專利名稱：基板升降設(shè)備及其頂柱機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種頂柱機(jī)構(gòu)，特別是有關(guān)于一種應(yīng)用于一基板升降設(shè)備的頂柱機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
參照圖1a，其是顯示公知基板升降設(shè)備中的平臺1，平臺1上形成有多個通孔2。基板3即置放于該平臺1之上。搭配參照圖1b，通孔2內(nèi)設(shè)置有頂柱4，頂柱4可從一第一位置(圖1a所顯示的位置)移動到一第二位置(圖1b所顯示的位置)，從通孔2之中升起而推升基板3，以方便一機(jī)械手臂(未圖示)取放該基板3。
參照圖2a，其是顯示公知頂柱機(jī)構(gòu)10的細(xì)部構(gòu)造，頂柱機(jī)構(gòu)10包括一本體11、一傳動元件12、該頂柱4以及一汽缸13。頂柱4設(shè)于本體11之上，汽缸13以汽缸桿131向上推動傳動元件12時，傳動元件12推動該頂柱4向上移動。搭配參照圖2b，傳動元件12為一平板，可同時推動多個頂柱4。
在公知技術(shù)中，當(dāng)欲使該頂柱4從該第二位置回復(fù)至該第一位置時，該汽缸13的汽缸桿131下降而使傳動元件12下降，此時頂柱4因為重力的作用而自動落至該第二位置。然而，如圖2c所顯示的，由于基板處理時所產(chǎn)生的微粒，例如，間隙物(spacer)，會落入通孔2之中而增加頂柱4與通孔2內(nèi)壁之間的摩擦力，因此會造成頂柱4無法順利回落第一位置的情形。如此會造成基板3的傾斜，降低基板3在處理上的均勻程度，并降低產(chǎn)品的合格率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種基板升降設(shè)備及其頂柱機(jī)構(gòu)，以解決上述公知技術(shù)的問題。
為此，本發(fā)明提供了一種預(yù)柱機(jī)構(gòu)，包括一本體、一頂柱、一傳動元件以及一彈性元件。頂柱設(shè)于該本體之上，該頂柱可以于一第一位置以及一第二位置之間移動。傳動元件推動該頂柱，使該頂柱從該第一位置沿一第一方向移動至該第二位置。彈性元件設(shè)于該頂柱之上，該彈性元件對該頂柱提供一彈性力，其中，該彈性力的作用方向是朝向一第二方向，該第二方向相反于該第一方向。
較佳地，該彈性元件為一彈簧，該彈簧的一端連接至該頂柱，該彈簧的另一端連接至該本體。
較佳地，該本體包括一第一段部以及一第一通孔，該第一通孔形成于該第一段部之上，該頂柱延伸穿過該第一通孔。
較佳地，該本體更包括一第二段部以及一導(dǎo)槽，該第一段部連接該第二段部，該第一段部與該第二段部相互垂直，該導(dǎo)槽呈長條狀并形成于該第二段部之上。
較佳地，該頂柱包括一柱體以及一引導(dǎo)部，該引導(dǎo)部連接該柱體，該柱體穿過該第一通孔，該引導(dǎo)部延伸進(jìn)入該導(dǎo)槽。
較佳地，該引導(dǎo)部穿過該導(dǎo)槽。
較佳地，該彈性元件設(shè)置于該引導(dǎo)部之上。
較佳地，該本體更包括一固定部，設(shè)于該第二段部之上，該彈性元件為一彈簧，該彈簧的一端連接至該引導(dǎo)部，該彈簧的另一端連接至該固定部。
本發(fā)明還提出了一種基板升降設(shè)備，包括一平臺，用以支撐一基板，該平臺上形成有多個第二通孔；以及多個上述頂柱機(jī)構(gòu)，其中，當(dāng)欲上升該基板時，所述頂柱穿過所述第二通孔并推升該基板。
較佳地，每一彈性元件為一彈簧，該彈簧的一端連接至該頂柱，該彈簧的另一端連接至該本體。
較佳地，每一本體包括一第一段部以及一第一通孔，該第一通孔形成于該第一段部之上，該頂柱延伸穿過該第一通孔。
較佳地，該本體更包括一第二段部以及一導(dǎo)槽，該第一段部連接該第二段部，該第一段部與該第二段部相互垂直，該導(dǎo)槽呈長條狀并形成于該第二段部之上。
較佳地，該頂柱包括一柱體以及一引導(dǎo)部，該引導(dǎo)部連接該柱體，該柱體穿過該第一通孔，該引導(dǎo)部延伸進(jìn)入該導(dǎo)槽。
較佳地，該引導(dǎo)部穿過該導(dǎo)槽。
較佳地，該彈性元件設(shè)置于該引導(dǎo)部之上。
較佳地，該本體更包括一固定部，設(shè)于該第二段部之上，該彈性元件為一彈簧，該彈簧的一端連接至該引導(dǎo)部，該彈簧的另一端連接至該固定部。
較佳地，該基板升降設(shè)備為一間隙物散布設(shè)備。
