專利名稱：薄膜保持裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本申請屬于保持具有柔性的薄膜的薄膜保持裝置技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
作為現(xiàn)有這種薄膜保持裝置的一例，知道有用于制造熒光體片的真空蒸鍍裝置中適用的薄膜保持裝置(例如參照專利文獻1)。
具體說就是現(xiàn)有的薄膜保持裝置通過靜電保持機構(gòu)(相當(dāng)于是本申請中的靜電夾盤)來吸附薄片(相當(dāng)于是本申請中的薄膜)并保持該被吸附薄片的邊緣。
專利文獻1特開2003-344592號公報(第4頁、第2圖)但上述現(xiàn)有的薄膜保持裝置在保持具有柔性的薄膜時，由于不能除去薄膜的變形(局部性凹凸)，所以有提高薄膜加工精度困難的情況。
真空蒸鍍裝置中由蒸鍍位置所保持的薄膜的平面度直接關(guān)系著成膜為薄膜的蒸鍍膜圖形精度的好壞。為了不僅在蒸鍍前后而且在令人擔(dān)心的薄膜溫度上升的蒸鍍中也監(jiān)控薄膜的平面度，也需要有在整個蒸鍍區(qū)域使薄膜正反兩面露出的薄膜保持裝置的情況。

發(fā)明內(nèi)容
本申請是鑒于上述情況而開發(fā)的，目的在于作為其課題的一例而提供一種薄膜保持裝置，能提高薄膜的平面度且能提高薄膜的加工精度。
為了解決上述課題，本發(fā)明第一方案記載的薄膜保持裝置保持具有一對邊和另一對邊的薄膜，該薄膜保持裝置包括第一保持部，其保持所述一對邊的一側(cè)以把所述薄膜的正反兩面露出；第二保持部，其保持所述一對邊的另一側(cè)以把所述薄膜的正反兩面露出；第一支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能向與所述一對邊正交的方向移動；第二支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能向與所述一對邊平行的方向移動；第三支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能繞與所述薄膜正交的軸轉(zhuǎn)動；第一施力機構(gòu)，其對所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個向從另一個離開的方向施力。
本發(fā)明第三方案記載的薄膜保持方法是保持具有一對邊和另一對邊薄膜的薄膜保持方法，是通過下述薄膜保持裝置保持所述薄膜的，該薄膜保持裝置包括第一保持部，其保持所述一對邊的一側(cè)以把所述薄膜的正反兩面露出；第二保持部，其保持所述一對邊的另一側(cè)以把所述薄膜的正反兩面露出；第一支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能向與所述一對邊正交的方向移動；第二支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能向與所述一對邊平行的方向移動；第三支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能繞與所述薄膜正交的軸轉(zhuǎn)動；第一施力機構(gòu)，其對所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個向從另一個離開的方向施力，該薄膜保持方法包括所述第一保持部和所述第二保持部保持所述薄膜的保持工序、所述第一施力機構(gòu)施力所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個施力工序、通過所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個的移動和轉(zhuǎn)動而伸展所述薄膜的伸展工序。
為了解決上述課題，本發(fā)明第五方案記載的薄膜保持裝置保持具有一對邊和另一對邊的薄膜，該薄膜保持裝置包括吸附部，其具有與所述薄膜的一個面接合的平面并吸附所述薄膜；第一保持部，其保持所述被吸附薄膜的所述一對邊的一側(cè)；第二保持部，其保持所述被吸附薄膜的所述一對邊的另一側(cè)；第一支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能向與所述一對邊正交的方向移動；第二支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能向與所述一對邊平行的方向移動；第三支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能繞與所述薄膜正交的軸轉(zhuǎn)動；第一施力機構(gòu)，其對所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個向從另一個離開的方向施力。
