專利名稱：：一種粘石英堝底料的回收方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體及太陽能領(lǐng)域的一種粘石英的硅料的回收方法，特別應(yīng)用于在處理堝底料中石英與硅料的分離。
背景技術(shù)：
：粘石英堝底料主要來源于直拉單晶硅工藝，這是因?yàn)樵谥崩瓎尉Ч韫に囍?，硅原料置于石英坩堝中進(jìn)行熔化。由于直拉單晶硅工藝的特殊性，當(dāng)每完成一爐次的直拉單晶，坩堝底部會(huì)殘留一些硅料。這些硅料和石英坩堝底部結(jié)合在一起，形成粘石英硅料，也被稱為粘石英堝底料。國內(nèi)外半導(dǎo)體廠有大量的粘石英堝底料，要回收粘石英堝底料的關(guān)鍵就是將粘石英堝底料中的石英去除，得到硅料。目前用來回收這些粘石英堝底料的方法主要有機(jī)械方法和化學(xué)方法。機(jī)械方法主要是指用敲打、打磨的方式將石英和硅料分離。機(jī)械方法不僅需耗費(fèi)很多的人力，而且經(jīng)敲打、打磨處理后得到的硅料表面仍然粘附有少量石英。這些表面仍然粘附有少量石英的硅料還需經(jīng)過進(jìn)一步的酸洗處理去除石英，這種處理方法分離效率低，且分離效果差，只能用于小批量的生產(chǎn)，遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足規(guī)?；a(chǎn)?；瘜W(xué)方法處理主要是指采用酸洗法，具體是將待處理的粘石英堝底料置于酸溶液中浸泡，最常用的是氫氟酸，通過酸洗將粘在硅料表面上的石英去除。由于氫氟酸等酸溶液具有較強(qiáng)的腐蝕性，使用時(shí)存在較大的安全隱患，同時(shí)會(huì)引起環(huán)境污染，其次，采用化學(xué)方法需耗費(fèi)大量的酸溶液，不利于降低生產(chǎn)成本。中國專利CN1459415公開了一種分離單晶硅堝底料中石英的方法，該方法的操作步驟為先將堝底料破碎，得到顆粒狀的堝底料，再用涂料刷抹坩堝底部和內(nèi)壁，讓其自然干燥，然后把顆粒狀堝底料放置在坩堝內(nèi)，把裝有顆粒狀堝底料的坩堝放入中頻感應(yīng)爐，開啟電源使?fàn)t內(nèi)溫度升高至熔點(diǎn)溫度后10(TC左右，保溫10-30分鐘，則顆粒狀堝底料在坩堝內(nèi)重熔，加熱達(dá)到規(guī)定時(shí)間后，關(guān)掉電源，待自然冷卻后，可得到已分離的硅與石英。該方法存在較多的缺陷首先開啟電源使?fàn)t內(nèi)溫度升高至熔點(diǎn)溫度后10(TC左右意味溫度將達(dá)到1500-1600'C，而超過1400'C以后每升高5(TC的能耗幾乎增長達(dá)到一倍左右。因此該方法耗能非常的大，達(dá)到了融化硅的程度。其次生產(chǎn)過程復(fù)雜，需消耗坩堝，同時(shí)采用此技術(shù)方案，即使有涂料保護(hù)，硅料也容易受到石英的再次污染，造成硅料中的氧含量過高，采用這種硅料生產(chǎn)硅片將會(huì)嚴(yán)重影響硅片的質(zhì)量。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供了一種粘石英堝底料的回收方法，提出甩加熱后冷卻的，;^法來處理回收粘石英堝底料。本發(fā)明不僅可以實(shí)現(xiàn)回收粘石英堝底料的全自動(dòng)化或半自動(dòng)化生產(chǎn)，提高生產(chǎn)效率，降低人工消耗，而且減少了酸的用量，降低了生產(chǎn)成本，減少環(huán)境污染。