專利名稱：能夠低耗費(fèi)運(yùn)行的雙浴槽降溫法育晶裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種能夠低耗費(fèi)運(yùn)行的雙浴槽降溫法育晶裝置，屬于C30B 單晶生長(zhǎng)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
降溫法育晶裝置是從溶液中培育單晶的一類重要裝置，在張克從等編著的 "晶體生長(zhǎng)科學(xué)與技術(shù)"(第二版，上冊(cè))第204頁(yè)至208頁(yè)對(duì)各類降溫法育 晶裝置有詳細(xì)的介紹，該書(shū)由科學(xué)出版社于1997年出版，在各類降溫法育晶 裝置中，雙浴槽降溫法育晶裝置具有突出的優(yōu)點(diǎn)，在上述專著的第206頁(yè)的圖 3.20中展示了雙浴槽降溫法育晶裝置的構(gòu)造，該裝置的結(jié)構(gòu)可以扼要地描述如 下該裝置主要結(jié)構(gòu)包括桶狀育晶器，以及，與桶狀育晶器外壁貼合裝設(shè)的內(nèi) 浴槽，以及，與內(nèi)浴槽外壁貼合裝設(shè)的外浴槽，在外浴槽的外壁上開(kāi)設(shè)有冷卻 水輸入接口以及冷卻水輸出接口。該育晶裝置中的桶狀育晶器是單晶培育區(qū)。 在該育晶裝置外浴槽接通冷卻水的情形下，能夠基本消除室溫波動(dòng)的影響，該 裝置內(nèi)浴槽像一般水浴槽一樣采用浸沒(méi)式加熱，當(dāng)外浴槽溫度波動(dòng)為士o.2x: 時(shí)，內(nèi)浴槽溫度波動(dòng)為士0.002。C，最內(nèi)層的桶狀育晶器(即生長(zhǎng)槽)的溫度波動(dòng) 可降至士0.0016'C，這種裝置能滿足培育高完整性單晶的需要。
由于利用上述裝置所培育的單晶通常具有不低的經(jīng)濟(jì)價(jià)值或科研價(jià)值，使 用該種裝置的部門會(huì)忽視單晶培育過(guò)程中的冷卻水消耗， 一般只是簡(jiǎn)單地把上 述裝置的外浴槽的冷卻水輸入接口與自來(lái)水管接通，用長(zhǎng)時(shí)間不斷流淌的自來(lái) 水進(jìn)行外浴槽的冷卻控制，在水資源日益寶貴的現(xiàn)今，上述長(zhǎng)流自來(lái)水的冷卻 方式顯然應(yīng)當(dāng)有所改變。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是，針對(duì)上述的單晶培育過(guò)程中的冷卻水 消耗問(wèn)題，研發(fā)一種冷卻水消耗少的能夠低耗費(fèi)運(yùn)行的雙浴槽降溫法育晶裝置。
本實(shí)用新型通過(guò)如下方案解決所述技術(shù)問(wèn)題，該方案提供的裝置是一種能 夠低耗費(fèi)運(yùn)行的雙浴槽降溫法育晶裝置，該裝置包括桶狀育晶器，以及，與桶 狀育晶器外壁貼合裝設(shè)的內(nèi)浴槽，以及，與內(nèi)浴槽外壁貼合裝設(shè)的外浴槽，在 外浴槽的外壁上開(kāi)設(shè)有冷卻水輸入接口以及冷卻水輸出接口，本案要點(diǎn)是，該 裝置還包括水泵以及逆流式冷卻塔，開(kāi)設(shè)在所述外浴槽的外壁上的冷卻水輸入 接口與水泵的出水口聯(lián)通，水泵的進(jìn)水口與逆流式冷卻塔的出水口聯(lián)通，開(kāi)設(shè) 在所述外浴槽的外壁上的冷卻水輸出接口與逆流式冷卻塔的進(jìn)水口聯(lián)通。本案 裝置中附帶的逆流式冷卻塔其工作方式?jīng)Q定了應(yīng)用本案裝置時(shí)對(duì)水資源的較少 占用和較低消耗。適用于本案裝置的逆流式冷卻塔是微小型的逆流式冷卻塔， 微小型的逆流式冷卻塔不但用水少，而且功耗較低，此外，占用面積比較小。 本案裝置當(dāng)然還可以包括一些其它部件，例如，裝設(shè)在內(nèi)浴槽中的加熱元件、 感溫元件，以及，裝設(shè)在內(nèi)浴槽部位的攪拌器以及攪拌器驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，以及，裝 設(shè)在外浴槽部位的攪拌器以及攪拌器驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，以及，裝設(shè)在桶狀育晶器部位 的轉(zhuǎn)晶馬達(dá)，等等。
