專利名稱：真空抽吸單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種設(shè)置有能夠真空固定工件的抽吸裝置的真空抽吸單元。
背景技術(shù)：
當(dāng)在檢驗板上安裝諸如IC或LSI的工件或在印刷電路板上安裝已經(jīng)經(jīng)過檢驗的工件時，會使用用于輸送待設(shè)置在托盤等中的工件的輸送裝置。
在以上所述的輸送裝置中，存在這樣一種裝置，其中，能夠在Z方向上運動的抽吸裝置附接于能夠在X和Y方向上運動的輸送頭，工件在真空固定于抽吸裝置的情況下被輸送至預(yù)定位置。在以上所述的抽吸裝置中，存在這樣一種裝置，其能夠在裝置中供給負(fù)壓，并通過大氣壓與所述負(fù)壓之間的壓差而真空固定工件。在抽吸裝置中形成的氣流通道的開口部分作為用于真空固定工件的抽吸口。作為用于向抽吸口供給負(fù)壓氣體(亦即，真空)的負(fù)壓源，存在使用真空泵的情況以及使用可被提供壓縮氣體以產(chǎn)生負(fù)壓的噴射器的情況。在將真空泵作為負(fù)壓源來使用的情況下，在抽吸口與負(fù)壓源之間的氣流通路中設(shè)置有開啟和關(guān)閉流動通路的閥。另一方面，在將噴射器作為負(fù)壓源來使用的情況下，在向噴射器供給正壓氣體時，從噴射器經(jīng)由氣流通路向抽吸口供給負(fù)壓，而在停止向噴射器供給正壓氣體時，則停止負(fù)壓的供給。當(dāng)真空固定于抽吸裝置的工件與該抽吸裝置分離時，工件的分離性能不僅可通過停止向抽吸裝置供給負(fù)壓、而且可通過從氣流通路向抽吸裝置供給正壓氣體來改進(jìn)。
在輸送裝置中，在進(jìn)行了關(guān)于工件是否真空固定于抽吸裝置或工件是否與抽吸裝置分離的真空固定判斷之后，需要移動該抽吸裝置。通常，如專利文件1中所述，通過檢測抽吸裝置中的氣壓改變來進(jìn)行真空固定判斷。這種判斷方法利用了這一現(xiàn)象如果工件真空固定于抽吸裝置的抽吸口，則不會從抽吸口吸入外界氣體，由此抽吸裝置中的負(fù)壓增加。通過利用該方法，當(dāng)使用壓力傳感器檢測的負(fù)壓增加到等于或大于預(yù)定判斷值的水平時，能夠判斷出工件處于真空固定。
專利文件1日本未決專利申請，公開號為11-214893。

發(fā)明內(nèi)容
附帶地，當(dāng)真空泵被用作真空供給源時，通過真空泵的脈動、真空調(diào)節(jié)器的波動、由于負(fù)壓氣體被分配給其它線路而引起的負(fù)壓的降低等，使得供給至抽吸裝置的負(fù)壓氣體的壓力改變。因此，在通過抽吸裝置中的壓力改變來進(jìn)行真空固定判斷的傳統(tǒng)的判斷方法中，需要根據(jù)所供給的負(fù)壓氣體的壓力來改變判斷值，因此這種判斷方法變得復(fù)雜。近些年，電子部件變得非常小，而通過圖像識別裝置來進(jìn)行真空固定判斷變得昂貴。
本發(fā)明的目的在于提供一種真空抽吸單元，其能夠不受供給至抽吸裝置的負(fù)壓氣體的壓力改變的影響，穩(wěn)定地進(jìn)行真空固定判斷。
根據(jù)本發(fā)明的真空抽吸單元，包括單元塊，其設(shè)置有與用于真空固定工件的抽吸裝置相連的真空固定口，在所述單元塊中形成有附接/分離流動通路；真空供給控制閥，其安裝在所述單元塊中，并工作在向所述附接/分離流動通路供給負(fù)壓氣體的狀態(tài)以及停止所述供給的狀態(tài)；真空截止控制閥，其安裝在所述單元塊中，并工作在向所述附接/分離流動通路供給正壓氣體的狀態(tài)以及停止所述供給的狀態(tài)；以及流量傳感器，其安裝在所述單元塊中，并檢測所述附接/分離流動通路中流動的氣體的流量，其中，通過所述附接/分離流動通路內(nèi)的氣體流量來判斷所述工件在所述抽吸裝置上的真空固定情況。
