專利名稱：：感光性樹脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及能通過堿性水溶液顯影的感光性樹脂組合物、將該感光性樹脂組合物層壓在支撐體上而成的感光性樹脂層壓體、使用該感光性樹脂層壓體在基板上形成抗蝕圖案的方法以及該抗蝕圖案的用途。更詳細(xì)地說，涉及一種感光性樹脂組合物，其提供適用于如下用途的抗蝕圖案在印刷線路板的制造；撓性印刷線路板的制造；IC芯片搭載用引線框(以下稱為引線框)的制造；金屬箔精密加工，例如金屬掩模制造；半導(dǎo)體封裝體，例如BGA(球柵陣列封裝)或CSP(芯片尺寸級(jí)封裝)的制造；以TAB(載帶自動(dòng)鍵合)或COF(在薄膜上的芯片在薄膜狀的微細(xì)線路板上搭載半導(dǎo)體IC的材料)為代表的帶狀基板的制造；半導(dǎo)體塊材的制造；平板顯示器領(lǐng)域中的ITO電極、部件，例如尋址電才及(addresselectrodes)或電》茲波屏蔽的制造。
背景技術(shù)：
：目前，印刷線路板通過光刻法制造。所謂的光刻法，是指在基板上涂布感光性樹脂組合物，并通過圖案曝光使該感光性樹脂組合物的曝光部分聚合固化，通過顯影液除去未曝光部分而在基板上形成抗蝕圖案，進(jìn)行蝕刻或鍍敷處理，從而形成導(dǎo)體圖案，然后，從該基板上剝離除去該抗蝕圖案，從而在基板上形成導(dǎo)體圖案的方法。在上述光刻法中，在基板上涂布感光性樹脂組合物時(shí)，可以使用下述方法的任一種在基板上涂布感光性樹脂組合物溶液并使其干燥的方法；或?qū)⒁来螌訅褐误w、由感光性樹脂組合物構(gòu)成的層(以下，還稱為"感光性樹脂層"。)和根據(jù)需要的保護(hù)層得到的感光性樹脂層壓體(以下，還稱為"感光抗蝕干膜"。)層壓到基板上的方法。而且，在印刷線路板的制造中，大多使用后者的感光抗蝕干膜。法。首先，在感光抗蝕干膜具有保護(hù)層的情況下，從感光性樹脂層剝離該保護(hù)層。接著，使用層壓機(jī)按照基板、感光性樹脂層、支撐體的;':頁序?qū)⒏泄庑詷渲瑢雍椭误w層壓到該基板例如覆銅層壓板之上。然后，通過具有線路圖案的光掩模，使該感光性樹脂層在超高壓汞燈發(fā)出的紫外線、例如i射線(365nm)下曝光，從而使曝光部分聚合固化。然后剝離支撐體。接著，通過顯影液、例如具有弱堿性的水溶液，將感光性樹脂層的未曝光部分溶解或分散除去，在基板上形成固化的抗蝕圖案(以下，僅簡稱為"抗蝕圖案"。)。然后，以所形成的抗蝕圖案作為保護(hù)掩模進(jìn)行公知的蝕刻處理或圖案鍍敷處理。最后，從基板剝離該抗蝕圖案，制造具有導(dǎo)體圖案的基板、即印刷線路板。伴隨著近年來印刷線路板中布線間隔的樣i細(xì)化，在感光抗蝕干膜中高分辨率的要求增加。此外，從提高生產(chǎn)率的觀點(diǎn)出發(fā)，還要求高感光度化。另一方面，曝光方式也根據(jù)用途而多樣化，發(fā)現(xiàn)通過激光直接繪制、即不需要光掩模的無掩模曝光在近年表現(xiàn)出急劇增加。作為無掩模曝光的光源，往往使用波長350~410nm的光，尤其是i射線或h射線(405nm)。因此，重要的是能形成對(duì)于這些波長區(qū)域的光源為高感光度且高分辨率的抗蝕圖案。在感光抗蝕千膜用的感光性樹脂組合物中，為了實(shí)現(xiàn)用于提高生產(chǎn)率的高感光度化、通過激光進(jìn)行的直接繪制，通常使用高感光度的引發(fā)劑或增敏劑，這些組合物感光度良好，但色調(diào)穩(wěn)定性低，高溫下和長時(shí)間保存的情況下，存在顯色或脫色這樣的問題。在專利文獻(xiàn)l中記載了，為了提高感光性樹脂組合物的色調(diào)穩(wěn)定性，添加苯酚類，例如氫醌、鄰苯二酚的感光性樹脂組合物，在專利文獻(xiàn)2中記載了含有鄰叔丁基苯酚衍生物和雜環(huán)硫醇化合物的光聚合性組合物，在專利文獻(xiàn)3中記載了含有具有環(huán)氧基的化合物的、可光聚合的混合物，在專利文獻(xiàn)4中記載了含有鏈烷醇胺和孔雀綠的感光性樹脂組合物。然而，這些感光性樹脂組合物的色調(diào)穩(wěn)定性不能充分令人滿足，要求進(jìn)一步提高色調(diào)穩(wěn)定性。在專利文獻(xiàn)5中，作為即使在高溫下的保存穩(wěn)定性也高的組合物，記載了一種感光性組合物，其特征在于，含有高分子粘結(jié)劑、烯屬不飽和化合物、隱色染料、有機(jī)由素化合物和亞磷酸酯。然而，其中示出的內(nèi)容是無色的隱色染料可防止高溫貯藏時(shí)的顯色的效果，并沒有記載在使用有色的堿性染料情況下的高溫貯藏時(shí)的脫色防止效果，也沒有任何的教導(dǎo)。而且，認(rèn)為所公開的感光性組合物是無法形成抗蝕圖案的。已知隱色染料是無色的，但由于通過氧化變化為有色染料，因而通常為顯色性染料。隱色染料用作通過熱敏或壓敏記錄圖像的材料。在專利文獻(xiàn)5中，公開了隱色染料，作為其具體例，列舉了隱色結(jié)晶紫。隱色結(jié)晶紫其自身是無色的，但通過氧化變?yōu)樗ё先玖希@色為紫色。本發(fā)明中的堿性染料其自身是有色的，此外，在可被氧化的狀態(tài)下不會(huì)引起色調(diào)變化。由此可知高溫貯藏時(shí)的與隱色染料相關(guān)的顯色的機(jī)理和與堿性染料相關(guān)的脫色的才幾理是完全不同的。由于這些理由，期望一種感光性樹脂組合物，其是含有感光抗蝕干膜用的堿性染料的感光性樹脂組合物，高感光度、高分辨率、附著力優(yōu)異，且沒有感光抗蝕干膜保存時(shí)的脫色問題,色調(diào)穩(wěn)定性優(yōu)異。專利文獻(xiàn)l:美國專利第3042515號(hào)說明書專利文獻(xiàn)2:日本特開昭60-2945公報(bào)專利文獻(xiàn)3:日本特開平l-161001號(hào)/>才良專利文獻(xiàn)4:日本特開平6-148883號(hào)7>寺艮專利文南大5:曰本凈爭開2004—219690號(hào)7>寺艮
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的問題本發(fā)明的目的是提供一種能通過堿性水溶液顯影的感光性樹脂組合物，其感光度、分辨率和附著力優(yōu)異，沒有干膜保存時(shí)的顯色和脫色這樣問題，色調(diào)穩(wěn)定性良好；使用該感光性樹脂組合物的感光性樹脂層壓體；使用該感光性樹脂層壓體在基板上形成抗蝕圖案的方法和該抗蝕圖案的用途。解決問題的方法上述目的可以通過本發(fā)明的如下方案實(shí)現(xiàn)。(1)一種感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(a)含有含a,(3-不飽和羧基的單體作為共聚成分、酸當(dāng)量為100~600、重均分子量為5000500000的熱塑性共聚物20~90質(zhì)量%;(b)具有至少一個(gè)末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體5~75質(zhì)量％;(c)光聚合引發(fā)劑0.01~30質(zhì)量％;(d)亞磷酸酯化合物0.01~5質(zhì)量％;(e)》威性染泮十0.001~0.3質(zhì)量％。(2)如(1)所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，作為上述(c)光聚合引發(fā)劑，含有六芳基雙咪唑衍生物。(3)如U)或(2)所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，作為上述(C)光聚合引發(fā)劑，含有下述通式(I)表示的吖啶化合物，還含有有機(jī)卣素化合物0.01~3質(zhì)量％。[化學(xué)式l]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>(I)(式中，R是氫、碳原子數(shù)為16的烷基、芳基、吡啶基或碳原子數(shù)為1~6的烷氧基。)(4)如(1)~(3)任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，含有下述通式(II)表示的N-芳基氨基酸0.0011.0質(zhì)量％。