專利名稱：軟軸單晶硅爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于一種軟軸單晶硅爐。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的單晶硅爐主要用于生產(chǎn)硅半導(dǎo)體材料，單晶硅爐包括硅半導(dǎo)體材料生長合成的主爐室、位于主爐室上端的硅籽晶提升結(jié)構(gòu)和電控自動糸統(tǒng)。傳統(tǒng)的單晶硅爐的硅籽晶提升結(jié)構(gòu)采用硬軸旋轉(zhuǎn)和提拉，從而使中心軸較長，造成設(shè)備高度較大較高，且旋轉(zhuǎn)提拉穩(wěn)定性差，造成產(chǎn)品正品率低，使用制作成本高，維修麻煩。

發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的是設(shè)計一種軟軸單晶硅爐，使其能用簡單的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)提拉穩(wěn)定性好，降低設(shè)備高度，達到理想的使用效果。為此，本實用新型采用硅籽晶提升結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)和提拉為軟軸，軟軸為鋼絲繩，穿過箱體的傳動軸內(nèi)的花鍵軸上設(shè)有繞絲輪，繞絲輪和軸接在箱體內(nèi)的壓套輪相交，與兩輪相交點對應(yīng)箱體的壓蓋上設(shè)有帶阻尼套的進線口，鋼絲繩一端接在繞絲輪上，另一端穿過帶阻尼套的進線口連接位于主爐室內(nèi)的重錘，電機通過減速箱帶動傳動軸轉(zhuǎn)動。上述結(jié)構(gòu)達到了本實用新型的目的。
本實用新型的優(yōu)點是能用簡單的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)提拉穩(wěn)定性好，降低設(shè)備高度達90％，達到理想的使用效果，大幅度提高了產(chǎn)品的正品率，且結(jié)構(gòu)簡單，制作使用成本低，維修和使用簡便效果好。


圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖圖2為圖1的俯視和提升重錘結(jié)構(gòu)示意圖具體實施方案如圖1至圖2所示，一種軟軸單晶硅爐，由箱體1、傳動軸14和重錘18所組成，箱體固接在主爐室上端。硅籽晶提升結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)和提拉為軟軸，軟軸為鋼絲繩17。穿過箱體的傳動軸內(nèi)的花鍵軸10上設(shè)有繞絲輪6，繞絲輪可沿花鍵軸軸向(縱向)移動，但不能在其軸上橫向轉(zhuǎn)動箱體內(nèi)設(shè)有供繞絲輪軸向移動的空間，繞絲輪下端固接在滑套3的一端，該滑套滑配穿過箱體上的調(diào)節(jié)法蘭盤2，供繞絲輪穩(wěn)步移動。繞絲輪和軸接在箱體內(nèi)的壓套輪4相交，與兩輪相交點對應(yīng)箱體的壓蓋15上設(shè)有帶阻尼套16的進線口，繞絲輪在輪面下端與壓套輪相交。鋼絲繩一端接在繞絲輪上，另一端穿過帶阻尼套的進線口連接位于主爐室內(nèi)的重錘18，重錘下端設(shè)卡頭19用卡吊籽晶上端。電機5通過連軸器7傳動減速箱8，該減速箱再通過連軸器9傳動減速箱12的蝸輪13蝸桿減速帶動傳動軸轉(zhuǎn)動。為傳動軸與進入箱體內(nèi)的傳動軸用連軸器11連接，以供方便安裝。
所述的電機位固設(shè)在箱體的一側(cè)。
使用時，重錘和卡頭同位于主爐室內(nèi)中央，其上端的鋼絲繩穿過主爐室上端中央孔接在繞絲輪上，開動電機，電機通過連軸器傳動減速箱，該減速箱再通過連軸器傳動另一減速箱的蝸輪蝸桿減速緩慢帶動傳動軸和花鍵軸轉(zhuǎn)動，花鍵軸上設(shè)有繞絲輪轉(zhuǎn)動帶動鋼絲繩沿收緊作用的阻尼套和壓套輪纏在繞絲輪上，由于繞絲輪可沿花鍵軸軸向(縱向)移動，可使纏繞的鋼絲始終對準阻尼套孔(即始終在對中位置)，在滑套的下端設(shè)限位桿，實現(xiàn)對鋼絲繩的極限限位。阻尼套孔設(shè)有鋼絲繩旋孔，可使鋼絲繩在緩慢提升籽晶體時而緩慢旋轉(zhuǎn)。電機反轉(zhuǎn)時為放下鋼絲繩，故不再累述。
總之，本實用新型能用簡單的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)提拉穩(wěn)定性好，降低設(shè)備高度，達到理想的使用效果。
權(quán)利要求1.一種軟軸單晶硅爐，由箱體、傳動軸和重錘所組成，其特征在于硅籽晶提升結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)和提拉為軟軸，軟軸為鋼絲繩，穿過箱體的傳動軸內(nèi)的花鍵軸上設(shè)有繞絲輪，繞絲輪和軸接在箱體內(nèi)的壓套輪相交，與兩輪相交點對應(yīng)箱體的壓蓋上設(shè)有帶阻尼套的進線口，鋼絲繩一端接在繞絲輪上，另一端穿過帶阻尼套的進線口連接位于主爐室內(nèi)的重錘，電機通過減速箱帶動傳動軸轉(zhuǎn)動。
2.按權(quán)利要求1所述的軟軸單晶硅爐，其特征在于所述的電機位固設(shè)在箱體的一側(cè)。
專利摘要本實用新型屬于一種軟軸單晶硅爐，采用硅籽晶提升結(jié)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)和提拉為軟軸，軟軸為鋼絲繩，穿過箱體的傳動軸內(nèi)的花鍵軸上設(shè)有繞絲輪，繞絲輪和軸接在箱體內(nèi)的壓套輪相交，與兩輪相交點對應(yīng)箱體的壓蓋上設(shè)有帶阻尼套的進線口，鋼絲繩一端接在繞絲輪上，另一端穿過帶阻尼套的進線口連接位于主爐室內(nèi)的重錘，電機通過減速箱帶動傳動軸轉(zhuǎn)動。本實用新型能用簡單的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)提拉穩(wěn)定性好，降低設(shè)備高度，達到理想的使用效果。
文檔編號C30B15/30GK2913394SQ20062011781
公開日2007年6月20日 申請日期2006年5月29日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月29日
發(fā)明者張志新, 王軍, 安桂正 申請人:北京東方科運晶體技術(shù)有限公司