在根據(jù)本發(fā)明的真空抽吸單元中，通過所述真空供給控制閥與真空供給源相連的真空輸入口被切換為與所述附接/分離流動通路連通的狀態(tài)以及阻斷所述連通的狀態(tài)。
在根據(jù)本發(fā)明的真空抽吸單元中，所述單元塊設(shè)置有噴射器，所述噴射器包括與正壓供給源相連的氣體供給口以及與所述附接/分離流動通路連通的抽吸口，所述真空供給控制閥被切換為向所述氣體供給口供給壓縮氣體、以通過所述抽吸口向所述附接/分離流動通路供給負(fù)壓氣體的狀態(tài)，以及停止向所述氣體供給口供給壓縮氣體、以停止向所述附接/分離流動通路供給負(fù)壓氣體的狀態(tài)。
在根據(jù)本發(fā)明的真空抽吸單元中，所述單元塊設(shè)置有過濾器，所述過濾器用于去除流入所述附接/分離流動通路內(nèi)的雜質(zhì)。
根據(jù)本發(fā)明，由于真空固定判斷是利用如下現(xiàn)象來進(jìn)行的，即在工件被真空固定時，與抽吸裝置相連的附接/分離流動通路內(nèi)的氣體流量會減小，因此，能夠可靠地進(jìn)行真空固定判斷，而不會受到供給至抽吸裝置的負(fù)壓氣體的壓力改變的影響。另外，由于能夠不受供給至抽吸裝置的負(fù)壓氣體的壓力改變的影響來設(shè)定判斷值，因此能夠穩(wěn)定地進(jìn)行真空固定判斷。


圖1A和1B是示出根據(jù)本發(fā)明的一個實施方案的真空抽吸單元的氣壓線路的線路圖，其中，圖1A示出了處于真空供給情況下的切換位置，而圖1B示出了處于真空截止情況下的切換位置；圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的一個實施方案的真空抽吸單元的局部剖視圖；圖3是沿圖2中的線A-A獲得的剖視圖；圖4A和4B是示出根據(jù)本發(fā)明的另一實施方案的真空抽吸單元的線路圖，其中，圖4A示出了處于真空供給情況下的切換位置，而圖4B示出了處于真空截止情況下的切換位置；圖5是示出根據(jù)本發(fā)明的另一實施方案的真空抽吸單元的局部剖視圖。
具體實施例方式
在下文中，將結(jié)合附圖詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明的實施方案。
圖1A和1B是示出根據(jù)本發(fā)明的一個實施方案的真空抽吸單元的氣壓線路的線路圖，其中，圖1A示出了處于真空供給情況下的切換位置，而圖1B示出了處于真空截止情況下的切換位置。如圖1所示，真空抽吸單元10與具有作為真空發(fā)生源的真空泵的真空供給源11和具有作為正壓發(fā)生源的壓縮泵的正壓供給源12相連，并且真空抽吸單元10具有與諸如真空墊的抽吸裝置13相連的附接/分離流動通路14。通過從真空供給源11向附接/分離流動通路14供給負(fù)壓氣體，工件W被真空吸附至抽吸裝置13。另一方面，當(dāng)需要使工件W與抽吸裝置13分離時，通過停止從真空供給源11向附接/分離流動通路14供給負(fù)壓氣體，工件W與抽吸裝置13分離，并且通過從正壓供給源12供給正壓氣體，工件W被強(qiáng)制分離。
