專利名稱：一種異型發(fā)熱元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種發(fā)熱元件，尤其涉及一種異型發(fā)熱元件。
技術(shù)背景目前國內(nèi)的二硅化鉬基發(fā)熱元件主要為U、 W型產(chǎn)品，其自身 形狀簡單，強(qiáng)度硬度低，彎曲強(qiáng)度低、斷裂韌性較差、電阻率和熱導(dǎo) 率較低，不能高溫彎曲成型，不可快速升溫、熱場不均勻穩(wěn)定，只能 用于普通的電爐設(shè)備，而不能制作用于晶圓生產(chǎn)所用快速熱處理爐、 擴(kuò)散爐、CVD爐的發(fā)熱元件，其不能滿足快速熱處理爐、擴(kuò)散爐、CVD 爐的升溫工藝、均勻熱場等技術(shù)要求。實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于克服上述已有技術(shù)的不足而提供一種利 用通電加熱高溫彎曲技術(shù)加工成型，強(qiáng)度好，硬度高，彎曲強(qiáng)度高， 斷裂韌性好、電阻率和熱導(dǎo)率高，可快速升溫、熱場均勻穩(wěn)定，適用于快速熱處理爐、擴(kuò)散爐、CVD爐的異型發(fā)熱元件。本實用新型的目的可以通過如下措施來達(dá)到 一種異型發(fā)熱元件，它具有發(fā)熱部2，發(fā)熱部2的兩端設(shè)有端子部1，其特征在于發(fā) 熱部2為曲線型。為了進(jìn)一步實現(xiàn)本實用新型的目的，所述的發(fā)熱部2為波狀曲線型。為了進(jìn)一步實現(xiàn)本實用新型的目的，所述的發(fā)熱部2的正面呈弧 形，發(fā)熱部2是由波狀曲線型的棒材高溫彎曲而成，該波狀曲線型由 均勻且交替分布的圓弧和直線圓滑連接而成。為了進(jìn)一步實現(xiàn)本實用新型的目的，所述的波狀曲線型的發(fā)熱部 2由均勻且交替分布的圓弧和直線圓滑連接而成，其中波峰處的圓弧 在同一平面上，波谷處的圓弧高低交錯，且高、低圓弧分別在同一平 面上。為了進(jìn)一步實現(xiàn)本實用新型的目的，所述的發(fā)熱部2為螺旋型。為了進(jìn)一步實現(xiàn)本實用新型的目的，所述的發(fā)熱部2采用二硅化 鉬基材料的棒材高溫彎曲制成。本實用新型同已有技術(shù)相比可產(chǎn)生如下積極效果本實用新型的 發(fā)熱部為螺旋型、波狀曲線型等曲線型，其具有強(qiáng)度好、硬度高、可 高溫彎曲加工的特點，其彎曲強(qiáng)度高，斷裂韌性好、電阻率和熱導(dǎo)率 高，可快速升溫、熱場均勻穩(wěn)定，其適用于大晶圓生產(chǎn)的快速熱處理 爐、擴(kuò)散爐、CVD爐的核心部件，不僅能滿足其特殊形狀的要求，還 能達(dá)到其快速升溫、熱場均勻穩(wěn)定等一系列技術(shù)要求。


圖1為本實用新型的第一種實施方式的俯視圖； 圖2為圖1的正視圖；圖3為本實用新型的第二種實施方式的俯視圖； 圖4為圖3的正視圖；圖5為本實用新型的第三種實施方式的正視圖；圖6為圖5的側(cè)視圖。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式
作詳細(xì)說明 實施例l: 一種異型發(fā)熱元件(參見圖l、圖2)，它具有發(fā)熱部2，發(fā)熱部2的兩端設(shè)有端子部1，發(fā)熱部2的正面呈弧形，發(fā)熱部2是由波狀曲線型的棒材(二硅化鉬基材料)高溫彎曲而成，該波狀曲 線型由均勻且交替分布的圓弧和直線圓滑連接而成。實施例2: —種異型發(fā)熱元件(參見圖3、圖4)，它具有發(fā)熱部 2，發(fā)熱部2的兩端設(shè)有端子部1，發(fā)熱部2的正面呈弧形，發(fā)熱部2 是由波狀曲線型的棒材(二硅化鉬基材料)高溫彎曲而成，該波狀曲 線型由均勻且交替分布的圓弧和直線段圓滑連接而成，其中波峰處的 圓弧在同一平面上，波谷處的圓弧高低交錯，且高、低圓弧分別在同 一平面上。實施例3: —種異型發(fā)熱元件(參見圖5、圖6)，它具有發(fā)熱部 2，發(fā)熱部2的兩端設(shè)有端子部1，發(fā)熱部2是由螺旋型的棒材(二 硅化鉬基材料)高溫彎曲而成。
權(quán)利要求1、一種異型發(fā)熱元件，它具有發(fā)熱部(2)，發(fā)熱部(2)的兩端設(shè)有端子部(1)，其特征在于發(fā)熱部(2)為曲線型。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種異型發(fā)熱元件，其特征在于所 述的發(fā)熱部(2)為波狀曲線型。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種異型發(fā)熱元件，其特征在于所 述的發(fā)熱部(2)的正面呈弧形，發(fā)熱部(2)是由波狀曲線型的棒材 高溫彎曲而成，該波狀曲線型由均勻且交替分布的圓弧和直線圓滑連 接而成。 .
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種異型發(fā)熱元件，其特征在于所 述的波狀曲線型的發(fā)熱部(2)由均勻且交替分布的圓弧和直線圓滑 連接而成，其中波峰處的圓弧在同一平面上，波谷處的圓弧高低交錯， 且高、低圓弧分別在同一平面上。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種異型發(fā)熱元件，其特征在于所 述的發(fā)熱部(2)為螺旋型。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1或2或5所述的一種異型發(fā)熱元件，其特 征在于所述的發(fā)熱部(2)采用二硅化鉬基材料的棒材高溫彎曲制成。
專利摘要本實用新型公開了一種異型發(fā)熱元件，它具有發(fā)熱部(2)，發(fā)熱部(2)的兩端設(shè)有端子部(1)，其特征在于發(fā)熱部(2)為曲線型，本實用新型利用通電加熱高溫彎曲技術(shù)加工成型，強(qiáng)度好，硬度高，彎曲強(qiáng)度高，斷裂韌性好、電阻率和熱導(dǎo)率高，可快速升溫、熱場均勻穩(wěn)定，適用于快速熱處理爐、擴(kuò)散爐、CVD爐。
文檔編號H05B3/62GK201127127SQ200720157400
公開日2008年10月1日 申請日期2007年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月16日
發(fā)明者劉彥鵬, 周延飛, 波 姜, 楊志東, 賀先飛, 馬新勇 申請人:煙臺火炬特種高溫陶瓷有限公司