本發(fā)明采用的技術(shù)方案為一種粘石英堝底料的回收方法，其中粘石英堝底料是指粘附在石英坩堝上的硅料，將粘石英堝底料通過加熱和冷卻兩個(gè)步驟，將石英與硅料分離。一種粘石英堝底料的回收方法，其中操作步驟為(1)將粘石英堝底料放置于加熱設(shè)備中；(2)加熱；(3)取出粘石英堝底料，在冷卻介質(zhì)中冷卻；(4)石英與硅料的接觸界面開裂，實(shí)現(xiàn)石英與硅料分離。一種粘石英堝底料的回收方法，其中冷卻介質(zhì)可以是液體或氣體，冷卻介質(zhì)的溫度比放入的粘石英堝底料的溫度低。冷卻介質(zhì)可以是空氣、水、鹽水、礦物油或其他介質(zhì)中的任意一種或幾種。一種粘石英堝底料的回收方法，其中粘石英堝底料與冷卻介質(zhì)的體積比為l:5-100。一種粘石英堝底料的回收方法，其中加熱的方式可以是電阻加熱、微波加熱、紅外加熱、感應(yīng)加熱或其他具有加熱功能性質(zhì)方式中的任意一種。一種粘石英堝底料的回收方法，其中:加熱溫度是20(TC-1400°C。一種粘石英堝底料的回收方法，其中:加熱時(shí)間為5分鐘-24小時(shí)。一種粘石英堝底料的回收方法，其中:在第(4)步驟后增加第(5)第步驟振動(dòng)。一種粘石英堝底料的回收方法，其中:在第(4)步驟后增加第(5)第步驟轉(zhuǎn)動(dòng)。一種粘石英堝底料的回收方法，其中振動(dòng)采用振動(dòng)磨的方式，振動(dòng)磨的振動(dòng)頻率為:10-30Hz,振動(dòng)時(shí)間為l-20分鐘。一種粘石英堝底料的回收方法，其中振動(dòng)采用超聲波振動(dòng)的方式，超聲波振動(dòng)頻率為15-40KHz，振動(dòng)時(shí)間為l-20分鐘。一種粘石英堝底料的回收方法，其中轉(zhuǎn)動(dòng)采用球磨的方式，球磨的轉(zhuǎn)動(dòng)頻率為50-800rpm，轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)間為1-20分鐘。石英與硅料的分離是指石英與硅料的自動(dòng)分離或人工手動(dòng)剝離或經(jīng)振動(dòng)磨、球磨、超聲波振動(dòng)或其他方式后分離。粘石英堝底料經(jīng)加熱、冷卻處理后，石英與硅料的接觸界面開裂，根據(jù)加熱的溫度和冷卻的效果，一部分的粘石英堝底料實(shí)現(xiàn)石英與硅料自動(dòng)分離，一部分的粘石英堝底料經(jīng)人工手動(dòng)剝離，實(shí)現(xiàn)石英與硅料分離，另一部分經(jīng)人工手動(dòng)后仍較難分離的粘石英堝底料，振動(dòng)、球磨、超聲波分散或其他方式作用后，已經(jīng)部分剝禽的石英與硅料受到不斷的作用力，徹底斷裂，實(shí)現(xiàn)石英與硅料分離。經(jīng)加熱、冷卻處理分離得到的硅料，有部分硅料表面上可能會(huì)殘留一層石英膜，這是由于粘石英堝底料在被加熱、冷卻處理過程中，硅料與石英的接觸界面受到的熱應(yīng)力作用不均勻或熱應(yīng)力作用太大，造成硅料與石英的接觸面會(huì)一層石英膜，經(jīng)酸洗處理，石英膜去除，得到干凈的硅料。本發(fā)明利用了石英和硅的熱膨脹系數(shù)的差異，由于硅的熱膨脹系數(shù)大于石英，所以在加熱和冷卻過程中，使得石英與硅料的接觸面產(chǎn)生強(qiáng)大的熱應(yīng)力，在熱應(yīng)力作用下，石英與硅料的接觸面開裂，石英脫離硅料的表面，得到硅原料。