專利名稱：基板傳送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基板傳送裝置，特別地涉及這樣一種基板傳送裝置其在支撐例如半導(dǎo)體晶片、玻璃基板和印刷電路板等各種基板的兩個(gè)表面的同時(shí)傳送這些基板。
背景技術(shù)：
在通過于例如半導(dǎo)體晶片、玻璃基板或印刷電路板等基板的前表面或每個(gè)表面上形成圖案而制造制品的情況下，采用傳送基板的基板傳送裝置?；鍌魉脱b置用于例如電鍍工藝、蝕刻工藝、清潔工藝等。
此外，某些基板傳送裝置在支撐基板的兩個(gè)表面的同時(shí)傳送基板。這種基板傳送裝置適用于從噴嘴噴出的處理液以噴射基板的清潔裝置、蝕刻裝置等(參見圖1和圖2)。
圖1為基板傳送裝置的平面圖，圖2為沿圖1所示的A方向看到的基板傳送裝置的視圖。在圖1中，B表示基板102的傳送方向(以下稱為傳送方向B)。此外，在圖2中，D1和D2表示用于傳送基板102所需的夾緊區(qū)域(以下稱為夾緊區(qū)域D1和D2)，E表示在其中可以形成圖案的區(qū)域(以下稱為圖案形成區(qū)域E)。夾緊區(qū)域D1和D2指的是供基板傳送裝置100支撐基板102的區(qū)域，在該區(qū)域中不能形成任何圖案。
參照?qǐng)D1和圖2，基板傳送裝置100具有第一基板支撐傳送部件105-1和第二基板支撐傳送部件105-2。第一基板支撐傳送部件105-1具有多個(gè)沿基板102的傳送方向B設(shè)置的基板支撐機(jī)構(gòu)101A。第二基板支撐傳送部件105-2具有多個(gè)沿基板102的傳送方向B設(shè)置的基板支撐機(jī)構(gòu)101B。第一基板支撐傳送部件105-1和第二基板支撐傳送部件105-2以這樣的方式布置，即基板支撐機(jī)構(gòu)101A與基板支撐機(jī)構(gòu)101B相對(duì)。
基板支撐機(jī)構(gòu)101A每個(gè)具有旋轉(zhuǎn)軸103和106、上輥104、下輥107和使旋轉(zhuǎn)軸103和106旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)裝置(未示出)。
以這樣的方式布置旋轉(zhuǎn)軸103，即垂直于基板102的傳送方向B的方向與旋轉(zhuǎn)軸103的軸向形成預(yù)定角度α。作為與基板102的前表面102A接觸的輥?zhàn)拥纳陷?04設(shè)在旋轉(zhuǎn)軸103上。以這樣的方式布置上輥104，即上輥104的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)于基板102的傳送方向B指向外側(cè)。上輥104的旋轉(zhuǎn)方向與基板102的傳送方向B形成預(yù)定角度α。
旋轉(zhuǎn)軸106設(shè)在旋轉(zhuǎn)軸103的下方，并且在垂直于基板102的傳送方向B的方向上與旋轉(zhuǎn)軸106的軸向形成預(yù)定角度α。
下輥107以沿基板102的厚度方向與上輥104相對(duì)的方式設(shè)在旋轉(zhuǎn)軸106上。下輥107的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)于基板102的傳送方向B指向外側(cè)。下輥107的旋轉(zhuǎn)方向與基板102的傳送方向B形成預(yù)定角度α。作為與基板102的后表面102B接觸的輥?zhàn)拥南螺?07和上輥104一起傳送基板102。此外，基板支撐機(jī)構(gòu)101B以與基板支撐機(jī)構(gòu)101A相同的方式構(gòu)造。
在如此構(gòu)成的基板傳送裝置100中，由于上輥104和下輥107不與基板102的圖案形成區(qū)域E接觸，所以可以防止在基板102上形成的微細(xì)圖案受到上輥104和下輥107的損傷。
此外，當(dāng)上輥104和下輥107的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)于基板102的傳送方向B指向外側(cè)時(shí)，從基板102的中心指向基板102外側(cè)的方向產(chǎn)生張力，從而能夠防止基板102撓曲(見日本專利未經(jīng)審查公開JP-T-2005-508816)。
然而，在上述基板傳送裝置100中，利用設(shè)在基板支撐機(jī)構(gòu)101A中的上、下輥104、107的張力差和設(shè)在基板支撐機(jī)構(gòu)101B中的上、下輥104、107的張力差，以蛇行(meandering)方式傳送基板102。這樣，為了防止基板102跌落，需要增加夾緊區(qū)域D1和D2的寬度。
