專利名稱：：壓電振動裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種在殼體振動型的平面狀的揚聲器、受話器(receiver)等的音響變換電子設(shè)備、振動器(vibrator)等的振動變換電子設(shè)備中使用的壓電振動裝置，更具體地說，涉及一種改良耐沖擊性、安裝性、可靠性的壓電振動裝置。
背景技術(shù)：
：利用了壓電元件的壓電振動裝置作為簡單的聲電轉(zhuǎn)換設(shè)備或致動器被廣泛地利用，特別是最近，在便攜式電話和便攜式信息終端等領(lǐng)域中被較多地使用?，F(xiàn)有的壓電振動裝置，用支承構(gòu)件支承著將壓電元件粘貼在金屬制的振動板的表面上的雙壓電晶片(bimorph)元件或單壓電晶片元件的大致中央部分，通過驅(qū)動該懸臂梁型壓電振動體，獲得低頻區(qū)域中的較大的驅(qū)動力(例如，專利文獻1)。另外，還有這樣一種結(jié)構(gòu)為了發(fā)生分布模式，用共振頻率不同的多個壓電振動板，構(gòu)成致動器。例如，作為板式揚聲器的壓電振動體，在專利文獻2中公開了一種用一個支柱將多個長方形的壓電振動板大致平行地支承在板上，通過支柱使上述壓電振動板的振動傳遞到上述板上，使進行振動并發(fā)出聲音的變換器。另外，在專利文獻3中，記載了用一個支柱支承著沿周邊部分安裝了彈性體的一個或多個圓盤狀的壓電振動板的聲音發(fā)生裝置，獲得音響特性的改善效果。200910173072.5說明書第2/16頁在圖10中表示現(xiàn)有的壓電振動裝置的一例。圖示的壓電振動裝置200是由支柱204和壓電振動板206、212構(gòu)成的壓電振動體201被固定在音響面板202上的結(jié)構(gòu)，上述壓電振動外反206、212由上述支柱204支承而與音響面板202大致平行。上述壓電振動板206是將在表面上形成了Ni、Pd、Ag等的電極層的壓電元件209、210粘貼在由42合金等金屬類材料或聚對苯二曱酸乙二醇酯(PET)等樹脂材料構(gòu)成的振動板208上的雙壓電晶片結(jié)構(gòu)。另一壓電振動板212也是同樣的結(jié)構(gòu)，是壓電元件215、216#_粘貼在振動板214上的雙壓電晶片結(jié)構(gòu)。另外，上述支柱204是用不銹鋼等金屬材料或PET、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)等樹脂材料成型的，音響面板202例如由玻璃或蜂窩結(jié)構(gòu)的鋁等形成。用例如導(dǎo)電性膏或焊錫218、220、224、226等，將導(dǎo)線222及228連接在上述壓電振動板206、212的各電極和振動板208、214上。通過這些導(dǎo)線22及228施加電信號，壓電振動板206、212振動，該振動傳遞到支柱204上。另外，振動通過該支柱204傳遞到固定著壓電振動體201的音響面板202上，音響面板202振動，發(fā)出聲音。日本專利申請公開特開2000-224696號公報(圖4~圖8)WO01/54450國際公開公報(圖9)[專利文獻3]日本專利申請公開特開2000-134682號公報(圖1、圖3)可是，在以上這樣的
背景技術(shù)：
中存在以下問題。(1)沖擊負載施加在壓電振動體上時，就會有過大的應(yīng)力施加在壓電振動板上，脆弱材料的壓電元件受到破壞，發(fā)生支柱的脫落、振動板彎曲等結(jié)構(gòu)上的損害，此外，伴隨熱電效應(yīng)引起的電動勢的發(fā)生，也可能對電路產(chǎn)生影響。另外，在使用多個壓電振動板的情況下，除了由壓電振動板和殼體的接觸產(chǎn)生的破壞以外，還會產(chǎn)生由各壓電振動板之間的沖擊引起的壓電元件的破壞。4(2)如果使用多個壓電振動板，則用金屬絲進行的焊接等的電連接方法、壓電振動板對支柱的粘接、支柱與電連接端子的安裝等的安裝方法變得復(fù)雜，導(dǎo)致生產(chǎn)效率下降，成本增加。