根據(jù)加熱溫度和冷卻效果的不同，少量未能自動(dòng)分離或手動(dòng)剝離的粘石英堝底料，可通過進(jìn)一步的振動(dòng)磨、球磨、超聲波振動(dòng)等作用實(shí)現(xiàn)粘石英堝底料中硅料與石英的分離。與CN1459415相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)有:<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>可見盡管二者都涉及加熱和冷卻，但采用的溫度不同，手段，具體過程都有差異，導(dǎo)致的結(jié)果也不相同。具體實(shí)施例方式實(shí)施例l、一種粘石英堝底料的回收方法，其中粘石英堝底料是指粘附在石英坩堝上的硅料，操作步驟為(1)將粘石英堝底料放置于電阻加熱設(shè)備中；(2)調(diào)節(jié)加熱溫度為1400°C，在140(TC的溫度下保溫10分鐘；(3)取出粘石英堝底料，在冷卻介質(zhì)中冷卻，冷卻介質(zhì)與粘石英堝底料的體積比為1:100;(4)石英與硅料的接觸界面開裂，實(shí)現(xiàn)石英與硅料自動(dòng)分離。實(shí)施例2、一種粘石英堝底料的回收方法，其中操作步驟為(1)將粘石英堝底料放置于感應(yīng)加熱設(shè)備中；(2)調(diào)節(jié)頻率為2500MHZ，功率為30000W，溫度升至1300。C后保溫5分鐘；(3)取出粘石英堝底料，在冷卻介質(zhì)中冷卻，冷卻介質(zhì)與粘石英堝底料的體積比為1:50;(4)石英與硅料的接觸界面開裂，實(shí)現(xiàn)石英與硅料自動(dòng)或手動(dòng)剝離。實(shí)施例3、一種粘石英堝底料的回收方法，其中操作步驟為(1)將粘石英堝底料放置于感應(yīng)加熱設(shè)備中；(2)調(diào)節(jié)頻率為2500MHZ，功率為20000W，溫度升至1200。C后保溫8分鐘；(3)取出粘石英堝底料，在冷卻介質(zhì)中冷卻，冷卻介質(zhì)與粘石英堝底料的體積比為h20;(4)石英與硅料的接觸界面開裂，實(shí)現(xiàn)石英與硅料自動(dòng)或手動(dòng)剝離。實(shí)施例4、一種粘石英堝底料的回收方法，其中操作步驟為(1)將粘石英堝底料放置于微波加熱設(shè)備中；(2)調(diào)節(jié)微波頻率為2450MHZ，微波輸出功率為5000W，微波加熱15分鐘；(3)取出粘石英堝底料，在冷卻介質(zhì)中冷卻，冷卻介質(zhì)與粘石英堝底料的體積比為1:15;(4)石英與硅料的接觸界面開裂，實(shí)現(xiàn)石英與硅料自動(dòng)或手動(dòng)剝離。實(shí)施例5、一種粘石英堝底料的回收方法，其中操作步驟為(1)將粘石英堝底料放置于紅外加熱設(shè)備中；(2)調(diào)節(jié)紅外輸出功率10000W，溫度升至1000。C后保溫20分鐘；(3)取出粘石英堝底料，在冷卻介質(zhì)中冷卻，冷卻介質(zhì)與粘石英堝底料的體積比為1:10;(4)石英與硅料的接觸界面開裂，實(shí)現(xiàn)石英與硅料自動(dòng)或手動(dòng)剝離。實(shí)施例6、一種粘石英堝底料的回收方法，其中操作步驟為(1)將粘石英堝底料放置于紅外加熱設(shè)備中；(2)調(diào)節(jié)紅外輸出功率8000W，溫度升至900。C后保溫30分鐘；(3)取出粘石英堝底料，在冷卻介質(zhì)中冷卻，冷卻介質(zhì)與粘石英堝底料的體積比為1:9;(4)石英與硅料的接觸界面開裂，90%的粘石英堝底料實(shí)現(xiàn)石英與硅料自動(dòng)分離或手動(dòng)剝離，將剩余10%難實(shí)現(xiàn)手動(dòng)剝離的粘石英堝底料，采用振動(dòng)磨來實(shí)現(xiàn)粘石英堝底料中石英與硅料分離。