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      多層電路板及其制作方法

      文檔序號:8043437閱讀:374來源:國知局
      專利名稱:多層電路板及其制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及一種多層電路板及其制作方法,尤其涉及一種減少多層電路板中層間對位偏 差的多層電路板及其制作方法。
      背景技術(shù)
      電路板作為各種電子產(chǎn)品中的關(guān)鍵零組件,對電子產(chǎn)品的性能具有很大影響。隨著電子 產(chǎn)品向微型化、多功能化方向發(fā)展,其對電路板的要求也越來越高,各種應(yīng)用中已逐漸采用 多層電路板,而且多層電路板中層數(shù)仍在逐漸增加,從四層、六層到一直到八層甚至更多層 ,與此同時(shí)線路板中的線寬與孔徑卻越來越小,例如線路板中的孔從500微米一直減小到 IOO微米左右。
      目前電路板的制作工藝中,最普遍采用的是濕制程,主要包括曝光、顯影、蝕刻等步驟 。在曝光過程中,如果采用一般的光源進(jìn)行曝光,其曝光精度在100微米左右。即使采用較 為先進(jìn)的平行曝光技術(shù),其層間偏位也達(dá)到40到50微米。而此種程度的層間偏位已經(jīng)與線路 板中孔徑處于同一尺度上。
      對于多層電路板,如果電路板中制作一個(gè)直徑為D的盲孔,為了保證線路的功能,則該 盲孔經(jīng)過的各層中用于與該盲孔連接的連接墊的直徑須為2E+D,其中E為層間偏位。因此當(dāng) 多層線路板中層間偏位與孔徑在同一個(gè)尺度上時(shí),相比于減少孔徑,減小層間對位誤差更能 提升多層電路板中的有效布線面積。

      發(fā)明內(nèi)容
      有鑒于此,有必要提供一種可減小層間對位誤差多層電路板及其制作方法。 以下以實(shí)施例對上述多層電路板與多層電路板的制作方法作出說明 在一個(gè)實(shí)施例中,所述多層電路板的制作方法包括
      步驟一、提供電路板內(nèi)層,所述電路板內(nèi)層包括兩層位于其兩表面的銅層; 步驟二、將所述兩銅層制作成兩層線路,所述兩線路中形成有相互對齊的耙點(diǎn); 步驟三、壓合外層覆銅層壓板,所述外層覆銅層壓板包括銅層;
      步驟四、以位于步驟三中壓合的外層覆銅層壓板之間的線路中的耙點(diǎn)中心為基準(zhǔn)將步驟 三中壓合的外層覆銅層壓板的銅層制作線路。
      在另一個(gè)實(shí)施例中,所述多層電路板的制作方法包括步驟一、提供電路板內(nèi)層,所述電路板內(nèi)層包括中間層與形成在中間層相對兩表面的第 一銅層與第二銅層;
      步驟二、將所述第一銅層與第二銅層制作成線路,所述線路中形成有靶點(diǎn); 步驟三、壓合外層覆銅層壓板,所述外層覆銅層壓板包括一層銅層;
      步驟四、以位于所述中間層與所述外層覆銅層壓板之間的線路中的靶點(diǎn)中心為基準(zhǔn)將所 述外層覆銅層壓板中的銅層制作成線路,所述線路中形成有與所述靶點(diǎn)中心對齊的靶點(diǎn)。 步驟五、重復(fù)步驟三、四、五直至得到預(yù)定層數(shù)的多層電路板。
      所述的多層電路板包括多層銅層,所述多層銅層中形成有至少一組相互對齊的靶點(diǎn)。 所述多層電路板及制作方法中,在制作線路時(shí)采用一組相互對齊的靶點(diǎn)的中心作為基準(zhǔn)
      制作線路及靶點(diǎn),由于各靶點(diǎn)的偏位會(huì)相互補(bǔ)償,使得采用的基準(zhǔn)更加接近于理想設(shè)計(jì)值,
      多層電路板中層間的對位精度得以提高。


      圖1是第一實(shí)施例的多層電路板制作方法流程圖。
      圖2是圖1的方法中采用電路板內(nèi)層結(jié)構(gòu)示意圖。
      圖3是在圖2的電路板內(nèi)層中形成定位孔后的示意圖。