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>(II)(式中，Ri是芳基。)(5)如(1)~(4)任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，作為(c)光聚合引發(fā)劑，含有下述通式(III)表示的吡唑啉化合物0.001~10質(zhì)量％。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>(式中，B和C各自獨(dú)立地是碳原子數(shù)為3以上的直鏈或支鏈烷基或NR2(R是氫原子或烷基)，A表示選自芳基、雜環(huán)基和碳原子數(shù),a是0或l，b=c=1。)(6)如(1)~(5)任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，(d)亞磷酸酯化合物是選自2,4,8,10-四-又丁基-6-[3-(3-甲基-4-羥基-5-叔丁基苯基)丙氧基]二苯并[d、f][l，3，2]二噁磷環(huán)庚烷(dioxaphosphepin)、2,2-亞甲基雙(4，6-二叔丁基苯基)辛基亞磷酸酯、雙(2,4-二叔丁基苯基)季戊四醇-二亞磷酸酯、三(2，4_二叔丁基苯基)亞磷酸酯、4,4，-亞丁基雙(3-曱基-6-叔丁基苯基)-二-十三烷基亞磷酸酯、4,4，-亞異丙基-二苯酚烷基亞磷酸酯和三異癸基亞磷酸酯所組成的組中的至少一種化合物。(7)如(1)~(6)任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，(b)具有至少一個(gè)末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體含有下述通式(iv)或(V)的至少1種。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>(式中，R,和R2各自獨(dú)立地是H或CH3，D和E是碳原子數(shù)為24個(gè)的亞烷基，分別可相同或可不相同，在不相同的情況下，-(D-0)-和-(E-0)-的重復(fù)單元可以是嵌段結(jié)構(gòu)也可以不是嵌段結(jié)構(gòu)，其任一個(gè)在聯(lián)苯基側(cè)皆可。ml、m2、nl和n2各自獨(dú)立地是O或正的整凄史，它們總計(jì)為2~30。)[化學(xué)式4]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>(式中，R3和R4各自獨(dú)立地是H或CH3。此外，F(xiàn)和G是碳原子數(shù)為2~4個(gè)的亞烷基，各自可相同或可不相同，在不相同的情況下，-(F-O)-和-(G-O)-的重復(fù)單元可以是嵌段結(jié)構(gòu)也可以不是嵌段結(jié)構(gòu)，其任一個(gè)在環(huán)己基側(cè)皆可。pl、p2、ql和q2各自獨(dú)立地是O或正的整數(shù)，它們總計(jì)為230。)(8)—種感光性樹脂層壓體，其將(l)~(7)任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物層壓到支撐體上而成。(9)一種抗蝕圖案形成方法，其包括使用(8)所述的感光性樹脂層壓體在基板上形成感光性樹脂層的層壓工序、曝光工序和顯影工序。(10)如(9)所述的抗蝕圖案形成方法，其特征在于，在上述曝光工序中，通過直接繪制進(jìn)行曝光。(11)一種印刷線路板的制造方法，其包括對(duì)通過(9)或(10)所述的方法形成了抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻或鍍敷的工序。(12)—種引線框的制造方法，其包括對(duì)通過(9)或(10)所述的方法形成了抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻的工序。(13)—種半導(dǎo)體封裝體的制造方法，其包括對(duì)通過(9)或(10)所述的方法形成了抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻或鍍敷的工序。(14)一種具有凹凸圖案的基材的制造方法，其包括通過噴砂來加工通過(9)或(10)所述的方法形成了抗蝕圖案的基板的工序。發(fā)明效果本發(fā)明提供了一種感光度、分辨率和附著力優(yōu)異且色調(diào)穩(wěn)定性良好的、能通過堿性水溶液顯影的感光性樹脂組合物、使用該感光性樹脂組合物的感光性樹脂層壓體、使用該感光性樹脂層壓體在基板上形成抗蝕圖案的方法和該抗蝕圖案的用途，可以適合在印刷線路板的制造、引線框的制造、半導(dǎo)體封裝體的制造、平面顯示器的制造中使用。具體實(shí)施例方式以下，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體的說明。<感光性樹脂組合物>在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，含有如下物質(zhì)作為必須成分(a)含有含a,p-不飽和羧基的單體作為共聚成分、酸當(dāng)量為100~600、重均分子量為5000500000的熱塑性共聚物20~90質(zhì)量％;(b)具有至少一個(gè)末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體5~75質(zhì)量％;(c)光聚合引發(fā)劑0.01~30質(zhì)量%;(d)亞磷酸酯化合物0.01~5質(zhì)量％;(e)堿性染料0.001~0.3質(zhì)量％。(a)熱塑性共聚物在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，作為(a)熱塑性共聚物，使用含有含a，j3-不飽和羧基的單體作為共聚成分、酸當(dāng)量為100~600、重均分子量為5000500000的熱塑性共聚物。熱塑性共聚物中的羧基是為了感光性樹脂組合物對(duì)于由堿性水溶液構(gòu)成的顯影液或剝離液具有顯影性或剝離性所必須的。酸當(dāng)量優(yōu)選為100~600,更優(yōu)選為250~450。乂人確保與溶劑或組合物中的其它成分尤其是后述(b)加成聚合性單體的相容性的觀點(diǎn)出發(fā)，酸當(dāng)量優(yōu)選為100以上，此外，從維持顯影性或剝離性的觀點(diǎn)出發(fā)，酸當(dāng)量優(yōu)選為600以下。其中，所謂的酸當(dāng)量，是指其中具有l(wèi)當(dāng)量羧基的熱塑性共聚物的質(zhì)量(g)。另外，酸當(dāng)量的測定是使用平沼k;Kr^>夕、、夕J卜k_夕-(COM-555),使用0.1mol/L的NaOH水溶液通過電位差滴定法來進(jìn)行。本發(fā)明熱塑性聚合物的重均分子量優(yōu)選為5000~500000。從均勻維持感光抗蝕干膜的厚度并獲得對(duì)顯影液的耐受性的觀點(diǎn)出發(fā)，重均分子量優(yōu)選為5000以上，此外，從維持顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)，重均分子量優(yōu)選為500000以下。更優(yōu)選重均分子量為20000~100000。該情況下所謂的重均分子量，是指通過凝膠滲透色語(GPC)使用標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯(昭和電工(株)制造的ShodexSTANDARDSM-105)的標(biāo)準(zhǔn)曲線測定的重均分子量。該重均分子量可以使用日本分光(抹)制造的凝膠滲透色i普、按照以下條件測定。差示折射率計(jì)RI-1530泵PU-1580脫氣裝置DG-980-50柱烘箱CO-1560柱依次為KF—8025、KF-806Mx2、KF—807洗脫液THF熱塑性共聚物優(yōu)選為由后述第一單體的至少一種以上與后述第二單體的至少一種以上構(gòu)成的共聚物。第一單體是在分子中含有a,(3—不飽和羧基的單體?？梢粤信e例如(甲基)丙烯酸、富馬酸、肉桂酸、巴豆酸、衣康酸、馬來酸酐和馬來酸半酯。