區(qū)域的液體材料均勻，從而可以防止產(chǎn)生色差。
并且，通過將通過多個(gè)微滴噴射頭中的兩個(gè)或更多個(gè)微滴噴射頭的不同組合的噴嘴噴射的液體材料的微滴供應(yīng)到基板上的多個(gè)子區(qū)域中的每個(gè)的噴射區(qū)域上，可以相對于噴射區(qū)域的每個(gè)使液體材料的噴射量均勻(平衡)，而不使它們存在偏差。因此，可以更確定地防止在將被制造的面板的表面上產(chǎn)生有害色差。
在根據(jù)本發(fā)明用基板制造面板的方法中，優(yōu)選的是，基板是用于制造用于液晶顯示器的濾色襯底的基板材料，一種或更多種液體材料是用于形成濾色襯底的過濾層的墨水。
這使得制造無有害色差和條紋并具有高成品率(制造效率)的液晶顯示器的濾色襯底成為可能。
在根據(jù)本發(fā)明用基板制造面板的方法中，優(yōu)選的是，基板是用于制造電致發(fā)光(場致發(fā)光)顯示器的基板材料，一種或多種液體材料包括用于制造電致發(fā)光(場致發(fā)光)顯示器的發(fā)光材料。
這使得制造無有害色差和條紋并具有高成品率(制造效率)的電致發(fā)光(場致發(fā)光)顯示器成為可能。
在本發(fā)明的再一方面，本發(fā)明涉及包括用上述方法制造的面板的圖像顯示設(shè)備。
這使得制造無有害色差和條紋并具有高成品率(制造效率)的液晶顯示器成為可能。
在本發(fā)明的再一方面，本發(fā)明涉及包括上述圖像顯示設(shè)備的電子設(shè)備。
這使得制造包括無有害色差和條紋并具有高成品率(制造效率)的液晶顯示器的電子設(shè)備成為可能。


本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將通過本發(fā)明的參考附圖的優(yōu)選實(shí)施例的下述詳細(xì)描述變得更加顯而易見。
圖1是本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備的透視圖。
圖2是示出圖1中所示微滴噴射設(shè)備的頭單元和基板的平面圖。
圖3是微滴噴射頭的噴嘴面(噴嘴板)的一部分和基板的像素的放大平面圖。
圖4(a)和4(b)分別是圖1中示出的微滴噴射設(shè)備的微滴噴射頭的透視橫截面圖和橫截面。
圖5是圖1中示出的微滴噴射設(shè)備的框圖。
圖6(a)是頭驅(qū)動(dòng)單元的示意圖。
圖6(b)是示出用于頭驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)信號(hào)、選擇信號(hào)和噴射信號(hào)的時(shí)序圖。
圖7是示出用于制造濾色襯底的方法示意性橫截面圖。
圖8是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備的頭單元中的每個(gè)微滴噴射頭的位置關(guān)系的示例性平面圖。
圖9是示意性示出本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備中的頭單元的構(gòu)造的另一實(shí)例的平面圖。
圖10是示出用于制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器的方法的示例性橫截面。
圖11是示出應(yīng)用了根據(jù)本發(fā)明的電子設(shè)備的移動(dòng)(膝上型)個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的透視圖。
圖12是示出應(yīng)用了根據(jù)本發(fā)明的電子設(shè)備的便攜電話(包括個(gè)人手持電話系統(tǒng))的結(jié)構(gòu)的透視圖。
圖13是示出應(yīng)用了根據(jù)本發(fā)明的電子設(shè)備的數(shù)碼相機(jī)的結(jié)構(gòu)的透視圖。
具體實(shí)施例方式
下面參看附圖詳細(xì)說明根據(jù)本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備、用基板制造面板的方法、圖像顯示設(shè)備以及電子設(shè)備。
在優(yōu)選實(shí)施例中，將典型描述制造成為液晶顯示器的作為面板實(shí)例的部件的濾色襯底10的情況。
(微滴噴射設(shè)備的整體結(jié)構(gòu))圖1是本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備1的透視圖。如圖1所示出的，微滴噴射設(shè)備1設(shè)置有頭單元103，其中，多個(gè)微滴噴射頭2裝配在托架105上；托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)(移動(dòng)機(jī)構(gòu))104，用于在一水平方向(此后，稱之為“X軸方向”)移動(dòng)頭單元103；平臺(tái)106，用于支撐隨后描述的基體10A；以及控制單元112，用于控制頭單元103、托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)104、和平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)108。
并且，在微滴噴射設(shè)備1的附近設(shè)置有三個(gè)槽101，分別用于儲(chǔ)存三種包括紅色(R)、綠色(G)、以及藍(lán)色(B)的液體材料111。每個(gè)槽101經(jīng)由用作傳送的液體材料111的通道的管110連接至頭單元103。儲(chǔ)存在每個(gè)槽101中的液體材料111被送(供應(yīng))到頭單元103中的每個(gè)微滴噴射頭2。
就此而言，本發(fā)明中的“液體材料”包括用于形成面板的像素的材料，指的是具有足以通過微滴噴射頭2的噴嘴25噴射的粘度的材料。在這種情況下，材料可以是水基的或者是油基的。另外，材料僅需要具有通過微滴噴射頭2的噴嘴25的可噴射流動(dòng)性(粘度)。盡管固體材料可被分散到材料上，該材料可以是作為整體的流體。本實(shí)施例中的流體材料111是有機(jī)溶劑墨，其中，用于形成濾色襯底10的像素的過濾層的顏料溶解或分散在有機(jī)溶劑中。
就此而言，在后邊的描述中，在將液體材料111區(qū)分成紅色、綠色、以及藍(lán)色的情況下，它們被分別稱作“液體材料111R、111G、以及111B”。另一方面，在通常命名它們而不區(qū)分顏色的情況下，每種液體材料均被簡稱為“液體材料111”。
通過控制單元112來控制托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)104的操作。本發(fā)明中的托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)104具有通過沿著垂直方向(此后稱之為“Z軸方向”)移動(dòng)頭單元103來調(diào)節(jié)頭單元103的高度的作用。另外，托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)104同樣具備圍繞平行于Z軸方向的軸線旋轉(zhuǎn)頭單元103的作用，這使得精確調(diào)整頭單元103圍繞Z軸的角度成為可能。
平臺(tái)106具有平行于X軸方向和Y軸方向的平面。另外，平臺(tái)106被構(gòu)造成使得用于制造濾色襯底10的基板10A可以被固定或保持(支撐)在其上。平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)108沿著垂直于X軸方向和Z軸方向的Y軸方向移動(dòng)平臺(tái)106。平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)108的操作通過控制單元112控制。另外，本實(shí)施例中的平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)108同樣具備圍繞平行于Z軸方向的軸線旋轉(zhuǎn)平臺(tái)106的作用，這使得通過精確調(diào)整裝配到平臺(tái)106上的基板10A圍繞Z軸方向的斜度來修正平臺(tái)106的位置成為可能。
如上所述，通過托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)104將頭單元103移向X軸方向。另一方面，通過平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)108將平臺(tái)106移向Y軸方向。因此，通過托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)104和平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)108可以改變頭單元103相對于平臺(tái)106的相互位置。
就此而言，將隨后描述控制單元112的詳細(xì)構(gòu)造和功能。
(頭單元)圖2是示出圖1中示出的微滴噴射設(shè)備1的頭單元103和基板10A的平面圖。如圖2示出的頭單元103具有以下結(jié)構(gòu)多個(gè)微滴噴射頭2裝配到托架105。如圖2所示，托架105如圖2所示用鏈雙虛線示出。另外，分別示出多個(gè)微滴噴射頭2的實(shí)線表示多個(gè)微滴噴射頭2的噴嘴表面(也就是，隨后描述的噴嘴板128)的位置。
在頭單元103上設(shè)置有四個(gè)用于噴射紅色液體材料111R的微滴噴射頭2、四個(gè)用于噴射綠色液體材料111G的微滴噴射頭2、以及四個(gè)用于噴射藍(lán)色液體材料111G的微滴噴射頭2。四個(gè)用于噴射紅色液體材料111R的微滴噴射頭2包括第一微滴噴射頭21R、第二微滴噴射頭22R、第三微滴噴射頭23R、以及第四微滴噴射頭24R。四個(gè)用于噴射綠色液體材料111R的微滴噴射頭2包括第一微滴噴射頭21G、第二微滴噴射頭22G、第三微滴噴射頭23G、以及第四微滴噴射頭24G。四個(gè)用于噴射藍(lán)色液體材料111R的微滴噴射頭2包括第一微滴噴射頭21B、第二微滴噴射頭22B、第三微滴噴射頭23B、以及第四微滴噴射頭24B。
在以下描述中，在通常命名這些微滴噴射頭2而不用以待噴射的液體材料的顏色區(qū)分它們的情況下，每個(gè)微滴噴射頭均被簡稱為“微滴噴射頭2”。另一方面，在將用于噴射紅色、綠色、以及藍(lán)色的液體材料的微滴噴射頭2的情況下，它們被稱之為，例如，“第一微滴噴射頭21R、第二微滴噴射頭22R、…”。
如圖2示出的基板10A是用于制造用于液晶顯示器的濾色襯底10的基礎(chǔ)材料，其中，濾色片以條狀設(shè)置在濾色襯底上。多個(gè)紅色像素(噴射區(qū)域)18R、多個(gè)綠色像素(噴射區(qū)域)18G、以及多個(gè)藍(lán)色像素(噴射區(qū)域)18B設(shè)置在基板10A上。微滴噴射設(shè)備1運(yùn)行以使紅色液體材料111R被供應(yīng)到每個(gè)像素18R上，使綠色液體材料111G被供應(yīng)到每個(gè)像素18G上、使藍(lán)色液體材料111B被供應(yīng)到每個(gè)像素18B上。