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是著眼于上述問題而完成的發(fā)明，其目的在于提供一種耐沖擊性好的壓電振動裝置。另一個目的在于謀求安裝效率的改善和可靠性的提高。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明是這樣一種壓電振動裝置，把壓電振動板可振動地支承在殼體上，該壓電振動板由形成了電極的壓電元件構(gòu)成，其特征在于，具有支承機構(gòu)，設(shè)置在上述壓電振動板的大致中央部分，對上述壓電振動板進行支承以使其與上述殼體的一個主面大致平行；以及加速抑制才幾構(gòu)，填充在上述壓電振動板和上述主面之間的空間中，將上述壓電振動^反的振動傳遞給上述主面。優(yōu)選的是設(shè)置有多個上述壓電振動板，由上述支承機構(gòu)支承而彼此大致平行；上述加速抑制機構(gòu)填充在上述多個壓電振動4反之間的空間中。優(yōu)選的是上述振幅限制機構(gòu)，是楊氏模量小于或等于200MPa且泊松比大于或等于0.45的彈性材料。本發(fā)明的上述及其他目的、特征、優(yōu)點，將在下述的詳細的說明和附圖中變得明了。根據(jù)本發(fā)明，能夠獲得以下效果。(1)在殼體的一個主面和壓電振動板之間、在多個壓電振動板彼此之間，設(shè)置了振幅限制機構(gòu)，所以，能抑制大的振幅，緩和加在壓電元件上的應(yīng)力，防止破損。另外，由于還能防止由多個壓電振動板彼此之間的沖擊、或壓電振動板和殼體的沖擊引起的破損，所以能提高耐沖擊性。(2)用加速抑制機構(gòu)填充了在殼體的一個主面和壓電振動板之間、在多個壓電振動板彼此之間的間隙，通過該加速抑制機構(gòu)傳遞5振動，所以，能抑制上升陡峭的位移，能抑制引起壓電元件的破壞那樣的負載的發(fā)生。(3)用支柱固定壓電振動板的兩端，進行支承以使其與殼體的主面大致平行，所以，與只支承上述壓電振動板的大致中央的懸臂梁型的結(jié)構(gòu)相比，能抑制發(fā)生位移，所以能防止壓電元件的破壞。(4)將設(shè)置了位置對準用的機構(gòu)的壓電振動板裝在內(nèi)置了支柱的殼體中，所以容易進行位置對準，而且，用設(shè)置了連接端子的構(gòu)件支承多個壓電振動板，所以，也包括電連接在內(nèi)，安裝變得容易進行。另外，利用外殼結(jié)構(gòu)，容易操作，而不需要考慮對安裝環(huán)境的影響，而且，壓電振動板不會從支柱脫落。另外，由于將加速限制機構(gòu)封入了上述殼體內(nèi)，所以能抑制壓電振動板的急劇的加速變形，能提高耐沖擊性，而且，能降低由變形引起的電動勢。(5)由于將設(shè)置了位置對準用的機構(gòu)的壓電振動板裝入內(nèi)置了支柱的殼體中，用設(shè)置了連接端子的構(gòu)件支承多個壓電振動板，而且，設(shè)有抑制上述壓電振動板的限制的斜面，所以，能防止振動板彎曲、壓電體破裂，能提高耐沖擊性。圖1A、圖1B是表示本發(fā)明的實施例1的圖，圖1A是表示外觀的斜視圖，圖1B是沿上述圖1A的弁A—弁A線的剖面圖。圖2A、圖2B是表示本發(fā)明的實施例2的圖，圖2A是表示外觀的斜視圖，圖2B是沿上述圖2A的弁B—弁B線的剖面圖。圖3A、圖3B是表示本發(fā)明的實施例3的圖，圖3A是表示外觀的斜視圖，圖3B是沿上述圖3A的弁B—#B線的剖面圖。圖4A、圖4B是表示上述實施例的比較例的結(jié)構(gòu)圖，圖4A是表示外觀的斜視圖，圖4B是沿上述圖4A的弁D—弁D線的剖面圖。圖5A圖5D是表示本發(fā)明的實施例5的圖，圖5A是表示外觀的斜視圖，圖5B是沿上述圖5A的弁E—弁E線的剖面圖，圖5C及圖5D是上述圖5B的部分放大圖。圖6是表示上述實施例的結(jié)構(gòu)的分解斜視圖。圖7是表示本發(fā)明的實施例5的結(jié)構(gòu)的主要剖面圖。圖8是表示本發(fā)明的實施例6的結(jié)構(gòu)的主要剖面圖。圖9A~圖9C是表示本發(fā)明的另一實施例的圖。圖IO是表示
背景技術(shù)：
