專(zhuān)利名稱(chēng)：一種可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及晶體生長(zhǎng)熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，特別是一種可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板。
背景技術(shù)：
在晶體生長(zhǎng)中，溫度梯度的控制十分重要；控制坩堝中固液界面的溫度梯度更是 生長(zhǎng)出優(yōu)質(zhì)晶體材料的關(guān)鍵。不同的晶體材料不同的生長(zhǎng)方法，對(duì)固液界面的要求不同；固 液界面的梯度成為生長(zhǎng)出優(yōu)質(zhì)晶體的關(guān)鍵技術(shù)，傳統(tǒng)等厚開(kāi)孔的坩堝蓋板設(shè)計(jì)不能提供合 適的溫場(chǎng)(參見(jiàn)圖l和圖2)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種通過(guò)改變坩堝蓋板來(lái)調(diào)節(jié)固液界面的梯 度，并得到晶體生長(zhǎng)所需要的高溫和溫度分布，從而提高了晶體尺寸和質(zhì)量的一種可以調(diào) 節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板。 本發(fā)明所解決的技術(shù)問(wèn)題采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn) —種可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，主要用于晶體生長(zhǎng)用坩堝上的坩堝 蓋板，其特征在于所述坩堝蓋板內(nèi)壁在沿中心點(diǎn)處向外延伸，每個(gè)同心圓環(huán)的圓環(huán)面制有 不同的厚度。 所述坩堝蓋板的材料是高熔點(diǎn)金屬或合金，或者是高熔點(diǎn)陶瓷，或者是石墨材料， 或者是以上材料中任意的組合。 所述中心點(diǎn)到邊緣之間連線除等厚外，呈線性、非線性、球面、非球面、橢圓、波浪形。 本發(fā)明的有益效果是將坩堝蓋板內(nèi)側(cè)面制成非等厚，改變了熱輻射、熱對(duì)流和熱 傳導(dǎo)，使得固液界面的溫度分布到達(dá)工藝的要求，提高了晶體的尺寸和質(zhì)量。


圖1是傳統(tǒng)坩堝和坩堝蓋板結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是圖1的俯視圖； 圖3是本發(fā)明坩堝蓋板一種實(shí)施例示意圖； 圖4是圖3的俯視圖； 圖5是本發(fā)明坩堝蓋板另一種實(shí)施例示意圖； 圖6是圖5的俯視圖。
具體實(shí)施例方式
為了使本發(fā)明實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié) 合具體圖示，進(jìn)一步闡述本發(fā)明。
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如圖3、4所示，結(jié)合圖l可知，一種可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，主要 用于晶體生長(zhǎng)用坩堝1上的坩堝蓋板2，坩堝蓋板2由高熔點(diǎn)金屬或合金，或者是高熔點(diǎn)陶 瓷，或者是石墨材料，或者是以上材料中任意的組合制成。在沿坩堝蓋板2內(nèi)壁的中心點(diǎn)處 向外延伸，每個(gè)同心圓環(huán)的圓環(huán)面制有不同的厚度，形成階梯狀21的臺(tái)面。
如圖5、6所示，在沿坩堝蓋板2內(nèi)壁的中心點(diǎn)處向外延伸，同心圓環(huán)的圓環(huán)面制有 不同的厚度，形成直線性22的臺(tái)面。 以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理和主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù) 人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述的只是說(shuō)明本 發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變 化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)及其 等效物界定。
權(quán)利要求
一種可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，主要用于晶體生長(zhǎng)用坩堝上的坩堝蓋板，其特征在于所述坩堝蓋板內(nèi)壁在沿中心點(diǎn)處向外延伸，每個(gè)同心圓環(huán)的圓環(huán)面制有不同的厚度。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，其特征在于所述坩 堝蓋板的材料是高熔點(diǎn)金屬或合金，或者是高熔點(diǎn)陶瓷，或者是石墨材料，或者是以上材料 中任意的組合。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，其特征在于所述中 心點(diǎn)到邊緣之間連線呈線性、非線性、球面、非球面、橢圓、波浪形。
全文摘要
一種可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，涉及晶體生長(zhǎng)熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，主要用于晶體生長(zhǎng)用坩堝上的坩堝蓋板，其特征在于所述坩堝蓋板內(nèi)壁在沿中心點(diǎn)處向外延伸，每個(gè)同心圓環(huán)的圓環(huán)面制有不同的厚度。有益效果是將坩堝蓋板內(nèi)側(cè)面制成非等厚，改變了熱輻射、熱對(duì)流和熱傳導(dǎo)，使得固液界面的溫度分布到達(dá)工藝的要求，提高了晶體的尺寸和質(zhì)量。
文檔編號(hào)C30B15/00GK101760783SQ20091019635
公開(kāi)日2010年6月30日 申請(qǐng)日期2009年9月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月25日
發(fā)明者黃小衛(wèi) 申請(qǐng)人:上海元亮光電科技有限公司