其中，特別優(yōu)選(甲基)丙烯酸。第二單體是非酸性且在分子中具有至少一個(gè)聚合性不飽和基團(tuán)的單體?？梢粤信e例如(甲基)丙烯酸甲酯、(曱基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(曱基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(曱基)丙烯酸環(huán)己酯、(曱基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸千基酯、乙酸乙烯酯、(甲基)丙烯腈、苯乙烯和可聚合的苯乙烯衍生物。其中，特別優(yōu)選(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、苯乙烯、(曱基)丙烯酸芐基酯。本發(fā)明感光性樹脂組合物中所含的熱塑性聚合物的量在20~90質(zhì)量％的范圍內(nèi)，優(yōu)選在25~70質(zhì)量％的范圍。從維持堿顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)，該量優(yōu)選為20質(zhì)量％以上，此外，從通過曝光形成的抗蝕圖案充分發(fā)揮作為抗蝕劑的性能的觀點(diǎn)出發(fā)，該量優(yōu)選為90質(zhì)量％以下。(b)加成聚合性單體作為本發(fā)明感光性樹脂組合物中使用的(b)具有至少一個(gè)末端烯屬不飽和基的加成聚合性單體，沒有特別的限定，從分辨率和附著力的觀點(diǎn)出發(fā)，期望含有下述通式(IV)所示的化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>(式中，R,和R2各自獨(dú)立地是H或CH"D和E是碳原子數(shù)為24個(gè)的亞烷基，分別可相同或可不相同，在不相同的情況下，-(D-0)-和-(E-0)-的重復(fù)單元可以是嵌段結(jié)構(gòu)也可以不是嵌段結(jié)構(gòu)，其任一個(gè)在聯(lián)苯基側(cè)皆可。ml、m2、nl和n2各自獨(dú)立地是O或正的整數(shù)，它們總計(jì)為2~30。)作為上述通式(IV)所示的化合物，可以列舉例如2，2-雙{(4-丙烯酰氧基多亞乙基氧基)苯基}丙烷或2,2-雙{(4-甲基丙烯酰氧基多亞乙基氧基)苯基}丙烷。優(yōu)選該化合物所具有的多亞乙基氧基為選自單亞乙基氧基、二亞乙基氧基、三亞乙基氧基、四亞乙基氧基、五亞乙基氧基、六亞乙基氧基、七亞乙基氧基、八亞乙基氧基、九亞乙基氧基、十亞乙基氧基、十一亞乙基氧基、十二亞乙基氧基、十三亞乙基氧基、十四亞乙基氧基和十五亞乙基氧基所組成的組中的任一基團(tuán)的化合物。此外，可以列舉2，2-雙{(4-丙烯酰氧基多亞烷基氧基)苯基}丙烷或2,2_雙{(4-曱基丙烯酰氧基多亞烷基氧基)苯基}丙烷。作為該化合物所具有的多亞烷基氧基，可以列舉亞乙基氧基與亞丙基氧基的混合物，優(yōu)選八亞乙基氧基與二亞丙基氧基的嵌段結(jié)構(gòu)的加成物或無規(guī)結(jié)構(gòu)的加成物以及四亞乙基氧基與四亞丙基氧基的嵌段結(jié)構(gòu)的加成物或無規(guī)結(jié)構(gòu)的加成物。其中，最優(yōu)選2，2-雙{(4-曱基丙烯酰氧基五亞乙基氧基)苯基}丙烷。此外，在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，作為(b)加成聚合性單體，從分辨率的觀點(diǎn)出發(fā)，期望含有下述通式(V)所示的化合物。(式中，R3和R4各自獨(dú)立地是H或CH3。此外，F(xiàn)和G是石友原子數(shù)為2~4個(gè)的亞烷基，各自可相同或可不相同，在不相同的情況下，-(F-O)-和_(G-0)-的重復(fù)單元可以是嵌段結(jié)構(gòu)也可以不是嵌段結(jié)構(gòu)，其任一個(gè)在環(huán)己基側(cè)皆可。pl、p2、ql和q2各自獨(dú)立地是0或正的整數(shù)，它們總計(jì)為2~30。)作為上述通式(V)表示的化合物，可以列舉例如2,2-雙{(4-丙烯酰氧基多亞乙基氧基)環(huán)己基}丙烷或2，2-雙{(4-甲基丙烯酰氧基多亞乙基氧基)環(huán)己基}丙烷。優(yōu)選該化合物所具有的多亞乙基氧基為選自單亞乙基氧基、二亞乙基氧基、三亞乙基氧基、四亞乙基氧基、五亞乙基氧基、六亞乙基氧基、七亞乙基氧基、八亞乙基氧基、九亞乙基氧基、十亞乙基氧基、(V)十一亞乙基氧基、十二亞乙基氧基、十三亞乙基氧基、十四亞乙基氧基和十五亞乙基氧基所組成的組中的任一基團(tuán)的化合物。此外，可以列舉2，2-雙{(4-丙烯酰氧基多亞烷基氧基)環(huán)己基}丙烷或2，2-雙{(4_甲基丙烯酰氧基多亞烷基氧基)環(huán)己基}丙烷。作為該化合物所具有的多亞烷基氧基，可以列舉乙氧基與丙氧基的混合物，優(yōu)選八亞乙基氧基與二亞丙基氧基的嵌段結(jié)構(gòu)的加成物或無規(guī)結(jié)構(gòu)的加成物以及四亞乙基氧基與四亞丙氧基的嵌段結(jié)構(gòu)的加成物或無規(guī)結(jié)構(gòu)的加成物。其中，最優(yōu)選2,2-雙{(4-曱基丙烯酰氧基五亞乙基氧基)環(huán)己基}丙烷。上述通式(IV)或(V)表示的化合物包含在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的情況下的含量，優(yōu)選在感光性樹脂組合物中包含5~40質(zhì)量％,更優(yōu)選為10~30質(zhì)量％。乂人體現(xiàn)高分辨率、高附著力的觀點(diǎn)出發(fā)，該量優(yōu)選為5質(zhì)量％以上，此外，從抑制冷流和抗蝕圖案的剝離延遲的觀點(diǎn)出發(fā)，該量優(yōu)選為40質(zhì)量％以下。作為本發(fā)明感光性樹脂組合物中使用的(b)加成聚合性單體，除了上述化合物以外，還可以使用具有至少一個(gè)末端烯屬不飽和基團(tuán)的公知化合物。可以列舉例如4-壬基苯基七乙二醇二丙二醇丙烯酸酯、2-羥基-3-苯氧基丙基丙烯酸酯、苯氧基六乙二醇丙烯酸酯、鄰苯二甲酸酐與2-羥基丙基丙烯酸酯的半酯化合物與環(huán)氧丙烷的反應(yīng)物(日本觸煤化學(xué)制造、商品名OE-A200)、4-正辛基苯氧基五丙二醇丙烯酸酯、1,6-己二醇(甲基)丙烯酸酯、i，4-環(huán)己二醇二(甲基)丙晞酸酯、或聚氧亞烷基二醇二(甲基)丙烯酸酯、例如聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚氧乙烯聚氧丙烯二醇二(甲基)丙烯酸酯、2-二(對(duì)羥基苯基)丙烷二(曱基)丙烯酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇五(曱基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三縮水甘油醚三(甲基)丙烯酸酯、2，2-雙(4-曱基丙烯酰氧基五乙氧基苯基)丙烷。此外，還可以列舉含有尿烷基的多官能(甲基)丙烯酸酯，例如六亞甲基二異氰酸酯與醇類例如九丙二醇單甲基丙烯酸酯形成的尿烷化物、以及異氰脲酸酯化合物的多官能(曱基)丙烯酸酯。這些物質(zhì)可以單獨(dú)-使用，也可以將兩種以上耳關(guān)用。本發(fā)明感光性樹脂組合物中所含的(b)加成聚合性單體的量相對(duì)于全部感光性樹脂組合物，在5~75質(zhì)量％的范圍內(nèi)，更優(yōu)選的范圍是15~70質(zhì)量％。從抑制固化不良和顯影時(shí)間延遲的觀點(diǎn)出發(fā)，該量優(yōu)選為5質(zhì)量％以上，此外，/人抑制冷流和抗蝕圖案的剝離延遲的觀點(diǎn)出發(fā)，該量優(yōu)選為75質(zhì)量％以下。(c)光聚合引發(fā)劑在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中含有(c)光聚合引發(fā)劑。本發(fā)明感光性樹脂組合物中所含的(c)光聚合引發(fā)劑的量在0.01~30質(zhì)量％的范圍，更優(yōu)選的范圍為0.0510質(zhì)量％。