本發(fā)明第七方案記載的薄膜保持方法是保持具有一對邊和另一對邊薄膜的薄膜保持方法，是通過下述薄膜保持裝置保持所述薄膜的，該薄膜保持裝置包括吸附部，其具有與所述薄膜的一個面接合的平面并吸附所述薄膜；第一保持部，其保持所述被吸附薄膜的所述一對邊的一側(cè)；第二保持部，其保持所述被吸附薄膜的所述一對邊的另一側(cè)；第一支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能向與所述一對邊正交的方向移動；第二支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能向與所述一對邊平行的方向移動；第三支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能繞與所述薄膜正交的軸轉(zhuǎn)動；第一施力機構(gòu)，其對所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個向從另一個離開的方向施力，該薄膜保持方法包括所述吸附部吸附所述薄膜的工序、所述第一保持部和所述第二保持部保持所述薄膜的保持工序、所述第一施力機構(gòu)施力所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個施力工序、通過所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個的移動和轉(zhuǎn)動而伸展所述薄膜的伸展工序。


圖1是本發(fā)明第一實施例真空蒸鍍裝置的側(cè)面圖；圖2是本發(fā)明第一實施例薄膜保持裝置的上面圖；圖3是表示本發(fā)明第一實施例真空蒸鍍裝置動作的流程圖；圖4(a)～圖4(g)是本發(fā)明第一實施例真空蒸鍍裝置的側(cè)面圖；圖5是本發(fā)明第二實施例真空蒸鍍裝置的側(cè)面圖；圖6是本發(fā)明第二實施例薄膜保持裝置的上面圖；圖7是表示本發(fā)明第二實施例真空蒸鍍裝置動作的流程圖；圖8(a)～圖8(g)是本發(fā)明第二實施例真空蒸鍍裝置的側(cè)面圖。
符號說明100、200真空蒸鍍裝置 101、201薄膜102、103、202、203一對邊 104、105、204、205另一對邊106、206X方向107、207Y方向 108、208θ方向110、210框體 111、211工作室 112、212殼體113、114、213、214閘閥 115玻璃窗 120、220加熱裝置121、221有機材料 130、230金屬掩膜 140檢查裝置150、250薄膜保持裝置 151、251靜電夾盤152、153、154、155、252、253、254、255夾持部152a、153a、154a、155a、252a、253a、254a、255a固定板
152b、153b、154b、155b、252b、253b、254b、255b可動板156、256基準(zhǔn)面 157、257平面161、162、165、166、261、262、265、266直動部163、164、263、264轉(zhuǎn)動部171、172、173、271、272、273施力部174、175、176、177、274、275、276、277制動部具體實施方式
(I)第一實施例以下使用

本發(fā)明的實施例。以下說明的第一實施例把本發(fā)明薄膜保持裝置表示為例如用于制造薄膜有機EL(Electro luminescenco)顯示器的真空蒸鍍裝置中適用時的實施例。
具體說就是薄膜有機EL顯示器(以下叫做薄膜OLED)是通過所謂的真空蒸鍍法制造的薄膜狀顯示器，是把透明電極、有機材料和背面電極蒸鍍在具有柔性的薄膜表面上。本第一實施例表示的是在薄膜OLED的制造工序中特別在有機材料分開涂蒸鍍工序中所使用的真空蒸鍍裝置。
首先使用圖1和圖2說明本第一實施例真空蒸鍍裝置的結(jié)構(gòu)。圖1是本第一實施例真空蒸鍍裝置的側(cè)面圖，圖2是本第一實施例薄膜保持裝置的上面圖。
如圖1所示，本第一實施例的真空蒸鍍裝置100包括形成有保持真空環(huán)境工作室111的框體110、設(shè)置在工作室111上部的薄膜保持裝置150、設(shè)置在工作室111下部的加熱裝置120、配置在薄膜保持裝置150與加熱裝置120之間的金屬掩膜130和設(shè)置在薄膜保持裝置150上方的檢查裝置140。
框體110包括形成筒狀的殼體112、設(shè)置在殼體112側(cè)壁上的閘閥113、114、設(shè)置在殼體112頂部的玻璃窗115。閘閥113、114在后述的靜電夾盤151運送薄膜101時開閉。
薄膜保持裝置150保持規(guī)定厚度(例如0.2mm左右)的薄膜101。薄膜101是具有一對邊102、103和另一對邊104、105的方形部件，并形成為規(guī)定尺寸(例如從A5到A3左右)。下面敘述薄膜保持裝置150的結(jié)構(gòu)。
加熱裝置120通過把規(guī)定的有機材料加熱而氣化，并把該被氣化有機材料121通過金屬掩膜130蒸鍍到薄膜101上。
金屬掩膜130是用于把氣化的有機材料121分開涂敷而形成有開口圖形的板材，處于與被保持著的薄膜101平行的位置上。
檢查裝置140通過玻璃窗115對薄膜101攝影，并根據(jù)該攝影的薄膜101圖像來檢查薄膜101的平面度。
