專利名稱：用于檢測電弧的方法和設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于在由AC發(fā)生器供給的等離子工藝中檢測電弧的一種方法，其中AC發(fā)生器的一個輸出信號用于供電。
背景技術(shù)：
在等離子工藝中，采用傳統(tǒng)的反應(yīng)的方式通過濺射/陰極濺射對物質(zhì)(例如玻璃表面)的涂敷，在建筑玻璃涂敷中是已知的。為了該目的，電流源或電壓源生成等離子，所述等離子從目標(biāo)上移除沉積到襯底(例如玻璃面板)上的物質(zhì)。在沉積之前，根據(jù)所期望的涂敷，可以在反應(yīng)過程中將原子約束為氣體原子或者氣體分子。
經(jīng)常使用通常工作在10到500kHz頻率的MF發(fā)生器，尤其是對于反應(yīng)過程。通常將MF發(fā)生器的輸出電壓提供給等離子工藝室的兩個電極，這兩個電極交替地作為陰極和陽極工作，并且每一個連接一個目標(biāo)。存在所謂的自由振蕩MF發(fā)生器，或者固定頻率的MF發(fā)生器。
尤其是，在反應(yīng)過程中，MF發(fā)生器還頻繁地產(chǎn)生火花，稱為微電弧，其通常在下一個電壓翻轉(zhuǎn)過程中或者至少在幾個周期之后熄滅。然而，可能發(fā)生具有較高能量和較長持續(xù)時間的電弧。經(jīng)常通過檢查輸出電壓的電壓降或者通過檢查輸出電壓的電流增大，來檢測電弧?？蛇x擇地，電弧可以通過通到各個電極的電流之間的差值來識別。在傳統(tǒng)設(shè)備中，用戶可以調(diào)節(jié)電弧檢測限定值。測量電流和電壓的有效值，以進(jìn)行檢測。在這種測量中，電壓和電流的值必須在該期間結(jié)合在一起，以防止將零交叉檢測為電壓降。因此這種電弧檢測通常比MF輸出電壓的半波形的持續(xù)時間慢，從而長于40μs。
當(dāng)MF發(fā)生器用在半導(dǎo)體制造工藝中，尤其是用在平板顯示器FPD制造中時，發(fā)生器必須滿足更高的要求。必須在幾個μs甚至1個μs之內(nèi)檢測到電弧。
在DE 43 26 100 A1中公開的電弧檢測方法中，中頻發(fā)生器的中頻信號的每個半波被劃分為多個時間段，測量預(yù)定時間段的電流和電壓的值，以形成真實值信號，并將其輸入到浮地式測量設(shè)備。該測量設(shè)備嵌入到回路中，該回路的主站位于發(fā)生器的控制單元，其中，當(dāng)發(fā)生電弧時，通過將該測量設(shè)備連接到該發(fā)生器的連接線使發(fā)生器無效。
US 6,420,863 B1提出對每個半波，測量至少一個放電電流或者一個放電電壓的值。計算第一和第二半波的測量值之間的差值。將該差值與可預(yù)定公差進(jìn)行比較，并且當(dāng)超過該公差時，降低功率供給。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種電弧檢測方法和電弧檢測裝置，用于以更快和更可靠的方式來檢測電弧。
根據(jù)本發(fā)明，該目的是采用在由AC發(fā)生器供給的等離子工藝中的一種電弧檢測方法，以令人驚奇并簡單的方式實現(xiàn)的，其中AC發(fā)生器的輸出信號用于功率供給，所述方法包括以下方法步驟a.確定時刻，在該時刻，作為評估信號的所述輸出信號或者與所述輸出信號有關(guān)的信號在所述評估信號的正半波中超過參考值，或者在所述評估信號的負(fù)半波中下降到低于所述參考值，和/或者b.確定隨后的時刻，在該時刻，所述評估信號在所述評估信號的正半波中的相同半波中下降到低于參考值，或者在所述評估信號的負(fù)半波中超過所述參考值，c.使用所述時刻中的至少一個，確定至少一個時間間隔，d.對評估信號的后面的半波重復(fù)方法步驟a)-c)，e.將相互對應(yīng)的時間間隔進(jìn)行比較，f.當(dāng)所述相互對應(yīng)的時間間隔彼此之間的差值超過可預(yù)定公差時，生成電弧檢測信號。