像素18R、18G、以及18B的每個(gè)具有大致的矩形形狀?；?0A以使得每個(gè)像素18R、18G、以及18B的長軸方向平行于X軸方向以及使得每個(gè)像素18R、18G、以及18B的短軸方向平行于Y軸方向的姿勢支撐在平臺(tái)106上。多個(gè)像素18R、18G、以及18B設(shè)置在基板10A上，以按照這一次序沿著Y軸方向重復(fù)設(shè)置，使得相同顏色的像素沿著X軸方向設(shè)置。設(shè)置在Y軸方向的一組像素18R、18G、以及18B對應(yīng)于將要制造的濾色襯底10的一個(gè)照片元素。
(微滴噴射頭)圖3是微滴噴射頭2的噴嘴面(噴嘴板128)的一部分和基板10A的像素的放大平面圖。在這種情況下，盡管每個(gè)微滴噴射頭2的噴表面被設(shè)置為朝向基板10A，也就是，在垂直方向，便于觀察，圖3示出用實(shí)線標(biāo)出的每個(gè)微滴噴射頭2的噴嘴面。多個(gè)噴嘴(噴嘴洞)25形成在每個(gè)微滴噴射頭2的噴嘴表面，使得沿X軸方向以均勻間隔線性排列。每個(gè)微滴噴射頭2中的多個(gè)噴嘴25構(gòu)成至少一個(gè)噴嘴陣列。在本實(shí)施例中，兩個(gè)噴嘴陣列以平行方式形成在每個(gè)微滴噴射頭2上，以相對于彼此以半節(jié)距移動(dòng)。然而，本發(fā)明并不局限于此。一個(gè)微滴噴射頭2具有的噴嘴陣列的數(shù)量可以是一個(gè)、或者三個(gè)、或者更多。另外，形成在一個(gè)微滴噴射頭2上的噴嘴25的數(shù)量不被特殊限定，自然可在約數(shù)十個(gè)到數(shù)百個(gè)的范圍內(nèi)。
圖4(a)和4(b)分別是圖1中示出的微滴噴射設(shè)備1的微滴噴射頭2的透視橫截面圖和橫截面。如圖4(a)和4(b)所示出的，每個(gè)微滴噴射頭2構(gòu)成噴墨頭。更特別的，微滴噴射頭2設(shè)置有隔板126和噴嘴板128。貯液器129設(shè)置在隔板126和噴嘴板128之間。貯液器129填充有通過墨水入口131從槽101供應(yīng)的液體材料111。
多個(gè)分割壁122設(shè)置在隔板126和噴嘴板128之間。通過隔板126、噴嘴板128、以及一對分割壁122限定了空腔120。由于空腔120根據(jù)一個(gè)噴嘴25設(shè)置，所以，空腔120的數(shù)量與噴嘴25的數(shù)量相同。液體材料111經(jīng)由設(shè)置在分割壁122對之間的供墨口130供應(yīng)給空腔120。
作為驅(qū)動(dòng)元件的振動(dòng)器124根據(jù)每個(gè)空腔120設(shè)置在隔板126上。振動(dòng)器124用于改變填充在空腔120中的液體材料111的液壓，包括壓電元件124C以及一對電極124A和124B，壓電元件124C夾在這對電極之間。通過施加驅(qū)動(dòng)電壓信號(hào)在該對電極124A和124B之間，壓電元件124C變形以改變填充在空腔120中的液體材料111的液壓，從而以微滴形式通過相應(yīng)的噴嘴25噴射液體材料111。每個(gè)噴嘴的形狀可被調(diào)整以使得通過每個(gè)噴嘴25在Z軸方向噴射液體材料111。
圖1中所示的控制單元112可以被構(gòu)造為應(yīng)用驅(qū)動(dòng)電壓信號(hào)到彼此獨(dú)立的多個(gè)振動(dòng)器124的每個(gè)。換句話說，對于每個(gè)噴嘴25，可根據(jù)來自控制單元112的驅(qū)動(dòng)電壓信號(hào)控制待通過每個(gè)噴嘴25噴射的液體材料111的體積。
就此而言，微滴噴射頭2不限于將如圖4中所示的壓電執(zhí)行器用作驅(qū)動(dòng)元件的微滴噴射頭。例如，微滴噴射頭2可使用靜電執(zhí)行器，或可具有這樣的結(jié)構(gòu)其中利用電熱轉(zhuǎn)換元件使用液體材料111的熱膨脹(膜狀沸騰)以微滴形式噴射液體材料111。
(控制單元)接下來，現(xiàn)在將描述控制單元112的構(gòu)造。圖5是圖1中所示的微滴噴射設(shè)備1的框圖，該微滴噴射設(shè)備包括控制單元112。如圖5中所示，控制單元112設(shè)置有輸入緩沖存儲(chǔ)器200、存儲(chǔ)單元202、處理單元204、掃描驅(qū)動(dòng)單元206、頭驅(qū)動(dòng)單元208、托架(carriage)位置檢測裝置302、和平臺(tái)位置檢測裝置303。
處理單元204電連接至輸入緩沖存儲(chǔ)器200、存儲(chǔ)單元202、處理單元204、掃描驅(qū)動(dòng)單元206、頭驅(qū)動(dòng)單元208、托架位置檢測裝置302、和平臺(tái)位置檢測裝置303的每個(gè)。并且，掃描驅(qū)動(dòng)單元206電連接至托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)104和平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)108。類似地，頭驅(qū)動(dòng)單元208電連接至頭單元103中的多個(gè)微滴噴射頭2的每個(gè)。
輸入緩沖存儲(chǔ)器200接收有關(guān)液體材料111的微滴的噴射位置的數(shù)據(jù)，即，從外部信息處理設(shè)備取出圖樣數(shù)據(jù)。輸入緩沖存儲(chǔ)器200輸出取出的圖樣數(shù)據(jù)給處理單元204，接著處理單元204將取出的圖樣數(shù)據(jù)儲(chǔ)存在存儲(chǔ)單元202中。就此而言，圖5中所示的存儲(chǔ)單元202由RAM(隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)、磁記錄介質(zhì)、磁光記錄介質(zhì)等構(gòu)成。
托架位置檢測裝置302檢測托架105的位置，即，X軸方向上的頭單元103(托架105在X軸方向上的移動(dòng)距離)，并將所檢測的信號(hào)輸出到處理單元104中。托架位置檢測裝置302和平臺(tái)位置檢測裝置303舉例來說由線性編碼器、激光長度測量裝置等構(gòu)成。
根據(jù)托架位置檢測裝置302和平臺(tái)位置檢測裝置303檢測到的信號(hào)，處理單元204經(jīng)由掃描驅(qū)動(dòng)單元206控制托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)104和平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)108的操作，從而控制頭單元103的位置和基板10A的位置。并且，通過控制平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)108的操作，處理單元204控制平臺(tái)106即基板10A的移動(dòng)速度。
此外，根據(jù)儲(chǔ)存在存儲(chǔ)單元202中的被取出的圖樣數(shù)據(jù)，處理單元204輸出每個(gè)噴射定時(shí)(timing)中用于指定每個(gè)噴嘴25的ON/OFF的選擇信號(hào)SC給頭驅(qū)動(dòng)單元208。頭驅(qū)動(dòng)單元208接著根據(jù)選擇信號(hào)SC輸出將液體材料111噴射到每個(gè)微滴噴射頭2所需要的噴射信號(hào)。結(jié)果，液體材料111以微滴形式通過每個(gè)微滴噴射頭2中的相應(yīng)噴嘴25噴射。
控制單元112可以是設(shè)置有CPU(中央處理單元)、ROM(只讀存儲(chǔ)器)、RAM等的計(jì)算機(jī)。在此情形下，可使用計(jì)算機(jī)可執(zhí)行的軟件程序?qū)崿F(xiàn)上述控制單元112的操作?？蛇x地，控制單元112可以專用電路(換句話說，使用硬件)實(shí)現(xiàn)。
接著，將描述控制單元112中的頭驅(qū)動(dòng)單元208的構(gòu)造和功能。圖6(a)是頭驅(qū)動(dòng)單元208的示意圖。圖6(b)是時(shí)間圖，示出用于頭驅(qū)動(dòng)單元208的驅(qū)動(dòng)信號(hào)、選擇信號(hào)和噴射信號(hào)。如圖6(a)中所示，頭驅(qū)動(dòng)單元208包括一個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生器203和多個(gè)模擬開關(guān)AS。如圖6(b)中所示，驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生器203產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS。驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS的電勢相對于基準(zhǔn)電勢L臨時(shí)改變。更具體地，驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS包括以噴射循環(huán)EP重復(fù)的多個(gè)噴射波形P。就此而言，噴射波形P對應(yīng)于待應(yīng)用于相應(yīng)振動(dòng)器124中的這對電機(jī)124A和124B之間的驅(qū)動(dòng)電壓波形，以通過一個(gè)噴嘴25噴射一個(gè)微滴。
驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS供給每個(gè)模擬開關(guān)AS的輸入端子。每個(gè)模擬開關(guān)AS根據(jù)每個(gè)噴嘴25被設(shè)置。即，模擬開關(guān)AS的數(shù)量與噴嘴25的數(shù)量相同。
處理單元204輸出用于表示每個(gè)噴嘴25的ON/OFF的選擇信號(hào)SC給每個(gè)模擬開關(guān)AS。就此而言，對于每個(gè)模擬開關(guān)AS，選擇信號(hào)SC可變成高級(jí)狀態(tài)或低級(jí)狀態(tài)。響應(yīng)于驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS和選擇信號(hào)SC，每個(gè)模擬開關(guān)AS施加噴射信號(hào)WS于相應(yīng)振動(dòng)器124的電極124A。更具體地，在選擇信號(hào)SC變成高級(jí)狀態(tài)的情形下，打開相應(yīng)模擬開關(guān)AS，并將驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS作為噴射信號(hào)ES施加于相應(yīng)電極124A。另一方面，在選擇信號(hào)SC變成低級(jí)狀態(tài)的情形下，打開相應(yīng)模擬開關(guān)AS，且相應(yīng)的模擬開關(guān)AS輸出給相應(yīng)電極124A的噴射信號(hào)ES的電勢變成基準(zhǔn)電勢L。當(dāng)將驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS應(yīng)用于振動(dòng)器124的電極124A時(shí)，液體材料111通過相應(yīng)于振動(dòng)器124的噴嘴25噴射。就此而言，將基準(zhǔn)電勢L應(yīng)用于每個(gè)振動(dòng)器124的電極124B。