      圖4是在圖3的電路板內(nèi)層表面銅層中形成線路及耙點(diǎn)后的示意圖。
      圖5是圖4中的耙點(diǎn)的平面示意圖。
      圖6是在圖4的電路板內(nèi)層表面壓合外層覆銅層壓板后的示意圖。
      圖7是在圖6的的電路板內(nèi)中形成定位孔后的示意圖。
      圖8是在圖7的外層覆銅層壓板中形成電路板結(jié)構(gòu)后的示意圖。
      圖9是第二實(shí)施例的多層電路板的制作方法流程圖。
      圖10是第二實(shí)施例的電路內(nèi)層中形成定位孔后的示意圖。
      圖11是在圖10的電路板內(nèi)層銅層中形成線路與耙點(diǎn)后的示意圖。
      圖12是在圖11的電路板內(nèi)層兩表面壓合覆銅層壓板后的示意圖。
      圖13是在圖12的覆銅層壓板中形成電路板結(jié)構(gòu)后的示意圖。
      圖14是在圖13的覆銅層壓板上壓合別外的覆銅層壓板后的示意圖。
      圖15是在圖14的最外層覆銅層壓板中形成電路板結(jié)構(gòu)后的示意圖。
      圖16是第三實(shí)施例的多層電路板制作方法在電路板內(nèi)層中制作線路與靶點(diǎn)后的示意圖。
      圖17是圖16的電路板內(nèi)層的銅層中的耙點(diǎn)分布示意圖。
      圖18在圖16的電路板內(nèi)層表面壓合外層覆銅層壓板后的示意圖。圖19是在圖18的外層覆銅層壓板中形成定位孔的示意圖。
      圖20是圖18的外層覆銅層壓板的銅層中的耙點(diǎn)分布示意圖。
      圖21是在圖18的外層覆銅層壓板中形成線路及耙點(diǎn)后的示意圖。
      圖22是在圖21的外層覆銅層壓板表面壓合另外的外層覆銅層壓板的示意圖。
      圖23是圖22中的外層覆銅層壓板的銅層中的定位孔示意圖。
      圖24是圖22中的外層覆銅層壓板的銅層中的耙點(diǎn)分布示意圖。
      圖25是圖22的外層覆銅層壓板中形成線路及耙點(diǎn)后的示意圖。
      圖26是在圖25的外層覆銅層壓板表面壓合別外的外層覆銅層壓板的示意圖。
      圖27是圖26的外層覆銅層壓板的銅層中的定位孔示意圖。
      圖28是圖26的外層覆銅層壓板中形成線路后的示意圖。
      具體實(shí)施例方式
      參閱圖l,第一實(shí)施例的多層電路板的制作方法包括以下步驟 步驟110:提供一電路板內(nèi)層IO。
      參閱圖2,電路板內(nèi)層10包括覆銅層壓板11、覆銅層壓板12及位于覆銅層壓板11與覆銅 層壓板12之間的膠層15。覆銅層壓板11包括絕緣層111與銅層112。覆銅層壓板12包括絕緣層 121與銅層122。膠層15位于絕緣層111與121之間。銅層112與銅層122位于電路板內(nèi)層的表面 ,艮口,銅層112與銅層122為表面銅層。本實(shí)施例中,電路板內(nèi)層10包括由兩層單層覆銅層壓 板壓合而成,然而可以理解,電路板內(nèi)層10還可為雙面覆銅層壓板。
      步驟120:在電路板內(nèi)層10中形成定位孔102。
      參閱圖3,定位孔102穿過覆銅層壓板11、覆銅層壓板12及膠層25。定位孔102可采用機(jī) 械鉆孔的方式形成,也可采用激光燒蝕而成。 一般來說,激光燒孔具有更高的精度。
      步驟130:參閱圖4及圖5,以定位孔102作為基準(zhǔn)將銅層112與銅層122中制作成線路 112a、 122a,線路層112a、 122a中分別包括耙點(diǎn)113與耙點(diǎn)123。
      具體的線路制程可以采用蝕刻制程,具體的過程為首先分別在銅層112與銅層122上貼 光阻,例如干膜光阻;對貼合在銅層112與銅層122上的光阻進(jìn)行曝光處理。采用一般的光源 進(jìn)行曝光,其曝光的精度100微米左右,如果采用平行曝光的方式,其曝光的精度在40到50 微米之間。當(dāng)然,還可用雷射干膜取代一般的干膜光阻,而采用激光直接成像技術(shù)(Laser Direct Imaging, LDI)進(jìn)行曝光。由于激光具有極高的方向性,采用LDI技術(shù)曝光,其曝光 精度能達(dá)到10微米。