的一例的圖。具體實施例方式以下，根據(jù)幾個實施例，詳細說明實施本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。[實施例1]最初，參照圖1A、圖1B說明本發(fā)明的實施例1。圖1A是表示本實施例的外觀的斜視圖，在圖1B所示的剖面圖中表示沿箭頭方向看到的沿圖1A的弁A—弁A線的剖面狀態(tài)。如該圖所示，本實施例的壓電振動裝置10,在便攜式電話等的殼體(外殼)12的一個主面上，由支柱14A、14B固定大致呈長方形的壓電振動板16、24的大致中央部分，以使其與上述殼體12大致平行。另外，壓電振動板16、24和支柱14A、14B，按照殼體12、支柱14A、壓電振動板24、支柱14B、壓電振動^反16的順序疊合，用黏合劑等固定，但也可以從上方對這些疊合部分進行螺絲固定或螺釘固定。作為上述支柱14A、14B,例如能使用不銹鋼等鐵系合金、黃銅等銅系合金、聚碳酸酯等硬質(zhì)樹脂等，但不限于此，也能利用公知的各種材料。上述壓電振動板16是在大致呈長方形的振動板18的表面、背面上，粘貼了尺寸與該振動板18大致相同、沿厚度方向極化了的壓電元件(壓電陶瓷)20、22的雙壓電晶片結(jié)構(gòu)。這些壓電元件20、22是在壓電體的表面、背面的兩面上分別形成了驅(qū)動用的電極層(未圖示)的結(jié)構(gòu)。另一方的壓電振動板24也是同樣的結(jié)構(gòu)，是壓電元件28、30粘貼在振動板26的表面、背面的兩面上的雙壓電晶片結(jié)構(gòu)。另外，關(guān)于壓電元件28、30，在其表面、背面的兩面上分別形成有未圖示的電極層。作為上述振動板18、26,例如使用42合金或黃銅等。另外，作為壓電元件20、22、的壓電體，例如使用PZT(鋯酸鈦酸鉛)等，作為電極層，例如使用銀、白金、4巴等。將電壓施加在壓電元件20的上下電才及、壓電元件22的上下電^L的每一者，由此，使壓電元件20、22的壓電體分別極化。例如用導(dǎo)電性黏合劑將如此極化了的壓電元件20、22粘貼在上述振動板18上，由此獲得壓電振動板16。另外，在本例中，壓電元件20的下部電極、壓電元件22的上部電極、振動板18的電位相同，根據(jù)需要，可以纟妾i也。另外，在本實施例中，在上述壓電振動板24的兩端部24A、24B上設(shè)有間隔件34A、34B。另外，在上述殼體12的主面上，在對應(yīng)于上述間隔件34A、34B的位置上設(shè)有另外的間隔件32A、32B。這些間隔件32A、32B、34A、34B,用來強制地抑制振幅以使得壓電振動板16、24的振幅不超過設(shè)計范圍，由楊氏模量小于或等于2GPa的軟材料構(gòu)成。作為這樣的間隔件32A、32B、34A、34B的材料，如果是滿足上述的楊氏模量的材料，則什么樣的材料都可以，例如，能使用聚乙烯、聚丙烯、尼龍、合成橡膠等松密度材料，或者，采用使聚苯乙烯或蜜胺樹脂等硬樹脂發(fā)泡并使剛性實際下降了的材料等。接著，說明本實施例的作用。上述的雙壓電晶片結(jié)構(gòu)的壓電振動板16、24起一般的雙壓電晶片的作用，進行振動。即，在壓電振動板16中，根據(jù)各壓電元件20、22的壓電體的極化方向及對應(yīng)于起中央電極作用的振動板18的外側(cè)的電極電壓的關(guān)系，如果一方的壓電元件沿縱向(長度方向)延伸，則另一方的壓電元件沿縱向收縮，沿圖的上下方向發(fā)生彎曲位移。關(guān)于壓電振動板24也一樣。另外，壓電振動板16、24被設(shè)定成不同的長度，以使得作為振動裝置整體的增益的頻率特性變得平坦。在此情況下，在本實施例中，在殼體12的主面和壓電振動板24之間設(shè)有間隔件32A、32B,在壓電振動壽反16、24之間也安裝有間隔件34A、34B。因此，通過設(shè)定間隔件32A、32B、34A、34B的大8小和安裝位置以使得壓電振動板16、24的振幅不超過預(yù)先設(shè)計的范圍，從而能抑制過大的振幅。