在圖6(b)中所示的實(shí)例中，設(shè)定兩個(gè)選擇信號(hào)SC的每個(gè)的高級(jí)時(shí)段和低級(jí)時(shí)段，使得噴射波形P與為兩個(gè)噴射信號(hào)ES的每個(gè)的噴射循環(huán)EP的兩倍的循環(huán)2EP一起出現(xiàn)。這樣，對于循環(huán)2EP，液體材料111以微滴形式通過兩個(gè)相應(yīng)噴嘴25的每個(gè)噴射。從共用驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生器203應(yīng)用普通驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS到相應(yīng)于兩個(gè)噴嘴25的振動(dòng)器124的每個(gè)。由于此原因，液體材料111以大體相同的定時(shí)通過這兩個(gè)噴嘴25噴射。
這種微滴噴射設(shè)備1工作，使得液體材料111通過頭單元103中的微滴噴射頭2的每個(gè)的噴嘴25噴射，并供給(落在)基板10A的像素18R、18G、和18B上，同時(shí)通過平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)108的操作在Y軸方向上移動(dòng)支撐在平臺(tái)106上的基板10A，且通過頭單元103下面的基板10A。此后，可將微滴噴射設(shè)備1的操作稱為“頭單元103和基板10A之間的主掃描運(yùn)動(dòng)”。
在基板10A在X軸方向上的寬度小于整個(gè)頭單元103在液體材料111關(guān)于基板10A噴射的X軸方向上的長度(換句話說，稍后描述的整個(gè)噴射寬度W)的情形下，通過執(zhí)行頭單元103和基板10A之間的主掃描運(yùn)動(dòng)一次，可能供應(yīng)液體材料111到整個(gè)基板10A上。另一方面，在基板10A在X軸方向上的寬度大于頭單元103的整個(gè)噴射寬度W的情形下，通過使頭單元103和基板10A之間的主掃描運(yùn)動(dòng)和頭單元103利用托架移動(dòng)機(jī)構(gòu)104的操作在X軸方向上的運(yùn)動(dòng)(稱之為“副掃描方向”)反復(fù)交替，可能供應(yīng)液體材料111到整個(gè)基板10A上。
接下來，現(xiàn)在將詳細(xì)描述使用上述微滴噴射設(shè)備1的濾色襯底10的制造方法。圖7是示意性截面圖，示出制造濾色襯底10的方法。如圖7中所示，基板10A包括具有透光性的支撐襯底12和多個(gè)像素18R、18G、和18B，這些像素分別成為形成在支撐襯底12上的色素(像素區(qū))，以便與黑底14和圍堰16分離。黑底14由具有光屏蔽效果的材料制成。黑底14和設(shè)置在黑底14上的圍堰16位與支撐襯底12上，使得多個(gè)像素18R、18G、和18B由它們以矩陣形式限定。即，多個(gè)像素18R、18G、和18B通過支撐襯底12、黑底14、和圍堰(bank)16形成為隔部(partition)。像素18R是僅具有在紅波長范圍內(nèi)的任何波長的光穿過的過濾層111FR待形成的區(qū)域。像素18B是僅具有在藍(lán)波長范圍內(nèi)的任何波長的光穿過的過濾層111FB待形成的區(qū)域。
根據(jù)以下制造濾色襯底10的步驟制造基板10A。首先，利用濺射法或蒸發(fā)法在支撐襯底12上形成金屬薄膜。接著利用光刻法從金屬薄膜制成網(wǎng)狀圖樣的黑底14。可將金屬鉻和氧化鉻作為用于黑底14的材料。就此而言，支撐襯底12是對可見光(光波長)具有透光性的襯底，例如玻璃襯底等。隨后，涂覆由負(fù)型感光聚合物成分構(gòu)成的抗蝕層，以便覆蓋支撐襯底12和黑底14。暴露抗蝕層，同時(shí)使得掩模薄膜(mask film)形成在粘在抗蝕層上的矩陣圖樣中。接著，通過利用蝕刻工藝去除抗蝕層的不暴露部分，獲得圍堰16。以此方式，獲得基板10A。
就此而言，可用由黑樹脂制成的圍堰代替圍堰16。在此情形下，不需要金屬薄膜(即，黑底14)，且圍堰層由單層構(gòu)成。
接著，在大氣壓力下利用氧等離子體工藝使得基板10A變成親液的。每個(gè)都由支撐襯底12限定的支撐襯底12的表面、黑底14的表面、和凹部(像素的部分)中圍堰16的表面、黑底14、和圍堰16通過此工藝往往呈現(xiàn)親液性。并且，接著對基板10A執(zhí)行將CF4用作處理氣體的等離子體工藝。通過使用CF4的等離子體工藝，使每個(gè)凹部中的圍堰16的表面氟化，且圍堰16的表面通過此工藝往往呈現(xiàn)非親液性。就此而言，通過使用CF4的等離子體工藝，已經(jīng)呈現(xiàn)親液性的支撐襯底12的表面和黑底14的表面的親液性稍微損失。然而，即使這樣，這些表面也能保持親液性。就此而言，根據(jù)支撐襯底12的材料，黑底14的材料、和圍堰16的材料，無需進(jìn)行上述表面處理，每個(gè)凹部的表面都可呈現(xiàn)理想的親液性和非親液性。在此情形下，該表面不必經(jīng)受上述表面處理。
將如上所述的上面形成像素18R、18G、和18B的基板10A傳送到微滴噴射設(shè)備1的平臺(tái)106上，且支撐在平臺(tái)106上。通過操縱平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)108，微滴噴射設(shè)備1在Y軸方向上移動(dòng)基板10A，并從每個(gè)微滴噴射頭2以微滴形式供應(yīng)液體材料到像素18R、18G、和18B的每個(gè)上，同時(shí)經(jīng)過頭單元103下面的基板10A。此時(shí)，如圖7(a)至7(c)中所示，紅液體材料111R(濾色材料)噴射到每個(gè)像素18R上，綠液體材料111G(濾色材料)噴射到每個(gè)像素18G上，且綠液體材料111B(濾色材料)噴射到每個(gè)像素18B上。
在分別將液體材料111R、111G、和111B供給像素18R、18G、和18B的每個(gè)上后，將基板10A傳送到烘干設(shè)備(圖中未示出)，以烘干分別供給像素18R、18G、和18B的每個(gè)中的液體材料111R、111G、和111B。這樣，過濾層111FR、111FG、和111FB分別形成在像素18R、18G、和18B的每個(gè)上。就此而言，通過使用微滴噴射設(shè)備1反復(fù)執(zhí)行液體材料111R、111G、和111B的供應(yīng)，和利用烘干設(shè)備烘干所供給的液體材料111R、111G、和111B，以使液體材料111R、111G、和111B和過濾層111FR、111FG、和111FB交替層疊，可在像素18R、18G、和18B的每個(gè)上形成最終的過濾層111FR、111FG、和111FB。
接著將基板10A傳送到烘箱(圖中未示出)中，并將過濾層111FR、111FG、和111FB在此烘箱中后烘(即，預(yù)加熱)。
接著，將基板10A傳送到保護(hù)膜形成設(shè)備(圖中未示出)中，并且保護(hù)膜(外覆膜)20在此保護(hù)膜形成設(shè)備中的過濾層111FR、111FG、和111FB和圍堰16上形成。在已經(jīng)在過濾層111FR、111FG、和111FB和圍堰16上形成保護(hù)膜20后，在烘干設(shè)備中將保護(hù)膜20完全烘干。并且，并且在硬化設(shè)備(圖中未示出)中加熱保護(hù)膜20，以使保護(hù)膜20完全硬化，這樣，基板10A變成濾色襯底10。
圖8是示意性平面圖，用于說明根據(jù)本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備1的頭單元103中的微滴噴射頭的每個(gè)的位置關(guān)系。如上所述，用于噴射紅液體材料111R的四個(gè)微滴噴射頭2(包括第一至第四微滴噴射頭21R至24R)、用于噴射綠液體材料111G的四個(gè)微滴噴射頭2(包括第一至第四微滴噴射頭21G至24G)、和用于噴射藍(lán)液體材料111B的四個(gè)微滴噴射頭2(包括第一至第四微滴噴射頭21B至24B)設(shè)置在頭單元103上。就此而言，圖8中所示的每條線都表示每個(gè)微滴噴射頭2的噴嘴陣列的位置。
通常難以控制每個(gè)微滴噴射頭2中的噴嘴陣列的兩端附近的噴嘴25的每個(gè)的噴射量，這樣容易發(fā)生所述噴嘴的噴射量誤差。由于此原因，本實(shí)施例的微滴噴射設(shè)備1構(gòu)造為使得不使用每個(gè)微滴噴射頭2中的噴嘴陣列的兩端附近的預(yù)定數(shù)量的噴嘴25(此后，可將這樣的噴嘴25稱為“失能噴嘴25”)(即，液體材料111不通過每個(gè)失能噴嘴25噴射)。因此，可能使每個(gè)噴嘴25中的液體材料111的噴射量均勻，這使得可能使待制造的濾色襯底10中的像素18R、18G、和18B的每個(gè)的顏色均勻。因此，可能防止色差更確定地發(fā)生。就此而言，設(shè)置在圖8中所示的微滴噴射頭2的每個(gè)中的噴嘴陣列的兩端的未使用部分表示其中設(shè)置不使用噴嘴25的區(qū)域。
下面，將對包括用于噴射紅色液體材料111R的第一至四個(gè)微滴噴射頭21R至24R的四個(gè)微滴噴射頭2的位置關(guān)系進(jìn)行描述。
第一微滴噴射頭21R和第二微滴噴射頭22R以連續(xù)的方式排列在平行于每個(gè)噴嘴陣列的第一方向(即，X軸方向)上，且經(jīng)由從垂直于每個(gè)噴嘴陣列(第一方向)的第二方向(即，Y軸方向)看的第一和第二微滴噴射頭21R和22R的兩個(gè)相鄰噴嘴陣列之間的接縫r1排列第一和第二微滴噴射頭21R和22R的兩個(gè)噴嘴陣列，使其噴嘴25是連續(xù)的。在此情形下，第一和第二微滴噴射頭21R和22R的兩個(gè)噴嘴陣列充當(dāng)長噴嘴陣列。換句話說，將在從Y軸方向觀看時(shí)的接縫r1處的噴嘴間距設(shè)定成類似于噴嘴陣列中的噴嘴間距的規(guī)則長度。將由以此位置關(guān)系排列的第一和第二微滴噴射頭21R和22R構(gòu)成的頭陣列稱為頭陣列31R。
就此而言，考慮到第一和第二微滴噴射頭21R和22R的各個(gè)端的不使用部分26，排列第一和第二微滴噴射頭21R和22R，使得第一微滴噴射頭21R中的噴嘴陣列的圖8的右端部和第二微滴噴射頭22R中的噴嘴陣列的圖8的左端部在從Y軸方向觀看時(shí)的噴嘴陣列的接縫r1的附近彼此重疊。
以類似方式，第三微滴噴射頭23R和第四微滴噴射頭24R以連續(xù)的方式排列在平行于每個(gè)噴嘴陣列的第一方向(即，X軸方向)上，且經(jīng)由從第二方向(即，Y軸方向)觀看時(shí)第三和第四微滴噴射頭23R和24R的兩個(gè)相鄰噴嘴陣列之間的接縫r2排列第三和第四微滴噴射頭23R和24R的兩個(gè)噴嘴陣列，使其噴嘴25是連續(xù)的。在此情形下，第三和第四微滴噴射頭23R和24R的兩個(gè)噴嘴陣列充當(dāng)長噴嘴陣列。換句話說，將在從Y軸方向觀看時(shí)的接縫r2處的噴嘴間距設(shè)定成類似于噴嘴陣列中的噴嘴間距的規(guī)則長度。將由以此位置關(guān)系排列的第三和第四微滴噴射頭23R和24R構(gòu)成的頭陣列稱為頭陣列32R。