采用該方法，即使是最小的電弧也能夠可靠地快速地檢測到，并且不會錯誤地將通過例如在等離子室中的壓力變化引起的電壓波動認(rèn)為是電弧。該方法還特別加快了電弧檢測。尤其是可以在幾個微秒內(nèi)甚至更快地，即小于1個微米內(nèi)檢測電弧。這就可以對電弧的檢測進(jìn)行適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)，以避免破壞，尤其是在平板顯示器制造中，并且降低了不合格品數(shù)量?？梢詫⒗鏏C發(fā)生器的輸出電流、輸出電壓或者輸出功率用作評估信號。優(yōu)選地監(jiān)視所述輸出電壓或者測量直接提供給電極的電壓，并將其用作評估信號。然而，也可以使用AC發(fā)生器的與所述輸出信號有關(guān)的內(nèi)部信號作為評估信號。
在特別優(yōu)選的方法變體中，可以確定并比較同一極性的半波的時間間隔。通過在等離子工藝中對目標(biāo)的不同燃燒，生成不同的電壓曲線。通過將同一極性的半波用于電弧檢測，能夠避免將由此造成的波動認(rèn)為是電弧。
更加能夠避免對評估信號波動的錯誤反應(yīng)，因為是檢測和比較同一極性的完全連續(xù)的半波的時間間隔。
在優(yōu)選的方法變體中，要進(jìn)行比較的時間間隔可以形成為超過或者下降到低于所述參考值時的連續(xù)的時刻之間的差值，并且當(dāng)后面的半波的時間間隔較之前的半波的相應(yīng)時間間隔小到超過可預(yù)定公差時，生成電弧檢測信號。因此，確定在正半波的上升脈沖波前(risingflank)超過所述參考值與正半波的下降脈沖波前(falling flank)下降到低于所述參考值之間的時間段。與之對應(yīng)的，為負(fù)半波確定在下降脈沖波前下降到低于所述參考值與上升脈沖波前超過所述參考值之間的時間段。當(dāng)后面的半波的該時間段較為之前的半波所確定的時間段短到超過可預(yù)定公差時，表示存在電弧。從而，整體公差可以由在時間段或時間間隔的開始和結(jié)束處的兩個不同公差值組成。
在另一方法變體中，可以在半波的起始處檢測評估信號的零交叉時刻，要進(jìn)行比較的時間間隔可以形成為第奇數(shù)次(第一次、第三次等)超過或者下降到低于(經(jīng)過)所述參考值的時刻與零交叉時刻之間的差值，并且當(dāng)后面的半波的時間間隔較之前的半波的時間間隔大到超過可預(yù)定公差時，可以生成電弧檢測信號。該方法變體可以采用可編程邏輯器件以特別簡單的方式實現(xiàn)。
可替換地或者附加地，可以在半波的起始處檢測評估信號的零交叉時刻，要進(jìn)行比較的時間間隔可以形成為第偶數(shù)次(第二次、第四次等)超過或者下降到低于(經(jīng)過)所述參考值的時刻與零交叉時刻之間的差值，并且當(dāng)后面的半波的時間間隔較之前的半波的時間間隔小到超過可預(yù)定公差時，可以生成電弧檢測信號。
在電弧檢測中，當(dāng)從超過或者下降到低于所述參考值的時刻與隨后的下降到低于或者超過所述參考值的時刻之間的差值得到的時間間隔小于預(yù)定時間段時，忽略該時間間隔，從而能夠增加電弧檢測的可靠性。從而可以不考慮并非由電弧產(chǎn)生的評估信號的波動。
當(dāng)預(yù)定了幾個參考值時，能夠更加快速地并更高準(zhǔn)確度地檢測電弧。
在特別優(yōu)選的方法變體中，形成平均振幅值，其是幾個半波的平均值，并且根據(jù)所述平均振幅值預(yù)定所述一個(或多個)參考值。采用這種測量，所述參考值不是嚴(yán)格地預(yù)先確定的，而是根據(jù)在工作中可以逐漸變化的評估信號進(jìn)行自動調(diào)節(jié)。所述參考值優(yōu)選地選擇為所述平均振幅值的百分比，例如所述平均振幅值的20％、40％、60％、80％。