從獲得足夠的感光度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為0.01質(zhì)量％以上，此外，從光線充分透過至與抗蝕圖案基板接觸的面(底面)，獲得良好的高分辨率和附著力的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為30質(zhì)量％以下。作為光聚合引發(fā)劑，優(yōu)選使用六芳基雙咪唑衍生物(以下為三芳基咪唑二聚體)。作為三芳基咪唑二聚體，可以列舉例如2-(鄰氯代苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚體(以下還稱為2,2'-雙(2-氯代苯基)_4,4，,5,5，-四苯基-1,1，-二咪唑)、2，2，，5_三(鄰氯代苯基)-4-(3,4-二曱氧基苯基)-4，,5，-二苯基咪唑二聚體、2,4-雙-(鄰氯代苯基)-5-(3,4-二曱氧基苯基)-二苯基咪唑二聚體、2,4,5-三(鄰氯代苯基)-二苯基咪唑二聚體、2-(鄰氯代苯基)-雙-4，5-(3，4-二甲氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2，-雙-(2-氟代苯基)-4,4，，5，5，-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體、2，2，-雙-(2,3-二氟代曱基苯基)-4，4，，5，5，-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體、2，2，-雙-(2,4-二氟代苯基)-4,4，，5，5，-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體、2，2，-雙-(2,5-二氟代苯基)—4,4，,5,5，-四-(3-甲氧基苯基)咪唑二聚體、2，2，-雙-(2,6-二氟代苯基)-4,4，，5,5，-四-(3-曱氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2，-雙-(2,3,4-三氟代苯基)-4,4，,5,5，-四-(3-曱氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2，-雙_(2,3,5-三氟代苯基)_4，4，,5,5，_四-(3-曱氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2，-雙-(2，3,6-三氟代苯基)-4,4，，5,5，-四-(3-曱氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2，-雙-(2,4，5-三氟代苯基)-4，4，，5，5，-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2，-雙-(2,4,6-三氟代笨基)-4，4，,5,5，-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2，-雙-(2,3,4,5-四氟代苯基)-4,4，，5,5，-四-(3-曱氧基苯基)-咪唑二聚體、2,2，-雙-(2,3,4,6-四氟代苯基)-4,4，,5,5，-四-(3-曱氧基苯基)-咪唑二聚體以及2,2，-雙-(2,3,4,5,6-五氟代苯基)-4，4',5,5'-四-(3-甲氧基苯基)-咪唑二聚體。尤其是2_(鄰氯代苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚體是對(duì)分辨率和固化膜的強(qiáng)度具有高的效果的光聚合引發(fā)劑，優(yōu)選使用。這些物質(zhì)可以單獨(dú)4吏用，或?qū)?種以上組合^吏用。此外，作為六芳基雙咪唑以外的光聚合引發(fā)劑，可以列舉例如醌類，例如2-乙基蒽醌、八乙基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、2,3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、1-氯代蒽醌、1,4-萘醌、9,10-菲醌、2-甲基_1,4-萘醌、2,3-二甲基蒽醌和3-氯-2-曱基蒽醌；芳香族酮類，例如二苯甲酮、米蚩酮[4，4，-雙(二甲基氨基)二苯曱酮]和4，4，-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、苯偶姻、苯偶姻醚類，例如苯偶姻乙醚、苯偶姻苯基醚、曱基苯偶姻和乙基苯偶姻；安息香雙甲醚、安息香雙乙醚、噻噸酮類與烷基氨基苯甲酸的組合、吖啶類、以及肟酯類，例如l-苯基-1,2-丙烷二酮-2-O-苯偶姻將和l-苯基-1,2-丙烷二酮-2-(O-乙氧基羰基)肟。另外，作為上述噻噸酮類與烷基氨基苯甲酸的組合，可以列舉例如乙基。塞噸酮與二曱基氨基苯甲酸乙酯的組合、2-氯代噻噸酮與二曱基氨基苯曱酸乙酯的組合以及異丙基蓬噸酮和二曱基氨基苯曱酸乙酯的組合。其中，作為(C)光聚合引發(fā)劑，優(yōu)選使用下述通式(I)表示的吖啶化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage21</formula>(I)(式中，R是氳、碳原子數(shù)為16的烷基、芳基、吡啶基或碳原子數(shù)為1~6的烷氧基。)作為上述通式(I)的具體化合物，可以列舉例如9-苯基吖啶、9-(4，-甲苯基)吖啶、9-(4，-甲氧基苯基)吖啶、9-(4，-羥基苯基)吖啶、9-乙酰基氨基吖啶、苯并[a]吩嗪、9-曱基苯并[a]吩嗪、2-苯乙烯基喹啉、9-乙基吖啶、9-氯乙基吖啶、9-甲氧基吖啶、9-乙氧基吖啶、9-(4-曱基苯基)吖啶、9-(4-乙基苯基)吖啶、9-(4-正丙基苯基)吖啶、9-(4-正丁基苯基)吖啶、9-(4-叔丁基苯基)吖啶、9-(4-甲氧基苯基)吖啶、9-(4-乙氧基苯基)吖啶、9-(4-乙酰基苯基)吖啶、9-(4-二曱基氨基苯基)吖啶、9-(4-氯代苯基)吖啶、9-(4-溴代苯基)吖啶、9_(3-曱基苯基)吖啶、9-(3-叔丁基苯基)吖啶、9-(3-乙?；交?吖啶、9-(3-二曱基氨基苯基)吖啶、9-(3-二乙基氨基苯基)吖啶、9-(3-氯代苯基)吖啶、9-(3-溴代苯基)吖啶、9—(2—p比咬基)吖啶、9—(3-口比咬基)吖口定、9-(4-口比咬基)吖咬。此外，還可以使用吖咬化合物的二聚體?？梢粤信e例如l,6-雙(9-吖啶基)己烷、1,7-雙(9-吖啶基)庚烷、1,8-雙(9-吖啶基)辛烷、1,9-雙(9_吖啶基)壬烷-9-曱基吖啶。在本發(fā)明中，作為(c)光聚合引發(fā)劑，含有下述通式(III)表示的吡唑啉化合物是本發(fā)明優(yōu)選的實(shí)施方式。含有吡唑啉化合物的情況下的含量從提高感光度和分辨率的觀點(diǎn)出發(fā)，相對(duì)于全部感光性樹脂組合物，優(yōu)選為0.001質(zhì)量％以上，從感光性樹脂組合物的相容性和對(duì)顯影液的分散性的觀點(diǎn)出發(fā)，相對(duì)于全部感光性樹脂組合物，優(yōu)選為10質(zhì)量％以下。進(jìn)一步優(yōu)選為0.005-5質(zhì)量％,更優(yōu)選為0.05~2質(zhì)量％。[化學(xué)式8]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage23</formula>(式中，B和C各自獨(dú)立地是碳原子數(shù)為3以上的直鏈或支鏈烷基或NR2(R是氫原子或烷基)，A表示選自芳基、雜環(huán)基和碳原子數(shù)為3以上的直鏈或支鏈烷基所組成的組中的取代基。a為0或1，b=c=1。)式中，B和C優(yōu)選各自獨(dú)立地是碳原子數(shù)為3~12的直鏈或支鏈烷基。