就此而言，考慮到第三和第四微滴噴射頭23R和24R的各個(gè)端的不使用部分26，排列第三和第四微滴噴射頭23R和24R，使得第三微滴噴射頭23R中的噴嘴陣列的圖8的右端部和第四微滴噴射頭24R中的噴嘴陣列的圖8的左端部在從Y軸方向觀看時(shí)的噴嘴陣列的接縫r2的附近彼此重疊。
通過重疊由上述頭陣列31R形成的長噴嘴陣列和由上述頭陣列32R形成的長噴嘴陣列將這兩個(gè)長噴嘴陣列排列起來，使得在從Y軸方向觀看時(shí)接縫r1和r2在X軸方向上關(guān)于彼此移動(dòng)。使用這種重疊，微滴噴射設(shè)備1可使液體材料以微滴形式通過多個(gè)不同的微滴噴射頭2(在本實(shí)施例中，兩個(gè)微滴噴射頭2)的噴嘴25噴射到一個(gè)像素18R上。
例如，如圖3中所示，在使用圖8中用R1表示的區(qū)域使液體材料111R以微滴形式噴射到像素18R上的情形下，其中在所述區(qū)域中重疊第一和第三微滴噴射頭21R和23R，通過第一微滴噴射頭21R的噴嘴25噴射的微滴91和通過第三噴射頭23R的噴嘴25噴射的微滴92供應(yīng)到這里。
就此而言，在圖3中，盡管當(dāng)從Y軸方向看時(shí)頭陣列31R(這里，第一微滴噴射頭21R)中的噴嘴25的位置和頭陣列32R(這里，第三微滴噴射頭23R)中的噴嘴25的位置在X軸方向上關(guān)于彼此移動(dòng)，但是也可將頭陣列31R和32R排列為使得頭陣列31R和32R彼此對應(yīng)。
盡管圖中(特別是圖3中)未示出，但是在使用圖8中用R2表示的區(qū)域使液體材料111R以微滴形式噴射到像素18R上的情形下，其中在所述區(qū)域中重疊第一和第四微滴噴射頭21R和24R，通過第一微滴噴射頭21R的噴嘴25噴射的微滴和通過第四噴射頭24R的噴嘴25噴射的微滴供應(yīng)到這里。并且，在使用圖8中用R3表示的區(qū)域使液體材料111R以微滴形式噴射到像素18R上的情形下，其中在所述區(qū)域中重疊第二和第四微滴噴射頭22R和24R，通過第二微滴噴射頭22R的噴嘴25噴射的微滴和通過第四噴射頭24R的噴嘴25噴射的微滴供應(yīng)到這里。
也就是說，上面的描述也可根據(jù)下述描述。通過頭單元103關(guān)于平臺(tái)106(即，基板10A)的一次主掃描運(yùn)動(dòng)(即相互運(yùn)動(dòng))從頭單元103的多個(gè)微滴噴射頭2以微滴形式噴射紅液體材料111R至的區(qū)域分成(分隔成)多個(gè)子區(qū)域，這些子區(qū)域設(shè)置在垂直于主掃描方向(相互運(yùn)動(dòng)方向)的方向上，即X軸方向上。換句話說，通過經(jīng)由邊界的噴嘴陣列的接縫r1和r2將所述區(qū)域分成三個(gè)子區(qū)域，包括液體材料111R通過設(shè)置在圖8中用R1表示的區(qū)域中的噴嘴陣列供給至的子區(qū)域(此后，稱之為“R1子區(qū)域”)、液體材料111R通過設(shè)置在圖8中用R2表示的區(qū)域中的噴嘴陣列供給至的子區(qū)域(此后，稱之為“R2子區(qū)域”)、液體材料111R通過設(shè)置在圖8中用R3表示的區(qū)域中的噴嘴陣列供給至的子區(qū)域(此后，稱之為“R3子區(qū)域”)。通過兩個(gè)微滴噴射頭2的不同組合的噴嘴25的液體材料111R供給上述子區(qū)域的每個(gè)中的像素18R上。即，多個(gè)微滴噴射頭2排列在頭單元103上，使得包括R1子區(qū)域、R2子區(qū)域、和R3子區(qū)域的多個(gè)子區(qū)域的每個(gè)的像素18R適于總是從多個(gè)微滴噴射頭2中的兩個(gè)或更多個(gè)微滴噴射頭2的不同組合的噴嘴25接收微滴形式的液體材料111R。
微滴噴射設(shè)備1工作，使得液體材料111R以微滴形式通過多個(gè)不同微滴噴射頭2的噴嘴25噴射到一個(gè)像素18R上。因此，即使在多個(gè)微滴噴射頭2的噴射量存在改變(誤差)的情形下，也可能使用微滴噴射設(shè)備1的頭單元103防止有害的色差在從基板10A制造的濾色襯底10的表面中產(chǎn)生。換句話說，與本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備1相比，在液體材料111R僅通過一個(gè)微滴噴射頭2的噴嘴25供給一個(gè)像素18R上的情形下，微滴噴射頭2的噴射量的改變直接導(dǎo)致供給每個(gè)像素18R上的液體材料111R的量的改變(誤差)，從而色差強(qiáng)烈地出現(xiàn)在濾色襯底10中。另一方面，在本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備1中，由于待供給一個(gè)像素18R上的液體材料111R的量成為在掃描方向上重疊的多個(gè)微滴噴射頭2(在本實(shí)施例中，兩個(gè)微滴噴射頭2)中的噴嘴25的噴射量，所以可能使供給每個(gè)像素18R上的液體材料111R的量均勻，從而可能防止色差發(fā)生。
并且，由于將液體材料111R通過上述兩個(gè)微滴噴射頭2的不同組合的噴嘴25供給包括R1子區(qū)域、R2子區(qū)域、和R3子區(qū)域的三個(gè)子區(qū)域的每個(gè)，所以可能平衡噴射到整個(gè)基板10A的每個(gè)像素18R上的量(或平均值)，而不會(huì)使液體材料111R的噴射量有偏差。因此，可能更確定地防止有害的色差在待制造的濾色襯底10的表面中產(chǎn)生。
此外，用于供應(yīng)液體材料111R到R1子區(qū)域中的像素18R上的兩個(gè)微滴噴射頭2的組合由第一微滴噴射頭21R和第三微滴噴射頭23R組成，而用于供應(yīng)液體材料111R到鄰近R1子區(qū)域的R2子區(qū)域中的像素18R上的兩個(gè)微滴噴射頭2的組合由第一微滴噴射頭21R和第四微滴噴射頭24R組成。兩個(gè)微滴噴射頭2的這些組合使用至少一個(gè)公共微滴噴射頭2，即，第一微滴噴射頭21R。
以類似方式，用于供應(yīng)液體材料111R到R2子區(qū)域中的像素18R上的兩個(gè)微滴噴射頭2的組合由第一微滴噴射頭21R和第四微滴噴射頭24R組成，而用于供應(yīng)液體材料111R到鄰近R2子區(qū)域的R3子區(qū)域中的像素18R上的兩個(gè)微滴噴射頭2的組合由第二微滴噴射頭22R和第四微滴噴射頭24R組成。兩個(gè)微滴噴射頭2的這些組合使用至少一個(gè)公共微滴噴射頭2，即，第四微滴噴射頭24R。
這樣，通過在用于以微滴形式噴射液體材料111R到一個(gè)子區(qū)域中的像素18R上的微滴噴射頭2的組合中和在用于以微滴形式噴射液體材料111R到鄰近所述一個(gè)子區(qū)域的另一子區(qū)域中的像素18R上的微滴噴射頭2的組合中使用至少一個(gè)公共微滴噴射頭2，可能減少相鄰子區(qū)域邊界處的液體材料111R的噴射量的誤差。因此，可能更確定地防止色差(包括稍后描述的條紋)在每個(gè)子區(qū)域的邊界處變得明顯。
并且，在微滴噴射設(shè)備1中，通過由第一和第二微滴噴射頭21R和22R構(gòu)成頭陣列31R，第一和第二微滴噴射頭21R和22R的噴嘴陣列充當(dāng)長噴嘴陣列，同時(shí)通過由第三和第四微滴噴射頭23R和24R構(gòu)成頭陣列32R，第三和第四微滴噴射頭23R和24R的噴嘴陣列充當(dāng)長噴嘴陣列。因此，可能擴(kuò)大液體材料111R通過整個(gè)頭單元103中的噴嘴25噴射到基板10A上的整個(gè)噴射寬度W(即，頭單元103在X軸方向上的長度)。因此，可能減少噴射液體材料111R到整個(gè)基板10A上所需要的頭單元103關(guān)于基板10A的主掃描運(yùn)動(dòng)的數(shù)量。特別地，在基板10A的寬度小于整個(gè)噴射寬度W的情形下，可能通過一次主掃描運(yùn)動(dòng)噴射液體材料111R到整個(gè)基板10A上。
此外，由于微滴噴射設(shè)備1這樣構(gòu)造，使得頭陣列31R中的噴嘴陣列的接縫r1和頭陣列32R中的噴嘴陣列的接縫r2在從Y軸方向看時(shí)關(guān)于彼此移動(dòng)，所以微滴噴射設(shè)備1具有以下優(yōu)點(diǎn)。
與出現(xiàn)在設(shè)置在其它位置處的像素18R中相比，色差更容易出現(xiàn)在液體材料111R通過兩個(gè)相鄰噴嘴陣列的任何接縫附近的噴嘴25供給其上的像素18R中。以高精度控制兩個(gè)相鄰噴嘴陣列附近的噴嘴25的噴射量困難的原因在于，因?yàn)檫@種噴嘴25位于噴嘴陣列的每個(gè)的兩端附近，所以可能得考慮接縫等處的噴嘴間距的誤差。在由于噴嘴陣列的這種接縫造成色差的產(chǎn)生的情形下，其中色差沿微滴噴射頭2的掃描方向(即，沿Y軸方向)延伸的像線一樣的所謂條紋可能出現(xiàn)在待制造的濾色襯底10中。
當(dāng)頭陣列31R中的噴嘴陣列的接縫r1的位置對應(yīng)于頭陣列32R中的噴嘴陣列的接縫r2的位置時(shí)，在濾色襯底10中產(chǎn)生上述條紋的情形下，這兩個(gè)條紋在待制造的濾色襯底10中重疊，從而這些條紋變得明顯。另一方面，由于微滴噴射設(shè)備1這樣構(gòu)造，使得頭陣列31R中的噴嘴陣列的接縫r1和頭陣列32R中的噴嘴陣列的接縫r2在從Y軸方向看時(shí)關(guān)于彼此移動(dòng)，所以這兩個(gè)條紋分散在待制造的濾色襯底10中接縫r1和接縫r2的位置處。因此，可能使得這樣的條紋變得不明顯。
接著，將對包括用于噴射綠液體材料111G的第一至第四微滴噴射頭21G至24G的四個(gè)微滴噴射頭2的位置關(guān)系進(jìn)行描述。包括用于噴射綠液體材料111G的第一至第四微滴噴射頭21G至24G的四個(gè)微滴噴射頭2的位置關(guān)系類似于包括用于噴射紅液體材料111R的第一至第四微滴噴射頭21R至24R的四個(gè)微滴噴射頭2的位置關(guān)系。為此，此后，將簡化對這種位置關(guān)系的描述。
第一微滴噴射頭21G和第二微滴噴射頭22G以連續(xù)方式排列在平行于每個(gè)噴嘴陣列的X軸方向上，并排列第一和第二微滴噴射頭21G和22G的兩個(gè)噴嘴陣列，使得從垂直于每個(gè)噴嘴陣列(即X軸方向)的Y軸方向看時(shí)其噴嘴25經(jīng)由從第一和第二微滴噴射頭21G和22G的兩個(gè)相鄰噴嘴陣列之間的接縫g1是連續(xù)的。在此情形下，第一和第二微滴噴射頭21G和22G的兩個(gè)噴嘴陣列充當(dāng)長噴嘴陣列。將由以此位置關(guān)系排列的第一和第二微滴噴射頭21G和22G構(gòu)成的頭陣列稱為頭陣列31G。
以類似方式，第三微滴噴射頭23G和第四微滴噴射頭24G以連續(xù)的方式排列在平行于每個(gè)噴嘴陣列的X軸方向上，并排列第三和第四微滴噴射頭23G和24G的兩個(gè)噴嘴陣列，使得從垂直于每個(gè)噴嘴陣列(即，X軸方向)的Y軸方向觀看時(shí)其噴嘴25經(jīng)由第三和第四微滴噴射頭23G和24G的兩個(gè)相鄰噴嘴陣列之間的接縫g2是連續(xù)的。在此情形下，第三和第四微滴噴射頭23G和24G的兩個(gè)噴嘴陣列充當(dāng)長噴嘴陣列。將由以此位置關(guān)系排列的第三和第四微滴噴射頭23G和24G構(gòu)成的頭陣列稱為頭陣列32G。