因此，存在這樣的問題，即減小了在其中制造制品的圖案形成區(qū)域E的面積。在基板傳送裝置100中，為了在不使基板102跌落的情況下將其傳送，夾緊區(qū)域D1和D2每個(gè)需要具有15mm或更大的寬度。
當(dāng)為減小夾緊區(qū)域D1和D2而減小預(yù)定角度α?xí)r，張力減小，這會(huì)導(dǎo)致基板102的跌落。因此，為了牢固地支撐基板102，可以考慮采用陶瓷或金屬作為上輥104和下輥107的材料。然而，在陶瓷或金屬用作上輥104和下輥107的材料的情況下，存在這樣的問題，即在與上輥104和下輥107接觸的基板102的表面上出現(xiàn)損傷。
此外，基板傳送裝置100的長(zhǎng)度越長(zhǎng)，基板102的蛇行越顯著，因此難以調(diào)整預(yù)定角度α。此外，當(dāng)增加預(yù)定角度α?xí)r，基板102更顯著地蛇行，因此基板102從上輥104和下輥107脫出并跌落。此外，當(dāng)減小預(yù)定角度α?xí)r，張力減小，因此基板102的中央部分撓曲，并且基板102從上輥104和下輥107脫出并跌落。

發(fā)明內(nèi)容
因此，考慮到前面所述的問題，已經(jīng)構(gòu)思出本發(fā)明，本發(fā)明的目的在于提供一種基板傳送裝置，該基板傳送裝置可以在圖案形成區(qū)域得到加寬的狀態(tài)下精確傳送基板。
根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供一種基板傳送裝置，該裝置包括多對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)，所述基板支撐機(jī)構(gòu)包括第一輥，其設(shè)在第一旋轉(zhuǎn)軸上；以及第二輥，其設(shè)在第二旋轉(zhuǎn)軸上，其中，所述基板支撐機(jī)構(gòu)在沿基板的厚度方向?qū)⑺龌逯卧谒龅谝缓偷诙佒g的同時(shí)，沿傳送方向傳送所述基板，其中，所述每對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)布置為沿所述基板的寬度方向彼此相對(duì)，所述多對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)沿所述傳送方向設(shè)置，并且在所述第一和第二旋轉(zhuǎn)軸中的任何一個(gè)上設(shè)置有基板位置調(diào)節(jié)部件，所述基板位置調(diào)節(jié)部件通過與所述基板中平行于所述傳送方向的端面接觸來調(diào)節(jié)所述基板的位置。
根據(jù)本發(fā)明，由設(shè)置在第一和第二旋轉(zhuǎn)軸中的任何一個(gè)上的與基板中平行于傳送方向的端面接觸的基板位置調(diào)節(jié)部件來調(diào)節(jié)基板的位置。這樣，使得第一和第二輥能夠設(shè)置為比現(xiàn)有技術(shù)更接近于基板的端面。通過這種方法，可以在保證其上制造制品的圖案形成區(qū)域的寬度盡可能寬的同時(shí)，精確地傳送基板。
根據(jù)本發(fā)明，可以在保證圖案形成區(qū)域的寬度較寬的同時(shí)，精確地傳送基板。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)的基板傳送裝置的平面圖；圖2為示出沿圖1所示的A方向看到的基板傳送裝置的視圖；圖3為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基板傳送裝置的平面圖；圖4為圖3所示的基板傳送裝置的剖視圖；圖5為沿圖3所示的F方向看到的基板傳送裝置的視圖；圖6為裝備有本實(shí)施例的基板傳送裝置的清潔裝置的剖視圖；圖7為示出根據(jù)本實(shí)施例的第一變形例的基板傳送裝置的視圖；圖8為示出根據(jù)本實(shí)施例的第二變形例的基板傳送裝置的視圖；圖9為示出根據(jù)本實(shí)施例的第三變形例的基板傳送裝置的視圖；以及圖10為示出根據(jù)本實(shí)施例的第四變形例的基板傳送裝置的視圖。
具體實(shí)施例方式
接下來，將參照

本發(fā)明的實(shí)施例。
圖3為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基板傳送裝置的平面圖。圖4為圖3所示基板傳送裝置的剖視圖。在圖3中，G表示基板32的傳送方向(以下稱為傳送方向G)，K-1表示第二旋轉(zhuǎn)軸27-1的軸向(以下稱為軸向K-1)，并且K-2表示第二旋轉(zhuǎn)軸27-2的軸向(以下稱為軸向K-2)。此外，在圖3中，N表示基板32的中心(以下稱為中心N)，M1表示第二輥29-1的旋轉(zhuǎn)方向(以下稱為旋轉(zhuǎn)方向M1)，并且M2表示第二輥29-2的旋轉(zhuǎn)方向(以下稱為旋轉(zhuǎn)方向M2)。