實(shí)施例7、一種粘石英堝底料的回收方法，其中操作步驟為(1)將粘石英堝底料放置于電阻加熱設(shè)備中；6(2)調(diào)節(jié)加熱溫度為900。C，在900。C的溫度下保溫40分鐘；(3)取出粘石英堝底料，在冷卻介質(zhì)中冷卻，冷卻介質(zhì)與粘石英堝底料的體積比為1:8;(4)石英與硅料的接觸界面開裂，80%的粘石英堝底料實(shí)現(xiàn)石英與硅料自動(dòng)分離或手動(dòng)剝離，將剩余20%難實(shí)現(xiàn)手動(dòng)剝離的粘石英堝底料，采用球磨來實(shí)現(xiàn)粘石英堝底料中石英與硅料分離。實(shí)施例8、一種粘石英堝底料的回收方法，其中操作步驟為(1)將粘石英堝底料放置于微波加熱設(shè)備中；(2)調(diào)節(jié)微波頻率為2450MHZ，微波輸出功率2000W，微波加熱30分鐘；(3)取出粘石英堝底料，在冷卻介質(zhì)中冷卻，冷卻介質(zhì)與粘石英堝底料的體積比為1:7;(4)石英與硅料的接觸界面開裂，90%的粘石英堝底料實(shí)現(xiàn)石英與硅料自動(dòng)分離或手動(dòng)剝離，將剩余10%難實(shí)現(xiàn)手動(dòng)剝離的粘石英堝底料，采用超聲波振動(dòng)來實(shí)現(xiàn)粘石英堝底料中石英與硅料分離。實(shí)施例9、一種粘石英堝底料的回收方法，其中操作步驟為(1)將粘石英堝底料放置于微波加熱設(shè)備中；(2)調(diào)節(jié)微波頻率為2450MHZ，微波輸出功率IOOOW，微波加熱60分鐘；(3)取出粘石英堝底料，在冷卻介質(zhì)中冷卻，冷卻介質(zhì)與粘石英堝底料的體積比為1:6;(4)石英與硅料的接觸界面開裂，70%的粘石英堝底料實(shí)現(xiàn)石英與硅料自動(dòng)分離或手動(dòng)剝離，將剩余30%難實(shí)現(xiàn)手動(dòng)剝離的粘石英堝底料，采用振動(dòng)磨來實(shí)現(xiàn)粘石英堝底料中石英與硅料分離。實(shí)施例IO、一種粘石英堝底料的回收方法，其中操作步驟為(1)將粘石英堝底料放置于電阻加熱設(shè)備中；(2)調(diào)節(jié)加熱溫度為500'C，在50(TC的溫度下保溫3小時(shí)；(3)取出粘石英堝底料，在冷卻介質(zhì)中冷卻，冷卻介質(zhì)與粘石英堝底料的體積比為1:5;(4)石英與硅料的接觸界面開裂，60%的粘石英堝底料實(shí)現(xiàn)石英與硅料自動(dòng)分離或手動(dòng)剝離，將剩余40%難實(shí)現(xiàn)手動(dòng)剝離的粘石英堝底料，采用球磨來實(shí)現(xiàn)粘石英堝底料中石英與硅料分離。實(shí)施例ll、一種粘石英堝底料的回收方法，其中操作步驟為-(1)將粘石英堝底料放置于電阻加熱設(shè)備中；(2)調(diào)節(jié)加熱溫度為400。C，在40(TC的溫度下保溫12小時(shí)；(3)取出粘石英堝底料，在冷卻介質(zhì)中冷卻，冷卻介質(zhì)與粘石英堝底料的體積比為1:5;(4)石英與硅料的接觸界面開裂，50%的粘石英堝底料實(shí)現(xiàn)石英與硅料自動(dòng)分離或手動(dòng)剝離，將剩余50%難實(shí)現(xiàn)手動(dòng)剝離的粘石英堝底料，采用球磨來實(shí)現(xiàn)粘石英堝底料中石英與硅料分離。