通過重疊由上述頭陣列31G形成的長噴嘴陣列和由上述頭陣列32G形成的長噴嘴陣列將這兩個(gè)長噴嘴陣列排列起來，使得在從Y軸方向觀看時(shí)接縫g1和g2在X軸方向上關(guān)于彼此移動(dòng)。使用這種重疊，微滴噴射設(shè)備1可使液體材料以微滴形式通過多個(gè)不同的微滴噴射頭2(在本實(shí)施例中，兩個(gè)微滴噴射頭2)的噴嘴25噴射到一個(gè)像素18G上。
換句話說，在使用圖8中用G1表示的區(qū)域使液體材料111G以微滴形式噴射到像素18G上的情形下，其中在所述區(qū)域中重疊第一和第三微滴噴射頭21G和23G，通過第一微滴噴射頭21G的噴嘴25噴射的微滴和通過第三噴射頭23G的噴嘴25噴射的微滴供應(yīng)到這里。
并且，在使用圖8中用G2表示的區(qū)域使液體材料111G以微滴形式噴射到像素18G上的情形下，其中在所述區(qū)域中重疊第一和第四微滴噴射頭21G和24G，通過第一微滴噴射頭21G的噴嘴25噴射的微滴和通過第四噴射頭24G的噴嘴25噴射的微滴供應(yīng)到這里。此外，在使用圖8中用G3表示的區(qū)域使液體材料111G以微滴形式噴射到像素18G上的情形下，其中在所述區(qū)域中重疊第二和第四微滴噴射頭22G和24G，通過第二微滴噴射頭22G的噴嘴25噴射的微滴和通過第四噴射頭24G的噴嘴25噴射的微滴供應(yīng)到這里。
也就是說，上面的描述也可描述如下。通過頭單元103關(guān)于平臺(tái)106(即，基板10A)的一次主掃描運(yùn)動(dòng)(即相互運(yùn)動(dòng))從頭單元103的多個(gè)微滴噴射頭2以微滴形式噴射綠液體材料111G至的區(qū)域分成(分隔成)多個(gè)子區(qū)域，這些子區(qū)域設(shè)置在垂直于主掃描方向(相互運(yùn)動(dòng)方向)的方向上，即X軸方向上。換句話說，通過經(jīng)由邊界的噴嘴陣列的接縫g1和g2將所述區(qū)域分成三個(gè)子區(qū)域，包括液體材料111G通過設(shè)置在圖8中用R1表示的區(qū)域中的噴嘴陣列供給至的子區(qū)域(此后，稱之為“G1子區(qū)域”)、液體材料111R通過設(shè)置在圖8中用G2表示的區(qū)域中的噴嘴陣列供給至的子區(qū)域(此后，稱之為“G2子區(qū)域”)、液體材料111R通過設(shè)置在圖8中用G3表示的區(qū)域中的噴嘴陣列供給至的子區(qū)域(此后，稱之為“G3子區(qū)域”)。通過兩個(gè)微滴噴射頭2的不同組合的噴嘴25的液體材料111G供給上述子區(qū)域的每個(gè)中的像素18G上。即，多個(gè)微滴噴射頭2排列在頭單元103上，使得包括G1子區(qū)域、G2子區(qū)域、和G3子區(qū)域的多個(gè)子區(qū)域的每個(gè)的像素(噴射區(qū))18G適于總是從多個(gè)微滴噴射頭2中的兩個(gè)或更多個(gè)微滴噴射頭2的不同組合的噴嘴25接收微滴形式的液體材料111G。
這樣，微滴噴射設(shè)備1工作，使得液體材料111G以微滴形式通過多個(gè)不同微滴噴射頭2的噴嘴25噴射到一個(gè)像素18G上。因此，即使在多個(gè)微滴噴射頭2的噴射量存在改變(誤差)的情形下，也可能使用微滴噴射設(shè)備1的頭單元103防止有害的色差在從基板10A制造的濾色襯底10的表面中產(chǎn)生。換句話說，與本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備1相比，在液體材料111G僅通過一個(gè)微滴噴射頭2的噴嘴25供給一個(gè)像素18G上的情形下，微滴噴射頭2的噴射量的改變直接導(dǎo)致供給每個(gè)像素18G上的液體材料111G的量的改變(誤差)，從而色差強(qiáng)烈地出現(xiàn)在濾色襯底10中。另一方面，在本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備1中，由于待供給一個(gè)像素18G上的液體材料111G的量成為在掃描方向上重疊的多個(gè)微滴噴射頭2(在本實(shí)施例中，兩個(gè)微滴噴射頭2)中的噴嘴25的噴射量，所以可能使供給每個(gè)像素18G上的液體材料111G的量均勻，從而可能防止色差發(fā)生。
并且，由于將液體材料111G通過上述兩個(gè)微滴噴射頭2的不同組合的噴嘴25供給包括G1子區(qū)域、G2子區(qū)域、和G3子區(qū)域的三個(gè)子區(qū)域的每個(gè)，所以可能平衡(或平均)噴射到整個(gè)基板10A的每個(gè)像素18G上的量(或平均值)，而不會(huì)使液體材料111G的噴射量有偏差。因此，可能更確定地防止有害的色差在待制造的濾色襯底10的表面中產(chǎn)生。
此外，用于供應(yīng)液體材料111G到G1子區(qū)域中的像素18G上的兩個(gè)微滴噴射頭2的組合由第一微滴噴射頭21G和第三微滴噴射頭23G組成，而用于供應(yīng)液體材料111G到鄰近G1子區(qū)域的G2子區(qū)域中的像素18R上的兩個(gè)微滴噴射頭2的組合由第一微滴噴射頭21G和第四微滴噴射頭24G組成。兩個(gè)微滴噴射頭2的這些組合使用至少一個(gè)公共微滴噴射頭2，即，第一微滴噴射頭21G。
以類似方式，用于供應(yīng)液體材料111G到G2子區(qū)域中的像素18G上的兩個(gè)微滴噴射頭2的組合由第一微滴噴射頭21G和第四微滴噴射頭24G組成，而用于供應(yīng)液體材料111G到鄰近G2子區(qū)域的G3子區(qū)域中的像素18G上的兩個(gè)微滴噴射頭2的組合由第二微滴噴射頭22G和第四微滴噴射頭24G組成。兩個(gè)微滴噴射頭2的這些組合使用至少一個(gè)公共微滴噴射頭2，即，第四微滴噴射頭24G。
這樣，通過在用于以微滴形式噴射液體材料111R到一個(gè)子區(qū)域中的像素18G上的微滴噴射頭2的組合中和在用于以微滴形式噴射液體材料111G到鄰近所述一個(gè)子區(qū)域的另一子區(qū)域中的像素18G上的微滴噴射頭2的組合中使用至少一個(gè)公共微滴噴射頭2，可能減少相鄰子區(qū)域邊界處的液體材料111G的噴射量的誤差。因此，可能更確定地防止色差(包括稍后描述的條紋)在基板10A上的每個(gè)子區(qū)域的邊界處變得明顯。
并且，在微滴噴射設(shè)備1中，通過由第一和第二微滴噴射頭21G和22G構(gòu)成頭陣列31G，第一和第二微滴噴射頭21G和22G的噴嘴陣列充當(dāng)長噴嘴陣列，同時(shí)通過由第三和第四微滴噴射頭23G和24G構(gòu)成頭陣列32G，第三和第四微滴噴射頭23G和24G的噴嘴陣列充當(dāng)長噴嘴陣列。因此，可能擴(kuò)大液體材料111G通過整個(gè)頭單元103中的噴嘴25噴射到基板10A上的整個(gè)噴射寬度W(即，頭單元103在X軸方向上的長度)。因此，可能減少噴射液體材料111G到整個(gè)基板10A上所需要的頭單元103關(guān)于基板10A的主掃描運(yùn)動(dòng)的數(shù)量。特別地，在基板10A的寬度小于整個(gè)噴射寬度W的情形下，可能通過一次主掃描運(yùn)動(dòng)噴射液體材料111G到整個(gè)基板10A上。
此外，由于微滴噴射設(shè)備1這樣構(gòu)造，使得頭陣列31G中的噴嘴陣列的接縫g1和頭陣列32G中的噴嘴陣列的接縫g2在從Y軸方向看時(shí)關(guān)于彼此移動(dòng)，所以微滴噴射設(shè)備1具有以下優(yōu)點(diǎn)。
與出現(xiàn)在設(shè)置在其它位置處的像素18G中相比，色差更容易出現(xiàn)在液體材料111G通過兩個(gè)相鄰噴嘴陣列的任何接縫附近的噴嘴25供給其上的像素18G中。以高精度控制兩個(gè)相鄰噴嘴陣列附近的噴嘴25的噴射量困難的原因在于，因?yàn)檫@種噴嘴25位于噴嘴陣列的每個(gè)的兩端附近，所以可能得考慮接縫等處的噴嘴間距的誤差。在由于噴嘴陣列的這種接縫造成色差的產(chǎn)生的情形下，其中色差沿微滴噴射頭2的掃描方向(即，沿Y軸方向)延伸的像線一樣的所謂條紋可能出現(xiàn)在待制造的濾色襯底10中。
當(dāng)頭陣列31G中的噴嘴陣列的接縫G1的位置對應(yīng)于頭陣列32G中的噴嘴陣列的接縫g2的位置時(shí)，在濾色襯底10中產(chǎn)生上述條紋的情形下，這兩個(gè)條紋在待制造的濾色襯底10中重疊，從而這些條紋變得明顯。另一方面，由于微滴噴射設(shè)備1這樣構(gòu)造，使得頭陣列31G中的噴嘴陣列的接縫G1和頭陣列32G中的噴嘴陣列的接縫g2在從Y軸方向看時(shí)關(guān)于彼此移動(dòng)，所以這兩個(gè)條紋分散在待制造的濾色襯底10中接縫g1和接縫g2的位置處。因此，可能使得這樣的條紋變得不明顯。
接著，將對包括用于噴射藍(lán)液體材料111B的第一至第四微滴噴射頭21B至24B的四個(gè)微滴噴射頭2的位置關(guān)系進(jìn)行描述。包括用于噴射綠液體材料111B的第一至第四微滴噴射頭21B至24B的四個(gè)微滴噴射頭2的位置關(guān)系類似于包括用于噴射紅液體材料111R的第一至第四微滴噴射頭21R至24R的四個(gè)微滴噴射頭2的位置關(guān)系。為此，此后，將簡化對這種位置關(guān)系的描述。
第一微滴噴射頭21B和第二微滴噴射頭22B以連續(xù)方式排列在平行于每個(gè)噴嘴陣列的X軸方向上，且經(jīng)由從垂直于每個(gè)噴嘴陣列(即X方向)的Y軸方向看的第一和第二微滴噴射頭21B和22B的兩個(gè)相鄰噴嘴陣列之間的接縫b1排列第一和第二微滴噴射頭21B和22B的兩個(gè)噴嘴陣列，使其噴嘴25是連續(xù)的。在此情形下，第一和第二微滴噴射頭21B和22B的兩個(gè)噴嘴陣列充當(dāng)長噴嘴陣列。將由以此位置關(guān)系排列的第一和第二微滴噴射頭21B和22B構(gòu)成的頭陣列稱為頭陣列31B。
以類似方式，第三微滴噴射頭23B和第四微滴噴射頭24B以連續(xù)的方式排列在平行于每個(gè)噴嘴陣列的X軸方向上，且經(jīng)由從垂直于每個(gè)噴嘴陣列(即，X軸方向)的Y軸方向觀看時(shí)第三和第四微滴噴射頭23B和24B的兩個(gè)相鄰噴嘴陣列之間的接縫b2排列第三和第四微滴噴射頭23B和24B的兩個(gè)噴嘴陣列，使其噴嘴25是連續(xù)的。在此情形下，第三和第四微滴噴射頭23B和24B的兩個(gè)噴嘴陣列充當(dāng)長噴嘴陣列。將由以此位置關(guān)系排列的第三和第四微滴噴射頭23B和24B構(gòu)成的頭陣列稱為頭陣列32B。
通過重疊由上述頭陣列31B形成的長噴嘴陣列和由上述頭陣列32B形成的長噴嘴陣列將這兩個(gè)長噴嘴陣列排列起來，使得在從Y軸方向觀看時(shí)接縫b1和b2在X軸方向上關(guān)于彼此移動(dòng)。使用這種重疊，微滴噴射設(shè)備1可使液體材料以微滴形式通過多個(gè)不同的微滴噴射頭2(在本實(shí)施例中，兩個(gè)微滴噴射頭2)的噴嘴25噴射到一個(gè)像素18B上。