參照?qǐng)D3和圖4，基板傳送裝置10具有第一基板支撐傳送裝置11-1和第二基板支撐傳送裝置11-2。第一基板支撐傳送裝置11-1和第二基板支撐傳送裝置11-2以這樣的方式布置，即第一基板支撐傳送裝11-1上的基板支撐機(jī)構(gòu)25-1與第二基板支撐傳送裝置11-2上的基板支撐機(jī)構(gòu)25-2相對(duì)。
第一基板支撐傳送裝置11-1和第二基板支撐傳送裝置11-2形成為具有基本上相同的結(jié)構(gòu)。從而，在圖3和圖4中，將后綴-1附加給布置在圖中左側(cè)的第一基板支撐傳送裝置11-1的部件的參考符號(hào)。以相同的方式，將后綴-2附加給布置在右側(cè)的第二基板支撐傳送裝置11-2的部件的參考符號(hào)。這里，主要給出對(duì)于第一基板支撐傳送裝置11-1的說明。
第一基板支撐傳送裝置11-1具有外殼12-1、驅(qū)動(dòng)裝置13-1、驅(qū)動(dòng)軸15-1、錐齒輪16-1和17-1、承壓橫向構(gòu)件18-1和19-1、下齒輪21-1、上齒輪22-1以及多個(gè)基板支撐機(jī)構(gòu)25-1。
外殼12-1容納驅(qū)動(dòng)裝置13-1、驅(qū)動(dòng)軸15-1、錐齒輪16-1和17-1、下齒輪21-1、上齒輪22-1、承壓橫向構(gòu)件18-1和19-1以及將在后面說明的第一旋轉(zhuǎn)軸26-1和第二旋轉(zhuǎn)軸27-1。
設(shè)在外殼12-1的底部12A-1上的驅(qū)動(dòng)裝置13-1與驅(qū)動(dòng)軸15-1連接。驅(qū)動(dòng)裝置13-1用于使驅(qū)動(dòng)軸15-1旋轉(zhuǎn)。驅(qū)動(dòng)軸15-1以沿基板32的傳送方向G延伸的方式設(shè)在外殼12-1內(nèi)部，并與驅(qū)動(dòng)裝置13-1連接。
多個(gè)錐齒輪16-1以預(yù)定間距設(shè)在驅(qū)動(dòng)軸15-1上。錐齒輪16-1與設(shè)在第一旋轉(zhuǎn)軸26-1上的錐齒輪17-1連接。當(dāng)驅(qū)動(dòng)軸15-1旋轉(zhuǎn)時(shí)，錐齒輪16-1隨著驅(qū)動(dòng)軸15-1旋轉(zhuǎn)，以將驅(qū)動(dòng)軸15-1的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳遞到錐齒輪17-1。
錐齒輪17-1設(shè)在第一旋轉(zhuǎn)軸26-1位于驅(qū)動(dòng)軸15-1側(cè)的端部上，并與錐齒輪16-1連接。錐齒輪17-1借助于從錐齒輪16-1傳遞的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使第一旋轉(zhuǎn)軸26-1旋轉(zhuǎn)。
承壓橫向構(gòu)件18-1設(shè)在外殼12-1的底部12A-1上，并位于錐齒輪17-1和下齒輪21-1之間。承壓橫向構(gòu)件19-1設(shè)在外殼12-1的底部12A-1上，并位于下齒輪21-1的右側(cè)(參見圖4)。
承壓橫向構(gòu)件18-1、19-1具有第一旋轉(zhuǎn)軸26-1和第二旋轉(zhuǎn)軸27-1穿過的切口(未示出)。承壓橫向構(gòu)件18-1、19-1用于以這樣的方式調(diào)整第一旋轉(zhuǎn)軸26-1第二旋轉(zhuǎn)軸27-1的位置，即由各個(gè)第一旋轉(zhuǎn)軸26-1和第二旋轉(zhuǎn)軸27-1的軸向和垂直于基板32的傳送方向G的方向形成的角度為預(yù)定角度θ。該調(diào)整是通過相對(duì)于基板32的傳送方向G移動(dòng)承壓橫向構(gòu)件18-1、19-1來進(jìn)行的。
下齒輪21-1設(shè)在第一旋轉(zhuǎn)軸26-1位于承壓橫向構(gòu)件18-1和19-1之間的一部分上。下齒輪21-1與上齒輪22-1連接。當(dāng)?shù)谝恍D(zhuǎn)軸26-1旋轉(zhuǎn)時(shí)，下齒輪21-1隨著第一旋轉(zhuǎn)軸26-1旋轉(zhuǎn)以使上齒輪22-1旋轉(zhuǎn)。
上齒輪22-1以與下齒輪21-1相對(duì)的方式設(shè)在第二旋轉(zhuǎn)軸27-1上。上齒輪22-1與下齒輪21-1連接，并借助于從下齒輪21-1傳遞的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使第二旋轉(zhuǎn)軸27-1旋轉(zhuǎn)。