實(shí)施例12、一種粘石英堝底料的回收方法，其中操作步驟為(1)將粘石英堝底料放置于電阻加熱設(shè)備中；(2)調(diào)節(jié)加熱溫度為20(TC，在200'C的溫度下保溫24小時(shí)；(3)取出粘石英堝底料，在冷卻介質(zhì)中冷卻，冷卻介質(zhì)與粘石英堝底料的體積比為1:5;(4)石英與硅料的接觸界面開裂，50%的粘石英堝底料實(shí)現(xiàn)石英與硅料自動(dòng)分離或手動(dòng)剝離，將剩余50%難實(shí)現(xiàn)手動(dòng)剝離的粘石英堝底料，采用超聲波振動(dòng)來實(shí)現(xiàn)粘石英堝底料中石英與硅料分離。實(shí)施例13、一種粘石英堝底料的回收方法，其中采用振動(dòng)磨來實(shí)現(xiàn)粘石英堝底料中石英與硅料分離，其余同實(shí)施例7、8、10、11、12中的任意實(shí)施例。實(shí)施例14、一種粘石英堝底料的回收方法，其中振動(dòng)磨的頻率為10Hz，時(shí)間為20分鐘，其余同實(shí)施例6、9、13中的任意實(shí)施例。實(shí)施例15、一種粘石英堝底料的回收方法，其中振動(dòng)磨的頻率為12Hz，時(shí)間為15分鐘，其余同實(shí)施例6、9、13中的任意實(shí)施例。實(shí)施例16、一種粘石英堝底料的回收方法，其中振動(dòng)磨的頻率為14Hz，時(shí)間為10分鐘，其余同實(shí)施例6、9、13中的任意實(shí)施例。實(shí)施例17、一種粘石英堝底料的回收方法，其中振動(dòng)磨的頻率為15Hz，時(shí)間為8分鐘，其余同實(shí)施例6、9、13中的任意實(shí)施例。實(shí)施例18、一種粘石英堝底料的回收方法，其中振動(dòng)磨的頻率為16Hz，時(shí)間為6分鐘，其余同實(shí)施例6、9、13中的任意實(shí)施例。實(shí)施例19、一種粘石英堝底料的回收方法，其中振動(dòng)磨的頻率為20Hz，時(shí)間為5分鐘，其余同實(shí)施例6、9、13中的任意實(shí)施例。實(shí)施例20、一種粘石英堝底料的回收方法，其中振動(dòng)磨的頻率為25Hz，時(shí)間為3分鐘，其余同實(shí)施例6、9、13中的任意實(shí)施例。實(shí)施例21、一種粘石英堝底料的回收方法，其中振動(dòng)磨的頻率為30Hz，時(shí)間為l分鐘，其余同實(shí)施例6、9、13中的任意實(shí)施例。實(shí)施例22、一種粘石英堝底料的回收方法，其中采用球磨來實(shí)現(xiàn)粘石英堝底料中石英與硅料分離，其余同實(shí)施例6、8、9、12中的任意實(shí)施例。實(shí)施例23、一種粘石英堝底料的回收方法，其中球磨的轉(zhuǎn)速為50rpm，時(shí)間為20分鐘，其余同實(shí)施例7、10、11、22中的任意實(shí)施例。實(shí)施例24、一種粘石英堝底料的回收方法，其中球磨的轉(zhuǎn)速為100rpm，時(shí)間為15分鐘，其余同實(shí)施例7、10、11、22中的任意實(shí)施例。實(shí)施例25、一種粘石英堝底料的回收方法，其中球磨的轉(zhuǎn)速為200rpm，時(shí)間為10分鐘，其余同實(shí)施例7、10、11、22中的任意實(shí)施例。實(shí)施例26、一種粘石英堝底料的回收方法，其中球磨的轉(zhuǎn)速為300rpm，時(shí)間為5分鐘，其余同實(shí)施例15。