作為上述通式(III)表示的吡唑啉化合物，可以列舉1-苯基-3-(4-叔丁基-苯乙烯基)-5-(4-叔丁基-苯基)-吡唑啉、1,5-雙(4-叔丁基-苯基)-3-(4-#1丁基-苯乙烯基)-吡唑啉、1-苯基-3-(4-叔辛基-苯乙烯基)-5-(4-叔辛基-苯基)-吡唑啉、1,5-雙(4-叔辛基-苯基)-3-(4-叔辛基-苯乙歸基)-吡唑啉、1-苯基-3-(4-十二烷基-苯乙烯基)-5-(4-十二烷基-苯基)-吡唑啉、1-(4-十二烷基-苯基)-3-(4-十二烷基-苯乙烯基)-5-(4-十二烷基-苯基)-吡唑啉、1-(4-叔辛基-苯基)-3-(4-叔丁基-苯乙烯基)-5-(4-叔丁基-苯基)-吡唑啉、1-(4-叔丁基-苯基)-3-(4-叔辛基-苯乙烯基)-5-(4-叔辛基-苯基)-吡唑啉、1-(4-十二烷基-苯基)-3-(4-叔丁基-苯乙烯基)-5-(4-叔丁基-苯基)-吡哇啉、1-(4-叔丁基-苯基)-3-(4-十二烷基-苯乙烯基)-5-(4-十二烷基-苯基)-吡唑啉、l-(4-十二烷基-苯基)-3-(4-叔辛基-苯乙烯基)-5-(4-叔辛基-苯基)一比喳啉、l-(4-叔辛基-苯基)-3-(4-十二烷基-苯乙烯基)-5-(4-十二烷基-苯基)-吡唑啉、1-(2，4-二丁基-苯基)-3-(4-十二烷基-苯乙烯基)-5-(4_十二烷基-苯基)-吡唑啉、1-苯基-3-(3，5-二叔丁基-苯乙烯基)-5-(3,5-二叔丁基-苯基)_吡唑啉、1-苯基-3-(2,6-二叔丁基-苯乙烯基)-5-(2，6-二叔丁基-苯基)-吡唑啉、1-苯基-3-(2,5-二叔丁基-苯乙烯基)-5-(2,5-二叔丁基-苯基)-吡唑啉、1-苯基-3-(2，6-二正丁基-苯乙烯基)-5-(2,6-二正丁基-苯基)-吡唑啉、1-(4_^又丁基-苯基)-3-(3,5-二叔丁基-苯基)-吡唑啉、1-(3,5_二叔丁基-苯基)-3-(3,5-二叔丁基-苯乙烯基)-5-(3,5-二叔丁基-笨基)一口比口坐畔木。(d)亞磷酸酯化合物本發(fā)明感光性樹脂組合物中所含的(d)亞磷酸酯化合物的量相對(duì)于全部感光性樹脂組合物，在O.Ol~5質(zhì)量％的范圍，優(yōu)選在O.l~3質(zhì)量％的范圍。在0.01質(zhì)量％以上的話，感光性組合物的色調(diào)穩(wěn)定性良好，在5質(zhì)量％以下的話，固化性良好。作為亞磷酸化合物，可以列舉例如2,4,8,10-四-^又丁基-6-[3-(3-甲基-4-羥基-5_叔丁基苯基)丙氧基]二苯并[d、f][l,3,2]二噁磷環(huán)庚烷、2，2-亞曱基雙(4，6-二叔丁基苯基)辛基亞磷酸酯、雙(2,4-二叔丁基苯基)季戊四醇-二亞磷酸酯、三(2,4-二叔丁基苯基)亞磷酸酯、4,4，-亞丁基雙(3-甲基-6-叔丁基苯基)-二-十三烷基亞磷酸酯、4,4，-亞異丙基-二苯酚烷基亞磷酸酯和三異癸基亞磷酸酯。在4，4，_亞異丙基_二苯酚烷基亞磷酸酯中，烷基的優(yōu)選碳原子數(shù)為12~15。(e)堿性染料本發(fā)明感光性樹脂組合物中所含(e)堿性染料的量相對(duì)于全部感光性樹脂組合物，在O.OOl~0.3質(zhì)量％的范圍，優(yōu)選在0.01~0.12質(zhì)量％的范圍。從能辨識(shí)足夠的著色性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為0.001質(zhì)量％以上，從維持色調(diào)穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為0.3質(zhì)量％以下。作為(e)堿性染料，可以列舉例如堿性品綠1[633-03-4](例如Aizen(注冊商標(biāo))DiamondGreenGH,商品名，保土谷化學(xué)工業(yè)制造)、孔雀綠草酸鹽[2437-29-8](例如，Aizen(注冊商標(biāo))MalachiteGreen,商品名，保土谷化學(xué)工業(yè)制造)、亮綠[633-03-4]、品紅[632-99-5]、曱基紫[603-47-4]、甲基紫2B[8004-87-3]、結(jié)晶紫[548-62-9]、甲基綠[82-94—0]、維多利亞藍(lán)B[2580—56—5]、石威性藍(lán)7[2390—60-5](例如AizenVictoriaPureBlueBOH,商品名，保土谷化學(xué)工業(yè)制造)、若丹明B[81-88-9]、若丹明6G[989-38-8]、堿性黃2[2465-27-2],其中，優(yōu)選堿性品綠l、孔雀綠草酸鹽、堿性藍(lán)7。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，除了上述以外，還可以添加各種化合物。在作為(c)光聚合引發(fā)劑使用上述吖啶化合物的情況下，從感光度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選聯(lián)用(f)有機(jī)閨素化合物。作為(f)有機(jī)面素化合物，可以列舉例如三溴曱基苯基砜、2_三溴曱基磺?；拎せ蛳率鐾ㄊ?VI)表示的均三嗪化合物。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage26</formula>(式中，R2和R3表示取代基，其至少一個(gè)是三卣代甲基，在不是三鹵代曱基的情況下，是碳原子數(shù)為1~6的烷基、碳原子數(shù)為1~6的烷氧基、芳基或雜環(huán)基。RpR2和R3可以相同或不相同。)作為下述通式(VI)的具體例，可以列舉2,4,6-三(三氯甲基)-均三。秦、2-笨基-4,6-雙(三氯曱基)-均三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三。秦、2-(4-曱氧基萘基)-4,6-雙(三氯曱基)-均三嗪[69432-40-2]([]內(nèi)是CASNo.)、2-(2H-1,3-苯并二氧戊環(huán)-5-基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三。秦[71255-78-2]、2-(3,4-二甲氧基苯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三。秦、2-(4-曱氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三嗪、2-(2_曱氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯甲基)-均三嗪、2-(3，4-二甲氧基苯乙烯基)-4，6-雙(三氯甲基)-均三嗪、2-(2,4-二曱氧基苯乙烯基)-4,6-雙(三氯曱基)-均三嗪、2-(4_戊氧基苯乙烯基)-4，6-雙(三氯曱基)-均三。秦、2-(2-呋喃基亞乙基)-4，6-雙(三氯曱基)-均三嗪、2-[2-(5-曱基呋喃基)亞乙基]-4,6-雙(三氯曱基)-均三嗪。(f)有機(jī)囟素化合物的量相對(duì)于感光性樹脂組合物，優(yōu)選為0.01~3質(zhì)量％。在0.01質(zhì)量％以上的話，能體現(xiàn)出曝光部分和未曝光部分的良好對(duì)比度，在3質(zhì)量％以下的話，色調(diào)穩(wěn)定性良好。此外，本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式含有下述通式(II)表示的N-芳基氨基酸。Ri-NHCH2COOH(II)(式中，^是芳基。)N-芳基氨基酸的含量相對(duì)于全部感光性樹脂組合物，優(yōu)選為O.OOl~1.0質(zhì)量％,進(jìn)一步優(yōu)選為0.01~0.5質(zhì)量％,更優(yōu)選為0.04~0.3質(zhì)量％。從感光度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為0.001質(zhì)量％以上，從色調(diào)穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為1.0質(zhì)量％以下。作為N-芳基氨基酸的具體例，可以列舉N-苯基甘氨酸、N-(對(duì)氯苯基)甘氨酸、N-(對(duì)溴苯基)甘氨酸、N-(對(duì)氰基苯基)甘氨酸、N-(對(duì)甲基苯基)甘氨酸、N-丁基-N-苯基甘氨酸、N-乙基-N-苯基甘氨酸、N-丙基-N-苯基甘氨酸、N-甲基-N-苯基甘氨酸、N-(對(duì)溴苯基)-N-曱基甘氨酸、N-(對(duì)氯笨基)-N-乙基甘氨酸。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，為了能通過目視判斷有無感光，可以含有隱色染料。