真空抽吸單元10具有真空供給控制閥15，真空供給控制閥15相對于附接/分離流動通路14工作在從真空供給源11向抽吸裝置13供給負(fù)壓氣體的狀態(tài)或工作在停止上述供給的狀態(tài)。真空供給控制閥15是三端雙位開關(guān)閥，包括與真空供給源11相連的真空輸入口16、通過真空流動通路17與附接/分離流動通路14連通的真空輸出口18以及與外部連通的大氣開放口19。因此，當(dāng)真空輸入口16與真空輸出口18連通時，向附接/分離流動通路14供給負(fù)壓氣體，而如果真空輸入口16與附接/分離流動通路14之間的連通被阻斷，則停止向附接/分離流動通路14供給負(fù)壓氣體。
通過對設(shè)置在真空供給控制閥15中的螺線管20進(jìn)行通電控制，執(zhí)行對于真空供給控制閥15的兩個位置的切換控制，例如，當(dāng)向螺線管20通電流時，真空供給控制閥15被切換為停止向附接/分離流動通路14供給負(fù)壓的分離位置，或者，當(dāng)電流阻斷時，真空供給控制閥15被切換為向附接/分離流動通路14供給負(fù)壓的真空固定位置。如圖所示，在真空供給控制閥15中設(shè)置有手動按鈕21，以使得能夠通過按下手動按鈕21而從真空固定位置切換為分離位置。
真空抽吸單元10具有真空截止控制閥22，真空截止控制閥22工作在從正壓供給源12向附接/分離流動通路14供給壓縮氣體(亦即，正壓氣體)的狀態(tài)以及停止上述供給的狀態(tài)。真空截止控制閥22是雙端雙位開關(guān)閥，包括與正壓供給源12連通的正壓輸入口23以及通過真空截止流動通路24與附接/分離流動通路14連通的正壓輸出口25。因此，當(dāng)正壓輸入口23與正壓輸出口25彼此連通時，正壓氣體被供給至附接/分離流動通路14，而當(dāng)正壓輸入口23與正壓輸出口25之間的連通阻斷時，對附接/分離流動通路14的正壓氣體供給被阻斷。
通過對設(shè)置在真空截止控制閥22中的螺線管26進(jìn)行通電控制，執(zhí)行對于真空截止控制閥22的兩個位置的切換控制。當(dāng)向螺線管26通電流時，真空截止控制閥22被切換為向附接/分離流動通路14供給正壓氣體的真空截止位置，而當(dāng)電流阻斷時，真空截止控制閥22被切換為停止向附接/分離流動通路14供給正壓氣體的息止位置。此外，在真空截止控制閥22中設(shè)置有手動按鈕27，以使得能夠通過按下手動按鈕27而將真空截止控制閥22強(qiáng)行切換為分離位置。
附帶地，對于真空供給控制閥15，可使用與真空截止控制閥22類似的雙端閥來代替以上所述的三端閥，在這種情況下，真空供給控制閥15工作在兩個位置，即，真空輸入口16與真空輸出口18相連通的狀態(tài)以及該連通被阻斷的狀態(tài)。
真空抽吸單元10具有用于調(diào)節(jié)真空截止流動通路24的流動通路面積的節(jié)流閥28。通過節(jié)流閥28，可調(diào)節(jié)從正壓供給源12供給的正壓氣體的流量。
為了檢測附接/分離流動通路14中是否有氣體流動或者其中是否幾乎沒有氣體流動，真空抽吸單元10具有流量傳感器29。在附接/分離流動通路14中流動的氣體流量由流量傳感器29在每個單位時間檢測。檢測的氣體流量被轉(zhuǎn)換為電壓值并被輸送給控制部件30以作為檢測信號?？刂撇考?0設(shè)置有計算檢測信號的微處理器；存儲控制程序、數(shù)據(jù)表等的ROM；暫時存儲數(shù)據(jù)的RAM；以及其它部件。用于進(jìn)行真空固定判斷的判斷值也存儲在控制部件30中?？刂撇考?0執(zhí)行對真空供給控制閥15和真空截止控制閥22的螺線管20和26的通電控制。