      曝光之后將電路板內(nèi)層1 O放在顯影液中進(jìn)行顯影從而光阻層中定義出圖案形狀。顯影之
      6后采用蝕刻液將銅層112與銅層122中未被光阻保護(hù)的部分蝕刻掉從而將銅層112與銅層122制 作成線路112a、 122a,線路112a、 122a中分別包括靶點(diǎn)113與123。
      參閱圖5,靶點(diǎn)113呈圓形,其直徑可在1毫米到2毫米之間,本實(shí)施例中,靶點(diǎn)113直徑 為1毫米。當(dāng)然耙點(diǎn)113還可為其他形狀,例如,三角形、方形、或者其他多邊形形狀。為了 便于識別,靶點(diǎn)113周圍蝕刻出一識別區(qū)114,識別區(qū)114內(nèi)的銅層均被蝕刻掉。識別區(qū)114可 為任意形狀,其能被耙點(diǎn)識別裝置識別即可,但優(yōu)選的,其為規(guī)則的形狀,例如圓形、三角 形、方形或者其他正多邊形。本實(shí)施例中,識別區(qū)114呈方形,該方形的邊長為3毫米。與靶 點(diǎn)113相似,靶點(diǎn)123呈圓形,其周圍形成有識別區(qū)124,靶點(diǎn)123直徑1毫米,其識別區(qū)域 124呈方形,其邊長為3毫米。靶點(diǎn)113、 123相互對齊,或者說相互重疊,但實(shí)際生產(chǎn)中,由 于會(huì)產(chǎn)生誤差,靶點(diǎn)113、 123之間很難完全對齊,而會(huì)出現(xiàn)偏位的情形。
      步驟140:分別在線路層112a、 122a表面壓合覆銅層壓板13與覆銅層壓板14。 參閱圖6,覆銅層壓板13包括絕緣層131與銅層132,覆銅層壓板14包括絕緣層141與銅層 142。覆銅層壓板11與覆銅層壓板13之間以膠層16粘結(jié),覆銅層壓板12與覆銅層壓板14之間 以膠層17粘結(jié)。具體的,膠層16與絕緣層131接觸,膠層17與絕緣層141接觸,也就是說,銅 層132與142分別位于覆銅層壓板13、 14的表面,覆銅層壓板13與覆銅層壓板14為外層覆銅層 壓板。
      步驟150:參閱圖7,以銅層112中耙點(diǎn)113與銅層122中的耙點(diǎn)123中心為基準(zhǔn)分別在銅層 132、 142中形成定位孔134、 144。
      具體的,首先可利用靶點(diǎn)抓取裝置,例如X-射線打靶機(jī)分別透過銅層132與銅層142,抓 取銅層112與銅層122中的耙點(diǎn)113與耙點(diǎn)123的位置,以耙點(diǎn)113、 123的中心作為基準(zhǔn)形成定 位孔134,定位孔134與靶點(diǎn)113、 123中心的位置關(guān)系是預(yù)先設(shè)定好的,因此雷射鉆孔機(jī)、 LDI曝光機(jī)等設(shè)備抓取了定位孔l34的位置后即可實(shí)現(xiàn)對位。所謂耙點(diǎn)113、 123的中心指的是 耙點(diǎn)113、 123在耙點(diǎn)讀取裝置中投影的中心,雖然耙點(diǎn)113、 123處于不同的銅層內(nèi),但對于 X-射線打靶機(jī)來說,其抓取的只是平面的圖像,從這個(gè)意義上,靶點(diǎn)113、 123對于X-射線打 耙機(jī)來說處于同一個(gè)平面內(nèi),以抓取的耙點(diǎn)113、 123圖像中心為耙點(diǎn)113、 123的中心。
      步驟160:參閱圖8,以定位孔134為基準(zhǔn)在銅層132與銅層142中制作電路板結(jié)構(gòu)而得到 多層電路板。