下面使用圖1和圖2說明本第一實施例薄膜保持裝置的結(jié)構(gòu)。
如圖1和圖2所示，薄膜保持裝置150包括作為吸附部一例的靜電夾盤151、作為第一保持部一例夾持部152、作為第二保持部一例的夾持部153、作為第三保持部一例夾持部154、作為第四保持部一例的夾持部155。這些夾持部152、153、154、155具有位于同一平面上的基準(zhǔn)面156。
靜電夾盤151具有與薄膜101一個面接合的平面157，通過庫侖力來吸附薄膜101。具體說就是靜電夾盤151被未圖示的驅(qū)動部驅(qū)動而移動到接近金屬掩膜130接近位置(參照圖4(b))和離開金屬掩膜130的離開位置(參照圖4(a))。在靜電夾盤151移動到接近位置時，平面157處于與金屬掩膜130平行的位置，而且薄膜101的另一個面對于夾持部152、153、154、155的基準(zhǔn)面156是位于在同一個平面上。
夾持部152具有固定板152a和可動板152b來保持一對邊102、103的一側(cè)(以下叫做邊102)以使薄膜101的正反兩面露出。具體說就是可動板152b被未圖示的驅(qū)動部驅(qū)動而移動到保持邊102的保持位置(參照圖4(c))和釋放邊102的釋放位置(參照圖4(f))。這樣薄膜101就以規(guī)定的壓力(例如150N左右)使邊102(例如5mm左右)夾持在固定板152a與可動板152b之間，并且貼緊在夾持部152的基準(zhǔn)面156上。
夾持部153具有固定板153a和可動板153b來保持一對邊102、103的另一側(cè)(以下叫做邊103)以使薄膜101的正反兩面露出。具體說就是可動板153b被未圖示的驅(qū)動部驅(qū)動而移動到保持邊103的保持位置(參照圖4(c))和釋放邊103的釋放位置(參照圖4(f))。這樣薄膜101就以規(guī)定的壓力(例如150N左右)使邊103(例如5mm左右)夾持在固定板153a與可動板153b之間，并貼緊在夾持部153的基準(zhǔn)面156上。
夾持部154具有固定板154a和可動板154b來保持另一對邊104、105的一側(cè)(以下叫做邊104)以使薄膜101的正反兩面露出。具體說就是可動板154b被未圖示的驅(qū)動部驅(qū)動而移動到保持邊104的保持位置(參照圖4(c))和釋放邊104的釋放位置(參照圖4(f))。這樣薄膜101就以規(guī)定的壓力(例如150N左右)使邊104(例如5mm左右)夾持在固定板154a與可動板154b之間，并貼緊在夾持部154的基準(zhǔn)面156上。
夾持部155具有固定板155a和可動板155b來保持另一對邊104、105的另一側(cè)(以下叫做邊105)以使薄膜101的正反兩面露出。具體說就是可動板155b被未圖示的驅(qū)動部驅(qū)動而移動到保持邊105的保持位置(參照圖4(c))和釋放邊105的釋放位置(參照圖4(f))。這樣薄膜101就以規(guī)定的壓力(例如150N左右)使邊105(例如5mm左右)夾持在固定板155a與可動板155b之間，并貼緊在夾持部155的基準(zhǔn)面156上。
且薄膜保持裝置150具備作為第一支承機構(gòu)一例的直動部161、作為第二支承機構(gòu)一例的直動部162、作為第三支承機構(gòu)一例的轉(zhuǎn)動部163、164、作為第四支承機構(gòu)一例的直動部165、166、作為第一施力機構(gòu)一例的施力部171、作為第二施力機構(gòu)一例的施力部172、173和把夾持部152、153、154、155制動(初始化)在初始位置上的制動部174、175、176、177。該初始位置是根據(jù)所述薄膜101的尺寸而預(yù)先設(shè)定的保持位置。
直動部161支承夾持部152、153的至少任一個例如夾持部153能向從一對邊102、103正交的方向(以下叫做X方向106)移動。夾持部153被從制動部175釋放時，通過直動部161向X方向106移動。
直動部162支承夾持部152、153的至少任一個例如夾持部153能向從一對邊102、103平行的方向(以下叫做Y方向107)移動。夾持部153被從制動部175釋放時，通過直動部162向Y方向107移動。
轉(zhuǎn)動部163、164支承夾持部152、153的至少任一個例如夾持部152、153能繞與薄膜101正交的軸(以下叫做θ方向108)轉(zhuǎn)動。夾持部152、153被從制動部174、175釋放時，通過轉(zhuǎn)動部163、164向θ方向108轉(zhuǎn)動。
直動部165、166支承夾持部154、155的至少任一個例如夾持部154、155能向從另一對邊104、105正交的方向(以下叫做Y方向107)移動。夾持部154、155被從制動部176、177釋放時，通過直動部165、166向Y方向107移動。
施力部171由彈簧等彈性部件構(gòu)成，把夾持部152、153的至少任一個例如夾持部153向從夾持部152離開的方向施力。夾持部153通過被施力部171施力而從初始位置進行移動和轉(zhuǎn)動，就使薄膜101向X方向106伸展。