在附接/分離流動通路14中，流量傳感器29與抽吸裝置13之間設(shè)置有過濾器31。通過過濾器31，能去除附接/分離流動通路14中流動的雜質(zhì)，例如灰塵或污水，以保護(hù)控制閥15和22，并避免流動通路14、17和24的內(nèi)部發(fā)生堵塞。
圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的一個實施方案的真空抽吸單元的局部剖視圖，而圖3是沿著圖2的線A-A獲取的剖視圖。真空抽吸單元10具有單元塊32，單元塊32設(shè)置有基座塊32a、連接塊32b和連通塊32c。塊32a至32c中每一個都具有四邊形截面，從而能形成長方體形狀。連接塊32b和連通塊32c具有與圖3中所示的基座塊32a的厚度“D”相應(yīng)的厚度。真空供給控制閥15和真空截止控制閥22組裝到基座塊32a的一個側(cè)表面33a上，而連接塊32b和連通塊32c組裝到相反的側(cè)表面33b上，以彼此分隔。如上所述，多個部件相對于單元塊32組裝，從而使得真空抽吸單元10成為一體。
流量傳感器29以夾在連接塊32b與連通塊32c之間的方式組裝至單元塊32。過濾器31組裝至連接塊32b。過濾器31具有過濾器殼31a以及并入過濾器殼31a中的濾芯31b，通過將螺母34b擰在固定至連接塊32b的螺紋件34a上而使過濾器殼31a組裝至連接塊32b。
在基座塊32a中形成有與真空供給控制閥15的真空輸入口16連通的真空供給孔35、以及與大氣開放口19連通的大氣連通孔36，并且真空供給孔35通過流動通路與真空供給源11相連。在基座塊32a中形成有與真空截止控制閥22的正壓輸入口23連通的正壓供給孔37，該正壓供給孔37通過流動通路與正壓供給源12相連。
真空固定口38設(shè)置在連接塊32b中，而抽吸裝置13直接地或通過真空固定管或真空固定軟管而附接于真空固定口38。附接/分離流動通路14、真空流動通路17以及真空截止流動通路24形成于單元塊32中，而附接/分離流動通路14通過形成于基座塊32a中的流動通路14a、形成于連通塊32c中的流動通路14b和形成于連接塊32b中的流動通路14c和14d而形成。用于調(diào)節(jié)真空截止流動通路24的流動通路面積的節(jié)流閥28安裝于在基座塊32a中形成的螺紋孔39中。節(jié)流閥28是一種可變節(jié)流閥，其設(shè)置有通過轉(zhuǎn)動操作部分28a而往復(fù)插入真空截止流動通路24中的針28b。因此，節(jié)流閥28能夠通過改變真空截止流動通路24的流動通路面積來調(diào)節(jié)真空截止流動通路24中流動的正壓氣體的流量。
如圖2所示，流量傳感器29具有附接于單元塊32的傳感器殼29a，與流動通路14b和14c連通并構(gòu)成了附接/分離流動通路14的一部分的流動通路形成于傳感器殼中，用于檢測該流動通路內(nèi)的氣體流動的檢測體29b設(shè)置在傳感器殼29a中。
為了通過使用以上所提及的真空抽吸單元10將工件W真空固定于抽吸裝置13，如圖1A所示，真空供給控制閥15被切換為真空固定位置，而真空截止控制閥22被切換為息止位置。通過上述方式，與抽吸裝置13相連的附接/分離流動通路14通過真空流動通路17而與真空供給源11連通，工件W則通過將抽吸裝置13內(nèi)部設(shè)置為負(fù)壓狀態(tài)而被吸附。這時，在工件W未真空固定于抽吸裝置13的狀態(tài)下，抽吸裝置13抽吸外部氣體，從而在附接/分離流動通路14中形成氣流。該氣流由流量傳感器29的檢測體29b檢測，檢測信號被發(fā)送至控制部件30。