作為隱色染料，可以列舉例如隱色結(jié)晶紫、隱色孔雀綠。從辨識(shí)足夠的著色性(顯色性)的觀點(diǎn)出發(fā)，相對(duì)于全部感光性樹脂組合物，優(yōu)選為0.01質(zhì)量％以上，從色調(diào)穩(wěn)定性的觀點(diǎn)、獲得良好圖像穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為5質(zhì)量％以下。此外，為了提高本發(fā)明感光性樹脂組合物的熱穩(wěn)定性、色調(diào)穩(wěn)定性，優(yōu)選在感光性樹脂組合物中含有羧基苯并三唑化合物。作為羧基苯并三唑化合物，可以列舉例如4-羧基-1,2,3-苯并三唑、5_羧基-1,2,3-苯并三唑、N-(N,N-二-2-乙基己基)氨基亞曱基羧基苯并三唑、N-(N,N-二-2-羥基乙基)氨基亞曱基羧基苯并三唑和N-(N，N-二-2-乙基己基)氨基亞乙基羧基苯并三唑。此外，為了提高本發(fā)明感光性樹脂組合物的熱穩(wěn)定性、色調(diào)穩(wěn)定性，優(yōu)選在感光性樹脂組合物中含有苯并三唑類和/或自由基聚合阻聚劑。作為該自由基聚合阻聚劑，可以列舉例如對(duì)甲氧基苯酚、氫醌、連苯三酚、萘胺、叔丁基鄰苯二酚、氯化亞銅、2,6-二^又丁基-對(duì)甲酚、2，2，-亞曱基雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,2，-亞曱基雙(4-乙基-6-叔丁基苯酚)、亞硝基苯基羥基胺鋁鹽和二苯基亞賄基胺。作為苯并三哇類，可以列舉例如1,2,3-苯并三唑、1-氯-1,2,3-苯并三唑、雙(N-2-乙基己基)氨基亞曱基-1,2,3-苯并三唑、雙(N-2-乙基己基)氨基亞曱基-1,2,3-曱苯基三唑和雙(N-2-羥基乙基)氨基亞甲基-1,2,3-苯并三唑。此外，含有自由基聚合阻聚劑、笨并三唑化合物和羧基苯并三唑化合物的情況下的添加量為相對(duì)于感光性樹脂化合物，分別優(yōu)選為0.01~3質(zhì)量％，更優(yōu)選為0.05~1質(zhì)量Q/。。該量從對(duì)感光性樹脂組合物賦予色調(diào)穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為0.01質(zhì)量％以上，此外，從維持感光度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為3質(zhì)量％以下。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，根據(jù)需要，還可以含有增塑劑。作為這樣的增塑劑，可以列舉例如聚乙二醇、聚丙二醇、二醇酯類，例如聚氧丙烯聚氧乙烯醚、聚氧乙烯單甲醚、聚氧丙烯單曱醚、聚氧乙烯聚氧丙烯單甲醚、聚氧乙烯單乙醚、聚氧丙烯單乙醚、聚氧乙烯聚氧丙烯單乙醚、鄰苯二曱酸酯類，例如鄰苯二曱酸二乙酯、鄰曱苯磺酰胺、對(duì)曱苯磺酰胺、檸檬酸三丁酯、檸檬酸三乙酯、乙酰檸檬酸三乙酯、乙酰檸檬酸三乙酯、乙酰4寧檬酸三正丁酯。作為添加增塑劑時(shí)的添加量，優(yōu)選在感光性樹脂組合物中含有5~50質(zhì)量％,更優(yōu)選為5~30質(zhì)量％。從抑制顯影時(shí)間延遲、或?qū)袒べx予柔軟性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為5質(zhì)量％以上，此外，從抑制固化不足和冷流的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為50質(zhì)量％以下。<感光性樹脂組合物調(diào)和液>本發(fā)明的感光性樹脂組合物還可以制成添加溶劑的感光性樹脂組合物調(diào)和液。作為適合的溶劑，可以列舉以曱乙酮(MEK)為代表的酮類以及醇類，例如甲醇、乙醇和異丙醇。優(yōu)選在感光性樹脂組合物中添加溶劑，使得感光性樹脂組合物調(diào)和液的粘度在25。C下為5004000mPa-sec。<感光性樹脂層壓體〉本發(fā)明的感光性樹脂層壓體包括感光性樹脂層和支撐該層的支撐體，可以根據(jù)需要在感光性樹脂層的與支撐體相反一側(cè)的表面具有保護(hù)層。作為其中使用的支撐體，期望是能使由曝光光源輻射出的光線透過的透明物質(zhì)。作為這樣的支撐體，可以列舉聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜、聚乙烯醇薄膜、聚氯乙烯薄膜、氯乙烯共聚物薄膜、聚偏氯乙烯薄膜、偏氯乙烯共聚薄膜、聚甲基丙烯酸甲酯共聚物薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚丙烯腈薄膜、苯乙烯共聚物薄膜、聚酰胺薄膜和纖維素衍生物薄膜。這些薄膜還可以根據(jù)需要使用經(jīng)延伸的物質(zhì)。優(yōu)選霧度在5以下的物質(zhì)。關(guān)于薄膜的厚度，厚度薄的薄膜在圖像形成性和經(jīng)濟(jì)性的方面是有利的，由于必須維持強(qiáng)度，優(yōu)選使用10~30jim的厚度。此外，在感光性樹脂層壓體中所用的保護(hù)層的重要特性是就與感光性樹脂層的附著力而言，保護(hù)層與感光性樹脂層的附著力相較于支撐體與感光性樹脂層的附著力應(yīng)足夠小且可容易地剝離。例如，可以優(yōu)選使用聚乙烯薄膜和聚丙烯薄膜作為保護(hù)層。此外，可以使用日本特開昭59-202457號(hào)公報(bào)中所示的剝離性優(yōu)異的薄膜。保護(hù)層的膜厚優(yōu)選為10100pm，更優(yōu)選為10~50阿。本發(fā)明的感光性樹脂層壓體中的感光性樹脂層的厚度優(yōu)選為5100nm,更優(yōu)選為760jim。厚度越薄，分辨率越高，此外，厚度越厚，膜強(qiáng)度越強(qiáng)，因此可以根據(jù)用途適當(dāng)選擇。依次層壓支撐體、感光性樹脂層和根據(jù)需要設(shè)置的保護(hù)層以制備本發(fā)明感光性樹脂層壓體的方法，可以采用目前已知的方法。例如，將用于感光性樹脂層的感光性樹脂組合物制成上述感光性樹脂組合物調(diào)和液，首先使用棒涂機(jī)或輥涂機(jī)將其涂布到支撐體上，干燥，在支撐體上層壓由該感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光性樹脂層。然后，根據(jù)需要，通過在該感光性樹脂層上層壓保護(hù)層，從而能制備感光性樹脂層壓體。<抗蝕圖案形成方法〉使用本發(fā)明感光性樹脂層壓體的抗蝕圖案可以通過包括層壓工序、曝光工序和顯影工序的工序形成。示出具體方法的一個(gè)例子。首先，使用層壓機(jī)進(jìn)行層壓工序。在感光性樹脂層壓體具有保護(hù)層的情況下剝離保護(hù)層，然后，使用層壓機(jī)，將感光性樹脂層加熱、壓粘并層壓到基板表面上。在該情況下，感光性樹脂層可以僅層壓到基板表面的一面，也可以根據(jù)需要層壓到兩面。此時(shí)的加熱溫度通常為40160°C。此夕卜，通過進(jìn)4亍二次以上該加熱壓粘，能提高所得抗蝕圖案對(duì)基板的附著力。此時(shí)，壓粘可以使用具有兩串的輥的二段式層壓機(jī)，也可以多次重復(fù)通過輥來進(jìn)行壓粘。然后，使用曝光機(jī)進(jìn)行曝光工序?？梢愿鶕?jù)需要，剝離支撐體，并通過光掩模使用活性光進(jìn)行曝光。曝光量由光源照度和曝光時(shí)間決定。還可以使用光量計(jì)進(jìn)行測定。在曝光工序中，還可以使用無掩模曝光方法。無掩模曝光無需使用光掩模，在基板上通過直接描繪裝置進(jìn)行曝光。作為光源，使用波長為350~410nm的半導(dǎo)體激光或超高壓汞燈。描繪圖案由電腦控制，該情況下的曝光量由曝光光源的照度和基板的移動(dòng)速度決定。接著，使用顯影裝置進(jìn)行顯影工序。在曝光后，感光性樹脂層上具有支撐體的情況下將該支撐體除去。接著，使用由堿性水溶液構(gòu)成的顯影液，將未曝光部分顯影除去，獲得抗蝕圖案。作為》威性水溶液，優(yōu)選Na2C03或K2C03的水溶液。這些可以根據(jù)感光性樹脂層的特性適當(dāng)選擇，通常是0.2~2質(zhì)量％濃度的Na2C03水溶液。