換句話說，在使用圖8中用G1表示的區(qū)域使液體材料111B以微滴形式噴射到像素18B上的情形下，其中在所述區(qū)域中重疊第一和第三微滴噴射頭21B和23B，通過第一微滴噴射頭21B的噴嘴25噴射的微滴和通過第三噴射頭23B的噴嘴25噴射的微滴供應(yīng)到這里。
并且，在使用圖8中用B2表示的區(qū)域使液體材料111B以微滴形式噴射到像素18B上的情形下，其中在所述區(qū)域中重疊第一和第四微滴噴射頭21B和24B，通過第一微滴噴射頭21B的噴嘴25噴射的微滴和通過第四噴射頭24B的噴嘴25噴射的微滴供應(yīng)到這里。此外，在使用圖8中用B3表示的區(qū)域使液體材料111B以微滴形式噴射到像素18B上的情形下，其中在所述區(qū)域中重疊第二和第四微滴噴射頭22B和24B，通過第二微滴噴射頭22B的噴嘴25噴射的微滴和通過第四噴射頭24B的噴嘴25噴射的微滴供應(yīng)到這里。
也就是說，上面的描述也可描述如下。通過頭單元103關(guān)于平臺(tái)106(即，基板10A)的一次主掃描運(yùn)動(dòng)(即相互運(yùn)動(dòng))從頭單元103的多個(gè)微滴噴射頭2以微滴形式噴射綠藍(lán)液體材料111B至的區(qū)域分成(分隔成)多個(gè)子區(qū)域，這些子區(qū)域設(shè)置在垂直于主掃描方向(相互運(yùn)動(dòng)方向)的方向上，即X軸方向上。換句話說，通過經(jīng)由邊界的噴嘴陣列的接縫b1和b2將所述區(qū)域分成三個(gè)子區(qū)域，包括液體材料111B通過設(shè)置在圖8中用B1表示的區(qū)域中的噴嘴陣列供給至的子區(qū)域(此后，稱之為“B1子區(qū)域”)、液體材料111B通過設(shè)置在圖8中用B2表示的區(qū)域中的噴嘴陣列供給至的子區(qū)域(此后，稱之為“B2子區(qū)域”)、液體材料111B通過設(shè)置在圖8中用B3表示的區(qū)域中的噴嘴陣列供給至的子區(qū)域(此后，稱之為“B3子區(qū)域”)。通過兩個(gè)微滴噴射頭2的不同組合的噴嘴25的液體材料111B供給上述子區(qū)域的每個(gè)中的像素18B上。即，多個(gè)微滴噴射頭2排列在頭單元103上，使得包括B1子區(qū)域、B2子區(qū)域、和B3子區(qū)域的多個(gè)子區(qū)域的每個(gè)的像素(噴射區(qū))18B適于總是從多個(gè)微滴噴射頭2中的兩個(gè)或更多個(gè)微滴噴射頭2的不同組合的噴嘴25接收微滴形式的液體材料111B。
這樣，微滴噴射設(shè)備1工作，使得液體材料111B以微滴形式通過多個(gè)不同微滴噴射頭2的噴嘴25噴射到一個(gè)像素18B上。因此，即使在多個(gè)微滴噴射頭2的噴射量存在改變(誤差)的情形下，也可能使用微滴噴射設(shè)備1的頭單元103防止有害的色差在從基板10A制造的濾色襯底10的表面中產(chǎn)生。換句話說，與本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備1相比，在液體材料111B僅通過一個(gè)微滴噴射頭2的噴嘴25供給一個(gè)像素18B上的情形下，微滴噴射頭2的噴射量的改變直接導(dǎo)致供給每個(gè)像素18B上的液體材料111B的量的改變(誤差)，從而色差強(qiáng)烈地出現(xiàn)在濾色襯底10中。另一方面，在本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備1中，由于待供給一個(gè)像素18B上的液體材料111B的量成為在掃描方向上重疊的多個(gè)微滴噴射頭2(在本實(shí)施例中，兩個(gè)微滴噴射頭2)中的噴嘴25的噴射量，所以可能使供給每個(gè)像素18B上的液體材料111B的量均勻，從而可能防止色差發(fā)生。
并且，由于將液體材料111B通過上述兩個(gè)微滴噴射頭2的不同組合的噴嘴25供給包括B1子區(qū)域、B2子區(qū)域、和B3子區(qū)域的三個(gè)子區(qū)域的每個(gè)，所以可能平衡(或平均)噴射到整個(gè)基板10A的每個(gè)像素18B上的量(或平均值)，而不會(huì)使液體材料111B的噴射量有偏差。因此，可能更確定地防止有害的色差在待制造的濾色襯底10的表面中產(chǎn)生。
此外，用于供應(yīng)液體材料111B到B1子區(qū)域中的像素18B上的兩個(gè)微滴噴射頭2的組合由第一微滴噴射頭21B和第三微滴噴射頭23B組成，而用于供應(yīng)液體材料111B到鄰近B1子區(qū)域的B2子區(qū)域中的像素18B上的兩個(gè)微滴噴射頭2的組合由第一微滴噴射頭21B和第四微滴噴射頭24B組成。兩個(gè)微滴噴射頭2的這些組合使用至少一個(gè)公共微滴噴射頭2，即，第一微滴噴射頭21B。
以類似方式，用于供應(yīng)液體材料111B到B2子區(qū)域中的像素18B上的兩個(gè)微滴噴射頭2的組合由第一微滴噴射頭21B和第四微滴噴射頭24B組成，而用于供應(yīng)液體材料111B到鄰近B2子區(qū)域的B3子區(qū)域中的像素18B上的兩個(gè)微滴噴射頭2的組合由第二微滴噴射頭22B和第四微滴噴射頭24B組成。兩個(gè)微滴噴射頭2的這些組合使用至少一個(gè)公共微滴噴射頭2，即，第四微滴噴射頭24B。
這樣，通過在用于以微滴形式噴射液體材料111R到一個(gè)子區(qū)域中的像素18B上的微滴噴射頭2的組合中和在用于以微滴形式噴射液體材料111B到鄰近所述一個(gè)子區(qū)域的另一子區(qū)域中的像素18B上的微滴噴射頭2的組合中使用至少一個(gè)公共微滴噴射頭2，可能減少相鄰子區(qū)域邊界處的液體材料111B的噴射量的誤差。因此，可能更確定地防止色差(包括稍后描述的條紋)在基板10A上的每個(gè)子區(qū)域的邊界處變得明顯。
并且，在微滴噴射設(shè)備1中，通過由第一和第二微滴噴射頭21B和22B構(gòu)成頭陣列31B，第一和第二微滴噴射頭21B和22B的噴嘴陣列充當(dāng)長噴嘴陣列，同時(shí)通過由第三和第四微滴噴射頭23B和24B構(gòu)成頭陣列32B，第三和第四微滴噴射頭23B和24B的噴嘴陣列充當(dāng)長噴嘴陣列。因此，可能擴(kuò)大液體材料111B通過整個(gè)頭單元103中的噴嘴25噴射到基板10A上的整個(gè)噴射寬度W(即，頭單元103在X軸方向上的長度)。因此，可能減少噴射液體材料111B到整個(gè)基板10A上所需要的頭單元103關(guān)于基板10A的主掃描運(yùn)動(dòng)的數(shù)量。特別地，在基板10A的寬度小于整個(gè)噴射寬度W的情形下，可能通過一次主掃描運(yùn)動(dòng)噴射液體材料111B到整個(gè)基板10A上。
此外，由于微滴噴射設(shè)備1這樣構(gòu)造，使得頭陣列31B中的噴嘴陣列的接縫b1和頭陣列32B中的噴嘴陣列的接縫b2在從Y軸方向看時(shí)關(guān)于彼此移動(dòng)，所以微滴噴射設(shè)備1具有以下優(yōu)點(diǎn)。
與出現(xiàn)在設(shè)置在其它位置處的像素18B中相比，色差更容易出現(xiàn)在液體材料111B通過兩個(gè)相鄰噴嘴陣列的任何接縫附近的噴嘴25供給其上的像素18B中。以高精度控制兩個(gè)相鄰噴嘴陣列附近的噴嘴25的噴射量困難的原因在于，因?yàn)檫@種噴嘴25位于噴嘴陣列的每個(gè)的兩端附近，所以可能得考慮接縫等處的噴嘴間距的誤差。在由于噴嘴陣列的這種接縫造成色差的產(chǎn)生的情形下，其中色差沿微滴噴射頭2的掃描方向(即，沿Y軸方向)延伸的像線一樣的所謂條紋可能出現(xiàn)在待制造的濾色襯底10中。
當(dāng)頭陣列31G中的噴嘴陣列的接縫b1的位置對應(yīng)于頭陣列32B中的噴嘴陣列的接縫b2的位置時(shí)，在濾色襯底10中產(chǎn)生上述條紋的情形下，這兩個(gè)條紋在待制造的濾色襯底10中重疊，從而這些條紋變得明顯。另一方面，由于微滴噴射設(shè)備1這樣構(gòu)造，使得頭陣列31B中的噴嘴陣列的接縫b1和頭陣列32B中的噴嘴陣列的接縫b2在從Y軸方向看時(shí)關(guān)于彼此移動(dòng)，所以這兩個(gè)條紋分散在待制造的濾色襯底10中接縫b1和接縫b2的位置處。因此，可能使得這樣的條紋變得不明顯。
在這種頭單元103中，排列分別由用于噴射紅液體材料111R的頭陣列31R和32R形成的兩個(gè)長噴嘴陣列、分別由用于噴射綠液體材料111G的頭陣列31G和32G形成的兩個(gè)長噴嘴陣列、和分別由用于噴射藍(lán)液體材料111B的頭陣列31B和32B形成的兩個(gè)長噴嘴陣列，以便使在從Y軸方向觀看時(shí)它們關(guān)于彼此重疊。這使得可能通過執(zhí)行頭單元103關(guān)于基板10A的掃描運(yùn)動(dòng)，分別供應(yīng)紅、綠、和藍(lán)液體材料111R、111G、和111B到整個(gè)噴射寬度W上的像素18R、18G、和18B上一次。
并且，在微滴噴射設(shè)備1中，排列用于噴射紅液體材料111R頭陣列31R和32R中的噴嘴陣列的接縫r1和r2、用于噴射綠液體材料111G的頭陣列31G和32G中的噴嘴陣列的接縫g1和g2、以及用于噴射藍(lán)液體材料111B的頭陣列31B和32B中的噴嘴陣列的接縫b1和b2，以便使在從Y軸方向觀看時(shí)它們關(guān)于彼此移動(dòng)。
換句話說，微滴噴射設(shè)備1的頭單元103這樣構(gòu)造，使得R1子區(qū)域、R2子區(qū)域、和R3子區(qū)域與基板10A上的紅像素18R的邊界的位置、G1子區(qū)域、G2子區(qū)域、和G3子區(qū)域與基板10A上的綠像素18G的邊界的位置、和B1子區(qū)域、B2子區(qū)域、和B3子區(qū)域與基板10A上的藍(lán)像素18B的邊界的位置不會(huì)彼此對應(yīng)。
這樣，在待制造的濾色襯底10中，可能在任何紅像素18R上產(chǎn)生的條紋、可能在任何綠像素18G上產(chǎn)生的條紋、和可能在任何藍(lán)像素18B上產(chǎn)生的條紋可關(guān)于彼此分散。因此，可能更確定地防止這種條紋變得明顯。特別地，在本實(shí)施例中，由于在從Y方向看時(shí)，噴嘴陣列的接縫r2、g2、b2、r1、g1、和b1以均勻間距設(shè)置，所以在條紋稍微變得明顯的情形下可能使條紋有規(guī)則地均勻散開。因此，可能使得這些條件變得不明顯。
圖9是平面圖，示意性地示出本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備1中的頭單元103’的構(gòu)造的另一實(shí)例。四個(gè)微滴噴射頭51、52、53、和54設(shè)置在圖9中所示的頭單元103’中。微滴噴射頭51、52、53和54的每個(gè)都包括多個(gè)噴嘴陣列(在本發(fā)明中，12個(gè)噴嘴陣列)，這些噴嘴陣列并排設(shè)置在Y軸方向上，使得在從Y軸方向看時(shí)多個(gè)微滴噴射頭51、52、53、和54的每個(gè)中的12個(gè)噴嘴陣列的兩端對準(zhǔn)。這樣，將四個(gè)微滴噴射頭51、52、53、和54設(shè)置在頭單元103’中。微滴噴射頭51、52、53、和54的每個(gè)都與類似于上述頭單元103的方式(見圖8)設(shè)置。就此而言，為了簡潔起見，微滴噴射頭51、52、53、和54的每個(gè)在圖9中用單個(gè)矩形表示。