實(shí)施例27、一種粘石英堝底料的回收方法，其中球磨的轉(zhuǎn)速為400rpm，時(shí)間為4分鐘，其余同實(shí)施例7、10、11、22中的任意實(shí)施例。實(shí)施例28、一種粘石英堝底料的回收方法，其中球磨的轉(zhuǎn)速為500rpm，時(shí)間為3分鐘，其余同實(shí)施例7、10、11、22中的任意實(shí)施例。實(shí)施例29、一種粘石英堝底料的回收方法，其中球磨的轉(zhuǎn)速為600rpm，時(shí)間為2分鐘，其余同實(shí)施例7、10、11、22中的任意實(shí)施例。實(shí)施例30、一種粘石英堝底料的回收方法，其中采用超聲波振動(dòng)來實(shí)現(xiàn)粘石英堝底料中石英與硅料分離，其余同實(shí)施例6、7、9、10、ll中的任意實(shí)施例。實(shí)施例31、一種粘石英堝底料的回收方法，其中超聲波振動(dòng)的頻率為15KHz,振動(dòng)時(shí)間為20分鐘，其余同實(shí)施例8、12、30中的任意實(shí)施例。實(shí)施例32、一種粘石英堝底料的回收方法，其中超聲波振動(dòng)的頻率為20KHz，振動(dòng)時(shí)間為15分鐘，其余同實(shí)施例8、12、30中的任意實(shí)施例。實(shí)施例33、一種粘石英堝底料的回收方法，其中超聲波振動(dòng)的頻率為25KHz，振動(dòng)時(shí)間為10分鐘，其余同實(shí)施例8、12、30中的任意實(shí)施例。實(shí)施例34、一種粘石英堝底料的回收方法，其中超聲波振動(dòng)的頻率為30KHz，振動(dòng)時(shí)間為8分鐘，其余同實(shí)施例8、12、30中的任意實(shí)施例。實(shí)施例35、一種粘石英堝底料的回收方法，其中超聲波振動(dòng)的頻率為35KHz，振動(dòng)時(shí)間為5分鐘，其余同實(shí)施例8、12、30中的任意實(shí)施例。實(shí)施例36、一種粘石英堝底料的回收方法，其中超聲波振動(dòng)的頻率為40KHz，振動(dòng)時(shí)間為l分鐘，其余同實(shí)施例8、12、30中的任意實(shí)施例。實(shí)施例37、一種粘石英堝底料的回收方法，其中超聲波振動(dòng)的頻率為40KHz，振動(dòng)時(shí)間為l分鐘，其余同實(shí)施例8、12、30中的任意實(shí)施例。實(shí)施例38、一種粘石英堝底料的回收方法，其中冷卻介質(zhì)是溫度比放入的粘石英堝底料的溫度低的空氣，其余同實(shí)施例1-37中的任意實(shí)施例。實(shí)施例39、一種粘石英堝底料的回收方法，其中冷卻介質(zhì)是溫度比放入的粘石英堝底料的溫度低的水，其余同實(shí)施例1-37中的任意實(shí)施例。實(shí)施例40、一種粘石英堝底料的回收方法，其中冷卻介質(zhì)是溫度比放入的粘石英堝底料的溫度低的鹽水，其余同實(shí)施例l-37中的任意實(shí)施例。實(shí)施例41、一種粘石英堝底料的回收方法，其中冷卻介質(zhì)是溫度比放入的粘石英堝底料的溫度低的礦物油，其余同實(shí)施例l-37中的任意實(shí)施例。權(quán)利要求1、一種粘石英堝底料的回收方法，其特征在于粘石英堝底料是指粘附在石英坩堝上的硅料，將粘石英堝底料通過加熱和冷卻兩個(gè)步驟，將石英與硅料分離。