施力部172、173由彈簧等彈性部件構(gòu)成，把夾持部154、155的至少任一個例如夾持部154、155向相互離開的方向施力。夾持部154、155通過被施力部172、173施力，而從初始位置進行移動，就使薄膜101向Y方向107伸展。
下面使用圖1到圖4說明本第一實施例真空蒸鍍裝置的動作。圖3是表示本第一實施例真空蒸鍍裝置動作的流程圖，圖4是本第一實施例真空蒸鍍裝置的側(cè)面圖。
如圖3所示，本第一實施例的真空蒸鍍裝置100實行的是有機材料分開涂蒸鍍工序(從步驟S101到步驟S110)。以下詳細說明本工序的情況。
首先靜電夾盤151吸附放置在未圖示載置臺上的薄膜101并通過閘閥113運送到工作室111內(nèi)。然后如圖4(a)所示，靜電夾盤151移動到上述的離開位置(步驟S101)。
然后如圖4(b)所示，靜電夾盤151向上述的接近位置移動(步驟S102)。這時夾持部152、153、154、155通過制動部174、175、176、177而被保持在初始位置上。
然后如圖4(c)所示，夾持部152、153使可動板152b、153b通過向保持位置移動而保持薄膜101(步驟S103)。之后靜電夾盤151從上述的接近位置退避而從被保持著的薄膜101離開。
然后如圖4(d)所示，夾持部152、153在從制動部174、175釋放時，被施力部171施力而從初始位置進行移動和轉(zhuǎn)動(步驟S104)。這樣薄膜101被向X方向106伸展而把變形除去。并根據(jù)所述檢查裝置140的檢查結(jié)果適當(dāng)?shù)胤磸?fù)進行步驟S104來更可靠地把變形除去。
然后與圖4(c)同樣地，夾持部154、155使可動板154b、155b向保持位置移動而保持薄膜101(步驟S105)。
然后與圖4(d)同樣地，夾持部154、155在從制動部176、177釋放時，被施力部172、173施力而從初始位置進行移動(步驟S106)。這樣薄膜101被向Y方向107伸展而把變形除去。并根據(jù)所述檢查裝置140的檢查結(jié)果適當(dāng)?shù)胤磸?fù)進行步驟S106來更可靠地把變形除去。
然后如圖4(e)所示，加熱裝置120通過把規(guī)定的有機材料加熱而氣化并把該被氣化了的有機材料121通過金屬掩膜130蒸鍍到薄膜101上(步驟S107)。之后靜電夾盤151移動到上述的接近位置，并吸附被保持著的薄膜101。
然后如圖4(f)所示，夾持部154、155使可動板154b、155b向釋放位置移動而釋放薄膜101(步驟S108)。
然后與圖4(f)同樣地，夾持部152、153使可動板152b、153b向釋放位置移動而釋放薄膜101(步驟S109)。
然后如圖4(g)所示，靜電夾盤151移動到上述的離開位置(步驟S110)。且靜電夾盤151通過閘閥114把薄膜101運送到工作室111外并放置到未圖示載置臺上，本工序終了。
如以上所說明的，本第一實施例的薄膜保持裝置150保持具有一對邊102、103和另一對邊104、105的薄膜101，在該薄膜保持裝置150中，包括夾持部152，其保持一對邊102、103的一側(cè)以把薄膜101的正反兩面露出；夾持部153，其保持一對邊102、103的另一側(cè)以把薄膜101的正反兩面露出；直動部161，其支承夾持部152、153的至少任一個能向與一對邊102、103正交的方向移動；直動部162，其支承夾持部152、153的至少任一個能向與一對邊102、103平行的方向移動；轉(zhuǎn)動部163、164，其支承夾持部152、153的至少任一個能繞與所述薄膜101正交的軸轉(zhuǎn)動；施力部171，其把夾持部152、153的至少任一個向從另一個離開的方向施力。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，本第一實施例中，保持薄膜101的夾持部152、153被施力部171施力而從初始位置進行移動和轉(zhuǎn)動，因此能使薄膜101向X方向106伸展而把薄膜101的變形除去，提高薄膜101的平面度，例如能提高到100μm以下，能提高薄膜101的加工精度。
且本第一實施例的薄膜保持裝置150包括夾持部154，其保持另一對邊104、105的一側(cè)以把薄膜101的正反兩面露出；夾持部155，其保持另一對邊104、105的另一側(cè)以把薄膜101的正反兩面露出；直動部165、166，其支承夾持部154、155的至少任一個能向與另一對邊104、105正交的方向移動；施力部172、173，其把夾持部154、155的至少任一個向從另一個離開的方向施力。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，本第一實施例中保持著薄膜101的夾持部154、155被施力部172、173施力而從初始位置進行移動，因此能使薄膜101向Y方向107伸展而把薄膜101的變形除去，提高薄膜101的平面度，例如能提高到100μm以下，能提高薄膜101的加工精度。
本第一實施例是把本發(fā)明的薄膜保持裝置適用在真空蒸鍍裝置中，但并不限定于此，而是通過適用在各種制造裝置中能提高薄膜的加工精度。