應(yīng)用本發(fā)明，可使頂柱順利回落至第一位置，因此可避免基板的傾斜，提升基板在處理上的均勻程度，并提高產(chǎn)品的合格率。


圖1a是顯示公知的基板處理設(shè)備中，頂柱位于第一位置的情形；圖1b是顯示公知的基板處理設(shè)備中，頂柱位于第二位置的情形；圖2a是顯示公知頂柱機(jī)構(gòu)的細(xì)部構(gòu)造；圖2b是顯示公知頂柱機(jī)構(gòu)的俯視圖；圖2c是顯示頂柱無法順利回落至第一位置的情形；圖3a是顯示本發(fā)明的頂柱機(jī)構(gòu)中，頂柱位于第一位置的情形；圖3b是顯示本發(fā)明的頂柱機(jī)構(gòu)中，頂柱位于第二位置的情形；以及圖4是顯示本發(fā)明的基板處理設(shè)備。
附圖標(biāo)記說明1～平臺； 2～通孔；3～基板； 4～頂柱；10～頂柱機(jī)構(gòu)；11～本體；12～傳動元件；13～汽缸；
131～汽缸桿； 20～頂柱機(jī)構(gòu)；21～本體；211～第一段部；212～第二段部； 213～第一通孔；214～導(dǎo)槽； 215～固定部；22～頂柱；221～柱體；222～引導(dǎo)部； 23～彈性元件。
具體實施例方式
參照圖3a，其是顯示本發(fā)明的頂柱機(jī)構(gòu)20，包括一本體21、一頂柱22、一彈性元件23、一傳動元件以及一汽缸13。頂柱22設(shè)在該本體21上。傳動元件12抵頂頂柱22。汽缸13透過汽缸桿131連接傳動元件12。彈性元件23設(shè)在該頂柱22與該本體21上。在此為簡化說明，因此省略顯示該頂柱機(jī)構(gòu)20周圍的鄰近結(jié)構(gòu)。
本體21包括一第一段部211以及一第二段部212，該第一段部211連接該第二段部212，該第一段部211與該第二段部212相互垂直。該本體21更包括一第一通孔213、一導(dǎo)槽214以及一固定部215。該第一通孔231開設(shè)于該第一段部211之上。該導(dǎo)槽214呈長條狀并開設(shè)于該第二段部212之上。該固定部215設(shè)于該第二段部212之上，并位于該導(dǎo)槽214的下方。
該頂柱22包括一柱體221以及一引導(dǎo)部222，該引導(dǎo)部222連接該柱體221，并與該柱體221相互垂直。該柱體221穿過該第一通孔213。該引導(dǎo)部222延伸穿過該導(dǎo)槽214。
該彈性元件23為一彈簧，該彈性元件23的一端連接該引導(dǎo)部222，同時，該彈性元件23的另一端連接該固定部215。
搭配參照圖3a以及3b，該汽缸13的汽缸桿131可使該頂柱22于一第一位置(圖3a所顯示的位置)以及第二位置(圖3b所顯示的位置)之間移動。當(dāng)欲以頂柱22對基板(未圖示)進(jìn)行支撐時，該汽缸桿131以及該傳動元件12可沿一第一方向y，將該頂柱22從該第一位置推升至該第二位置。當(dāng)欲解除頂柱22對基板(未圖示)的支撐時，汽缸桿131以及該傳動元件12下降，同時，該彈性元件23沿一第二方向-y，將該頂柱22從該第二位置下拉至該第一位置。該彈性元件23對該頂柱22提供一彈性力，該彈性力的作用方向同于該第二方向-y。該第二方向-y相反于該第一方向y。
參照圖4，本發(fā)明的頂柱機(jī)構(gòu)20可設(shè)于一基板升降設(shè)備中的平臺1’之中。平臺1’的表面設(shè)有多個第二通孔2。其中，當(dāng)欲上升基板3時，頂柱22上升穿過第二通孔2以支撐基板3。
該基板升降設(shè)備可應(yīng)用于一間隙物(spacer)散布設(shè)備。
在上述實施例中，揭露了以彈簧作為彈性元件的實施樣態(tài)，然其并未限制本發(fā)明。在本發(fā)明的精神之下，亦可透過氣壓缸或時磁力元件等其它方式提供彈性力。
此外，在上述實施例中，彈簧提供至少400克的彈性力，以克服頂柱22與第二通孔2內(nèi)壁之間的摩擦力。
應(yīng)用本發(fā)明，可使頂柱順利回落至第一位置，因此可避免基板的傾斜，提升基板在處理上的均勻程度，并提高產(chǎn)品的合格率。
雖然本發(fā)明已以具體的較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟習(xí)此項技藝者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，仍可作些許的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種頂柱機(jī)構(gòu)，其特征是，包括一本體；一頂柱，設(shè)在該本體上，該頂柱可以在一第一位置以及一第二位置之間移動；一傳動元件，該傳動元件推動該頂柱，使該頂柱在該第一位置及該第二位置之間移動；以及一彈性元件，設(shè)在該頂柱上，該彈性元件對該頂柱移動至該第二位置時提供拉伸應(yīng)力，對該頂柱移動至該第一位置時提供壓縮應(yīng)力。