如上所述，根據(jù)本實施例，在殼體12和壓電振動板24之間、壓電振動板24和壓電振動板26之間，分別設(shè)置由楊氏模量小于或等于2GPa的軟材料構(gòu)成間隔件。因此，壓電振動板16、24的共振頻率不會變大，能抑制過大的振幅，能緩和施加在壓電元件20、22、28、30上的應(yīng)力，能防止它們的破壞。另外，還能防止由壓電振動板24和殼體12的接觸或壓電振動板16、24彼此之間的接觸所引起的破損，能改善耐沖擊性，提高可靠性。接著，參照圖3A、圖3B,說明本發(fā)明的實施例3。圖3A是表示本實施例的結(jié)構(gòu)的斜視圖，圖3B表示沿箭頭方向看到的沿圖3A的弁C一#C線的剖面狀態(tài)。上述的實施例l、2都是用支柱14A、14B支承大致呈長方形的壓電振動板16、24的大致中心的結(jié)構(gòu)。但是，在本實施方式中，用支柱固定壓電振動4！16、24的兩端。如圖3A、圖3B所示，本實施例的壓電振動裝置50是用支柱52、54支承壓電振動板16、24的兩端以使得上述壓電振動板16、24與殼體12的主面大致平行的結(jié)構(gòu)。上述壓電振動板16被置于在支柱52、54的上方形成的臺階52A、54A上，壓電振動板24被嵌入在上述臺階52A、54A的下方形成的嵌合部52B、54B中，用黏合劑等加以固定。支柱52、54本身用黏合劑等相對于殼體12的主面進行固定，將壓電振動板16、24的振動傳遞給殼體12。作為上述支柱52、54,既可以用同質(zhì)的材料(例如楊氏模量大于或等于100GPa的剛性大的材料等)形成，從雙方同樣地傳遞壓電振動板16、24的振動，也可以用剛性至少IO倍于另一方的支柱(例如54)的剛性的材料，構(gòu)成一方的支柱(例如52)，從剛性大的支柱(在此情況下為52)傳遞壓電振動板16、24的振動。在此情況下，作為剛性大的支柱材料，能使用楊氏模量大于或等于100GPa的金屬，例如不銹鋼等鐵系材料等。作為剛性小的材料，能使用楊氏模量小于或等于10GPa的樹脂材料，例如PET、尼龍等。根據(jù)本實施例，由于用支柱52、54支承壓電振動板16、24的兩端，所以即使施加了沖擊負載，與
背景技術(shù)：
那樣的懸臂梁型相比，也能抑制位移的發(fā)生。因此，能防止壓電元件的破壞，而且，共振頻率不會發(fā)生較大變化，能抑制不必要的較大的位移。接著，用具體例說明上述的實施例1實施例3。如下所述地制作具體例1具體例4、比較例1比較例3，按照后面所述的方法，進行了比較試驗。另外，圖4A、圖4B表示比較例的結(jié)構(gòu)。圖4A表示斜視圖，圖4B表示沿箭頭方向看到的沿圖4A的弁D—弁D的剖面的狀態(tài)。該圖所示的壓電振動裝置60為基本上與上述的實施例1同樣的結(jié)構(gòu)。但是，作為耐沖擊性的機構(gòu)的間隔件等，未進行任何設(shè)置。具體例1……與實施例1同樣的構(gòu)成，作為間隔件，使用楊氏模量為1.2GPa的尼龍，作為支柱使用了不銹鋼。比較例1......與圖4所示的壓電振動裝置60同樣的構(gòu)成，作為支柱使用了不銹鋼。比較例2......與實施例1同樣的構(gòu)成，作為間隔件，使用楊氏模量為3GPa的硬質(zhì)尼龍，作為支柱使用了不銹鋼。具體例2......與實施例2同樣的構(gòu)成，作為彈性材料，使用楊氏模量為60MPa、泊松比為0.47的硅凝膠，作為支柱使用了不銹鋼。比較例3……與實施例2同樣的構(gòu)成，作為彈性材料(填充材料)，使用楊氏模量為400MPa、泊松比為0.4的彈性橡膠，作為支柱利用了不銹鋼。具體例3......與實施例3同樣的構(gòu)成，支柱的雙方都使用了楊氏模量為200GPa的不銹鋼。具體例4......與實施例3同樣的構(gòu)成，作為一方的支柱使用了楊氏模量為200GPa的不銹鋼，作為另一方的支柱使用了楊氏模量為3GPa的硬質(zhì)尼龍。另外，在上述的具體例、比較例的制作中，壓電振動板的長度為40mm,寬度為7mm,金屬振動板部分的厚度為0.04mm,壓電元件是使用了兩個厚度為O.lmm的晶片的雙壓電晶片結(jié)構(gòu)。