(II)第二實施例以下使用

本發(fā)明其他實施例的第二實施例。以下說明的第二實施例把本發(fā)明薄膜保持裝置表示為例如用于制造薄膜有機EL(Electroluminescenco)顯示器的真空蒸鍍裝置中適用時的實施例。
具體說就是薄膜有機EL顯示器(以下叫做薄膜OLED)是通過所謂的真空蒸鍍法制造的薄膜狀顯示器，是把透明電極、有機材料和背面電極蒸鍍在具有柔性的薄膜表面上。本第二實施例表示的是在薄膜OLED的制造工序中特別在有機材料分開涂蒸鍍工序中所使用的真空蒸鍍裝置。
首先使用圖5和圖6說明本第二實施例真空蒸鍍裝置的結(jié)構(gòu)。圖5是本第二實施例真空蒸鍍裝置的側(cè)面圖，圖6是本第二實施例薄膜保持裝置的上面圖。
如圖5所示，本第二實施例的真空蒸鍍裝置200包括形成有保持真空環(huán)境工作室211的框體210、設(shè)置在工作室211上部的薄膜保持裝置250、設(shè)置在工作室211下部的加熱裝置220、配置在薄膜保持裝置250與加熱裝置220之間的金屬掩膜230。
框體210包括形成箱狀的殼體212、設(shè)置在殼體212側(cè)壁上的閘閥213、214。閘閥213、214在后述的靜電夾盤251運送薄膜201時開閉。
薄膜保持裝置250保持規(guī)定厚度(例如0.2mm左右)的薄膜201。薄膜201是具有一對邊202、203和另一對邊204、205的方形部件，并形成為規(guī)定尺寸(例如從A5到A3左右)。下面敘述薄膜保持裝置250的結(jié)構(gòu)。
加熱裝置220通過把規(guī)定的有機材料加熱而氣化，并把該被氣化有機材料221通過金屬掩膜230蒸鍍到薄膜201上。
金屬掩膜230是用于把氣化的有機材料221分開涂而形成有開口圖形的板材，處于與被保持著的薄膜201平行的位置上。
下面使用圖5和圖6說明本第二實施例薄膜保持裝置的結(jié)構(gòu)。
如圖5和圖6所示，薄膜保持裝置250包括作為吸附部一例的靜電夾盤251、作為第一保持部一例夾持部252、作為第二保持部一例的夾持部253、作為第三保持部一例夾持部254、作為第四保持部一例的夾持部255。這些夾持部252、253、254、255具有位于同一平面上的基準(zhǔn)面256。
靜電夾盤251具有接合在薄膜201一個面上的平面257，通過庫侖力來吸附薄膜201。具體說就是靜電夾盤251被未圖示的驅(qū)動部驅(qū)動而移動到接近金屬掩膜230接近位置(參照圖8(b))和離開金屬掩膜230的離開位置(參照圖8(a))。在靜電夾盤251移動到接近位置時平面257處于與金屬掩膜230平行的位置，而且薄膜201的另一個面對于夾持部252、253、254、255的基準(zhǔn)面256是位于在同一個平面上。
夾持部252具有固定板252a和可動板252b，并保持被吸附薄膜201的一對邊202、203的一側(cè)(以下叫做邊202)。具體說就是可動板252b被未圖示的驅(qū)動部驅(qū)動而移動到保持邊202的保持位置(參照圖8(c))和釋放邊202的釋放位置(參照圖8(f))。這樣薄膜201就以規(guī)定的壓力(例如150N左右)使邊202(例如5mm左右)夾持在固定板252a與可動板252b之間，并貼緊在夾持部252的基準(zhǔn)面256上。
夾持部253具有固定板253a和可動板253b，并保持被吸附薄膜201的一對邊202、203的另一側(cè)(以下叫做邊203)。具體說就是可動板253b被未圖示的驅(qū)動部驅(qū)動而移動到保持邊203的保持位置(參照圖8(c))和釋放邊203的釋放位置(參照圖8(f))。這樣薄膜201就以規(guī)定的壓力(例如150N左右)使邊203(例如5mm左右)夾持在固定板253a與可動板253b之間，而貼緊在夾持部253的基準(zhǔn)面256上。
夾持部254具有固定板254a和可動板254b，并保持被吸附薄膜201另一對邊204、205的一側(cè)(以下叫做邊204)。具體說就是可動板254b被未圖示的驅(qū)動部驅(qū)動而移動到保持邊204的保持位置(參照圖8(c))和釋放邊204的釋放位置(參照圖8(f))。這樣薄膜201就以規(guī)定的壓力(例如150N左右)使邊204(例如5mm左右)夾持在固定板254a與可動板254b之間，并貼緊在夾持部254的基準(zhǔn)面256上。
夾持部255具有固定板255a和可動板255b并保持被吸附薄膜201另一對邊204、205的另一側(cè)(以下叫做邊205)。具體說就是可動板255b被未圖示的驅(qū)動部驅(qū)動而移動到保持邊205的保持位置(參照圖8(c))和釋放邊205的釋放位置(參照圖8(f))。這樣薄膜201就以規(guī)定的壓力(例如150N左右)使邊205(例如5mm左右)夾持在固定板255a與可動板255b之間并貼緊在夾持部255的基準(zhǔn)面256上。