圖5為沿圖3所示的F方向看到的基板傳送裝置的視圖。在圖5中，H表示在基板32中可以形成圖案(可以形成制品)的區(qū)域(以下稱為圖案形成區(qū)域H)，并且J表示用于以能夠傳送基板32的方式支撐基板32所需的區(qū)域(以下稱為夾緊區(qū)域J)。
接下來，將參照?qǐng)D3至圖5說明基板支撐機(jī)構(gòu)25-1?；逯螜C(jī)構(gòu)25-1設(shè)在第一旋轉(zhuǎn)軸26-1和第二旋轉(zhuǎn)軸27-1從外殼12-1凸出的一部分上。沿基板32的傳送方向G設(shè)置的多個(gè)支撐機(jī)構(gòu)25-1布置為與設(shè)在基板支撐傳送裝置11-2上的支撐機(jī)構(gòu)25-2相對(duì)。換言之，支撐機(jī)構(gòu)25-1布置為沿基板32的寬度方向與支撐機(jī)構(gòu)25-2相對(duì)。
基板支撐機(jī)構(gòu)25-1具有第一旋轉(zhuǎn)軸26-1、第二旋轉(zhuǎn)軸27-1、第一輥28-1、第二輥29-1以及作為基板位置調(diào)節(jié)部件的位置調(diào)節(jié)輥30-1。
第一旋轉(zhuǎn)軸26-1在從外殼12-1凸出的同時(shí)穿過承壓橫向構(gòu)件18-1、19-1的切口(未示出)。第一旋轉(zhuǎn)軸26-1位于驅(qū)動(dòng)軸15-1側(cè)的端部與錐齒輪17-1連接。以這樣的方式布置第一旋轉(zhuǎn)軸26-1，即在第一旋轉(zhuǎn)軸26-1的軸向和垂直于基板32的傳送方向G的方向之間限定的角度設(shè)為預(yù)定角度θ(參見圖3)。預(yù)定角度θ沿傳送方向G形成于基板32側(cè)?？梢栽?.5°至5°的范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)剡x取預(yù)定角度θ。舉例來說，即使在通過將預(yù)定角度θ設(shè)為大于2°以增加張力的情況下，由于通過位置調(diào)節(jié)輥30-1和30-2調(diào)節(jié)基板32，所以仍然可以防止基板32蛇行。通過這種方法，不僅可以增加預(yù)定角度θ的調(diào)整范圍之外，而且可以容易地調(diào)整預(yù)定角度θ。
當(dāng)錐齒輪17-1旋轉(zhuǎn)時(shí)，第一旋轉(zhuǎn)軸26-1隨著錐齒輪17-1旋轉(zhuǎn)以使第一輥28-1旋轉(zhuǎn)。
第二旋轉(zhuǎn)軸27-1以這樣的方式設(shè)在第一旋轉(zhuǎn)軸26-1的上方，即該第二旋轉(zhuǎn)軸27-1在從外殼12-1凸出的同時(shí)，穿過承壓橫向構(gòu)件18-1、19-1中形成的切口(未示出)。以這樣的方式布置第二旋轉(zhuǎn)軸27-1，即第二旋轉(zhuǎn)軸27-1的軸向K-1與垂直于基板32的傳送方向G的方向形成預(yù)定角度θ。沿傳送方向G形成于基板32側(cè)的預(yù)定角度θ基本上等于第一旋轉(zhuǎn)軸26-1中所述的預(yù)定角度θ。
第一輥28-1在這樣的狀態(tài)下設(shè)在第一旋轉(zhuǎn)軸26-1上，即第一輥28-1的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)于基板32的傳送方向G指向外側(cè)。在第一輥28-1的旋轉(zhuǎn)方向和基板32的傳送方向G之間形成預(yù)定角度θ。預(yù)定角度θ基本上等于第一旋轉(zhuǎn)軸26-1中所述的預(yù)定角度θ。
這樣，通過在使第一輥28-1的旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，使第一輥28-1的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)于基板32的傳送方向G指向外側(cè)，從而朝向基板32的傳送方向G的外側(cè)產(chǎn)生張力。這樣，能夠在基板32不撓曲的情況下傳送基板32。
圖6為裝備有本實(shí)施例的基板傳送裝置的清潔裝置的剖視圖。在圖6中，與圖5所示的基板傳送裝置10的部件相同的部件用相同的參考符號(hào)來標(biāo)識(shí)。
此外，位于基板32的中心N側(cè)的第一輥28-1的表面28B-1設(shè)為基本上與第一旋轉(zhuǎn)軸26-1的端面26A-1齊平(參見圖5)。
這樣，位于基板32的中心N側(cè)(即基板32側(cè))的第一輥28-1的端面28B-1設(shè)為基本上與第一旋轉(zhuǎn)軸26-1的端面26A-1齊平(參見圖5)。舉例來說，如圖6所示，在將基板傳送裝置10應(yīng)用于裝備有噴嘴36和37的清潔裝置35的情況下，可以通過向基板32的后表面32B中與圖案形成區(qū)域H對(duì)應(yīng)的區(qū)域均勻供給清潔液38，從而進(jìn)行清潔，這樣可以提高在基板32上制造的制品的生產(chǎn)率。