另外，壓電振動板16、24之間、振動板24和殼體12的主面之間的距離為lmm。將上迷制作的比較例13、具體例1~4的壓電振動裝置固定在大小為50mmx50mm、厚度為1.5mm的ABS樹脂殼體12,施加3Vrms的交流電壓，測定了發(fā)生的聲音的頻率特性。這時，從殼體12到測定用傳聲器的距離為10cm。另外，為了檢查耐沖擊性，用沖擊試驗機，施加3000G的沖擊負載，在試驗后觀察壓電元件，檢查有無裂ii紋。試驗結(jié)果表示在下表l。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>對表1所示的結(jié)果進行比較，在對沖擊未采取解決方法的比較例l中，由于沖擊負載的施加而發(fā)生了龜裂。在采取了沖擊解決方法的具體例14中，共振頻率、聲壓與比較例l相等，但是，未發(fā)現(xiàn)龜裂的發(fā)生。根據(jù)這些結(jié)果，能夠確認插入間隔件、填充彈性材料、支承壓電振動板的兩端這樣的本發(fā)明的方案，在耐沖擊性方面是有效的。另外，對應(yīng)于具體例1，在間隔件的楊氏模量大于或等于2GPa的比較例2中，雖然音質(zhì)沒有變化，但是由于振動板沖擊，而在間隔件上發(fā)生了龜裂。同樣，對應(yīng)于具體例2，在填充劑的楊氏模量大于或等于100MPa、泊松比小于或等于0.45的比較例3中，由于位移抑制效果過強，所以雖然未發(fā)生由過大的位移引起的龜裂，但是，通常的驅(qū)動條件下的位移也被抑制，一次共振頻率高達800Hz，聲壓降低到了60dB。根據(jù)以上的結(jié)果，可知間隔件的楊氏模量、填充的彈性材料的楊氏模量及泊松比在上述的具體例所示的適當?shù)姆秶鷥?nèi)是重要的。[實施例4〗接著，參照圖5A圖5D、圖6,說明本發(fā)明的實施例4。圖5A是表示本實施例的外觀的斜視圖，圖5B表示沿箭頭方向看到的沿圖5A的弁E—弁E線的剖面狀態(tài)。圖5C、圖5D是上述圖5B的局部放大圖，表示電連接的形態(tài)。另外，圖6是表示本實施例的結(jié)構(gòu)的分解斜視圖。如這些圖所示，本實施例的壓電振動裝置70這樣構(gòu)成壓電振動板84、92大致平行地被收容在能上下分割的外殼71內(nèi)，該夕卜殼71內(nèi)充滿了抑制振動的急劇加速用的粘性液體108。用設(shè)置在下部外殼72的底面72A上的支柱74、設(shè)置在上部外殼78的上表面78A上的支柱80、配置在上述壓電振動板84、92之間的支承桿100，傳遞給安裝上述外殼71的面板。首先，外殼71，如上所述，能分割成下部外殼72和上部外殼78，在下部外殼72的底面72A的大致中央，預(yù)先內(nèi)置有與上述壓電振動板84接觸的支柱74。該支柱74形成為朝該壓電振動纟反84變尖的剖面大致呈三角形的三角棱柱狀，以便不阻礙壓電振動板84的振動。另外，在圖示的例中雖然剖面大致呈三角形，但如果是不會阻礙壓電振動板84的振動的形狀，則剖面也可以為梯形或半圓形等。另夕卜，在下部外殼72的側(cè)面72B的大致中央的上端，形成有承受被安裝在上述壓電振動板84的突部86A、91的承受部76。上部外殼78的結(jié)構(gòu)也一樣，在其上表面78A上設(shè)有支柱80，在側(cè)面78B的大致中央下端，形成有承受被安裝在壓電振動板92的突部94A、99的承受部82。這樣的外殼71,例如用不銹鋼等金屬類的材料，或者，PET或ABS等樹脂材料成型。另外，在圖示的例中，雖然是從上下夾持壓電振動板84、92的結(jié)構(gòu)，^旦也可以從左右將其夾住，還可以是上下的任意一方或左右的任意一方作為蓋子。接著，壓電振動板84，如圖5D所示，是4巴壓電元件87、88粘貼在由金屬板等構(gòu)成的振動板86的表面上的雙壓電晶片結(jié)構(gòu)，該壓電元件87是在壓電層87B的表面、背面形成了電極層87A、87C的結(jié)構(gòu)。壓電元件88也一樣，是在壓電層88B的表面、背面形成了電極層88A、88C的結(jié)構(gòu)。