且薄膜保持裝置250具備作為第一支承機構(gòu)一例的直動部261、作為第二支承機構(gòu)一例的直動部262、作為第三支承機構(gòu)一例的轉(zhuǎn)動部263、264、作為第四支承機構(gòu)一例的直動部265、266、作為第一施力機構(gòu)一例的施力部271、作為第二施力機構(gòu)一例的施力部272、273和把夾持部252、253、254、255制動(初始化)在初始位置上的制動部274、275、276、277。該初始位置是根據(jù)所述薄膜201的尺寸而預(yù)先設(shè)定的保持位置。
直動部261支承夾持部252、253的至少任一個例如夾持部253能向從一對邊202、203正交的方向(以下叫做X方向206)移動。夾持部253被從制動部275釋放時，通過直動部261向X方向206移動。
直動部262支承夾持部252、253的至少任一個例如夾持部253能向從一對邊202、203平行的方向(以下叫做Y方向207)移動。夾持部253被從制動部275釋放時，通過直動部262向Y方向207移動。
轉(zhuǎn)動部263、264支承夾持部252、253的至少任一個例如夾持部252、253能繞與薄膜201正交的軸(以下叫做θ方向208)轉(zhuǎn)動。夾持部252、253被從制動部274、275釋放時，通過轉(zhuǎn)動部263、264向θ方向208轉(zhuǎn)動。
直動部265、266支承夾持部254、255的至少任一個例如夾持部254、255能向從另一對邊204、205正交的方向(以下叫做Y方向207)移動。夾持部254、255被從制動部276、277釋放時，通過直動部265、266向Y方向207移動。
施力部271由彈簧等彈性部件構(gòu)成，把夾持部252、253的至少任一個例如夾持部253向從夾持部252離開的方向施力。夾持部253通過被施力部271施力而從初始位置進行移動和轉(zhuǎn)動就使薄膜201向X方向206伸展。
施力部272、273由彈簧等彈性部件構(gòu)成，把夾持部254、255的至少任一個例如夾持部254、255向相互離開的方向施力。夾持部254、255通過被施力部272、273施力而從初始位置進行移動就使薄膜201向Y方向207伸展。
下面使用圖5到圖8說明本第二實施例真空蒸鍍裝置的動作。圖7是表示本第二實施例真空蒸鍍裝置動作的流程圖，圖8是本第二實施例真空蒸鍍裝置的側(cè)面圖。
如圖7所示，本第二實施例的真空蒸鍍裝置200實行的是有機材料分開涂蒸鍍工序(從步驟S201到步驟S210)。以下詳細說明本工序的情況。
首先靜電夾盤251吸附放置在未圖示載置臺上的薄膜201并通過閘閥213運送到工作室211內(nèi)。然后如圖8(a)所示，靜電夾盤251移動到上述的離開位置(步驟S201)。
然后如圖8(b)所示，靜電夾盤251向上述的接近位置移動(步驟S202)。這時夾持部252、253、254、255通過制動部274、275、276、277而被保持在初始位置上。
然后如圖8(c)所示，夾持部252、253通過使可動板252b、253b向保持位置移動而保持薄膜201(步驟S203)。
然后如圖8(d)所示，夾持部252、253在從制動部274、275釋放了時被施力部271施力而從初始位置進行移動和轉(zhuǎn)動(步驟S204)。這樣薄膜201被向X方向206伸展而把變形除去。并適當(dāng)?shù)胤磸?fù)進行步驟S204來更可靠地把變形除去。
然后與圖8(c)同樣地，夾持部254、255通過使可動板254b、255b向保持位置移動而保持薄膜201(步驟S205)。
然后與圖8(d)同樣地，夾持部254、255在從制動部276、277釋放了時被施力部272、273施力而從初始位置進行移動(步驟S206)。這樣薄膜201被向Y方向207伸展而把變形除去。并適當(dāng)?shù)胤磸?fù)進行步驟S206來更可靠地把變形除去。
然后如圖8(e)所示，加熱裝置220通過把規(guī)定的有機材料加熱而氣化并把該被氣化了的有機材料221通過金屬掩膜230蒸鍍到薄膜201上(步驟S207)。
然后如圖8(f)所示，夾持部254、255通過使可動板254b、255b向釋放位置移動而釋放薄膜201(步驟S208)。
然后與圖8(f)同樣地，夾持部252、253使可動板252b、253b向釋放位置移動而釋放薄膜201(步驟S209)。
然后如圖8(g)所示，靜電夾盤251移動到上述的離開位置(步驟S210)。且靜電夾盤251通過閘閥214把薄膜201運送到工作室211外并放置到未圖示載置臺上，本工序終了。
如以上所說明的，本第二實施例的薄膜保持裝置250保持具有一對邊202、203和另一對邊204、205的薄膜201，在該薄膜保持裝置250中包括靜電夾盤251，其具有與薄膜201的一個面接合的平面257并吸附薄膜201；夾持部252，其保持被吸附薄膜201一對邊202、203的一側(cè)；夾持部253，其保持被吸附薄膜201一對邊202、203的另一側(cè)；直動部261，其支承夾持部252、253的至少任一個能向與一對邊202、203正交的方向移動；直動部262，其支承夾持部252、253的至少任一個能向與一對邊202、203平行的方向移動；轉(zhuǎn)動部263、264，其支承夾持部252、253的至少任一個能繞與所述薄膜201正交的軸轉(zhuǎn)動；施力部271，其把夾持部252、253的至少任一個向從另一個離開的方向施力。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，本第二實施例中保持著薄膜201的夾持部252、253被施力部271施力而從初始位置進行移動和轉(zhuǎn)動，因此能使薄膜201向X方向206伸展而把薄膜201的變形除去，提高薄膜201的平面度，例如能提高到10μm以下，能提高薄膜201的加工精度。