另一方面，如果工件W真空固定于抽吸裝置13的抽吸口13a，則不會從抽吸口13a吸入外部氣體，附接/分離流動通路14中的氣體流量變?yōu)榻咏诹?，從而根?jù)來自流量傳感器29的檢測體29b的檢測信號判斷出抽吸裝置13已經(jīng)真空固定了工件W。根據(jù)本發(fā)明，當(dāng)根據(jù)附接/分離流動通路14內(nèi)氣體的流動狀態(tài)判斷出由流量傳感器29檢測的氣體的流量值等于或小于預(yù)定的判斷值時，可以確定工件W被真空固定于抽吸裝置13。所述判斷值是在真空固定和判斷之前預(yù)先確定的值，考慮到測量誤差和真空固定部分的泄漏，可將判斷值設(shè)定為接近于零。
如上所述，供給至抽吸裝置13的負(fù)壓氣體的壓力由真空泵的脈動(在使用真空泵作為真空供給源11的情況下)、真空調(diào)節(jié)器的波動、因向其它線路分配負(fù)壓氣體而引起的負(fù)壓的降低或類似因素而改變。因此，抽吸力和由流量傳感器29檢測的氣體流量值并非恒定。然而，附接/分離流動通路14中的氣體流量變?yōu)榻咏愕默F(xiàn)象總是在工件W被真空固定于抽吸裝置13時形成的，因此可利用這種現(xiàn)象來可靠地作出真空固定判斷。另外，由于可不受供給至抽吸裝置13的負(fù)壓氣體的壓力改變的影響來設(shè)定穩(wěn)定的判斷值，因此能夠可靠地進(jìn)行真空固定判斷。
工件W的輸送是在工件W真空固定判斷之后進(jìn)行的。如果工件W到達(dá)預(yù)定位置，則通過啟動真空供給控制閥15而停止對抽吸裝置13的負(fù)壓氣體供給。同時，如圖1B所示，當(dāng)工件W重量較輕，不能僅通過其自身重量來分離時，可通過將真空截止控制閥22切換為真空截止位置來將工件W安裝在預(yù)定位置。
通過將多個元件組裝至單元塊32，如圖1至3所示的真空抽吸單元10成為組件并被使用，其還進(jìn)一步形成有總體厚度D。因此，真空抽吸單元不僅可作為單體使用，還可通過疊置多個真空抽吸單元10并結(jié)合多個必需的拉桿、裝配螺絲、金屬鏈接裝配等而形成為集合形狀。
圖4A和4B是示出根據(jù)本發(fā)明的另一實施方案的真空抽吸單元的線路圖，其中，圖4A示出了處于真空供給的切換位置，而圖4B示出了處于真空截止的切換位置。以上所述的真空抽吸單元10向抽吸裝置13供給由真空供給源11提供的負(fù)壓。與之相對，真空抽吸單元41具有用作真空發(fā)生源的噴射器42，使得在噴射器42中生成的負(fù)壓氣體能夠被導(dǎo)入與抽吸裝置13相連的附接/分離流動通路43中，從而使得工件W被真空吸附于抽吸裝置13，以及使得來自正壓供給源44的正壓氣體能夠被導(dǎo)入真空截止流動通路45中，從而工件W可與抽吸裝置13強(qiáng)制分離。
噴射器42具有構(gòu)成噴射器主體的擴(kuò)散器46a和用于將壓縮氣體噴至擴(kuò)散器46a的噴嘴46b，而已經(jīng)通過擴(kuò)散器46a的氣體的聲音被消聲器47消聲并釋放至外部。噴嘴46b通過壓縮氣體流動通路50與正壓供給源44相連，而壓縮氣體流動通路50設(shè)置有真空供給控制閥48，真空供給控制閥48使噴射器42工作在將負(fù)壓氣體供給至附接/分離流動通路43的狀態(tài)以及停止上述供給的狀態(tài)。真空供給控制閥48是雙端雙位開關(guān)閥，包括與正壓供給源44相連的正壓輸入口49以及與壓縮氣體流動通路50相連的正壓輸出口51。當(dāng)真空供給控制閥48工作在真空固定位置時，向噴嘴46b供給壓縮氣體，擴(kuò)散器46a中形成真空，并向附接/分離流動通路43供給負(fù)壓氣體；當(dāng)真空供給控制閥48工作在息止位置時，停止向噴嘴46b供給壓縮氣體，并停止向附接/分離流動通路43供給負(fù)壓氣體。
