專利名稱：多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷、氫氣混合的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及多晶硅生產(chǎn)工藝領(lǐng)域，特別是多晶硅生產(chǎn)中的氯硅垸、氫氣 混合的裝置。
背景技術(shù)：
在多晶硅生產(chǎn)中，原料為精餾系統(tǒng)產(chǎn)品液態(tài)氯硅烷和回收系統(tǒng)產(chǎn)品氣態(tài)氫氣， 作為原料的液態(tài)氯硅烷和氣態(tài)H2在進入氫還原爐前，需要將其混合。
傳統(tǒng)的混合工藝是在鼓泡器內(nèi)進行混合，混合過程為在鼓泡器中有一定液 位的氯硅烷，然后往鼓泡器內(nèi)通入H2，使H2和氣相飽和氯硅烷混合，然后由出口
管道將其氣相混合物送入氫還原爐。在混合的過程中，通過控制鼓泡器內(nèi)氯硅烷
的溫度來控制它們的比例；控制H2的流量來控制混合原料的體積。 而這種傳統(tǒng)的工藝，存在以下缺點-
1、 H2和氯硅烷的比例很難控制，而且比例值不準確；
2、 需要控制的參數(shù)較多，而且不直觀， 一般操作人員很難駕馭。 對于現(xiàn)在的多晶硅生產(chǎn)，這種使用鼓泡器的傳統(tǒng)設(shè)備已經(jīng)無法滿足生產(chǎn)要求，
所以必須要一種新的原料混合裝置來實現(xiàn)氯硅烷和氫氣的混合。 發(fā)明內(nèi)容
本實用新型為解決上述問題提供了多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷、氫氣混合的裝置， 非常方便控制原料的混合比例，而且控制簡單。 本實用新型的技術(shù)方案如下-
多晶硅生產(chǎn)中的氯硅垸、氫氣混合的裝置，其特征在于包括產(chǎn)品汽化器和 靜態(tài)混合器，產(chǎn)品汽化器和靜態(tài)混合器之間設(shè)置有流量計一，所述產(chǎn)品汽化器、
流量計一和靜態(tài)混合器之間均通過管道連接；所述靜態(tài)混合器還設(shè)置有單獨的氫
氣迸口。
所述產(chǎn)品汽化器和流量計一之間還設(shè)置有切斷閥，也通過管道連接。
所述裝置的具體連接結(jié)構(gòu)為
所述產(chǎn)品汽化器的下端為液態(tài)氯硅烷的進口，產(chǎn)品汽化器的上端為氣態(tài)氯硅烷的出口，出口與切斷閥的進口連接，切斷閥的出口與流量計一的進口連接，流 量計一的出口與靜態(tài)混合器的氯硅烷進口連接；所述靜態(tài)混合器的氫氣進口通過 管道依次連接有流量計二和調(diào)節(jié)閥；靜態(tài)混合器的出口與氫還原爐的進口連接。
所述流量計一和調(diào)節(jié)閥之間通過管道連接。
所述產(chǎn)品汽化器設(shè)置有蒸汽調(diào)節(jié)闊。 本實用新型的工作原理如下
回收系統(tǒng)產(chǎn)品氣態(tài)H2通過調(diào)節(jié)閥和流量計二靜態(tài)混合器，進行H2循環(huán)(H2壓 力- 0.5 0.65Mpa，溫度15 35°C);液態(tài)氯硅烷進入產(chǎn)品汽化器被蒸汽加熱， 產(chǎn)品汽化器內(nèi)的飽和蒸汽(壓力0.47 0.52Mpa，溫度150 160°C)將液態(tài)氯 硅烷加熱成氣態(tài)氯硅垸(溫度100 110'C，壓力0. 55 0. 65Mpa)，然后打開 切斷閥，調(diào)節(jié)流量計一使氣態(tài)氯硅烷進入靜態(tài)混合器與H2混合，混合氣由靜態(tài)混 合器的出口進入還原爐，進行反應(yīng)。
本實用新型的有益效果如下
1、 通過調(diào)節(jié)閥、切斷閥和流量計，可以將H2和氯硅垸的比例準確、快速控 制。
2、 混合氣的流量可以準確控制；
3、 控制直觀、簡單，主控人員容易駕奴。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖具體實施方式
多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷、氫氣混合的裝置，包括產(chǎn)品汽化器1和靜態(tài)混合器2， 產(chǎn)品汽化器1和靜態(tài)混合器2之間設(shè)置有流量計一3，所述產(chǎn)品汽化器l、流量計 一 3和靜態(tài)混合器2之間均通過管道連接；所述靜態(tài)混合器2還設(shè)置有單獨的氫 氣進口 4。
所述產(chǎn)品汽化器1和流量計一 3之間還設(shè)置有切斷閥5，也通過管道連接。 所述裝置的具體連接結(jié)構(gòu)為-
