專(zhuān)利名稱(chēng)：?jiǎn)尉t爐蓋結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及熔煉單晶爐，具體涉及一種單晶爐爐底板與電極套的裝配方法。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體硅單晶的大部份均用切克勞斯基(Czochralski)法制造。在這種方法中，多晶硅被裝進(jìn)石英坩堝內(nèi)，加熱熔化，然后，將熔硅略做降溫，給予一定的過(guò)冷度，把一支特定晶向的硅單晶體(稱(chēng)做籽晶)與煉體硅接觸，通過(guò)調(diào)整熔體的溫度和籽晶向上提升速度，使籽晶體長(zhǎng)大至近目標(biāo)支徑時(shí)，提高提升速度，使單晶體近恒直徑生長(zhǎng)。在生長(zhǎng)過(guò)程的尾期，此時(shí)堝內(nèi)的硅熔體尚未完全消失，通過(guò)增加晶體的提升速度和調(diào)整向渦的供熱量將晶體直徑漸漸減小而形成一個(gè)尾錐體，當(dāng)錐體的失足夠小時(shí)，晶體就會(huì)與煉體脫離，從而完成晶體的生長(zhǎng)過(guò)程。
對(duì)于熔煉多晶硅的單晶爐，其由爐底、下?tīng)t室、上爐室、爐蓋、翻板箱以及副室六大部分組成。這其中，由于爐蓋在工作過(guò)程中需要進(jìn)行冷卻，通常采用水冷卻的方式，在冷卻過(guò)程中，水中的氯離子會(huì)對(duì)焊縫產(chǎn)生腐蝕，因此，會(huì)造成爐蓋的使用壽命縮短。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的目的是提供一種使用壽命長(zhǎng)的單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)。
實(shí)現(xiàn)本發(fā)明方法的技術(shù)方案如下-
單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，包括蓋體以及與蓋體連接的爐頸，蓋體下端設(shè)有下連接裝置，爐頸上端設(shè)有上連接裝置，所述蓋體包括外蓋體以及內(nèi)蓋體，外蓋體與內(nèi)蓋體間隔設(shè)置，爐頸包括內(nèi)爐頸和與該內(nèi)爐頸間隔設(shè)置的外爐頸，外爐頸上端以及內(nèi)爐頸上端分別與上連接裝置焊接固定，內(nèi)爐頸下端與內(nèi)蓋體焊接固定，所述外蓋體與外爐頸焊接固定，該外蓋體與外爐頸焊接的端部延伸到內(nèi)、外爐頸的間隙中并與內(nèi)爐頸的外壁面接觸，所述內(nèi)蓋體以及外蓋體下端分別與下連接裝置焊接固定。
3所述外爐頸上設(shè)有輸氣管道，該輸氣管道與內(nèi)爐頸連通。所述外蓋體上設(shè)有觀察窗，該觀察窗與內(nèi)蓋體連通。所述外蓋體上設(shè)有測(cè)經(jīng)儀窗，該測(cè)經(jīng)儀窗與內(nèi)蓋體連通。
所述上連接裝置為法蘭盤(pán)，該法蘭盤(pán)的下端面設(shè)有與內(nèi)爐頸連接的內(nèi)連接部和與外爐頸連接的外連接部，內(nèi)連接部和外連接部通過(guò)法蘭盤(pán)上設(shè)置的環(huán)形槽間隔開(kāi)。
所述上連接裝置的上端面設(shè)有一個(gè)凸出于該上端面的凸臺(tái)。所述下連接裝置為連接法蘭。
采用了上述方案，外蓋體與內(nèi)蓋體間隔設(shè)置，爐頸包括內(nèi)爐頸和與該內(nèi)爐頸間隔設(shè)置的外爐頸，外爐頸上端以及內(nèi)爐頸上端分別與上連接裝置焊接固定，內(nèi)爐頸下端與內(nèi)蓋體焊接固定，所述外蓋體與外爐頸焊接固定，該外蓋體與外爐頸焊接的端部延伸到內(nèi)、外爐頸的間隙中并與內(nèi)爐頸的外壁面接觸，所述內(nèi)蓋體以及外蓋體下端分別與下連接裝置焊接固定。通過(guò)在本發(fā)明的內(nèi)蓋體以及爐頸上雙面焊接以后，去除內(nèi)壁水夾層側(cè)的焊縫縫隙，防止冷卻水中的氯離子在焊縫處產(chǎn)生縫隙腐蝕，這樣可以延長(zhǎng)爐蓋的使用壽命。


圖l為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的剖面結(jié)構(gòu)附圖中，IO為外蓋體，ll為內(nèi)蓋體，12為觀察窗，13為測(cè)經(jīng)儀窗，20為內(nèi)爐頸，21為外爐頸，22為輸氣管道，30為下連接裝置，301為內(nèi)連接部，302為外連接部，303為環(huán)形槽，40為上連接裝置，41為內(nèi)連接部，42為外連接部，43為環(huán)形槽，44為凸臺(tái)。
具體實(shí)施例方式