通過對設(shè)置在真空供給控制閥48中的螺線管52進(jìn)行通電控制，執(zhí)行真空固定位置與停止位置的切換控制，從而在通電流時，真空供給控制閥48被切換為真空固定位置，而在電流阻斷時，真空供給控制閥48被切換為息止位置。如圖所示，在真空供給控制閥48中也設(shè)置有手動按鈕53，以使得能夠通過按下手動按鈕53而從息止位置切換為真空固定位置。
真空截止控制閥54設(shè)置在真空截止流動通路45中，而真空截止流動通路45通過真空截止控制閥54和節(jié)流閥55與附接/分離流動通路43相連。真空截止控制閥54是雙端雙位開關(guān)閥，包括與正壓供給源44連通的正壓輸入口56和與真空截止流動通路45連通的正壓輸出口57，并具有連通正壓輸入口56和正壓輸出口57的真空截止位置，以及阻斷正壓輸入口56與正壓輸出口57之間的連通的息止位置。
通過對設(shè)置在真空截止控制閥54中的螺線管58進(jìn)行通電控制，執(zhí)行真空截止位置與息止位置的切換控制，從而在通電流時，真空截止控制閥54被切換為強(qiáng)制分離位置，而在電流阻斷時，真空截止控制閥54被切換為息止位置。如圖所示，在真空截止控制閥54中也設(shè)置有手動按鈕59，以使得能夠通過按下手動按鈕59而從息止位置切換為真空截止位置。
在真空截止流動通路45中設(shè)置有節(jié)流閥55，從而能夠調(diào)節(jié)從正壓供給源44供給的正壓氣體的流量。另外，在附接/分離流動通路43中分別設(shè)置有與圖1A、1B和2所示相同的流量傳感器29和過濾器31。
圖5是示出根據(jù)本發(fā)明的另一實施方案的真空抽吸單元的局部剖視圖。通過與圖2中所示的真空抽吸單元10的相同方式，真空抽吸單元41具有設(shè)置有基座塊32a、連接塊32b和連通塊32c的單元塊32，其中，真空供給控制閥48、真空截止控制閥54、流量傳感器29以及過濾器31可組裝在單元塊32中。
為了使用真空抽吸單元41而使抽吸裝置13真空固定工件W，如圖4A所示，真空供給控制閥48被切換為真空固定位置，而真空截止控制閥54被切換為息止位置。通過上述方式，噴射器42中形成的真空被供給至附接/分離流動通路43，以使抽吸裝置13內(nèi)部變?yōu)樨?fù)壓狀態(tài)，從而能夠吸附工件W。
通過與上述真空抽吸單元10的相同方式來進(jìn)行工件W的真空固定判斷。換言之，附接/分離流動通路43中的氣體流量由流量傳感器29來檢測，檢測信號發(fā)送至控制部件30，通過將檢測信號與預(yù)定的判斷值進(jìn)行比較，進(jìn)行工件W的真空固定判斷。供給至抽吸裝置13的負(fù)壓氣體的壓力可根據(jù)供給至作為真空供給源的噴射器42的壓縮氣體的壓力變化而變化。然而，在真空固定工件W時，通過判斷附接/分離流動通路43中的氣體流動，可穩(wěn)定地進(jìn)行可靠的真空固定判斷。真空供給控制閥48和真空截止控制閥54的啟動通過來自于控制部件30的控制信號來控制。
工件W的輸送是在工件W真空固定判斷之后進(jìn)行的。如果工件W到達(dá)預(yù)定位置，則將真空供給控制閥48切換為分離位置。如圖4B所示，即使工件W重量較輕，不能僅通過其自身重量來分離時，也能通過將真空截止控制閥54切換為真空截止位置來將工件W安裝在預(yù)定位置。