      所述電路板結(jié)構(gòu)包括線路、通孔、盲孔等。例如在制作線路時(shí),首先需要貼光阻,并對 光阻進(jìn)行曝光處理,曝光必須對齊正確的位置,因此需要定位基準(zhǔn)。再例如利用激光在銅層 132或銅層142中燒蝕出盲孔或者直接采用機(jī)械鉆孔法鉆出通孔,同樣需要定位基準(zhǔn)。本實(shí)施例中,電路板內(nèi)層10包括兩層壓合的單層覆銅層壓板,然而可以理解,電路板內(nèi)
      層10還可為多層結(jié)構(gòu),例如四層、六層或者八層的結(jié)構(gòu), 一般來講電路板內(nèi)層io的層數(shù)為偶
      數(shù),但不排除特殊的要求需要采用N為奇數(shù)的設(shè)計(jì)。該多層結(jié)構(gòu)可以采用本實(shí)施例的方法制 作,也可按照傳統(tǒng)的制作工藝制作。
      本實(shí)施例的電路板制作方法中,相比于銅層112、 122,銅層132、 142為外層銅層,在外 層銅層132、 142中制作電路板結(jié)構(gòu)時(shí),以內(nèi)層銅層為112、 122中的靶點(diǎn)113、 123的中心為定 位基準(zhǔn)。由于取耙點(diǎn)113、 123的中心時(shí),耙點(diǎn)113與耙點(diǎn)123的偏位會(huì)相互補(bǔ)償,使得實(shí)際的 定位基準(zhǔn)更加接近于設(shè)計(jì)值,因此在制作各種電路板結(jié)構(gòu)時(shí)其位置偏差可得以減少,定位精 度更高。
      參閱圖9,第二實(shí)施例的多層電路板制作方法包括以下步驟
      步驟210:參閱圖IO,在電路板內(nèi)層20中形成定位孔202;定位孔202可以采用機(jī)械鉆孔 的方式形成。電路板內(nèi)層20包括絕緣層211及分別形成于絕緣層211兩相對表面上的第一銅層 212與第二銅層222。定位孔202穿過整體電路板內(nèi)層20。
      步驟220:參閱圖ll,以定位孔202為基準(zhǔn)將電路板內(nèi)層20的銅層的第一銅層212與第二 銅層222中制作成線路212a、 222a,線路212a、 222a中形成有耙點(diǎn)213、 223。耙點(diǎn)213、 223 與線路212a、 222a同時(shí)蝕刻出來。耙點(diǎn)213、 223與第一實(shí)施例中形成的耙點(diǎn)113相似,其呈 圓形,直徑2毫米,靶點(diǎn)213、 223周圍分別形成有方形的識別區(qū)214、 224。識別區(qū)214、 224 的邊長為3毫米到4毫米。
      步驟230:參閱圖12,在線路212a、 222a表面分別壓合覆銅層壓板23、 24;覆銅層壓板 包括銅層232,覆銅層壓板24包括銅層242,相比于線路212a、 222a,銅層232、 242為外層銅 層。
      步驟240:參閱圖13,以耙點(diǎn)213、 223的中心為基準(zhǔn)將銅層232、 242制作有線路232a、 242a,線路232a、 242a中形成有耙點(diǎn)233、 243。
      本步驟中,并沒有如按照第一實(shí)施例的制作方法形成定位孔,在銅層232、 242中制作線 路232a、 242a以及靶點(diǎn)233、 243時(shí)直接采用靶點(diǎn)213、 223的中心作為基準(zhǔn)點(diǎn),具體的,可采 用X-射線讀靶機(jī)讀取靶點(diǎn)213、 223的位置,而將靶點(diǎn)213與223的位置信息直接傳遞給雷射鉆 孔機(jī)、LDI曝光機(jī)等設(shè)備以作為定位基準(zhǔn),而雷射鉆孔機(jī)、LDI曝光機(jī)將耙點(diǎn)213、 223的中心 作為定位基準(zhǔn)。相比于第一實(shí)施例中的制作方法,由于進(jìn)一步避免了鉆定位孔過程中的誤差 ,其定位精度更高。例如,X-射線讀靶機(jī)讀取靶點(diǎn)213、 223位置之后,將位置信息儲存在文 件中,供雷射鉆孔機(jī)、LDI曝光機(jī)等設(shè)備讀取。步驟250:參閱圖14,在線路232a、 242a表面分別壓合覆銅層壓板25、 26。覆銅層壓板 25包括銅層252,覆銅層壓板26包括銅層262,銅層252、 262相比于線路212a、 222a、 232a、 242a為外層銅層。