本發(fā)明還包括用于在等離子工藝中的檢測電弧的電弧檢測裝置，其包括至少一個模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器(ADC)，為其提供AC發(fā)生器的輸出信號或者與所述輸出信號有關(guān)的內(nèi)部信號作為評估信號，還為其提供參考值，其中，ADC連接到邏輯器件，所述邏輯器件生成用于電弧抑制設(shè)備的信號。本發(fā)明的電弧檢測裝置的優(yōu)點在于，所述邏輯器件直接使用ADC信號生成電弧檢測信號，而無須互連控制裝置。這比使用控制裝置(例如微控制器)可能得到的結(jié)果快很多。具有優(yōu)勢的是，所述邏輯器件是可編程邏輯器件。在最簡單的情況中，所述ADC由比較器組成。
在本發(fā)明的特別簡單的實現(xiàn)中，將所述邏輯器件設(shè)計為FPGA。
在有利的實施例中，可以提供控制器，其預(yù)置所述邏輯器件的所述(參數(shù))值。從而可以預(yù)定不同的參數(shù)值，例如公差值或者時間間隔的長度，其對于電弧檢測不會被考慮。
根據(jù)該工藝，可能要求預(yù)置不同的公差值。為了使用戶能夠進(jìn)行預(yù)置，有利的是，可以將操作區(qū)域和顯示器與所述控制器關(guān)聯(lián)起來。
通過提供幾個，尤其是4個，對其提供不同參考值的比較器，可以實現(xiàn)特別快速的和準(zhǔn)確的電弧檢測。所有這些比較器都連接到可編程邏輯器件上。
有利的是，提供參考值生成裝置，尤其是分壓器?？梢詫⒃u估信號的經(jīng)過平均的平均振幅值提供給所述分壓器。所述比較器可以測量在所述分壓器的電阻器之間的參考值。所述參考值能夠通過所述電阻器的數(shù)量和大小來調(diào)節(jié)，尤其是作為所述平均振幅值的百分比。
在本發(fā)明的以下的實施例描述中、示出本發(fā)明具體細(xì)節(jié)的附圖中、以及權(quán)利要求中，能夠提取出本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點。各個特征能夠分別地或者整體地以本發(fā)明的變體的任意組合來實現(xiàn)。


附圖示意性地示出了本發(fā)明的優(yōu)選實施例，以下將參考附圖對優(yōu)選實施例進(jìn)行解釋。
圖1示出了電弧檢測裝置的示意性表示；以及圖2示出了更加詳細(xì)地解釋本發(fā)明方法的兩個波形。
具體實施例方式
圖1示出了電弧檢測裝置1。將評估信號施加到輸入端2，該信號來自AC發(fā)生器，或者來自對在等離子工藝室的電極處的直接測量。該評估信號可以是，例如，由AC發(fā)生器生成的AC電壓，或者AC電壓發(fā)生器的內(nèi)部信號。在本實施例中，將該信號施加到每個模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器(ADC)3、4、5、6、25的一個輸入端，所述ADC設(shè)計為比較器。還將所述評估信號提供給峰值整流器7，其中峰值整流器7包括二極管8、電阻器9和電容器10。在所述峰值整流器7中確定振幅UA，其是所述評估信號幾個周期的平均。在本實施例中是確定電壓。將電壓施加到設(shè)計為分壓器的參考值生成裝置11。參考值生成裝置11的電阻器12、13、14、15大小相等。這意味這在所有電阻器處具有相同的電壓降，從而將經(jīng)過平均的振幅分割為等值的4個電壓。將這4個電壓作為參考值R1、R2、R3和R4施加到ADC 3到6，并將其與在該位置處的瞬時評估信號進(jìn)行比較。將比較結(jié)果提供給可編程邏輯器件16，可編程邏輯器件16從來自ADC 3到6的信息中確定是否存在電弧。
比較器25通過將參考值R5與所述評估信號進(jìn)行比較來檢測零交叉。電路配置26包括ADC 3-6、25和參考值生成裝置11。其也可以由一個ADC實現(xiàn)。這就降低了器件成本。此外，甚至可以更加精細(xì)地調(diào)節(jié)參考值，尤其是參考閾值。此外，可以使用ADC生成正半波和負(fù)半波，從而額外地降低了器件數(shù)量、成本和必需的空間?？梢灶~外地提供一個ADC，用于測量流入等離子工藝的電流。從而可以監(jiān)視電流和電壓。
當(dāng)存在電弧時，直接通過線17發(fā)出相應(yīng)信號，而不必互連微控制器18或者控制設(shè)備20。線17直接引向電弧抑制或者電弧去除裝置23?？删幊踢壿嬈骷?6連接到微控制器18，通過微控制器18可以預(yù)置不同的參數(shù)值。此外，可編程邏輯器件16連接到時鐘發(fā)生器19，時鐘發(fā)生器19允許在可編程邏輯器件16中快速處理信息。