第一輥28-1具有與基板32的后表面32B接觸的接觸表面28A-1。通過與第一旋轉(zhuǎn)軸26-1一體旋轉(zhuǎn)，第一輥28-1和第二輥29-1一起沿傳送方向G傳送基板32。
在將夾緊區(qū)域J的寬度設(shè)為7mm，即小于現(xiàn)有技術(shù)的15mm寬度的情況下，可以將第一輥28-1的寬度W1設(shè)為例如5mm。此外，第一輥28-1可以采用例如具有高耐磨性的橡膠作為其材料。通過采用橡膠作為第一輥28-1的材料，可以防止基板32受到第一輥28-1的損傷。
第二輥29-1在這樣的狀態(tài)下設(shè)在第二旋轉(zhuǎn)軸27-1上，即第二輥29-1的旋轉(zhuǎn)方向M1相對(duì)于基板32的傳送方向G指向外側(cè)。在第二輥29-1的旋轉(zhuǎn)方向M1和基板32的傳送方向G之間形成預(yù)定角度θ。該預(yù)定角度θ基本上等于第一旋轉(zhuǎn)軸26-1中所述的預(yù)定角度θ。
這樣，通過在使第二輥29-1旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，使第二輥29-1的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)于基板32的傳送方向G指向外側(cè)，從而朝向基板32的傳送方向G的外側(cè)產(chǎn)生張力。這樣，能夠在基板32不撓曲的情況下傳送基板32。
此外，位于基板32的中心N側(cè)的第二輥29-1的表面29B-1設(shè)為基本上與第二旋轉(zhuǎn)軸27-1的端面27A-1齊平。
這樣，位于基板32的中心N側(cè)的第二輥29-1的表面29B-1設(shè)為基本上與第二旋轉(zhuǎn)軸27-1的端面27A-1齊平。舉例來說，在將基板傳送裝置10應(yīng)用于裝備有噴嘴36和37的清潔裝置35的情況下(如圖6所示)，可以通過向基板32的前表面32A中與圖案形成區(qū)域H對(duì)應(yīng)的區(qū)域均勻供給清潔液38，從而進(jìn)行清潔。這樣，可以提高在基板32上制造的制品的生產(chǎn)率。
第二輥29-1具有與基板32的前表面32A接觸的接觸表面29A-1。通過與第二旋轉(zhuǎn)軸27-1一體旋轉(zhuǎn)，第二輥29-1和第一輥28-1一起沿傳送方向G傳送基板32。
在將夾緊區(qū)域J的寬度設(shè)為7mm的情況下，可以將第二輥29-1的寬度W2設(shè)為例如5mm。第二輥29-1可以采用例如具有高耐磨性的橡膠作為其材料。通過采用橡膠作為第二輥29-1的材料，可以防止基板32受到第二輥29-1的損傷。
位置調(diào)節(jié)輥30-1設(shè)在第二旋轉(zhuǎn)軸27-1上，位于與基板32的中心N相對(duì)的第二輥29-1側(cè)。位置調(diào)節(jié)輥30-1用于通過與平行于基板32的傳送方向G的基板32的端面32C接觸，以調(diào)節(jié)基板32的位置。位置調(diào)節(jié)輥30-1的直徑構(gòu)成為大于第二輥29-1的直徑。
這樣，通過使位置調(diào)節(jié)輥30-1的直徑大于第二輥29-1的直徑，從而使位置調(diào)節(jié)輥30-1中面向基板32的表面30A-1與基板32的端面32C接觸。此外，通過調(diào)節(jié)基板32在垂直于傳送方向G的方向上的位置，可以精確地傳送基板32。
此外，通過由位置調(diào)節(jié)輥30-1調(diào)節(jié)基板32的位置，第一輥28-1和第二輥29-1布置為比現(xiàn)有技術(shù)更接近于基板32的端面32C側(cè)。這樣，可以在基板32上減小夾緊區(qū)域J的寬度，并增加圖案形成區(qū)域H的面積。由于這增加了每個(gè)基板所獲得的制品的數(shù)量，所以可以降低制造制品的成本。夾緊區(qū)域J的寬度可以設(shè)為例如7mm，即小于現(xiàn)有技術(shù)的寬度15mm。
此外，位置調(diào)節(jié)輥30-1以與第二旋轉(zhuǎn)軸27-1一體旋轉(zhuǎn)的方式構(gòu)造。這樣，位置調(diào)節(jié)輥30-1的旋轉(zhuǎn)減小了施加于基板32中與位置調(diào)節(jié)輥30-1接觸的端面32C的載荷，從而可以防止基板32受到損傷。
此外，對(duì)位置調(diào)節(jié)輥30-1中面向第二輥29-1的邊緣30B-1進(jìn)行倒角。這樣，通過對(duì)位置調(diào)節(jié)輥30-1中與基板32的端面32C接觸那一側(cè)的邊緣30B-1進(jìn)行倒角，可以防止基板32受到損傷。