2.如權(quán)利要求1所述的頂柱機(jī)構(gòu)，其特征是，該彈性元件為一彈簧，該彈簧的一端連接至該頂柱，該彈簧的另一端連接至該本體。
3.如權(quán)利要求1所述的頂柱機(jī)構(gòu)，其特征是，該本體包括一第一段部以及一第一通孔，該第一通孔形成于該第一段部之上，該頂柱延伸穿過該第一通孔。
4.如權(quán)利要求3所述的頂柱機(jī)構(gòu)，其特征是，該本體更包括一第二段部以及一導(dǎo)槽，該第一段部連接該第二段部，該第一段部與該第二段部相互垂直，該導(dǎo)槽呈長條狀并形成于該第二段部之上。
5.如權(quán)利要求4所述的頂柱機(jī)構(gòu)，其特征是，該頂柱包括一柱體以及一引導(dǎo)部，該引導(dǎo)部連接該柱體，該柱體穿過該第一通孔，該引導(dǎo)部延伸進(jìn)入該導(dǎo)槽。
6.如權(quán)利要求5所述的頂柱機(jī)構(gòu)，其特征是，該引導(dǎo)部穿過該導(dǎo)槽。
7.如權(quán)利要求6所述的頂柱機(jī)構(gòu)，其特征是，該彈性元件設(shè)置于該引導(dǎo)部之上。
8.如權(quán)利要求7所述的頂柱機(jī)構(gòu)，其特征是，該本體更包括一固定部，設(shè)于該第二段部之上，該彈性元件為一彈簧，該彈簧的一端連接至該引導(dǎo)部，該彈簧的另一端連接至該固定部。
9.一種基板升降設(shè)備，包括一平臺，用以支撐一基板，該平臺上形成有多個第二通孔；以及多個如權(quán)利要求1所述的頂柱機(jī)構(gòu)，其中，當(dāng)欲上升該基板時，所述頂柱穿過所述第二通孔并推升該基板。
10.如權(quán)利要求9所述的基板升降設(shè)備，其特征是，每一彈性元件為一彈簧，該彈簧的一端連接至該頂柱，該彈簧的另一端連接至該本體。
11.如權(quán)利要求9所述的基板升降設(shè)備，其特征是，每一本體包括一第一段部以及一第一通孔，該第一通孔形成于該第一段部之上，該頂柱延伸穿過該第一通孔。
12.如權(quán)利要求11所述的基板升降設(shè)備，其特征是，該本體更包括一第二段部以及一導(dǎo)槽，該第一段部連接該第二段部，該第一段部與該第二段部相互垂直，該導(dǎo)槽呈長條狀并形成于該第二段部之上。
13.如權(quán)利要求12所述的基板升降設(shè)備，其特征是，該頂柱包括一柱體以及一引導(dǎo)部，該引導(dǎo)部連接該柱體，該柱體穿過該第一通孔，該引導(dǎo)部延伸進(jìn)入該導(dǎo)槽。
14.如權(quán)利要求13所述的基板升降設(shè)備，其特征是，該引導(dǎo)部穿過該導(dǎo)槽。
15.如權(quán)利要求14所述的基板升降設(shè)備，其特征是，該彈性元件設(shè)置于該引導(dǎo)部之上。
16.如權(quán)利要求15所述的基板升降設(shè)備，其特征是，該本體更包括一固定部，設(shè)于該第二段部之上，該彈性元件為一彈簧，該彈簧的一端連接至該引導(dǎo)部，該彈簧的另一端連接至該固定部。
17.如權(quán)利要求9所述的基板升降設(shè)備，其特征是，該基板升降設(shè)備為一間隙物散布設(shè)備。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種基板升降設(shè)備及其頂柱機(jī)構(gòu)，所述頂柱機(jī)構(gòu)包括一本體、一頂柱、一傳動元件以及一彈性元件。頂柱設(shè)于該本體之上，該頂柱可以于一第一位置以及一第二位置之間移動。傳動元件推動該頂柱，使該頂柱從該第一位置沿一第一方向移動至該第二位置。該頂柱設(shè)置彈性元件，該彈性元件對該頂柱提供一彈性力，其中，該彈性力的作用方向是朝向一第二方向，該第二方向相反于該第一方向。
文檔編號B66F11/00GK1810625SQ20061000776
公開日2006年8月2日 申請日期2006年2月20日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月20日
發(fā)明者李天立, 趙駿銘, 戴家亮 申請人:廣輝電子股份有限公司