微控制器進(jìn)而連接到用于數(shù)據(jù)交換的下級控制設(shè)備20?？刂圃O(shè)備20具有顯示器21和操作區(qū)域22，用于對微控制器18進(jìn)行編程，進(jìn)而對可編程邏輯器件16進(jìn)行編程。
圖2示出了在MF發(fā)生器的輸出電壓的當(dāng)前情況下，評估信號的第一個和后面的正半波30、31。根據(jù)本發(fā)明的方法，檢測到正在上升的評估信號超過參考值R1的時刻t1。類似的檢測到時刻t2到t5，在這些時刻處，具有正半波30的正在上升的評估信號超過參考值R2、R3、R4。此外，檢測到時刻t6、t7、t8、t9、t10，在這些時刻，正在下降的評估信號下降到低于參考值R1到R4。由此必須注意的是，在時刻t4首次超過參考值R4，在時刻t5第二次超過參考值R4，在時刻t6首次下降到低于參考值R4，并在時刻t7第二次下降到低于參考值R4。
對每個參考值R1到R4形成時間間隔，從而考慮時刻t1-t10中的至少一些，并且可能考慮零交叉的時刻t0。尤其是，可以通過將時刻t10與t1，t9和t2，t8和t3，t7和t5以及t6和t4相減，來形成時間間隔。這些時間間隔指定為I1到I5。可替換地或者附加地，可以從時刻t1-t10與零交叉時刻t0之間的差值中確定時間間隔。
采用該方式確定的每個時間間隔可以與一個公差相關(guān)聯(lián)。從而，可以為所有參考值預(yù)定相同或不同的公差。公差可以通過控制設(shè)備20進(jìn)行調(diào)節(jié)。微控制器18存儲調(diào)節(jié)后的值，并將其傳送到邏輯器件16?？梢詫⒐钜?guī)定為固定時刻值，或者規(guī)定為半波的多個部分，或者規(guī)定為間隔I1到I4的一部分。有利的是，按照半波持續(xù)時間的百分比來規(guī)定所述公差，這是因為當(dāng)頻率發(fā)生改變時，不需要重新輸入所述規(guī)定。公差的典型值為，對于I1到I3是半波的持續(xù)時間的10％到20％，對于I4是20％到35％。更加靈活的是，可以為時間間隔的開始和結(jié)束預(yù)定不同的公差值。這表示為第二半波31。在該情況下，所有參考值對于時間間隔I1-I5的開始具有相同的預(yù)置的第一公差值，對于時間間隔I1-I5的結(jié)束具有相同的第二公差值，第二公差值比第一公差值大。公差值表示為T。只要半波31在標(biāo)記為T的這些位置之中或者在其外部時，就不執(zhí)行電弧檢測。只要半波31在區(qū)域A1到A4之一中時，就執(zhí)行電弧檢測。
對于時間間隔I5，必須注意的是，該間隔的長度小于可預(yù)定的最小時間段。因此，對于電弧檢測不考慮時間間隔I5。最小時間段可以通過控制設(shè)備20調(diào)節(jié)。微控制器18存儲調(diào)節(jié)后的值并將其傳送到邏輯器件16?？梢詫r間段規(guī)定為固定時間值或者規(guī)定為半波的一部分。有利的是規(guī)定為半波持續(xù)時間的百分比，這是因為當(dāng)頻率發(fā)生改變時不需要重新輸入所述規(guī)定。典型值為，對于I1到I3是半波的持續(xù)時間的10％到20％，對于I4是5％到15％。
如上所述，可以替換地或者附加地確定時刻t1和t10與零交叉時刻t0之間的差值，以形成由于公差值而減少的時間間隔I1到I4或者時間間隔A1到A4。從而，對于正在上升的半波30，可以為時刻t1到t5預(yù)定第一公差值(對于所有參考值都相同，或者有一個或者更多的不同，甚至尤其是對于所有參考值都不相同)。當(dāng)超過該公差值時，即，由于半波31的時間間隔t1到t0較半波30的時間間隔t1到t0大到超過可預(yù)定公差值，則檢測到電弧。為了對評估使用正確的時刻，必須考慮到時刻t1、t2、t3、t4表示在每個半波中最初超過或者下降到低于各個參考值時的時刻，并且時刻t5是第三次通過參考值R4。在該分析中，必須使用各個參考值的第奇數(shù)次通過的時刻。