      步驟260:參閱圖15,以耙點(diǎn)213、 223、 233、 243的中心為基準(zhǔn)將銅層252、 262制作成 線路252a、 262a。與步驟240相似,本步驟中采用X-射線讀靶機(jī)讀取靶點(diǎn)213、 223、 233、 243的位置,并將該位置信息傳遞給雷射鉆孔機(jī)、LDI曝光機(jī)等設(shè)備。雷射鉆孔機(jī)、LDI曝光 機(jī)等設(shè)備采用靶點(diǎn)213、 223、 233、 243的中心作為定位基準(zhǔn)。
      本實(shí)施例的多層電路板制作方法中,在外層銅層中制作線路或者孔時(shí),以所有內(nèi)層線路 中形成的耙點(diǎn)的中心作為定位基準(zhǔn),當(dāng)然上述外層銅層與內(nèi)層銅層只是相對概念,例如相比 于線路212a、 222a,銅層232、 242為外層銅層。由于內(nèi)層銅層中耙點(diǎn)的偏位會(huì)相互補(bǔ)償,使 定位基準(zhǔn)更加接近設(shè)計(jì)值,定位精度更高。
      本實(shí)施的多層電路板制作方法在確定定位基準(zhǔn)時(shí),除了采用所有的內(nèi)層線路中的靶點(diǎn)外 ,還可僅采用位于電路板內(nèi)層20—側(cè)(以電路板內(nèi)層20的中間層為分界線)的所有內(nèi)層線路 中的靶點(diǎn),例如,在銅層232中制作線路、孔時(shí)采用靶點(diǎn)213作為定位基準(zhǔn),在銅層252中制 作線路、孔進(jìn)采用靶點(diǎn)213、 233的中心作為定位基準(zhǔn)。在銅層242中制作線路、孔時(shí)采用靶 點(diǎn)222作為定位基準(zhǔn),在銅層262中制作線路、孔時(shí)采種用耙點(diǎn)223、 243的中心作為定位基準(zhǔn)
      以下結(jié)合圖16到圖28說明第三實(shí)施例的多層電路板制作方法
      參閱圖16及圖17,將位于電路板內(nèi)層30兩表面的銅層分別制作成線路314a、 324a,線路 314a中形成有第一靶點(diǎn)311、第二靶點(diǎn)312、第三靶點(diǎn)313,線路324a中形成有第一靶點(diǎn)(圖 未示)、第二靶點(diǎn)322、第三靶點(diǎn)(圖未示)。電路板內(nèi)層30中預(yù)先形成有定位孔302,在電 路板內(nèi)層30的銅層中制作線路與靶點(diǎn)時(shí)采用定位孔302為定位基準(zhǔn)。第一靶點(diǎn)311呈圓形,其 直徑可為1毫米到2毫米之間,其周圍形成有方形的識別區(qū)3112,識別區(qū)3112的邊長為3毫米 。第二耙點(diǎn)312、第三耙點(diǎn)313結(jié)構(gòu)與第一耙點(diǎn)311相似,其周圍分別形成有方形的識別區(qū) 3122、 3132。
      參閱圖18,在線路314a、 324a表面分別壓合覆銅層壓板33、 34。覆銅層壓板33包括銅層 334,覆銅層壓板34包括銅層344。
      參閱圖19,以第三耙點(diǎn)313為基準(zhǔn)在銅層332中形成定位孔335。具體的,采用X-射線打 耙機(jī)抓取銅層314中耙點(diǎn)313的位置并對齊耙點(diǎn)313在銅層332中開設(shè)定位孔335。與銅層332中 類似,以第三靶點(diǎn)323為基準(zhǔn)在銅層342中形成定位孔(圖未示)。參閱圖20及21,以定位孔335為基準(zhǔn)將銅層334制作成線路334a,線路334a中形成有第一 耙點(diǎn)331及第二耙點(diǎn)332,第一耙點(diǎn)331與第一耙點(diǎn)311對齊,第二耙點(diǎn)332與第二耙點(diǎn)312對齊 。