所述產(chǎn)品汽化器1的下端為液態(tài)氯硅垸的進口 6，產(chǎn)品汽化器1的上端為氣態(tài) 氯硅垸的出口 7，出口 6與切斷閥5的進口連接，切斷閥5的出口與流量計一3的 進口連接，流量計一 3的出口與靜態(tài)混合器2的氯硅烷進口 8連接；所述靜態(tài)混 合器的氫氣進口 4通過管道依次連接有流量計二 9和調(diào)節(jié)閥10;靜態(tài)混合器2的出口 11與氫還原爐的進口連接。
所述流量計一 3和調(diào)節(jié)閥10之間通過管道連接。 所述產(chǎn)品汽化器1設(shè)置有蒸汽調(diào)節(jié)閥12。 本實用新型的工作原理如下
回收系統(tǒng)產(chǎn)品氣態(tài)H2通過調(diào)節(jié)閥和流量計二靜態(tài)混合器，進行H2循環(huán)(H2壓 力.-0.5 0.65Mpa，溫度15 35°C);液態(tài)氯硅垸進入產(chǎn)品汽化器被蒸汽加熱， 產(chǎn)品汽化器內(nèi)的飽和蒸汽(壓力0.47 0. 52Mpa，溫度150 16(TC)將液態(tài)氯 硅垸加熱成氣態(tài)氯硅垸(溫度100 110°C，壓力0. 55 0. 65Mpa)，然后打開 切斷閥，調(diào)節(jié)流量計一使氣態(tài)氯硅烷進入靜態(tài)混合器與Hr混合，混合氣由靜態(tài)混 合器的出口進入還原爐，進行反應(yīng)。
權(quán)利要求1、多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷、氫氣混合的裝置，其特征在于包括產(chǎn)品汽化器(1)和靜態(tài)混合器(2)，產(chǎn)品汽化器(1)和靜態(tài)混合器(2)之間設(shè)置有流量計一(3)，所述產(chǎn)品汽化器(1)、流量計一(3)和靜態(tài)混合器(2)之間均通過管道連接；所述靜態(tài)混合器(2)還設(shè)置有單獨的氫氣進口(4)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷、氫氣混合的裝置，其特征在 于具體連接結(jié)構(gòu)為所述產(chǎn)品汽化器(1)和流量計一 (3)之間還設(shè)置有切斷閥(5)，也通過管道連接。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷、氫氣混合的裝置，其特征在 于具體連接結(jié)構(gòu)為所述產(chǎn)品汽化器(1)的下端為液態(tài)氯硅烷的進口 (6)，產(chǎn)品 汽化器(1)的上端為氣態(tài)氯硅烷的出口 (7)，出口 (6)與切斷閥(5)的進口連 接，切斷閥(5)的出口與流量計一 (3)的進口連接，流量計一 (3)的出口與靜 態(tài)混合器(2)的氯硅垸進口 (8)連接；所述靜態(tài)混合器(2)的氫氣進口 (4) 通過管道依次連接有流量計二 (9)和調(diào)節(jié)閥(10);靜態(tài)混合器(2)的出口 (11) 與氫還原爐的進口連接。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷、氫氣混合的裝置，其特 征在于具體連接結(jié)構(gòu)為所述流量計一 (3)和調(diào)節(jié)閥(10)之間通過管道連接。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷、氫氣混合的裝置，其特 征在于具體連接結(jié)構(gòu)為所述產(chǎn)品汽化器(1)設(shè)置有蒸汽調(diào)節(jié)閥(12)。
專利摘要本實用新型公開了多晶硅生產(chǎn)中的氯硅烷、氫氣混合的裝置，其特征在于包括產(chǎn)品汽化器和靜態(tài)混合器，產(chǎn)品汽化器和靜態(tài)混合器之間設(shè)置有流量計一，所述產(chǎn)品汽化器、流量計一和靜態(tài)混合器之間均通過管道連接；所述靜態(tài)混合器還設(shè)置有單獨的氫氣進口；本實用新型通過調(diào)節(jié)閥、切斷閥和流量計，可以將H2和氯硅烷的比例準確、快速控制；混合氣的流量可以準確控制；控制直觀、簡單，主控人員容易駕馭。
文檔編號C30B29/06GK201305651SQ200820222838
公開日2009年9月9日 申請日期2008年11月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月24日
發(fā)明者戴自忠, 易忠海 申請人:四川永祥多晶硅有限公司