當(dāng)考慮由半波30的下降脈沖波前的時刻t6到t10形成的時間間隔時，也檢測到電弧。從而對于正在下降的半波30，可以為時刻t6到t10預(yù)定第二公差值(對于所有參考值都相同，或者有一個或者更多的不同，甚至尤其是對于所有參考值都不相同)。當(dāng)下降到低于該公差值時，即，由于半波31的時間間隔t10到t0較半波30的時間間隔t10到t0小到超過可預(yù)定公差值，則檢測到電弧。為了保證對評估使用正確的時刻，必須注意的是，時刻t6、t8、t9、t10是在每個半波中第二次超過或者下降到低于各個參考值時的時刻，并且時刻t7是第四次通過參考值R4。在該分析中，必須使用各個參考值的第偶數(shù)次通過的時刻。
明確的是，當(dāng)檢查第二半波31是否具有證實電弧的波形時，對該半波，可以同時再次檢測時刻t0到t10，從而該半波能夠在此與隨后的半波進(jìn)行比較。
權(quán)利要求
1.在由AC發(fā)生器供給的等離子工藝中的電弧檢測方法，其中所述AC發(fā)生器的輸出信號用于供電，所述方法包括以下方法步驟a.確定時刻(t1到t5)，在該時刻，作為評估信號的所述輸出信號或者與所述輸出信號有關(guān)的信號在所述評估信號的正半波(30)中超過了參考值(R1到R4)，或者在所述評估信號的負(fù)半波中下降到低于所述參考值，和/或者b.確定隨后的時刻(t6到t10)，在該時刻，所述評估信號在所述評估信號的正半波(30)中的相同半波(30)中下降到低于所述參考值(R1到R4)，或者在所述評估信號的負(fù)半波中超過所述參考值，c.使用所述時刻(t1到t10)中的至少一個，確定至少一個時間間隔(I1到I5)，d.對所述評估信號的后面的半波(31)重復(fù)方法步驟a)-c)，e.將相互對應(yīng)的時間間隔(I1到I5)進(jìn)行比較，f.當(dāng)所述相互對應(yīng)的時間間隔(I1到I5)彼此之間的差值超過可預(yù)定公差(T)時，生成電弧檢測信號。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，確定并比較相同極性的半波(30，31)的所述時間間隔(I1到I5)。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，確定并比較相同極性的完全連續(xù)的半波(30，31)的所述時間間隔。
4.如以上任意一個權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，要比較的所述時間間隔(I1到I5)形成為超過或者低于所述參考值(R1到R4)時的連續(xù)時刻(t1到t10)之間的差值，并且當(dāng)所述后面的半波(31)的時間間隔(I1到I5)較所述之前的半波(30)的相應(yīng)時間間隔(I1到I5)小到超過所述可預(yù)定公差(T)時，生成電弧檢測信號。
5.如以上任意一個權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，在所述半波(30，31)的起始處檢測到所述評估信號的零交叉時刻(t0)，將要進(jìn)行比較的所述時間間隔形成為第奇數(shù)次(第一次、第三次等)超過或者下降到低于所述參考值(R1到R4)的時刻(t1到t5)與所述零交叉時刻(t0)之間的差值，并且當(dāng)所述后面的半波(31)的時間間隔較所述之前的半波(30)的時間間隔大到超過所述可預(yù)定公差(T)時，生成電弧檢測信號。
6.如以上任意一個權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，在所述半波(30，31)的起始處檢測到所述評估信號的零交叉時刻(t0)，將要進(jìn)行比較的所述時間間隔形成為第偶數(shù)次(第二次、第四次等)超過或者下降到低于所述參考值的時刻(t6到t10)與所述零交叉時刻(t0)之間的差值，并且當(dāng)所述后面的半波(31)的時間間隔較所述之前的半波(30)的時間間隔小到超過所述可預(yù)定公差(T)時，生成電弧檢測信號。