且本第二實施例的薄膜保持裝置250包括夾持部254，其保持被吸附薄膜201另一對邊204、205的一側(cè)；夾持部255，其保持被吸附薄膜201另一對邊204、205的另一側(cè)；直動部265、266，其支承夾持部254、255的至少任一個能向與另一對邊204、205正交的方向移動；施力部272、273，其把夾持部254、255的至少任一個向從另一個離開的方向施力。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，本第二實施例中保持著薄膜201的夾持部254、255被施力部272、273施力而從初始位置進行移動，因此能使薄膜201向Y方向207伸展而把薄膜201的變形除去，提高薄膜201的平面度，例如能提高到10μm以下，能提高薄膜201的加工精度。
本第二實施例是把本發(fā)明的薄膜保持裝置適用在真空蒸鍍裝置中，但并不限定于此，而是通過適用在各種制造裝置中能提高薄膜的加工精度。
權(quán)利要求
1.一種薄膜保持裝置，其保持具有一對邊和另一對邊的薄膜，其特征在于，該薄膜保持裝置包括第一保持部，其保持所述一對邊的一側(cè)以把所述薄膜的正反兩面露出；第二保持部，其保持所述一對邊的另一側(cè)以把所述薄膜的正反兩面露出；第一支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能向與所述一對邊正交的方向移動；第二支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能向與所述一對邊平行的方向移動；第三支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能繞與所述薄膜正交的軸轉(zhuǎn)動；第一施力機構(gòu)，其對所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個向從另一個離開的方向施力。
2.如權(quán)利要求1所述的薄膜保持裝置，其特征在于，其包括第三保持部，其保持所述另一對邊的一側(cè)以把所述薄膜的正反兩面露出；第四保持部，其保持所述另一對邊的另一側(cè)以把所述薄膜的正反兩面露出；第四支承機構(gòu)，其支承所述第三保持部和所述第四保持部的至少任一個能向與所述另一對邊正交的方向移動；第二施力機構(gòu)，其對所述第三保持部和所述第四保持部的至少任一個向從另一個離開的方向施力。
3.一種薄膜保持方法，其是保持具有一對邊和另一對邊薄膜的薄膜保持方法，其特征在于，是通過下述薄膜保持裝置保持所述薄膜的，該薄膜保持裝置包括第一保持部，其保持所述一對邊的一側(cè)以把所述薄膜的正反兩面露出；第二保持部，其保持所述一對邊的另一側(cè)以把所述薄膜的正反兩面露出；第一支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能向與所述一對邊正交的方向移動；第二支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能向與所述一對邊平行的方向移動；第三支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能繞與所述薄膜正交的軸轉(zhuǎn)動；第一施力機構(gòu)，其對所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個向從另一個離開的方向施力，該薄膜保持方法包括所述第一保持部和所述第二保持部保持所述薄膜的保持工序、所述第一施力機構(gòu)對所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個施力的施力工序、通過所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個的移動和轉(zhuǎn)動而伸展所述薄膜的伸展工序。
4.如權(quán)利要求3所述的薄膜保持方法，其特征在于，是通過下述薄膜保持裝置保持所述薄膜的，該薄膜保持裝置包括第三保持部，其保持所述另一對邊的一側(cè)以把所述薄膜的正反兩面露出；第四保持部，其保持所述另一對邊的另一側(cè)以把所述薄膜的正反兩面露出；第四支承機構(gòu)，其支承所述第三保持部和所述第四保持部的至少任一個能向與所述另一對邊正交的方向移動；第二施力機構(gòu)，其對所述第三保持部和所述第四保持部的至少任一個向從另一個離開的方向施力，該薄膜保持方法包括所述第三保持部和所述第四保持部保持所述薄膜的保持工序、所述第二施力機構(gòu)對所述第三保持部和所述第四保持部的至少任一個施力的施力工序、通過所述第三保持部和所述第四保持部的至少任一個的移動而伸展所述薄膜的伸展工序。