還可以在該石威性水溶液中混入表面活性劑、消泡劑、用于促進(jìn)顯影的少量有機(jī)溶劑。另外，顯影工序中的該顯影液的溫度優(yōu)選在2040°C的范圍內(nèi)保持恒定溫度。通過上述工序獲得抗蝕圖案，但還可以根據(jù)情況再進(jìn)行100~300。C的力口熱工序。通過進(jìn)行該加熱工序，可以進(jìn)一步才是高耐藥品性。加熱可以使用熱風(fēng)、紅外線或遠(yuǎn)紅外線的各方式的力n熱爐。<印刷線贈(zèng)^反的制造方法>本發(fā)明印刷線路板的制造方法可以在通過上述的抗蝕圖案形成方法在作為基板的覆銅層壓板或撓性基板上形成抗蝕圖案后、經(jīng)過以下的工序進(jìn)行。首先，進(jìn)行如下工序在通過顯影露出的基板銅面上，使用已知的方法例如蝕刻法或鍍敷法形成導(dǎo)體圖案的工序。然后，進(jìn)行使用具有比顯影液強(qiáng)的堿性的水溶液將抗蝕圖案從基板剝離的剝離工序，從而獲得期望的印刷線路板。對(duì)于剝離用的堿性水溶液(以下還稱為"剝離液"。)沒有特別的限制，通常使用2~5質(zhì)量。/。濃度的NaOH或KOH的水溶液。在剝離液中也可以加入少量的水溶性溶劑。另外，剝離工序中的該剝離液的溫度優(yōu)選在40~70°C的范圍。<引線框的制造方法〉本發(fā)明的引線框制造方法可以在通過上述抗蝕圖案形成方法在作為基板的銅、銅合金或鐵系合金的金屬板上形成抗蝕圖案后，經(jīng)過以下的工序進(jìn)行。首先，進(jìn)行對(duì)通過顯影露出的基板進(jìn)行蝕刻以形成導(dǎo)體圖案的工序。然后，進(jìn)行通過與上述印刷線路板制造方法同樣的方法剝離抗蝕圖案的剝離工序，從而獲得期望的引線框。<半導(dǎo)體封裝體的制造方法>本發(fā)明半導(dǎo)體封裝體的制造方法可以通過上述抗蝕圖案形成方法，在作為基板的完成了作為LSI的電路形成的晶片上形成抗蝕圖案后，經(jīng)過以下的工序進(jìn)行。首先，進(jìn)行在通過顯影露出的開口部分，進(jìn)行銅或焊料柱狀的鍍敷以形成導(dǎo)體圖案的工序。然后，進(jìn)行通過與上述印刷線路板制造方法同樣的方法剝離抗蝕圖案的剝離工序，再進(jìn)行通過蝕刻除去柱狀鍍敷以外部分的薄的金屬層的工序，從而獲得期望的半導(dǎo)體封裝體。<具有凹凸圖案的基材的制造方法>可以通過上述抗蝕圖案形成方法，將抗蝕圖案作為通過噴砂法對(duì)基板進(jìn)行加工時(shí)的保護(hù)掩模部件使用。作為基板，可以列舉例如玻璃、硅晶片、無定形硅、多晶硅、陶瓷、藍(lán)寶石、金屬材料。在這些基板上，通過與上述抗蝕圖案形成方法相同的方法形成抗蝕圖案。然后，經(jīng)過從所形成的抗蝕圖案上吹附噴砂材料切削目標(biāo)深度的噴砂處理工序，用剝離液從基板上除去殘留于基板上的抗蝕圖案部分的剝離工序，從而能形成在基板上具有微細(xì)凹凸圖案的基材。上述噴砂、處理工序中使用的噴妙、材沖+可以^吏用7>知的物質(zhì)，例如，使用以SiC、Si02、A1203、CaC03、ZrO、玻璃、不銹鋼為材質(zhì)的2100)im左右的微粒。實(shí)施例以下，通過實(shí)施例對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式的例子進(jìn)行詳細(xì)說明。首先說明實(shí)施例和比較例評(píng)價(jià)用試樣的制備方法，然后，示出所得試樣的評(píng)價(jià)方法及其評(píng)價(jià)結(jié)果。1、評(píng)價(jià)用試樣的制備實(shí)施例和比較例中的感光性樹脂層壓體如下制備。<感光性樹脂層壓體的制備〉充分?jǐn)嚢璞韑中所示的組成的感光性樹脂組合物，混合，使用棒涂機(jī)將其均勻涂布到作為支撐體的16jim厚度的聚對(duì)苯二曱酸乙二酯薄膜(三菱聚酯制R310-16)的表面，在95。C的干燥機(jī)中千燥4分鐘，從而形成感光性樹脂層。感光性樹脂層的厚度為40(im。然后，在感光性樹脂層的沒有層壓聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜的表面上，貼合作為保護(hù)層的22nm厚的聚酯薄膜(夕T;^卩制GF-18),從而獲得感光性樹脂層壓體。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage34</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage35</column></row><table><基板整面>蝕刻液耐受性、分辨率、附著力、隆起性評(píng)價(jià)用基板使用層壓有35(im壓延銅箔的1.6mm厚的覆銅層壓々反，對(duì)表面進(jìn)行濕式拋光輥研磨(3M(抹)制造，只？、7*少，4卜(注冊商標(biāo))HD#600,通2次)。<層壓>邊剝離感光性樹脂層壓體的聚乙烯薄膜，邊通過熱輥層壓機(jī)(旭化成(抹)公司制造，AL-70)在輥溫度105。C下層壓到整面預(yù)熱成60。C的覆銅層壓板上?？諝鈮毫?.35Mpa,層壓速度為1.5m/min。<曝光〉將對(duì)感光性樹脂層評(píng)價(jià)必須的掩模薄膜置于作為支撐體的聚對(duì)苯二曱酸乙二酯薄膜上，通過超高壓汞燈(才-夕制作所制造、HMW-201KB),以只卜-77-制的21段階段式曝光表為8段的曝光量進(jìn)行曝光(該曝光方法為一次曝光方法)。同樣，通過直接描繪式曝光裝置(日立匕、7>力二夕X(抹)制造，DI曝光機(jī)DE-1AH,光源GaN藍(lán)紫二極管，主波長407土3nm),根據(jù)下述感光度評(píng)價(jià)，以階段式曝光表段數(shù)為8的曝光量進(jìn)行曝光(該曝光方法為直接描繪式曝光方法)。<顯影>在剝離聚對(duì)苯二甲酸乙二酯薄膜后，使用堿顯影機(jī)(7、-、機(jī)工制造，干膜用顯影機(jī))，噴灑規(guī)定時(shí)間的3(TC的l質(zhì)量%Na2C03水溶液，以最小顯影時(shí)間的2倍時(shí)間溶解除去感光性樹脂層的未曝光部分。此時(shí)，以未曝光部分的感光性樹脂層完全溶解所需要的最少時(shí)間為最小顯影時(shí)間。2.評(píng)價(jià)方法(1)感光度評(píng)價(jià)對(duì)層壓后經(jīng)過15分鐘的感光度、分辨率評(píng)價(jià)用基板，使用從透明~黑色的亮度分21段變化的義卜-77-制的21段階段式曝光表進(jìn)行曝光。在曝光后，以最小顯影時(shí)間的2倍的顯影時(shí)間顯影，將固化抗蝕劑的膜完全殘留的階段式曝光表段數(shù)作為感光度的值。(2)分辨率評(píng)價(jià)對(duì)層壓后經(jīng)過15分鐘的感光度、分辨率評(píng)價(jià)用基板，通過曝光部分和未曝光部分的寬度為1:1比例的線圖案掩模進(jìn)行曝光。以最小顯影時(shí)間的2倍的顯影時(shí)間顯影，將正常形成抗蝕圖案的線的最小掩模寬度作為分辨率的值，分辨率按照如下進(jìn)行分級(jí)?！?優(yōu))分辨率的值為40nm以下。〇(良)分辨率的值超過40iam、50jim以下。x(次品)分辨率的值超過50jim。(3)附著力評(píng)價(jià)對(duì)層壓后經(jīng)過15分鐘的感光度、分辨率評(píng)價(jià)用基板，通過曝光部分和未曝光部分的寬度為1:1比例的線圖案掩模進(jìn)行曝光。以最小顯影時(shí)間的2倍的顯影時(shí)間顯影，將正常形成抗蝕圖案的線的最小掩模線寬度作為附著力的值，附著力按照如下進(jìn)行分級(jí)?！?優(yōu))附著力的值為40(im以下。〇(良)附著力的值超過40nm、50nm以下。x(次品)附著力的值超過50)am。(4)色調(diào)穩(wěn)定性評(píng)價(jià)從感光性樹脂層壓體剝離聚乙烯薄膜，使用UV-vis光譜儀(島津制作所(抹)制造，UV-240),測定波長600nm光的透過率。此時(shí)，在光譜儀的參照側(cè)放入與該感光性樹脂層壓體中使用的相同的聚對(duì)苯二曱酸乙二酯薄膜，將源自聚對(duì)苯二曱酸乙二酯薄膜的透過率作為空白值。