本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是，裝置中附帶的逆流式冷卻塔其工作方式?jīng)Q定了應(yīng)用 本案裝置時(shí)對(duì)水資源的較少占用和較低消耗。適用于本案裝置的逆流式冷卻塔 是微小型的逆流式冷卻塔，微小型的逆流式冷卻塔不但用水少，而且功耗較低， 此外，占用場(chǎng)地面積比較小。

圖1示意本案裝置的技術(shù)要點(diǎn)。
圖中，1是桶狀育晶器，2是內(nèi)浴槽，3是外浴槽，4是逆流式冷卻塔，5 是水泵，圖中的箭頭符號(hào)示意冷卻水流動(dòng)方向。
具體實(shí)施方式

在圖1所示的本案裝置中，其結(jié)構(gòu)包括桶狀育晶器1，以及，與桶狀育晶 器1的外壁貼合裝設(shè)的內(nèi)浴槽2，以及,與內(nèi)浴槽2的外壁貼合裝設(shè)的外浴槽3，
在外浴槽3的外壁上開(kāi)設(shè)有冷卻水輸入接口以及冷卻水輸出接口，外浴槽3的 外壁上的冷卻水輸入接口與水泵5的出水口聯(lián)通，水泵5的進(jìn)水口與逆流式冷 卻塔4的出水口聯(lián)通，外浴槽3的外壁上的冷卻水輸出接口與逆流式冷卻塔4 的進(jìn)水口聯(lián)通，圖中的三個(gè)箭頭符號(hào)分別示意三個(gè)不同部位的水流通道中的冷 卻水流動(dòng)方向。
權(quán)利要求1.能夠低耗費(fèi)運(yùn)行的雙浴槽降溫法育晶裝置，該裝置包括桶狀育晶器，以及，與桶狀育晶器外壁貼合裝設(shè)的內(nèi)浴槽，以及，與內(nèi)浴槽外壁貼合裝設(shè)的外浴槽，在外浴槽的外壁上開(kāi)設(shè)有冷卻水輸入接口以及冷卻水輸出接口，其特征在于，該裝置還包括水泵以及逆流式冷卻塔，開(kāi)設(shè)在所述外浴槽的外壁上的冷卻水輸入接口與水泵的出水口聯(lián)通，水泵的進(jìn)水口與逆流式冷卻塔的出水口聯(lián)通，開(kāi)設(shè)在所述外浴槽的外壁上的冷卻水輸出接口與逆流式冷卻塔的進(jìn)水口聯(lián)通。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種能夠低耗費(fèi)運(yùn)行的雙浴槽降溫法育晶裝置，屬于單晶生長(zhǎng)領(lǐng)域?，F(xiàn)有技術(shù)中的雙浴槽降溫法育晶裝置存在冷卻水浪費(fèi)問(wèn)題。本案旨在解決所述冷卻水浪費(fèi)問(wèn)題。本案裝置包括桶狀育晶器，以及，與桶狀育晶器外壁貼合裝設(shè)的內(nèi)浴槽，以及，與內(nèi)浴槽外壁貼合裝設(shè)的外浴槽，在外浴槽的外壁上開(kāi)設(shè)有冷卻水輸入接口以及冷卻水輸出接口，本案要點(diǎn)是，該裝置還包括水泵以及逆流式冷卻塔，開(kāi)設(shè)在所述外浴槽的外壁上的冷卻水輸入接口與水泵的出水口聯(lián)通，水泵的進(jìn)水口與逆流式冷卻塔的出水口聯(lián)通，開(kāi)設(shè)在所述外浴槽的外壁上的冷卻水輸出接口與逆流式冷卻塔的進(jìn)水口聯(lián)通。本案裝置的工作方式?jīng)Q定了應(yīng)用本案裝置時(shí)對(duì)水資源的較少占用和較低消耗。
文檔編號(hào)C30B7/00GK201144300SQ200720187130
公開(kāi)日2008年11月5日 申請(qǐng)日期2007年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月15日
發(fā)明者岳 宋, 李榕生, 淼 水, 霞 王 申請(qǐng)人:寧波大學(xué)