微滴噴射頭51和微滴噴射頭52以連續(xù)方式排列在平行于每個(gè)噴嘴陣列的X軸方向上，且經(jīng)由從垂直于每個(gè)噴嘴陣列的Y軸方向看的這兩個(gè)相鄰的微滴噴射頭51和52之間的接縫j1排列微滴噴射頭51和52的24個(gè)噴嘴陣列，使其噴嘴25是連續(xù)的。在此情形下，這兩個(gè)微滴噴射頭51和52充當(dāng)頭組陣列61。
以類似方式，微滴噴射頭53和微滴噴射頭54以連續(xù)方式排列在平行于每個(gè)噴嘴陣列的X軸方向上，且經(jīng)由從垂直于每個(gè)噴嘴陣列的Y軸方向看的這兩個(gè)相鄰的微滴噴射頭51和52之間的接縫j2排列微滴噴射頭53和54的24個(gè)噴嘴陣列，使其噴嘴25是連續(xù)的。在此情形下，這兩個(gè)微滴噴射頭53和54充當(dāng)頭組陣列62。通過使頭組陣列61和頭組陣列62重疊排列這兩個(gè)頭組陣列，使得在從Y軸方向觀看時(shí)接縫j1和接縫j2關(guān)于彼此移動(dòng)。
在設(shè)置有這種頭單元103’的微滴噴射設(shè)備1中，將從這兩個(gè)微滴噴射頭(換句話說，兩個(gè)微滴噴射頭51和53、51和54、或53或54)供給像素18R、18G、或18B的每個(gè)上。這使得可能使供給基板10A的任何位置的像素18R、18G、或18B的每個(gè)上的液體材料111的量進(jìn)一步均勻。因此，可能更確定地防止色差在待制造的濾色襯底10的表面中產(chǎn)生。
并且，由于微滴噴射頭51的噴射寬度W1和微滴噴射頭52的噴射寬度W2起被連接的作用，微滴噴射頭53的噴射寬度W3和微滴噴射頭54的噴射寬度W4起被連接的作用，所以可能擴(kuò)大液體材料111通過整個(gè)頭單元103’中的噴嘴25噴射到基板10A上的頭單元103’在X軸方向上的長度。
此外，由于本實(shí)施例的微滴噴射設(shè)備1這樣構(gòu)造，使得在從Y軸方向看時(shí)頭組陣列61中的噴嘴陣列的接縫j1和頭組陣列61中的噴嘴陣列的接縫j2關(guān)于彼此移動(dòng)，所以由于接縫j1產(chǎn)生的條紋和由于接縫j2產(chǎn)生的條紋可分散在待制造的濾色襯底10中的分離的點(diǎn)處。因此，可能更確定地防止條紋變得明顯。
上面已經(jīng)描述的本發(fā)明不僅可應(yīng)用于制造濾色襯底10的情形，而且可應(yīng)用于制造例如電致發(fā)光顯示器等其它類型的圖像顯示設(shè)備的情形。
圖10是示意性截面圖，示出制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器30的方法。此后，將對使用本發(fā)明制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器30的方法的情形進(jìn)行說明；然而，主要描述制造上述濾色襯底10的情形和制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器30的情形，且省略對類似說明的描述。
圖10中所示的基板30A是用于制造有機(jī)電致發(fā)光顯示器30的襯底?；?0A具有以矩陣形式排列在其面的多個(gè)像素(即，多個(gè)噴射區(qū))38R、38G、和38B。
更具體地，基板30A包括支撐襯底32、在支撐襯底32上形成的電路元件層34、在電路元件層34上形成的多個(gè)像素電極36、和多個(gè)在多個(gè)像素電極36的相鄰兩個(gè)之間形成的圍堰40。支撐襯底32對可見光(光波長)具有透光性，例如玻璃襯底等。多個(gè)像素電極36的每個(gè)也對可見光(光波長)具有透光性，例如ITO(銦錫氧化物)電極等。并且，多個(gè)像素電極36以矩陣形式排列在電路元件層34上，且每個(gè)像素電極36限定一個(gè)像素。每個(gè)圍堰40都具有晶格結(jié)構(gòu)，且多個(gè)像素電極36的每個(gè)都由預(yù)定圍堰40圍繞。此外，圍堰40由形成在電路元件層34上的無機(jī)圍堰40A和位于無機(jī)圍堰40A上的有機(jī)圍堰40B組成。
電路元件層34是具有下述的層多個(gè)掃描電極，分別向著支撐襯底32上的預(yù)定方向延伸；絕緣膜42，形成為覆蓋多個(gè)掃描電極；多個(gè)信號(hào)電極，設(shè)置在絕緣膜42上，且分別向著垂直于多個(gè)掃描電極的每個(gè)都向著其延伸的預(yù)定方向的方向延伸；多個(gè)開關(guān)元件44，分貝設(shè)置在掃描電極和信號(hào)電極之間的交點(diǎn)附近；以及多個(gè)間層絕緣膜45，形成為覆蓋多個(gè)開關(guān)電極44，例如聚酰亞胺等。每個(gè)開關(guān)電極44的門電極44G和源電極44S分別電連接至相應(yīng)的掃描電極和相應(yīng)的信號(hào)電極。多個(gè)像素電極36位于間層絕緣膜45上。多個(gè)通孔44V設(shè)置在相應(yīng)于開關(guān)電極44的漏電極44D的部分，且開關(guān)元件44分別經(jīng)由通孔44V電連接至相應(yīng)的像素電極36。并且，開關(guān)電極44分別設(shè)置在相應(yīng)于圍堰44的位置。換句話說，當(dāng)從圖10中的上側(cè)觀看時(shí)，多個(gè)開關(guān)元件44的每個(gè)都設(shè)置為覆蓋有相應(yīng)圍堰40。
每個(gè)都由像素電極36和相應(yīng)圍堰40限定的凹部分別相應(yīng)于像素38R、38G、和38B。像素38R是待形成發(fā)光層211FR的區(qū)域，其中波長在紅波長范圍內(nèi)的光通過所述發(fā)光層211FR發(fā)射。像素38G是待形成發(fā)光層211FG的區(qū)域，其中波長在綠波長范圍內(nèi)的光通過所述發(fā)光層211FG發(fā)射。像素38B是待形成發(fā)光層211FB的區(qū)域，其中波長在藍(lán)波長范圍內(nèi)的光通過所述發(fā)光層211FB發(fā)射。
可能使用已知的成膜技術(shù)和圖樣化技術(shù)制造這樣的基板30A。
首先，在大氣壓力下利用氧等離子體工藝使得基板30A變成親液的。每個(gè)都由像素電極36和圍堰40限定的像素38R、38G、和38B中的像素電極36的表面、無機(jī)圍堰40A的表面、和有機(jī)圍堰40B的表面通過此工藝往往呈現(xiàn)親液性。并且，接著對基板30A執(zhí)行將CF4用作處理氣體的等離子體工藝。通過使用CF4的等離子體工藝，使每個(gè)凹部中的有機(jī)圍堰40B的表面氟化，且有機(jī)圍堰40B的表面通過此工藝往往呈現(xiàn)非親液性。就此而言，通過使用CF4的等離子體工藝，先前已經(jīng)呈現(xiàn)親液性的像素電極36的表面和無機(jī)圍堰40A的表面稍微損失親液性。然而，即使這樣，這些表面也能保持親液性。
就此而言，根據(jù)像素電極36的材料、無機(jī)圍堰40A的材料、和有機(jī)圍堰40B的材料，無需進(jìn)行上述表面處理，每個(gè)凹部的表面都可呈現(xiàn)理想的親液性和非親液性。在此情形下，該表面不必經(jīng)受上述表面處理。
并且，相應(yīng)的孔傳輸層37R、37G、和37B可在這樣經(jīng)受表面處理的多個(gè)像素電極36的每個(gè)上形成。在孔傳輸層37R、37G、和37B分別位于像素電極36和發(fā)光層211FR、211FG、和211FB之間的情形下，可能提高電致發(fā)光顯示器的發(fā)光效率。
如圖10(a)至10(c)中所示，分別將液體材料211R、211G、和211B供給基板30A上，其中類似于上述濾色襯底10的情形，使用本發(fā)明的微滴噴射設(shè)備1在所述基板30A上形成像素38R、38G、和38B。在此情形下，液體材料211R包括紅色有機(jī)發(fā)光材料，液體材料211G包括綠色有機(jī)發(fā)光材料，且液體材料211B包括藍(lán)色有機(jī)發(fā)光材料。
接著將基板30A傳送到烘干設(shè)備中。通過烘干供給像素38R、38G、和38B的每個(gè)上的液體材料211R、211G、和211B，在像素38R、38G、和38B的每個(gè)上獲得發(fā)光層211FR、211FG、和211FB。
接著，反電極46形成為覆蓋發(fā)光層211FR、211FG、和211FB、以及圍堰40。每個(gè)反電極46都充當(dāng)負(fù)極。
隨后，通過使密封襯底48以其周緣部分結(jié)合到基板30A，獲得圖10(d)中所示的有機(jī)電致發(fā)光顯示器30。
在有機(jī)電致發(fā)光顯示器30中，從發(fā)光層211FR、211FG、和211FB發(fā)射的光通過像素電極36、電路元件層34、和支撐襯底32發(fā)射到外部。將其中光以此方式通過電路元件層34發(fā)射的有機(jī)電致發(fā)光顯示器稱為底部發(fā)射型顯示器。
盡管已經(jīng)基于圖中所示的優(yōu)選實(shí)施例描述了本發(fā)明應(yīng)用于制造液晶顯示器(濾色襯底)和有機(jī)電致發(fā)光顯示器的情形，但是應(yīng)指出，本發(fā)明不限于上述實(shí)施例。例如，可能將本發(fā)明應(yīng)用于制造等離子體顯示器、或設(shè)置有電子發(fā)射元件的圖像顯示器(也稱之為SED(表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射顯示器))、或FED(場致發(fā)射顯示器)的背襯底的方法。
<電子裝置的實(shí)施例>
可將使用上述方法制造的例如液晶顯示器等設(shè)置有濾色襯底10的圖像顯示設(shè)備1000、和使用上述方法制造的有機(jī)電致發(fā)光顯示器(即，本發(fā)明的電子設(shè)備)用作各種類型的電子設(shè)備的每個(gè)的顯示部。
圖11是透視圖，示出本發(fā)明的電子設(shè)備應(yīng)用于的移動(dòng)(或膝上型)個(gè)人計(jì)算機(jī)1100的結(jié)構(gòu)。參看圖11，個(gè)人計(jì)算機(jī)1100設(shè)置有具有鍵盤1102的本體1104、和顯示單元1106。顯示單元1106經(jīng)由鉸鏈部可旋轉(zhuǎn)地支撐在本體1104上。在此個(gè)人計(jì)算機(jī)1100中，顯示單元1106設(shè)置有上述圖像顯示設(shè)備1000。
圖12是透視圖，示出本發(fā)明的電子設(shè)備應(yīng)用于的便攜式電話(包括個(gè)人手提電話系統(tǒng))1200的結(jié)構(gòu)。參看圖12，便攜式電話1200設(shè)置有多個(gè)按鈕1202、耳機(jī)1204、話筒1206、和顯示部。所述顯示部由上述圖像顯示設(shè)備1000構(gòu)成。