5.一種薄膜保持裝置，保持具有一對邊和另一對邊的薄膜，其特征在于，該薄膜保持裝置包括吸附部，其具有與所述薄膜的一個面接合的平面并吸附所述薄膜；第一保持部，其保持所述被吸附薄膜的所述一對邊的一側(cè)；第二保持部，其保持所述被吸附薄膜的所述一對邊的另一側(cè)；第一支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能向與所述一對邊正交的方向移動；第二支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能向與所述一對邊平行的方向移動；第三支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能繞與所述薄膜正交的軸轉(zhuǎn)動；第一施力機構(gòu)，其對所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個向從另一個離開的方向施力。
6.如權(quán)利要求5所述的薄膜保持裝置，其特征在于，其包括第三保持部，其保持所述被吸附薄膜的所述另一對邊的一側(cè)；第四保持部，其保持所述被吸附薄膜的所述另一對邊的另一側(cè)；第四支承機構(gòu)，其支承所述第三保持部和所述第四保持部的至少任一個能向與所述另一對邊正交的方向移動；第二施力機構(gòu)，其對所述第三保持部和所述第四保持部的至少任一個向從另一個離開的方向施力。
7.一種薄膜保持方法，是保持具有一對邊和另一對邊薄膜的薄膜保持方法，其特征在于，是通過下述薄膜保持裝置保持所述薄膜的，該薄膜保持裝置包括吸附部，其具有與所述薄膜的一個面接合的平面并吸附所述薄膜；第一保持部，其保持所述被吸附薄膜的所述一對邊的一側(cè)；第二保持部，其保持所述被吸附薄膜的所述一對邊的另一側(cè)；第一支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能向與所述一對邊正交的方向移動；第二支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能向與所述一對邊平行的方向移動；第三支承機構(gòu)，其支承所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個能繞與所述薄膜正交的軸轉(zhuǎn)動；第一施力機構(gòu)，其對所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個向從另一個離開的方向施力，該薄膜保持方法包括所述吸附部吸附所述薄膜的工序、所述第一保持部和所述第二保持部保持所述薄膜的保持工序、所述第一施力機構(gòu)對所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個施力的施力工序、通過所述第一保持部和所述第二保持部的至少任一個的移動和轉(zhuǎn)動而伸展所述薄膜的伸展工序。
8.如權(quán)利要求7所述的薄膜保持方法，其特征在于，是通過下述薄膜保持裝置保持所述薄膜的，該薄膜保持裝置包括第三保持部，其保持所述被吸附薄膜的所述另一對邊的一側(cè)；第四保持部，其保持所述被吸附薄膜的所述另一對邊的另一側(cè)；第四支承機構(gòu)，其支承所述第三保持部和所述第四保持部的至少任一個能向與所述另一對邊正交的方向移動；第二施力機構(gòu)，其對所述第三保持部和所述第四保持部的至少任一個向從另一個離開的方向施力，該薄膜保持方法包括所述第三保持部和所述第四保持部保持所述薄膜的保持工序、所述第二施力機構(gòu)對所述第三保持部和所述第四保持部的至少任一個施力的施力工序、通過所述第三保持部和所述第四保持部的至少任一個的移動而伸展所述薄膜的伸展工序。
全文摘要
提供一種薄膜保持裝置，能提高薄膜的平面度且能提高薄膜的加工精度。該薄膜保持裝置(150)包括保持邊(102)以使薄膜(101)的正反兩面露出的夾持部(152)、保持邊(103)以使薄膜(101)的正反兩面露出的夾持部(153)、支承夾持部(153)能向X方向(106)移動的直動部(161)、支承夾持部(153)能向Y方向(107)移動的直動部(162)、支承夾持部(152)、(153)能向θ方向(108)轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動部(163、164)、把夾持部(153)向離開夾持部(152)的方向施力的施力部(171)。
文檔編號H05B33/10GK1977065SQ20058002150
公開日2007年6月6日 申請日期2005年6月8日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月1日
發(fā)明者山田秀夫, 石田毅, 市川努 申請人:日本先鋒公司