本發(fā)明并不受上述實施方案的限制，可在不脫離本發(fā)明要點的范圍內(nèi)對其進(jìn)行各種修改。例如，所示的、由真空供給控制閥15和48以及真空截止控制閥22和54進(jìn)行的切換方法僅僅是一個實施方案，上述方法被修改為利用直接作用類型閥、雙螺線管類型閥或類似類型的閥。待連接的抽吸裝置13并不限于一個，可將多個抽吸裝置連接至過濾器31的端部。在未向抽吸裝置13提供正壓氣體即可分離工件W的情況下，可省略設(shè)置正壓供給源12和14、真空截止控制閥22和54以及節(jié)流閥28和55。
工業(yè)應(yīng)用性當(dāng)真空吸附諸如IC和LSI等工件，同時將其輸送至檢驗板、印刷電路板等時，本發(fā)明的真空抽吸單元可用來穩(wěn)定地檢測工件的真空固定和釋放，而不會受到供應(yīng)至抽吸裝置的負(fù)壓氣體壓力改變的影響，本發(fā)明的真空抽吸單元還可用來可靠地執(zhí)行對工件的真空固定和釋放。
權(quán)利要求
1.一種真空抽吸單元，其設(shè)置有用于真空固定工件的抽吸裝置，所述單元包括單元塊，其設(shè)置有與所述抽吸裝置相連的真空固定口，在所述單元塊中形成有附接/分離流動通路；真空供給控制閥，其安裝在所述單元塊上，并工作在向所述附接/分離流動通路供給負(fù)壓氣體的狀態(tài)以及停止所述供給的狀態(tài)；真空截止控制閥，其安裝在所述單元塊中，并工作在向所述附接/分離流動通路供給正壓氣體的狀態(tài)以及停止所述供給的狀態(tài)；以及流量傳感器，其安裝在所述單元塊上，并檢測所述附接/分離流動通路中流動的氣體的流量，其中，通過所述附接/分離流動通路內(nèi)的氣體流量來判斷所述工件在所述抽吸裝置上的真空固定情況。
2.如權(quán)利要求1所述的真空抽吸單元，其中，通過所述真空供給控制閥與真空供給源相連的真空輸入口被切換為與所述附接/分離流動通路連通的狀態(tài)以及阻斷所述連通的狀態(tài)。
3.如權(quán)利要求1所述的真空抽吸單元，其中，所述單元塊設(shè)置有噴射器，所述噴射器包括與正壓供給源相連的氣體供給口以及與所述附接/分離流動通路連通的抽吸口，所述真空供給控制閥被切換為向所述氣體供給口供給壓縮氣體、以通過所述抽吸口向所述附接/分離流動通路供給負(fù)壓氣體的狀態(tài)，以及停止向所述氣體供給口供給壓縮氣體、以停止向所述附接/分離流動通路供給負(fù)壓氣體的狀態(tài)。
4.如權(quán)利要求1所述的真空抽吸單元，其中，所述單元塊設(shè)置有過濾器，所述過濾器用于去除流入所述附接/分離流動通路內(nèi)的雜質(zhì)。
全文摘要
可移動通道(14)與用于真空吸附工件(W)的抽吸器(13)相連。負(fù)壓氣體通過真空供給控制閥(15)而從真空供給源(11)供給至可移動通道(14)。真空供給控制閥(15)在以下兩個位置之間進(jìn)行切換用于將負(fù)壓氣體供給至可移動通道(14)的抽吸位置，以及用于中斷負(fù)壓氣體供給的息止位置?？梢苿油ǖ?14)與用于檢測可移動通道(14)中氣體流動的流動傳感器(29)相連。如果流動傳感器(29)的檢測值不高于指定的標(biāo)準(zhǔn)值，則確定工件(W)被吸附。
文檔編號H05K13/00GK1933943SQ20058000837
公開日2007年3月21日 申請日期2005年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月17日
發(fā)明者藤原輝彥 申請人:株式會社小金井