與銅層334中相似,以銅層342中的定位孔為基準(zhǔn)將銅層344制作線路344a,線路344a中形 成有第一耙點(diǎn)(圖未示)及第二耙點(diǎn)342,線路344a中的第一耙點(diǎn)與線路324a的第一耙點(diǎn) 321對齊,線路344a中的第二耙點(diǎn)342與線路324a中的第二耙點(diǎn)322對齊。在銅層334、 344中 制作線路時(shí)可采用蝕刻工藝,具體的,銅層334、 344上的曝光必須分別處理,但是蝕刻線路 時(shí)可以同時(shí)進(jìn)行。
      參閱圖22,在線路334a、 344a表面分別壓合覆銅層壓板35、 36。覆銅層壓板35包括銅層 354,覆銅層壓板36包括銅層364。
      參閱圖23,以第二耙點(diǎn)312、 332的中心為基準(zhǔn)在銅層354中形成定位孔355。具體的,采 用X-射線打靶機(jī)抓取靶點(diǎn)312、 332的中心并對齊該中心打孔以形成定位孔355。與銅層354中 相似,銅層364中以第二耙點(diǎn)322、 342的中心為基準(zhǔn)形成有定位孔365。
      參閱圖24與圖25,以定位孔355為基準(zhǔn)將銅層354制作線路354a,線路354a中形成有第一 耙點(diǎn)351,第一耙點(diǎn)331與第一耙點(diǎn)311、 331對齊。與銅層354中相似,以銅層364中的定位孔 365為基準(zhǔn)將銅層364制作成線路364a,線路364a中形成第一耙點(diǎn)(圖未示),線路364a中的 第一耙點(diǎn)與線路324a、 344a中的第一耙點(diǎn)對齊。
      參閱圖26,在線路354a、 364a表面分別壓合覆銅層壓板37、 38。覆銅層壓板37包括銅層 374,覆銅層壓板38包括銅層384。
      參閱圖27,以第一靶點(diǎn)311、 331、 351的中心為基準(zhǔn)在銅層374中形成定位孔375。與銅 層374中相似,以線路324a、 344a、 364a中的第一耙點(diǎn)的中心為基準(zhǔn)在銅層384中形成定位孔 (圖未示)。
      參閱圖28,以定位孔375為基準(zhǔn)將銅層374制作成線路374a及以銅層384中的定位孔為基 準(zhǔn)將銅層384制作線路384a。
      本實(shí)施例的多層電路板制作方法中,形成的是八層的多層電路板,銅層314、 334、 354 、374位于電路板內(nèi)層30的第一側(cè),而銅層324、 344、 364、 384位于電路板內(nèi)層30的第二側(cè) 。其中,銅層314、 324中形成有三個(gè)靶點(diǎn),銅層334、 344中形成有二個(gè)靶點(diǎn),銅層354、 364中形成有一個(gè)靶點(diǎn)。在第一側(cè)的銅層314、 334、 354中的靶點(diǎn)實(shí)際上分為三組,具體的, 銅層314、 334、 354中的第一靶點(diǎn)為第一組,銅層314、 334中的第二靶點(diǎn)為第二組,而銅層 314中的第三耙點(diǎn)為第三組。在銅層334中制作線路之前,以第三組耙點(diǎn)的中心(由于只包括 一個(gè)耙點(diǎn),即為該耙點(diǎn)自身)為基準(zhǔn)形成定位孔,再以該定位孔為基準(zhǔn)制作線路以及第三銅層中的其他靶點(diǎn)。在銅層354中制作線路之前,以第二組靶點(diǎn)的中心為基準(zhǔn)在銅層354中形成 定位孔,再以銅層354中的定位孔為基準(zhǔn)制作線路以及銅層354中的靶點(diǎn)。在銅層374中制作 線路之前,以第一組靶點(diǎn)的中心為基準(zhǔn)在銅層374中形成定位孔,再以銅層374中的定位孔為 基準(zhǔn)制作線路。而位于第二側(cè)的電路板制作過程與第一側(cè)相同,當(dāng)然具體的電路板結(jié)構(gòu)可能 會(huì)不同。