7.如以上任意一個權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，當(dāng)從超過或者下降到低于所述參考值(R1到R4)的時刻(t1到t5)與隨后的下降到低于或者超過所述參考值(R1到R4)的時刻(t6到t10)之間的差值得到的時間間隔(I5)低于可預(yù)定的時間時，對于檢測電弧不考慮所述時間間隔(I5)。
8.如以上任意一個權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，幾個參考值(R1到R4)是預(yù)定的。
9.如以上任意一個權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，形成平均振幅值(UA)，其是對幾個半波(30，31)的平均值，并且根據(jù)所述平均振幅值(UA)預(yù)定所述參考值(R1到R4)。
10.用于在等離子工藝中檢測電弧的電弧檢測裝置(1)，其設(shè)計為執(zhí)行如以上任意一個權(quán)利要求所述的方法，其包括至少一個模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器(ADC)、尤其是比較器(3到6)，為所述模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器提供AC發(fā)生器的輸出信號或者與所述輸出信號有關(guān)的內(nèi)部信號作為評估信號，還為所述模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器提供參考值(R1到R4)，其中，所述ADC(3到6)連接到邏輯器件(16)，所述邏輯器件(16)生成用于電弧抑制設(shè)備(23)的信號。
11.如權(quán)利要求10所述的電弧檢測裝置，其特征在于，提供控制器(18)，其預(yù)置所述邏輯器件(16)的(參數(shù))值。
12.如權(quán)利要求10或11所述的電弧檢測裝置，其特征在于，將操作區(qū)域(22)和顯示器(21)與所述控制器(18)關(guān)聯(lián)起來。
13.如以上權(quán)利要求10到12中任意一個所述的電弧檢測裝置，其特征在于，提供幾個、尤其是4個比較器(3到6)，為所述比較器(3到6)提供不同的參考值(R1到R4)。
14.如以上權(quán)利要求10到13中任意一個所述的電弧檢測裝置，其特征在于，提供了參考值生成裝置(11)、尤其是分壓器。
15.如以上權(quán)利要求10到14中任意一個所述的電弧檢測裝置，其特征在于，所述邏輯器件(16)確定時間間隔，并將所述時間間隔存儲在緩存器中。
16.如以上權(quán)利要求10到15中任意一個所述的電弧檢測裝置，其特征在于，所述邏輯器件連接到時鐘發(fā)生器(19)，所述時鐘發(fā)生器(19)為所述邏輯器件提供時鐘信號。
17.如以上權(quán)利要求10到16中任意一個所述的電弧檢測裝置，其特征在于，提供了峰值整流器(7)。
全文摘要
本發(fā)明設(shè)計用于在等離子工藝中檢測電弧的一種方法和電弧檢測裝置(1)，包括至少一個比較器(ADC)，為所述比較器提供AC發(fā)生器的輸出信號或者與所述輸出信號有關(guān)的內(nèi)部信號作為評估信號，還為所述比較器提供參考值(R1到R4)，其中，比較器(3到6)連接到邏輯器件(16)，所述邏輯器件(16)生成用于電弧抑制設(shè)備(23)的信號。
文檔編號H05H1/46GK1987490SQ20061017123
公開日2007年6月27日 申請日期2006年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月22日
發(fā)明者斯文·阿克森貝克, 馬庫斯·班瓦爾特, 梅爾廷·施托伊貝爾, 彼得·維德姆特, 洛塔爾·沃爾夫 申請人:許廷格電子有限及兩合公司