在上述振動板86的長邊的大致中央，形成有卡定在設(shè)置在上述下部外殼72的邊緣的承受部76上的，而且兼作該振動板86及上述電極層87A、88C的引出部的突部86A。在圖示的例中，該突部86A與上述振動板86—體地形成。另外，在壓電振動板84的大致中央，在與上述突部86A相對的長邊一側(cè)，間隔著PET等絕緣膜89地設(shè)有銅或碳等的導(dǎo)電帶90。該絕緣膜89和導(dǎo)電帶90安裝得從上下夾住壓電振動板84的邊緣且使重疊部分伸出。該伸出的突部91卡定在上述下部外殼72的承受部76,而且成為壓電元件88的上部電才及層88A和壓電元件87的下部電極層87C的引出部。將這樣構(gòu)成的壓電振動板84從下部外殼72的上方取下，以使得上述突部86A、91嵌合在上述承受部76上，就能以預(yù)先設(shè)定的高度位置將壓電振動板84大致平行地固定在下部外殼71內(nèi)。另一方的壓電振動板92也一樣，如圖5C所示，是壓電元件95、96被粘貼在振動板94上的雙壓電晶片結(jié)構(gòu)，在上述振動板94上形成突部94A,在其相對的長邊一側(cè)，夾持上述壓電元件96地設(shè)置有絕緣膜97、導(dǎo)電帶98。這些帶的伸出的突部99兼作對上部外殼78的位置對準和電極引出部。即，突部94A成為振動板94、壓電元件96的下部電極層96C、壓電元件95的上部電極層95A的引出部，突部99作為壓電元件96的上部電極層96A、壓電元件95的下部電14極層95C的引出部而起作用。從這樣的壓電振動板92的上方將上部外殼78取下，將承受部82嵌合在上述突部94A、99,就能容易地進行位置對準。接著，說明配置在上述壓電振動板84及92之間的支承桿100。支承桿100是剖面大致為長方形的棒狀體，在本體102的兩端設(shè)有與上述壓電振動板84、92的各電極層進行電連接用的連接端子104A、104B。上述連接端子104A、104B，例如通過涂敷銀或銅等導(dǎo)電性翻合劑等形成。另外，使用在磷青銅上鍍了金等的彈簧，來代替支承桿100,通過該彈簧的接觸等，也能進行壓電振動板84、92之間的電連接。即，如果將壓電振動板84、支承桿100、壓電振動板92疊合，則上述壓電振動板84、92的突部86A、94A與支承桿100的連接端子104A電連接，通過將另一方的突部91、99連接在連接端子104B上，也能進行兩面的壓電元件86、92的電極的導(dǎo)通。以上構(gòu)成的各部，如圖6所示，將壓電振動板84嵌入預(yù)先內(nèi)置了支柱74的下部外殼72中，通過上述支承桿100,將壓電振動板92裝在它上面，另外，從其上方將內(nèi)置了支柱80的上部外殼78疊合起來，以使得承受部82嵌合在突部94A、99上，能容易地進行位置對準。另外，從在下部外殼72的承受部76和上部外殼78的承受部82的對接位置上形成的窗106，露出連接端子104B、突部91、99,從相反一側(cè)的窗107同樣露出連接端子104A、突部86A、94A,將引線等連接在它們上面，從而能將驅(qū)動用的電信號施加在壓電振動板84、92上。最后，在將外殼71密封后，例如利用注射器等，將粘性液體108封入該外殼71內(nèi)。作為該粘性液體108，如果是不會阻礙電信號引起的壓電振動板84、92的振動的液體，則什么樣的液體都可以，例如，能利用硅油等。另外，如果是滿足上述條件者，則不限于粘性液體，也可以封入凝膠狀的低黏度材料或凍膠狀物體。這樣，根據(jù)本實施例，能獲得下述的效果。()由于將設(shè)置了兼作位置對準和電極引出的突部86A、91、94A、99的壓電振動板84、92安裝在內(nèi)置了支柱74、80的外殼71中，所以安裝容易，能容易地進行壓電振動板84、92的位置對準。另外，由于用設(shè)置了連接端子104A、104B的支承桿100支承上述壓電振動板84、92之間，所以，從電連接這一點來i兌，安裝也變得答易了。(2)由于外殼結(jié)構(gòu)，容易操作，不需要考慮壓電振動板84、92的露出對安裝環(huán)境的影響。