在將夾緊區(qū)域J的寬度設(shè)為7mm的情況下，可以將第二輥29-1和位置調(diào)節(jié)輥30-1之間的距離L設(shè)為例如2mm。此外，位置調(diào)節(jié)輥30-1可以采用不銹鋼、陶瓷等作為其材料。另外，可以將位置調(diào)節(jié)輥30-1的寬度W3設(shè)為例如10mm。
以與前面所述第一基板支撐傳送裝置11-1相同的方式構(gòu)造第二基板支撐傳送裝置11-2。第二基板支撐傳送裝置11-2具有布置為與基板支撐機(jī)構(gòu)25-1相對(duì)的多個(gè)基板支撐機(jī)構(gòu)25-2。設(shè)在基板支撐機(jī)構(gòu)25-2上的位置調(diào)節(jié)輥30-2調(diào)節(jié)基板32的端面32D的位置，位置調(diào)節(jié)輥30-2與基板32中平行于傳送方向G的端面32D(與端面32C相對(duì)的端面)接觸。
這樣，通過由位置調(diào)節(jié)輥30-2調(diào)節(jié)基板32的位置，第一輥28-1和第二輥29-1布置為比現(xiàn)有技術(shù)更接近于基板32的端面32D。這樣，可以減小夾緊區(qū)域J的寬度，并可以增加基板32上的圖案形成區(qū)域H的面積。
以與位置調(diào)節(jié)輥30-1相同的方式構(gòu)造位置調(diào)節(jié)輥30-2，并對(duì)位置調(diào)節(jié)輥30-2中與基板32的端面32D接觸那一側(cè)的邊緣30B-2進(jìn)行倒角。
根據(jù)本實(shí)施例的基板傳送裝置，通過在第一旋轉(zhuǎn)軸26-1、26-2和第二旋轉(zhuǎn)軸27-1、27-2中任何一個(gè)上設(shè)置位置調(diào)節(jié)輥30-1和30-2(與基板32中平行于傳送方向G的端面32C、32D接觸)，以調(diào)節(jié)基板32在垂直于傳送方向G的方向上的位置。如此，不僅使得第一輥28-1和第二輥29-1能夠布置為比現(xiàn)有技術(shù)更接近于基板32的端面32C側(cè)，而且使得第一輥28-2和第二輥29-2能夠布置為比現(xiàn)有技術(shù)更接近于基板32的端面32D側(cè)，因此，可以在這樣的狀態(tài)下精確傳送基板32即，在其中制造制品的圖案形成區(qū)域H得到加寬的狀態(tài)。
此外，通過對(duì)位置調(diào)節(jié)輥30-1和30-2中與基板32的端面32C、32D接觸的邊緣30B-1和30B-2進(jìn)行倒角，可以防止基板32受到損傷。
此外，通過使第一輥28-1、28-2和第二輥29-1、29-2的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)于傳送方向G指向外側(cè)，可以使得當(dāng)?shù)谝惠?8-1、28-2和第二輥29-1、29-2旋轉(zhuǎn)時(shí)，朝向基板32的傳送方向G的外側(cè)產(chǎn)生張力，從而在不使基板32撓曲的情況下將其傳送。
本實(shí)施例也可以應(yīng)用于以這樣的方式構(gòu)造的基板傳送裝置，即第一旋轉(zhuǎn)軸26-1、26-2和第二旋轉(zhuǎn)軸27-1、27-2的軸向與基板32的傳送方向G垂直，并且第一輥28-1、28-2和第二輥29-1、29-2的旋轉(zhuǎn)方向與第一旋轉(zhuǎn)軸26-1、26-2和第二旋轉(zhuǎn)軸27-1、27-2的軸向垂直。此外，第一輥28-1、28-2和第二輥29-1、29-2與位置調(diào)節(jié)輥30-1和30-2結(jié)合成一體也是可以接受的。
使用前面所述的清潔裝置35(參見圖6)來評(píng)價(jià)本實(shí)施例的基板傳送裝置10的傳送性能。具體來說，對(duì)于當(dāng)將從噴嘴36和37噴出的清潔液38的壓力設(shè)為0.20MPa或0.27MPa，并將預(yù)定角度θ設(shè)為2°時(shí)，是否在不撓曲的情況下穩(wěn)定傳送基板32進(jìn)行確認(rèn)。此外，制備多個(gè)具有不同厚度的基板作為基板32，并將它們的厚度設(shè)為0.4mm、0.8至1.0mm和2.0mm。
根據(jù)評(píng)價(jià)結(jié)果，可以確認(rèn)，可以在不依賴于基板32的厚度或清潔液38的壓力的情況下，精確傳送基板32。
圖7為示出根據(jù)本實(shí)施例的第一變形例的基板傳送裝置的視圖。在圖7中，與本實(shí)施例的基板傳送裝置10的部件相同的部件用相同的參考符號(hào)來標(biāo)識(shí)。
參照?qǐng)D7，以與基板傳送裝置10相同的方式構(gòu)造基板傳送裝置40，除了基板傳送裝置40設(shè)有基板支撐機(jī)構(gòu)41-1和41-2以代替設(shè)在基板傳送裝置10上的基板支撐機(jī)構(gòu)25-1和25-2外。