圖13是透視圖，示出本發(fā)明的電子設(shè)備應(yīng)用于的數(shù)碼相機(jī)1300的結(jié)構(gòu)。在此圖中，示意性地示出數(shù)碼相機(jī)與其外部設(shè)備的連接。標(biāo)準(zhǔn)的相機(jī)根據(jù)對象的光學(xué)圖像曝光銀鹽膠片，而數(shù)碼相機(jī)1300通過利用電荷耦合器件(CCD)將對象的光學(xué)圖像光電轉(zhuǎn)換成成像信號(hào)。
上述圖像顯示設(shè)備1000在數(shù)碼相機(jī)1300的殼體(本體)1302背面上設(shè)置有顯示部。圖像顯示設(shè)備1000響應(yīng)于由CCD輸出的成像信號(hào)顯示圖像，且充當(dāng)用于顯示作為電子圖像的對象的取景器。電路板1308放在殼體1302內(nèi)部。能儲(chǔ)存這種成像信號(hào)的存儲(chǔ)器放在電路板1308上。
并且，包括光學(xué)透鏡(成像光學(xué)系統(tǒng))、CCD和類似物等的光接收單元1304設(shè)置在殼體1302的前表面?zhèn)戎?。?dāng)攝影師確定顯示在顯示部(即，圖像顯示設(shè)備1000)上的對象的圖像并按下快門按鈕1306時(shí)，此時(shí)的CCD的成像信號(hào)被傳送給電路板1308的存儲(chǔ)器，并儲(chǔ)存在此存儲(chǔ)器中。
并且，視頻信號(hào)輸出終端1312和用于數(shù)據(jù)通信的輸入/輸出終端1314設(shè)置在數(shù)碼相機(jī)1300中的殼體1302的側(cè)表面上。如圖13中所示，如果需要，電視監(jiān)控器1430和個(gè)人計(jì)算機(jī)1440可分別連接至視頻信號(hào)輸出終端1312和用于數(shù)據(jù)通信的輸入/輸出終端1314。此外，儲(chǔ)存在電路板1308的存儲(chǔ)器中的成像信號(hào)通過預(yù)定操作輸出到電視監(jiān)控器1430或個(gè)人計(jì)算機(jī)1440。
就此而言，除了圖19中所示的個(gè)人計(jì)算機(jī)(移動(dòng)個(gè)人計(jì)算機(jī))1100、圖20中所示的便攜式電話1200、和圖21中所示的數(shù)碼相機(jī)1300外，本發(fā)明的電子設(shè)備可適于用在例如電視、攝像機(jī)、取錄器型或監(jiān)控器直接觀看型磁帶錄像機(jī)、膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)、車用導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本、袖珍計(jì)算器、電子游戲裝置、字處理機(jī)、工作站、電視電話、用于防止犯罪的電視監(jiān)控器、電子雙目鏡、POS(銷售點(diǎn))終端、帶有觸摸屏的設(shè)備(例如，金融機(jī)構(gòu)中的自動(dòng)柜員機(jī)、自動(dòng)售票機(jī))、醫(yī)學(xué)設(shè)備(例如，電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖計(jì)、心電圖顯示器、超聲診斷裝置、用于內(nèi)診鏡的顯示器)、魚探儀、各種測量裝置、量規(guī)(例如，用于車輛、飛機(jī)、輪船等的量規(guī))、飛行模擬器、任何其它類型的監(jiān)控器、例如投影機(jī)等投射型顯示器。
盡管已經(jīng)根據(jù)附圖中示出的實(shí)施例描述了根據(jù)本發(fā)明的圖像顯示設(shè)備和電子設(shè)備，但是應(yīng)指出，本發(fā)明不限于這些實(shí)施例。根據(jù)本發(fā)明的頭單元、微滴噴射設(shè)備、和電子設(shè)備的各個(gè)部分可用能以相同方式工作的任意布置替換。并且，可將任何其它的部件添加到根據(jù)本發(fā)明的頭單元、微滴噴射設(shè)備、和電子設(shè)備中。
權(quán)利要求
1.一種用于將一種或多種預(yù)定顏色的液體材料以微滴形式供給基板上的微滴噴射設(shè)備，所述設(shè)備包括頭單元，設(shè)置有多個(gè)微滴噴射頭，用于噴射一種或多種液體材料到基板上，每個(gè)微滴噴射頭都包括至少一個(gè)由多個(gè)線性排列的噴嘴構(gòu)成的噴嘴陣列，多個(gè)微滴噴射頭的噴嘴陣列在第一方向上彼此平行，液體材料適于以微滴形式通過多個(gè)噴嘴噴射；平臺(tái)，包括兩個(gè)主面，所述平臺(tái)的兩個(gè)主面中的一個(gè)朝向頭單元的多個(gè)微滴噴射頭，且所述基板被支撐在所述平臺(tái)的一個(gè)主面上；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于使平臺(tái)相對于頭單元相互移動(dòng)；以及控制單元，用于控制頭單元和移動(dòng)機(jī)構(gòu)的操作，使得頭單元的多個(gè)微滴噴射頭中的每個(gè)將液體材料的微粒噴射到基板上，同時(shí)使平臺(tái)在垂直于第一方向的第二方向上相對于頭單元相互移動(dòng)，其中，所述基板具有一個(gè)區(qū)域，通過頭單元相對于平臺(tái)的一次相互移動(dòng)，相同顏色的液體材料適于從多個(gè)微滴噴射頭以微滴形式噴射到所述區(qū)域，所述區(qū)域包括位于第一方向的多個(gè)子區(qū)域，每個(gè)子區(qū)域具有多個(gè)用于形成像素的噴射區(qū)域，以及其中，多個(gè)微滴噴射頭設(shè)置在頭單元上，使得多個(gè)子區(qū)域的每個(gè)的噴射區(qū)域適于總是從多個(gè)微滴噴射頭中的兩個(gè)或更多個(gè)微滴噴射頭的不同組合的噴嘴接收微滴形式的液體材料。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微滴噴射設(shè)備，其中用于將液體材料以微滴形式噴射到基板的一個(gè)子區(qū)域的噴射區(qū)上的兩個(gè)或更多微滴噴射頭與用于將液體材料以微滴形式噴射到基板的相鄰子區(qū)域的噴射區(qū)上的兩個(gè)或更多微滴噴射頭的組合不同，同時(shí)兩個(gè)或更多個(gè)微滴噴射頭的這些組合使用至少一個(gè)公共微滴噴射頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微滴噴射設(shè)備，其中多個(gè)微滴噴射頭優(yōu)選包括多組微滴噴射頭，一些類型的不同顏色的液體材料可通過所述多組微滴噴射頭被噴射，使得多個(gè)子區(qū)域形成在用于多組微滴噴射頭的每組的基板上，以及其中，用于一種顏色的液體材料的子區(qū)域中的相鄰子區(qū)域的邊界的位置與其它顏色的液體材料的子區(qū)域中的相鄰子區(qū)域的邊界的位置不同。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微滴噴射設(shè)備，其中一些類型的液體材料包括三種液體材料，分別為紅色、綠色和藍(lán)色液體材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微滴噴射設(shè)備，其中每個(gè)微滴噴射頭都包括多個(gè)噴嘴陣列，所述多個(gè)噴嘴陣列并排設(shè)置在平行于每個(gè)噴嘴陣列的方向上，使得在從第二方向看時(shí)多個(gè)微滴噴射頭的每個(gè)中的多個(gè)噴嘴陣列的兩端對準(zhǔn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微滴噴射設(shè)備，其中所述基板是用于制造用于液晶顯示器的濾色基板的基板材料，且所述一種或多種液體材料是用于形成濾色襯底的過濾層的墨水。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微滴噴射設(shè)備，其中所述基板是用于制造電致發(fā)光顯示器的基板材料，且所述一種或多種液體材料是用于制造電致發(fā)光顯示器的發(fā)光材料。
8.一種使用由權(quán)利要求1限定的微滴噴射設(shè)備由基板制造面板的方法，所述方法包括以下步驟制備基板；以及通過利用微滴噴射設(shè)備噴射微滴，同時(shí)使基板在垂直于第一方面的第二方向上關(guān)于頭單元相互移動(dòng)，將一種或多種預(yù)定顏色的液體材料供應(yīng)到基板上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述基板是用于制造用于液晶顯示器的濾色基板的基板材料，且所述一種或多種液體材料是用于形成濾色襯底的濾色層的墨水。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述基板是用于制造電致發(fā)光顯示器的基板材料，且所述一種或多種液體材料包括用于制造電致發(fā)光顯示器的發(fā)光材料。
11.一種圖像顯示設(shè)備，包括使用由權(quán)利要求8限定的方法制造的面板。
12.一種電子設(shè)備，包括由權(quán)利要求11限定的圖像顯示設(shè)備。
全文摘要
一種用于將一種或多種預(yù)定顏色的液體材料以微滴形式供給基板上的微滴噴射設(shè)備，包括頭單元103，設(shè)置有多個(gè)微滴噴射頭，用于噴射一種或多種液體材料到基板上，每個(gè)微滴噴射頭均包括至少一個(gè)由多個(gè)線性排列的噴嘴構(gòu)成的噴嘴陣列，多個(gè)微滴噴射頭的噴嘴陣列在第一方向上彼此平行，液體材料適于以微滴形式通過多個(gè)噴嘴噴射；平臺(tái)，包括兩個(gè)主面，所述平臺(tái)的兩個(gè)主面中的一個(gè)朝向頭單元的多個(gè)微滴噴射頭，且所述基板被支撐在所述平臺(tái)的一個(gè)主面上；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于使平臺(tái)相對于頭單元103相互移動(dòng)；以及控制單元，用于控制頭單元103和移動(dòng)機(jī)構(gòu)的操作，使得頭單元的多個(gè)微滴噴射頭中的每個(gè)將液體材料的微粒噴射到基板上，同時(shí)使平臺(tái)在垂直于第一方向的第二方向上相對于頭單元相互移動(dòng)。所述基板具有一個(gè)區(qū)域，通過頭單元相對于平臺(tái)的一次相互移動(dòng)，相同顏色的液體材料適于從多個(gè)微滴噴射頭以微滴形式噴射到所述區(qū)域，所述區(qū)域包括位于第一方向的多個(gè)子區(qū)域，每個(gè)子區(qū)域都具有多個(gè)用于形成像素的噴射區(qū)域。多個(gè)微滴噴射頭設(shè)置在頭單元上，使得多個(gè)子區(qū)域的每個(gè)的噴射區(qū)域適于總是從多個(gè)微滴噴射頭中的兩個(gè)或更多個(gè)微滴噴射頭的不同組合的噴嘴接收微滴形式的液體材料。
文檔編號(hào)H05B33/10GK1755405SQ20051010880
公開日2006年4月5日 申請日期2005年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月1日
發(fā)明者川瀨智己 申請人:精工愛普生株式會(huì)社