另外，由于是用外殼71進行的封裝結(jié)構(gòu)，所以，壓電振動板84、92不會從支柱74、80脫落，進而使安裝容易進行，還能期待降低成本。(3)由于將粘性液體108封入外殼71內(nèi)，所以，即使過度的應(yīng)力施加在壓電振動板84、92上，通過抑制壓電振動板84、92的急劇的變形加速，也能防止振動板彎曲、壓電體破裂等，能提高耐沖擊性。進而，由于耐沖擊性的提高，所以在要求耐沖擊性的便攜式裝置中也能采用。接著，參照圖7，說明本發(fā)明的實施例5。本實施例與上述的實施例4相同，是壓電振動板被封裝在外殼內(nèi)的結(jié)構(gòu)。圖7是表示本實施例的結(jié)構(gòu)的主要剖面圖。另外，對與上述的實施例4相同或?qū)?yīng)的結(jié)構(gòu)要素使用同一標號。如圖7所示，本實施例的壓電振動裝置120，在內(nèi)置了支承壓電振動板84、92的支柱74、80的外殼71的底面和上面，設(shè)有由彈性材料構(gòu)成的斜面122A、122B、124A、124B。另外，在設(shè)置了電連接端子104的支承桿100的側(cè)面上，也設(shè)有斜面126A、126B。即，在壓電振動板84、92和外殼71之間、壓電振動板84、92彼此之間設(shè)有斜面。這些斜面122A126A、122B126B，為了不遮擋壓電振動板84、92的必要的振動，其厚度從中心向外側(cè)變薄。通過設(shè)置這樣的斜面，能提高耐沖擊性。另外，這些斜面的長度在緩和沖擊和不阻礙電信號引起的振動的范圍內(nèi)任意設(shè)定。另外，如果不會阻礙電信號引起的壓電振動板84、92振動，則這些斜面也可以與壓電振動板84、92接觸。本實施例的安裝方法.電極引出結(jié)構(gòu)等與上述的實施例相同。這樣，根據(jù)本實施例，由于設(shè)置了斜面122A126A、122B126B，所以能抑制壓電振動板84、92的局部的過度的變形，能獲得與上述的實施例4同樣的效果。另外，通過用例如PET、ABS等樹脂材料或發(fā)泡性橡膠等彈性材料形成上述斜面122A126A、122B126B,能進一步提高耐沖擊性。接著，參照圖8，說明本發(fā)明的實施例6。圖8是表示本實施例的結(jié)構(gòu)的主要剖面圖。在上述實施例5中，在外殼71內(nèi)與支柱分體地設(shè)置斜面。但是，本實施例的壓電振動裝置130是斜面兼作支柱的例。如圖8所示，在下部外殼72的底面上形成有中央最厚的曲面形狀的斜面132。該斜面132相當于上述實施例中的支柱74和斜面122A、122B。另外，在上部外殼78的上面，設(shè)置有同樣的曲面狀的斜面134，另外，在支承桿IOO的側(cè)面上設(shè)置有曲面狀的斜面136A、136B。這些斜面132、134、136A、136B的形狀'大小，按照與上述的實施例5同樣的基準進行設(shè)定，材料也使用同樣的材料。另夕卜，本實施例的作用效果與上述的實施例相同。另外，本發(fā)明不限于上述的實施例，在不脫離本發(fā)明的要旨的范圍內(nèi)，能進行各種變更。例如，包括以下的變更。(1)上述實施例所示的材料或形狀尺寸是一個例子，能進行設(shè)計變更，取得同樣的作用。壓電振動板的結(jié)構(gòu)也可以是單壓電晶片、雙壓電晶片的任意一種的結(jié)構(gòu)。另外，壓電元件本身也可以是壓電層和電極層交替層疊的層疊結(jié)構(gòu)，其層數(shù)、內(nèi)部電極的連接圖形、引出結(jié)構(gòu)等也可以根據(jù)需要，適當?shù)刈兏Ａ硗?，在上述實施方式中，使用了兩個壓電振動板，但也可以使用更多的壓電振動板，也可以是只包括一個壓電振動板的結(jié)構(gòu)，可以根據(jù)情況，適當?shù)卦鰷p其個數(shù)。另外，也可以將上述實施例組合起來。例如，將實施例4所示的粘性液體填充在實施例5或?qū)嵤├?的外殼內(nèi)。(2)上述實施例1所示的間隔件是一個例子，可以適當?shù)刈兏湫螤?，取得同樣的效果。例如，做成實施?、6所示的斜面形狀等。