參照?qǐng)D1及圖2，本發(fā)明的單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，包括蓋體以及與蓋體連接的爐頸，蓋體下端設(shè)有下連接裝置30，爐頸上端設(shè)有上連接裝置40。蓋體采用不銹鋼材料制成，蓋體包括外蓋體10以及內(nèi)蓋體11，外蓋體10與內(nèi)蓋體11間隔設(shè)置，該間隔的間距為20飄。爐頸包括內(nèi)爐頸20和與該內(nèi)爐頸間隔設(shè)置的外爐頸21，外爐頸與內(nèi)爐頸之間的間隔距離為20mm。外爐頸21上設(shè)有輸氣管道22,該輸氣管道22與內(nèi)爐頸連通，輸氣管道22用于氬氣通入到內(nèi)爐頸中。外爐頸21上端以及內(nèi)爐頸20上端分別與上連接裝置40焊接固定，內(nèi)爐頸20下端與內(nèi)蓋體11焊接固定，外蓋體10與外爐頸焊接固定，上連接裝置40為一個(gè)法蘭盤(pán)，該法蘭盤(pán)的下端面設(shè)有與內(nèi)爐頸連接的內(nèi)連接部41和與外爐頸連接的外連接部42，內(nèi)連接部和外連接部通過(guò)法蘭盤(pán)上設(shè)置的環(huán)形槽43間隔開(kāi)，環(huán)形槽43與外爐頸與內(nèi)爐頸之間的間隔空隙正對(duì)。上連接裝置的上端面設(shè)有一個(gè)凸出于該上端面的凸臺(tái)44，該凸臺(tái)用于與副室法蘭盤(pán)上的連接部配合并形成固定連接。
內(nèi)爐頸20下端與內(nèi)蓋體11通過(guò)焊接方式固定連接，所述外蓋體10與外爐頸21通過(guò)焊接方式固定連接，該外蓋體10與外爐頸20連接的端部延伸到內(nèi)、外爐頸的間隙中并與內(nèi)爐頸20的外壁面接觸，所述內(nèi)蓋體11以及外蓋體10下端分別與下連接裝置30通過(guò)焊接方式固定連接。下連接裝置30為連接法蘭，該下連接裝置的上端面形成用于與外蓋體IO焊接的外連接部302以及用于與內(nèi)蓋體11焊接的內(nèi)連接部301，外連接部和內(nèi)連接部之間通過(guò)環(huán)形槽303隔開(kāi)。在外蓋體10上設(shè)有觀察窗12，該觀察窗與內(nèi)蓋體連通，觀察窗包括窗體以及與該窗體密封固定的透明的玻璃，透過(guò)玻璃可以觀察到爐體內(nèi)的情況。外蓋體10上設(shè)有測(cè)經(jīng)儀窗13，該測(cè)經(jīng)儀窗與內(nèi)蓋體連通。
權(quán)利要求
1.單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，包括蓋體以及與蓋體連接的爐頸，蓋體下端設(shè)有下連接裝置，爐頸上端設(shè)有上連接裝置，其特征在于所述蓋體包括外蓋體以及內(nèi)蓋體，外蓋體與內(nèi)蓋體間隔設(shè)置，爐頸包括內(nèi)爐頸和與該內(nèi)爐頸間隔設(shè)置的外爐頸，外爐頸上端以及內(nèi)爐頸上端分別與上連接裝置焊接固定，內(nèi)爐頸下端與內(nèi)蓋體焊接固定，所述外蓋體與外爐頸焊接固定，該外蓋體與外爐頸焊接的端部延伸到內(nèi)、外爐頸的間隙中并與內(nèi)爐頸的外壁面接觸，所述內(nèi)蓋體以及外蓋體下端分別與下連接裝置焊接固定。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，其特征在于所述外爐頸上設(shè) 有輸氣管道，該輸氣管道與內(nèi)爐頸連通。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，其特征在于所述外蓋體上設(shè) 有觀察窗，該觀察窗與內(nèi)蓋體連通。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，其特征在于所述外蓋體上設(shè) 有測(cè)經(jīng)儀窗，該測(cè)經(jīng)儀窗與內(nèi)蓋體連通。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，其特征在于所述上連接裝置 為法蘭盤(pán)，該法蘭盤(pán)的下端面設(shè)有與內(nèi)爐頸連接的內(nèi)連接部和與外爐頸連接的 外連接部，內(nèi)連接部和外連接部通過(guò)法蘭盤(pán)上設(shè)置的環(huán)形槽間隔開(kāi)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，其特征在于所述上連接裝置 的上端面設(shè)有一個(gè)凸出于該上端面的凸臺(tái)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，其特征在于所述下連接裝置 為連接法蘭。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，包括蓋體以及與蓋體連接的爐頸，蓋體下端設(shè)有下連接裝置，爐頸上端設(shè)有上連接裝置，所述蓋體包括外蓋體以及內(nèi)蓋體，外蓋體與內(nèi)蓋體間隔設(shè)置，爐頸包括內(nèi)爐頸和與該內(nèi)爐頸間隔設(shè)置的外爐頸，外爐頸上端以及內(nèi)爐頸上端分別與上連接裝置焊接固定，內(nèi)爐頸下端與內(nèi)蓋體焊接固定，所述外蓋體與外爐頸焊接固定，該外蓋體與外爐頸焊接的端部延伸到內(nèi)、外爐頸的間隙中并與內(nèi)爐頸的外壁面接觸，所述內(nèi)蓋體以及外蓋體下端分別與下連接裝置焊接固定。本發(fā)明的單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)具有使用壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C30B15/00GK101550587SQ20091003089
公開(kāi)日2009年10月7日 申請(qǐng)日期2009年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月20日
發(fā)明者潘國(guó)強(qiáng), 潘燕萍 申請(qǐng)人:潘燕萍;潘國(guó)強(qiáng)