      本實(shí)施例中形成的是八層電路板,由于電路板內(nèi)層30具有兩層線路,因此電路板內(nèi)層 30兩表面分別需要壓合三層覆銅層壓板,相應(yīng)的,則電路板內(nèi)層30表面的銅層中會(huì)形成三個(gè) 靶點(diǎn)。當(dāng)電路板內(nèi)層30兩表面分別壓合一層外層覆銅層壓板后,外層覆銅層壓板上還須再壓 合兩層覆銅層壓板,相應(yīng)的,所述外層覆銅層壓板的銅層中形成有兩個(gè)耙點(diǎn),該兩個(gè)耙點(diǎn)分 別與電路板內(nèi)層30中三個(gè)靶點(diǎn)中的兩個(gè)對齊,以此類推到直到得到八層的電路板結(jié)構(gòu)。
      概括來講,如果采用本實(shí)施例的方法制作具有M+N+M結(jié)構(gòu)的多層電路板,其中N表示電路 板內(nèi)層中線路的層數(shù),M表示電路板內(nèi)層兩表面壓合的覆銅層壓板的層數(shù),則電路板內(nèi)層表 面的銅層中會(huì)形成有M個(gè)靶點(diǎn),從電路板內(nèi)層向其兩側(cè)的覆銅層壓板的銅層中依次形成有 M-l、 M-2、…、直到最外層的覆銅層壓板的銅層中可不形成靶點(diǎn)。電路板內(nèi)層每側(cè)中的靶點(diǎn) 分為M組,每組靶點(diǎn)相互對齊,當(dāng)然在實(shí)際制程中,每組靶點(diǎn)不可能完全對齊而會(huì)出現(xiàn)偏位 的情形。在每層壓合的覆銅層壓板中制作線路或者靶點(diǎn)時(shí),首先采用x-射線打靶機(jī)抓取一組 靶點(diǎn)的中心為基準(zhǔn)形成定位孔,再以定位孔作為該層覆銅層壓板的基準(zhǔn)。由于是取每一組靶 點(diǎn)的中心,而每一組耙點(diǎn)中各耙點(diǎn)的偏位隨機(jī)分布于各方向上,也就是說,各耙點(diǎn)的偏位會(huì) 相互補(bǔ)償從而使得形成的定位孔更加靠近理想的設(shè)計(jì)值,多層電路板的層間定位精度得以提 高。
      另外,本領(lǐng)域技術(shù)人員還可在本發(fā)明精神內(nèi)做其它變化。當(dāng)然,這些依據(jù)本發(fā)明精神所 做的變化,都應(yīng)包含在本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
      權(quán)利要求
      權(quán)利要求1一種多層電路板的制作方法,其包括以下步驟步驟一、提供電路板內(nèi)層,所述電路板內(nèi)層包括兩層位于其兩表面的銅層;步驟二、將所述兩銅層制作成兩層線路,所述兩線路中形成有相互對齊的靶點(diǎn);步驟三、壓合外層覆銅層壓板,所述外層覆銅層壓板包括銅層;步驟四、以位于步驟三中壓合的外層覆銅層壓板之間的線路中的靶點(diǎn)中心為基準(zhǔn)將步驟三中壓合的外層覆銅層壓板的銅層制作線路。
      2.如權(quán)利要求l所述的多層電路板的制作方法,其特征在于,所述 方法進(jìn)一步包括以下步驟重復(fù)步驟三、四,且在步驟四的線路中同時(shí)形成有與所述電路板 內(nèi)層中線路中的靶點(diǎn)對齊的靶點(diǎn)。
      3.如權(quán)利要求l所述的多層電路板的制作方法,其特征在于,步驟 四中在制作線路之前先以所述靶點(diǎn)中心為基準(zhǔn)形成定位孔,在外層覆銅層壓板中制作線路或 靶點(diǎn)時(shí)以所述定位孔為基準(zhǔn)。
      4.如權(quán)利要求3所述的多層電路板的制作方法,其特征在于,所述定位孔以x-射線打靶機(jī)形成。
      5.如權(quán)利要求l所述的多層電路板的制作方法,其特征在于,步驟 四中以耙點(diǎn)讀取裝置抓取所述耙點(diǎn)中心的位置并傳遞給制作線路、耙點(diǎn)的設(shè)備。
      6.如權(quán)利要求l所述的多層電路板的制作方法,其特征在于,所述 電路板內(nèi)層中銅層內(nèi)的靶點(diǎn)是以形在電路板內(nèi)層中的定位孔為基準(zhǔn)形成。權(quán)利要求