另外，在上述實施例l中，將間隔件設(shè)置在殼體12的主面或壓電振動板24上，但也可以適當?shù)刈兏湮恢?，取得同樣的效果。例如，在圖9A所示的壓電振動裝置140中，在殼體142的內(nèi)側(cè)底面144上，用支柱154將兩個壓電振動板156、158大致呈水平地支承。在殼體142的內(nèi)側(cè)側(cè)面148上，突起152A152C被設(shè)置在限制壓電振動板156、158的振幅的位置上，同樣的突起152D152F被設(shè)置在與上述側(cè)面148相對的側(cè)面150上。這些突起152A152F，用與上述的實施例1的間隔件32A、32B、34A、34B同樣的彈性材料構(gòu)成。即，在上述實施例1中，將間隔件設(shè)置在殼體12的底面或壓電振動板24上，但在本實施例中，將間隔件設(shè)置在殼體142的側(cè)面上，因此也能獲得與上述實施例同樣的效果。另外，可以如圖9B所示的壓電振動裝置160那樣，在殼體142的底面144上，設(shè)置由與上述的例中的突起152A152F同樣的材料構(gòu)成的支柱162、164，用設(shè)置在該支柱162、164的限制部162A、162B、164A、164B，來限制壓電振動板156、158的振幅。另外，在本例中，用相對配置的支柱162、164夾持壓電振動板156、158的兩端。但是，也可以如圖9C所示的壓電振動裝置170那樣，支柱162、164的限制部162A、162B、164A、164B的開放部分朝同一方向(在圖示的例中，朝向紙面的近前方)配置，限制壓電振動板156、158的振幅。(3)作為本發(fā)明的優(yōu)選應(yīng)用例，有便攜式電話、便攜式信息終端(PDA)、聲音記錄裝置、PC(個人計算機)等各種電子設(shè)備的揚聲器。此外也可以用于致動器等各種用途。根據(jù)本發(fā)明，由于壓電振動板的耐沖擊性得以提高，所以適于例如便攜式電話之類被施加因下落所導(dǎo)致的沖擊的設(shè)備。權(quán)利要求1.一種壓電振動裝置，把壓電振動板可振動地支承在殼體上，該壓電振動板由形成了電極的壓電元件構(gòu)成，其特征在于，具有支承機構(gòu)，設(shè)置在上述壓電振動板的大致中央部分，對上述壓電振動板進行支承以使其與上述殼體的一個主面大致平行；以及加速抑制機構(gòu)，填充在上述壓電振動板和上述主面之間的空間中，將上述壓電振動板的振動傳遞給上述主面。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電振動裝置，其特征在于設(shè)置有多個上述壓電振動板，由上述支承機構(gòu)支承而彼此大致平行；并且，上述加速抑制機構(gòu)填充在上述多個壓電振動板之間的空間中。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電振動裝置，其特征在于上述加速限制機構(gòu)是楊氏模量小于或等于200MPa且泊松比大于或等于0.45的彈性材料。全文摘要本發(fā)明提供一種耐沖擊性好、可靠性高的壓電振動裝置。在殼體(12)的主面上，壓電振動板(16、24)的中心由支柱(14A、14B)支承，并與上述殼體(12)的主面大致平行。在上述壓電振動板(24)的兩端側(cè)設(shè)有楊氏模量小于或等于2GPa的間隔件(34A、34B)，防止因壓電振動板(16)和壓電振動板(24)的接觸引起的破損。另外，在殼體(12)的主面上，在與上述間隔件(34A、34B)對應(yīng)的位置設(shè)有另外的間隔件(32A、32B)，防止因與殼體(12)的主面的接觸引起的壓電振動板(24)的破損。這樣，通過限制壓電振動板(16、24)的振幅，即使在被施加了沖擊時，也能防止壓電振動板(16、24)的破裂或彎曲，耐沖擊性提高。文檔編號B06B1/06GK101656905SQ20091017307公開日2010年2月24日申請日期2004年6月15日優(yōu)先權(quán)日2003年7月24日發(fā)明者伊藤文久,指田則和,渡部嘉幸,石井茂雄申請人:太陽誘電株式會社