對(duì)在溫度5(TC、濕度60%下保存3天的感光性樹脂層壓體的透過率和在溫度23。C、濕度50%下保存3天的同一感光性樹脂層壓體的透過率進(jìn)行比較，根據(jù)其差，按照如下進(jìn)行分級(jí)?！?優(yōu))600nm下的透過率的差不足±5%〇(良)600nm下的透過率的差為±5%以上、不足±10%x(次品)600nm下的透過率的差為土10%以上3.評(píng)價(jià)結(jié)果實(shí)施例和比較例的評(píng)價(jià)結(jié)果在表1中示出。另夕卜，表1中P-1~P-2的值為固體成分。工業(yè)上的可利用性本發(fā)明可以在印刷線路板的制造、IC芯片搭載用引線框的制造、金屬掩模制造、封裝例如BGA或CSP的制造、帶狀基板例如COF或TAB的制造、半導(dǎo)體塊材的制造、制造ITO電極、尋址電極、電磁波屏蔽、例如平板顯示器的隔壁的方法中使用。權(quán)利要求1.一種感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(a)含有含α，β-不飽和羧基的單體作為共聚成分、酸當(dāng)量為100～600、重均分子量為5000～500000的熱塑性共聚物20～90質(zhì)量％；(b)具有至少一個(gè)末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體5～75質(zhì)量％；(c)光聚合引發(fā)劑0.01～30質(zhì)量％；(d)亞磷酸酯化合物0.01～5質(zhì)量％；(e)堿性染料0.001～0.3質(zhì)量％。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，作為上述(c)光聚合引發(fā)劑，含有六芳基雙咪唑衍生物。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，作為上述(c)光聚合引發(fā)劑，含有下述通式(I)表示的吖啶化合物，還含有(f)有機(jī)囟素化合物0.01~3質(zhì)量％。[化學(xué)式l]R(I)(式中，R是氫、碳原子數(shù)為16的烷基、芳基、吡啶基或碳原子數(shù)為1~6的烷氧基。)4.根據(jù)權(quán)利要求l~3任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，含有下述通式(II)表示的N-芳基氨基酸0.0011.0質(zhì)量％。Ri-NHCH2COOH(II)(式中，&是芳基。)5.根據(jù)權(quán)利要求l~4任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，作為(c)光聚合引發(fā)劑，含有下述通式(III)表示的吡唑#木4匕合物0.001~10質(zhì)量％。[化學(xué)式2](B)b(式中，B和C各自獨(dú)立地是碳原子數(shù)為3以上的直鏈或支鏈烷基或NR2(R是氫原子或烷基)，A表示選自芳基、雜環(huán)基和碳原子數(shù)為3以上的直鏈或支鏈烷基所組成的組中的取代基。a是0或l，b=c=1。)6.根據(jù)權(quán)利要求l~5任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，(d)亞磷酸酯化合物是選自2,4,8,10-四^又丁基_6-[3-(3-曱基_4-羥基-5-叔丁基苯基)丙氧基]二苯并[d、f][1,3,2]二噁磷環(huán)庚烷、2,2-亞曱基雙(4,6-二叔丁基苯基)辛基亞磷酸酯、雙(2，4-二4又丁基苯基)季戊四醇-二亞磷酸酯、三(2，4-二井又丁基苯基)亞磷酸酯、4,4，-亞丁基雙(3-曱基-6-叔丁基苯基)-二-十三烷基亞磷酸酯、4，4，-亞異丙基_二-苯酚烷基亞磷酸酯和三異癸基亞磷酸酯所組成的組中的至少一種化合物。7.根據(jù)權(quán)利要求l~6任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，(b)具有至少一個(gè)末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體含有下述通式(iv)或(V)的至少1種。[化學(xué)式3]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>，(式中，R,和R2各自獨(dú)立地是H或CH3，D和E是碳原子數(shù)4個(gè)的亞烷基，分別可相同或可不相同，在不相同的情況-(D-O)-和-(E-0)-的重復(fù)單元可以是嵌段結(jié)構(gòu)也可以不是嵌段結(jié)構(gòu)，其任一個(gè)在聯(lián)苯基側(cè)皆可。ml、m2、n和n2各自獨(dú)立地是0或正的整數(shù)，它們總計(jì)為2~30。)[化學(xué)式4]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>(式中，R3和R4各自獨(dú)立地是H或CH3。此外，F(xiàn)和G是碳原子數(shù)為2~4個(gè)的亞烷基，各自可相同或可不相同，在不相同的情況下，-(F-0)_和-(G-O)-的重復(fù)單元可以是嵌段結(jié)構(gòu)也可以不是嵌段結(jié)構(gòu)，其任一個(gè)在環(huán)己基側(cè)皆可。pl、p2、ql和q2各自獨(dú)立地是O或正的整數(shù)，它們總計(jì)為230。)8.—種感光性樹脂層壓體，其將權(quán)利要求l~7任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物層壓到支撐體上而成。9.一種抗蝕圖案形成方法，其包括使用權(quán)利要求8所述的感光性樹脂層壓體在基板上形成感光性樹脂層的層壓工序、曝光工序和顯影工序。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的抗蝕圖案形成方法，其特征在于，在前述曝光工序中，通過直接繪制進(jìn)行曝光。11.一種印刷線路板的制造方法，其包括對(duì)通過權(quán)利要求9或10所述的方法形成了抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻或鍍敷的工序。12.—種引線框的制造方法，其包括對(duì)通過權(quán)利要求9或10所述的方法形成了抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻的工序。13.—種半導(dǎo)體封裝體的制造方法，其包括對(duì)通過權(quán)利要求9或10所述的方法形成了抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻或鍍敷的工序。14.一種具有凹凸圖案的基材的制造方法，其包括通過噴砂來加工通過權(quán)利要求9或10所述的方法形成了抗蝕圖案的基4反的工序。全文摘要本發(fā)明為了提供感光度、分辨率和附著力優(yōu)異、干膜保存時(shí)的顯色和脫色這樣的色調(diào)穩(wěn)定性良好、能通過堿性水溶液顯影的感光性樹脂組合物、使用該感光性樹脂組合物的感光性樹脂層壓體、使用該感光性樹脂層壓體在基板上形成抗蝕圖案的方法以及該抗蝕圖案的用途，使用以下的組合物。一種感光性樹脂組合物，其特征在于，含有(a)含有含α，β-不飽和羧基的單體作為共聚成分、酸當(dāng)量為100～600、重均分子量為5000～500000的熱塑性共聚物20～90質(zhì)量％；(b)具有至少一個(gè)末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體5～75質(zhì)量％；(c)光聚合引發(fā)劑0.01～30質(zhì)量％；(d)亞磷酸酯化合物0.01～5質(zhì)量％；(e)堿性染料0.001～0.3質(zhì)量％。文檔編號(hào)H05K3/00GK101438208SQ200780016470公開日2009年5月20日申請日期2007年4月26日優(yōu)先權(quán)日2006年5月9日發(fā)明者姬田優(yōu)香理,富田宏朗,足立輝彥申請人:旭化成電子材料元件株式會(huì)社