2、如權(quán)利要求l所述的一種粘石英堝底料的回收方法，其特征在于操作步驟為(1)將粘石英堝底料放置于加熱設(shè)備中；(2)加熱；(3)取出粘石英堝底料，在冷卻介質(zhì)中冷卻；(4)石英與硅料的接觸界面開裂，實(shí)現(xiàn)石英與硅料分離。3、如權(quán)利要求1或2所述的一種粘石英堝底料的回收方法，其特征在于冷卻介質(zhì)的溫度比放入的粘石英堝底料的溫度低，冷卻介質(zhì)可以是液體或氣體。4、如權(quán)利要求1或2或3所述的一種粘石英堝底料的回收方法，其特征在于冷卻介質(zhì)可以是溫度比放入的粘石英堝底料的溫度低的空氣、水、鹽水、礦物油或其他介質(zhì)中的任意一種或幾種。5、如權(quán)利要求4所述的一種粘石英堝底料的回收方法，其特征在于粘石英堝底料與冷卻介質(zhì)的體積比為l:5-100。6、如權(quán)利要求1或2任意一項(xiàng)所述的一種粘石英堝底料的回收方法，其特征在于加熱的方式可以是電阻加熱、微波加熱、紅外加熱、感應(yīng)加熱或其他具有加熱功能性質(zhì)方式中的任意一種。7、如權(quán)利要求1或2所述的一種粘石英堝底料的回收方法，其特征在于加熱溫度是200°C-1400°C。8、如權(quán)利要求1或2所述的一種粘石英堝底料的回收方法，其特征在于加熱時(shí)間為5分鐘-24小時(shí)。9、如權(quán)利要求2所述的一種粘石英堝底料的回收方法，其特征在于在第(4)步驟后增加第(5)第步驟振動(dòng)。10、如權(quán)利要求2所述的一種粘石英堝底料的回收方法，其特征在于在第(4)步驟后增加第(5)第步驟轉(zhuǎn)動(dòng)。11、如權(quán)利要求9所述的一種粘石英堝底料的回收方法，其特征在于振動(dòng)采用振動(dòng)磨的方式，振動(dòng)磨的振動(dòng)頻率為10-30Hz,振動(dòng)時(shí)間為l-20分鐘。12、如權(quán)利要求9所述的一種粘石英堝底料的回收方法，其特征在于振動(dòng)采用超聲波振動(dòng)的方式，超聲波振動(dòng)頻率為15-40KHz，振動(dòng)時(shí)間為l-20分鐘。13、如權(quán)利要求10所述的一種粘石英堝底料的回收方法，其特征在于轉(zhuǎn)動(dòng)采用球磨的方式，球磨的轉(zhuǎn)動(dòng)頻率為50-800rpm，轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)間為l-20分鐘。全文摘要本發(fā)明涉及半導(dǎo)體及太陽能領(lǐng)域的一種粘石英的硅料的回收方法，特別應(yīng)用于在處理堝底料中石英與硅料的分離。一種粘石英堝底料的回收方法，將粘石英堝底料通過加熱和冷卻兩個(gè)步驟，將石英與硅料分離。本發(fā)明利用了石英和硅的熱膨脹系數(shù)的差異，由于硅的熱膨脹系數(shù)系數(shù)大于石英，所以在加熱和冷卻過程中，使得石英與硅料的接觸面產(chǎn)生強(qiáng)大的熱應(yīng)力，在熱應(yīng)力作用下，石英與硅料的接觸面開裂，石英脫離硅料的表面，得到硅原料。根據(jù)加熱溫度和冷卻效果的不同，少量未能自動(dòng)分離或手動(dòng)剝離的粘石英堝底料，可通過進(jìn)一步的振動(dòng)磨、球磨、超聲波振動(dòng)等作用實(shí)現(xiàn)粘石英堝底料中硅料與石英的分離。文檔編號C30B15/00GK101440514SQ20081013639公開日2009年5月27日申請日期2008年12月8日優(yōu)先權(quán)日2008年12月8日發(fā)明者胡動(dòng)力申請人:江西賽維Ldk太陽能高科技有限公司