      7. 一種多層電路板的制作方法,其包括以下步驟 步驟一、提供電路板內(nèi)層,所述電路板內(nèi)層包括中間層與形成在中間層相對兩表面的 第一銅層與第二銅層;步驟二、將所述第一銅層與第二銅層制作成線路,所述線路中形成有靶點(diǎn);步驟三、壓合外層覆銅層壓板,所述外層覆銅層壓板包括一層銅層;步驟四、以位于所述中間層與所述外層覆銅層壓板之間的線路中的靶點(diǎn)中心為基準(zhǔn)將所述外層覆銅層壓板中的銅層制作成線路,所述線路中形成有與所述靶點(diǎn)中心對齊的靶點(diǎn); 步驟五、重復(fù)步驟三、四、五直至得到預(yù)定層數(shù)的多層電路板。
      8.如權(quán)利要求7所述的多層電路板的制作方法,其特征在于,步驟 四、五中在制作線路與靶點(diǎn)之前先以所述靶點(diǎn)中心為基準(zhǔn)形成定位孔,在外層覆銅層壓板中 制作線路或靶點(diǎn)時(shí)以所述定位孔為基準(zhǔn)。
      9.如權(quán)利要求8所述的多層電路板的制作方法,其特征在于,所述 電路板內(nèi)層兩表面分別壓合有M層覆銅層壓板,所述電路板內(nèi)層的銅層中形有M個(gè)靶點(diǎn),位于 第一側(cè)的外層覆銅層壓板的銅層中,從最靠近所述電路板內(nèi)層到最外層,其中的靶點(diǎn)數(shù)依次 從M-1減少到零,電路板內(nèi)層位于第一側(cè)銅層的靶點(diǎn)及位于第一側(cè)的M層覆銅層壓板中的靶點(diǎn) 包括M組,每組中的靶點(diǎn)相互對齊,每壓合一層外層覆銅層壓板時(shí)采用一組未使用的靶點(diǎn)的 中心作為該層外層覆銅層壓板中形成定位孔的基準(zhǔn)。
      10.如權(quán)利要求7所述的多層電路板的制作方法,其特征在于,步驟 四、五中以耙點(diǎn)讀取裝置抓取所述耙點(diǎn)中心的位置并傳遞給制作線路、耙點(diǎn)的設(shè)備。
      11.如權(quán)利要求7所述的多層電路板的制作方法,其特征在于,步驟 四中位于第一側(cè)的外層覆銅層壓板與步驟五中位于第二側(cè)的覆銅層壓板中的線路、耙點(diǎn)同時(shí) 形成。
      12. 一種多層電路板,其包多層線路,其特征在于,所述多層線路 中形成有至少一組相互對齊的靶點(diǎn)。
      13.如權(quán)利要求12所述的多層電路板,其特征在于,所述靶點(diǎn)呈圓形。
      14.如權(quán)利要求12所述的多層電路板,其特征在于,所述靶點(diǎn)周圍 形成有識別區(qū)。
      15.如權(quán)利要求12所述的多層電路板,其特征在于,所述多層電路 板包括一中間層,從所述中間層向兩側(cè)的線路中的靶點(diǎn)數(shù)依次減少。全文摘要
      本發(fā)明涉及一種多層電路板的制作方法。所述方法包括步驟一、提供電路板內(nèi)層,所述電路板內(nèi)層包括兩層位于其兩表面的銅層;步驟二、將所述兩銅層制作成兩層線路,所述兩線路中形成有相互對齊的靶點(diǎn);步驟三、壓合外層覆銅層壓板,所述外層覆銅層壓板包括銅層;步驟四、以位于步驟三中壓合的外層覆銅層壓板之間的線路中的靶點(diǎn)中心為基準(zhǔn)將步驟三中壓合的外層覆銅層壓板的銅層制作線路。所述方法可以提高多層電路板層間對位精度。本發(fā)明還提供一種多層電路板。
      文檔編號H05K3/46GK101472405SQ200710203418
      公開日2009年7月1日 申請日期2007年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月26日
      發(fā)明者琳 任, 林承賢, 王成文 申請人:富葵精密組件(深圳)有限公司;鴻勝科技股份有限公司
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