以與基板支撐機(jī)構(gòu)25-1相同的方式構(gòu)造基板支撐機(jī)構(gòu)41-1，除了位置調(diào)節(jié)輥30-1設(shè)在第一旋轉(zhuǎn)軸26-1上外。此外，以與基板支撐機(jī)構(gòu)25-2相同的方式構(gòu)造基板支撐機(jī)構(gòu)41-2，除了位置調(diào)節(jié)輥30-2設(shè)在第一旋轉(zhuǎn)軸26-2上外。
這樣，同樣在具有設(shè)在第一旋轉(zhuǎn)軸26-1和26-2上的位置調(diào)節(jié)輥30-1和30-2的基板傳送裝置40中，可以獲得與本實(shí)施例的基板傳送裝置10相同的有益效果。
圖8為示出根據(jù)本實(shí)施例的第二變形例的基板傳送裝置的視圖。在圖8中，與本實(shí)施例的基板傳送裝置10的部件相同的部件用相同的參考符號(hào)來標(biāo)識(shí)。
參照?qǐng)D8，以與基板傳送裝置10相同的方式構(gòu)造基板傳送裝置45，除了基板傳送裝置45設(shè)有基板支撐機(jī)構(gòu)41-2以代替設(shè)在基板傳送裝置10上的基板支撐機(jī)構(gòu)25-2外。
這樣，同樣在以這樣的方式構(gòu)造的基板傳送裝置45中，即位置調(diào)節(jié)輥30-1設(shè)在第二旋轉(zhuǎn)軸27-1上，并且位置調(diào)節(jié)輥30-2設(shè)在第一旋轉(zhuǎn)軸26-2上，可以獲得與本實(shí)施例的基板傳送裝置10相同的效果。
此外，只要以這樣的方式布置位置調(diào)節(jié)輥30-1和30-2就可以即，位置調(diào)節(jié)輥30-1中與基板32的端面32C接觸的區(qū)域內(nèi)的表面30A-1面向位置調(diào)節(jié)輥30-2中與基板32的端面32D接觸的區(qū)域內(nèi)的表面30A-2。只要滿足上述條件，在第一旋轉(zhuǎn)軸26-1和第二旋轉(zhuǎn)軸27-1中的任何一個(gè)上設(shè)置位置調(diào)節(jié)輥30-1都是可以接受的。在第一旋轉(zhuǎn)軸26-2和第二旋轉(zhuǎn)軸和27-2中的任何一個(gè)上設(shè)置位置調(diào)節(jié)輥30-2也是可以接受的。
圖9為示出根據(jù)本實(shí)施例的第三變形例的基板傳送裝置的視圖。在圖9中，與本實(shí)施例的基板傳送裝置10的部件相同的部件用相同的參考符號(hào)來標(biāo)識(shí)。
參照?qǐng)D9，以這樣的方式構(gòu)造基板傳送裝置50，即在基板傳送裝置10的結(jié)構(gòu)中增加旋轉(zhuǎn)軸51和支撐輥52。以連接外殼12-1和外殼12-2的方式設(shè)置旋轉(zhuǎn)軸51。旋轉(zhuǎn)軸51布置在基板32的后表面32B側(cè)。通過未出的驅(qū)動(dòng)裝置使旋轉(zhuǎn)軸51旋轉(zhuǎn)。
支撐輥52設(shè)在旋轉(zhuǎn)軸51上，并位于基板32的中心N附近。支撐輥52以與旋轉(zhuǎn)軸51一體旋轉(zhuǎn)的方式構(gòu)造。支撐輥52為用于支撐基板32的后表面32B的輥?zhàn)印?br> 這樣，通過設(shè)置用于支撐基板32的后表面32B的支撐輥52，可以抑制基板32的撓曲。
同樣在裝備有這種支撐輥52的基板傳送裝置50中，可以獲得與本實(shí)施例的基板傳送裝置10相同的有益效果。此外，在基板32的尺寸較大，并且在基板32的后表面32B側(cè)不存在微細(xì)形狀的圖案(例如無孤立的配線圖案等)的情況下，優(yōu)選采用基板傳送裝置50。
在一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸51上設(shè)置多個(gè)支撐輥52也是可以接受的。
圖10為示出根據(jù)本實(shí)施例的第四變形例的基板傳送裝置的視圖。
參照?qǐng)D10，以與基板傳送裝置10相同的方式構(gòu)造基板傳送裝置55，除了基板支撐機(jī)構(gòu)25-1和25-2以在傾斜狀態(tài)下支撐基板32的方式來構(gòu)造外。
這樣，通過在傾斜狀態(tài)下支撐基板32，例如通過將基板傳送裝置55應(yīng)用于前面所述的圖6所示的清潔裝置35，由于從噴嘴36和37噴出的清潔液38從基板32的端面32C側(cè)流到端面32D側(cè)，所以可以防止清潔液38在前后表面32A和32B上累積。
同樣在基板傳送裝置55中，可以獲得與本實(shí)施例的基板傳送裝置10相同的有益效果。
盡管至此已經(jīng)給出對(duì)于本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)說明，但是本發(fā)明并不局限于這樣的具體實(shí)施例，而是在未背離權(quán)利要求書中所述的本發(fā)明的保護(hù)范圍的情況下，可以作出各種變形和修改。
本發(fā)明可適用于這樣一種基板傳送裝置其可以在圖案形成區(qū)域得到加寬的狀態(tài)下精確傳送基板。
權(quán)利要求
1.一種基板傳送裝置，包括多對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)，所述基板支撐機(jī)構(gòu)包括第一輥，其設(shè)在第一旋轉(zhuǎn)軸上；以及第二輥，其設(shè)在第二旋轉(zhuǎn)軸上，其中，所述基板支撐機(jī)構(gòu)在沿基板的厚度方向?qū)⑺龌逯卧谒龅谝缓偷诙佒g的同時(shí)，沿傳送方向傳送所述基板，其中，所述每對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)布置為沿所述基板的寬度方向彼此相對(duì)，所述多對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)沿所述傳送方向設(shè)置，并且在所述第一和第二旋轉(zhuǎn)軸中的任何一個(gè)上設(shè)置有基板位置調(diào)節(jié)部件，所述基板位置調(diào)節(jié)部件通過與所述基板中平行于所述傳送方向的端面接觸來調(diào)節(jié)所述基板的位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其中，所述基板位置調(diào)節(jié)部件位于所述第一輥或第二輥相對(duì)于所述基板的相反側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其中，所述第一輥中位于所述基板側(cè)的端面基本上與所述第一旋轉(zhuǎn)軸的端面齊平，并且所述第二輥中位于所述基板側(cè)的端面基本上與所述第二旋轉(zhuǎn)軸的端面齊平。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其中，所述基板位置調(diào)節(jié)部件為具有比所述第一和第二輥更大直徑的第三輥。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板傳送裝置，其中，所述第三輥在其邊緣包括倒角面。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其中，所述第一和第二輥的旋轉(zhuǎn)方向相對(duì)于所述傳送方向指向外側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，還包括支撐輥，其在所述基板的中心附近支撐所述基板的后表面。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳送裝置，其中，所述多對(duì)相對(duì)的基板支撐機(jī)構(gòu)在使所述基板傾斜的同時(shí)，支撐并傳送所述基板。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種具有多對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)的基板傳送裝置。所述基板支撐機(jī)構(gòu)包括第一輥，其設(shè)在第一旋轉(zhuǎn)軸上；以及第二輥，其設(shè)在第二旋轉(zhuǎn)軸上，所述基板支撐機(jī)構(gòu)在沿基板的厚度方向?qū)⑺龌逯卧谒龅谝缓偷诙佒g的同時(shí)，沿傳送方向傳送所述基板。所述每對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)布置為沿所述基板的寬度方向彼此相對(duì)，并且所述多對(duì)基板支撐機(jī)構(gòu)沿所述傳送方向設(shè)置。此外，在所述第一和第二旋轉(zhuǎn)軸中的任何一個(gè)上設(shè)置有基板位置調(diào)節(jié)部件，所述基板位置調(diào)節(jié)部件通過與所述基板中平行于所述傳送方向的端面接觸來調(diào)節(jié)所述基板的位置。
文檔編號(hào)H05K13/02GK1939816SQ200610141038
公開日2007年4月4日 申請(qǐng)日期2006年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月28日
發(fā)明者須山敏明, 川原慎, 山崎勝, 六川貴博 申請(qǐng)人:新光電氣工業(yè)株式會(huì)社