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      電極閉合機(jī)構(gòu)的制作方法

      文檔序號(hào):8204704閱讀:182來源:國(guó)知局
      專利名稱:電極閉合機(jī)構(gòu)的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型特別涉及一種用于制造石英坩堝的柑堝制造 機(jī)中使用的電極閉合機(jī)構(gòu)。
      背景技術(shù)
      石英坩堝是用高純石英砂經(jīng)過高溫融化形成的一種玻璃 態(tài)器皿,在生產(chǎn)單晶硅的過程中是不可替代的容器。坩堝制 造機(jī)用于制造石英坩堝,是由加熱電源、升降機(jī)、往復(fù)傾動(dòng) 臺(tái)三大機(jī)構(gòu)組成,其中升降機(jī)是由升降機(jī)構(gòu)和電極閉合機(jī)構(gòu) 構(gòu)成。現(xiàn)有的電極閉合機(jī)構(gòu)是由主電機(jī)、直線往復(fù)機(jī)構(gòu)、連 桿、連接夾套和電極組件構(gòu)成,電極組件是由銅電極、石墨 連接件和石墨電極構(gòu)成,直線往復(fù)機(jī)構(gòu)通過連桿連接三個(gè)沿 圓周方向均布的連接夾套,連接夾套用于固定銅電極。工作 時(shí)主電機(jī)帶動(dòng)直線往復(fù)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng),通過連桿改變連接夾套的 角度使三根石墨電極能同時(shí)打開或閉合,在通電時(shí)發(fā)出高溫 電弧光熔化石英砂。這種電極閉合機(jī)構(gòu)存在的缺陷是1、石 墨電極只能做徑向張緊動(dòng)作,不能做軸向運(yùn)動(dòng),三個(gè)電極的
      極限夾角為13度,當(dāng)電極燃燒到還剩150mm時(shí)便不能再燃 燒,只好扔掉,造成浪費(fèi);2、同時(shí)由于夾角較小,電極頭在 燃燒中容易產(chǎn)生鴨嘴現(xiàn)象,影響坩堝的質(zhì)量;3、三個(gè)電極在
      3工作時(shí)由于燃燒不平衡,造成長(zhǎng)短不一,而單根電極軸向不 能夠調(diào)整,這時(shí)必須停下來做人工調(diào)整,費(fèi)工費(fèi)時(shí),影響產(chǎn)
      發(fā)明內(nèi)容
      本實(shí)用新型的目的是要解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題, 提供一種電極閉合機(jī)構(gòu),該電極閉合機(jī)構(gòu)能對(duì)單根電極進(jìn)行 調(diào)整,當(dāng)三根電極燃燒長(zhǎng)短不一致時(shí)可補(bǔ)償?shù)揭恢拢瑥亩?高電極的使用長(zhǎng)度,節(jié)約成本,并可提高坩堝的質(zhì)量和產(chǎn)量。
      本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的它包括機(jī)架和主電機(jī),在主 電機(jī)輸出軸端連接有直線往復(fù)機(jī)構(gòu),在直線往復(fù)機(jī)構(gòu)上通過 連桿鉸接有三個(gè)連接夾套,在連接夾套上分別設(shè)有電極組件, 其特殊之處是在連接夾套和電極組件之間設(shè)有縱向進(jìn)給裝 置,所述的電極組件與縱向進(jìn)給裝置連接并可縱向移動(dòng)。
      上述的電極閉合機(jī)構(gòu),所述的縱向進(jìn)給裝置是由固定在 連接夾套上的殼體、設(shè)在殼體上端的驅(qū)動(dòng)電機(jī)、設(shè)在殼體內(nèi) 并與驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接的縱向進(jìn)給絲杠、與絲杠連接的螺母和與 螺母固接的滑套構(gòu)成,所述的電機(jī)組件與滑套連接。
      本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是
      1、在熔制過程中石墨電極沿徑向和軸向能同時(shí)移動(dòng),直 到電極燃燒至最短,從而實(shí)現(xiàn)電極的補(bǔ)償,電極燃燒由原來 的剩余150 mm長(zhǎng)降低到剩余50 mm,每組電極增加燃燒長(zhǎng) 度100mm,每臺(tái)爐每一班就可以多生產(chǎn)#20〃的坩堝3 4只。每一年能夠多生產(chǎn)2178只,提高了坩堝的產(chǎn)量并降低了 生產(chǎn)成本。
      2、當(dāng)三根電極燃燒長(zhǎng)短不一致時(shí)通過單根電極的軸向進(jìn) 給可補(bǔ)償?shù)揭恢?,不?huì)產(chǎn)生鴨嘴現(xiàn)象,熱效率高,提高了坩 堝的質(zhì)量;而且無需人工調(diào)整,省工省時(shí)。

      圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖2是縱向進(jìn)給裝置的剖視圖。
      圖中機(jī)架l,主電機(jī)2,連接套3,滾珠絲杠4,絲母5, 傳動(dòng)盤6,縱向進(jìn)給裝置7,連接夾套8,銅電極9,連接件 10,石墨電極ll,連桿12,支座13,殼體14,電機(jī)座15, 驅(qū)動(dòng)電機(jī)16,連接套17,縱向進(jìn)給絲杠18,螺母19,限位 頂絲20,滑套21,限位滑道2101。
      具體實(shí)施方式

      如圖所示,本實(shí)用新型有一個(gè)機(jī)架l,在機(jī)架l上部固定 有主電機(jī)2,在主電機(jī)2的輸出軸端連接有直線往復(fù)機(jī)構(gòu),直 線往復(fù)機(jī)構(gòu)是由與主電機(jī)2輸出軸通過連接套3鍵連接的滾珠 絲杠4、設(shè)在滾珠絲杠4上的絲母5和通過螺栓固定在絲母5上 的傳動(dòng)盤6構(gòu)成,所述的滾珠絲杠4通過軸承安裝在支座13上, 支座13通過螺栓固定在機(jī)架1上。在傳動(dòng)盤6上分別通過連桿 12連接有三個(gè)連接夾套8,連桿12與傳動(dòng)盤6和連接夾套8分別 鉸接,連接夾套8沿圓周方向均布,在每個(gè)連接夾套8上分別固定有縱向進(jìn)給裝置7。所述的縱向進(jìn)給裝置7是由通過螺栓 夾持固定在連接夾套8上的殼體14,通過螺栓固定在殼體14 上端的電機(jī)座15和驅(qū)動(dòng)電機(jī)16,通過軸承安裝在殼體14內(nèi)并 與驅(qū)動(dòng)電機(jī)16輸出軸連接的縱向進(jìn)給絲杠18 ,設(shè)在縱向進(jìn)給 絲杠18上的螺母19、與螺母19通過螺釘連接的滑套21構(gòu)成。 所述的縱向進(jìn)給絲杠18上端與驅(qū)動(dòng)電機(jī)16輸出軸通過連接套 17和螺栓固接,滑套21與殼體14內(nèi)孔間隙配合,在殼體14上 設(shè)有限位頂絲20,在滑套21外壁沿其軸向設(shè)有限位滑道2101, 所述的限位頂絲20插入限位滑道2101內(nèi),從而實(shí)現(xiàn)直線往復(fù) 機(jī)構(gòu)的縱向往復(fù)移動(dòng)。在滑套21下端通過螺紋連接有電極組 件,電極組件由上至下依次由銅電極9、連接件10和石墨電極 ll通過螺紋連接而成。
      工作時(shí)通過主電機(jī)2帶動(dòng)滾珠絲杠4旋轉(zhuǎn)來改變絲母5的 位置,絲母5通過傳動(dòng)盤6、連桿12改變連接夾套8的角度使三 根石墨電極ll能同時(shí)打開或閉合,在通電時(shí)發(fā)出高溫電弧光 熔化石英砂。通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)16旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)縱向進(jìn)給裝置7的螺母 19和滑套21動(dòng)作,來推動(dòng)電極組件軸向進(jìn)給,從而實(shí)現(xiàn)單根 石墨電極的補(bǔ)償。
      權(quán)利要求1、一種電極閉合機(jī)構(gòu),包括機(jī)架和主電機(jī),在主電機(jī)輸出軸端連接有直線往復(fù)機(jī)構(gòu),在直線往復(fù)機(jī)構(gòu)上通過連桿鉸接有三個(gè)連接夾套,在連接夾套上分別設(shè)有電極組件,其特征是在連接夾套和電極組件之間設(shè)有縱向進(jìn)給裝置,所述的電極組件與縱向進(jìn)給裝置連接并可縱向移動(dòng)。
      2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極閉合機(jī)構(gòu),其特征是-所述的縱向進(jìn)給裝置是由固定在連接夾套上的殼體、設(shè)在殼 體上端的驅(qū)動(dòng)電機(jī)、設(shè)在殼體內(nèi)并與驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接的縱向進(jìn) 給絲杠、與絲杠連接的螺母和與螺母固接的滑套構(gòu)成,所述 的電機(jī)組件與滑套連接。
      專利摘要一種電極閉合機(jī)構(gòu),它包括機(jī)架和主電機(jī),在主電機(jī)輸出軸端連接有直線往復(fù)機(jī)構(gòu),在直線往復(fù)機(jī)構(gòu)上通過連桿餃接有三個(gè)連接夾套,在連接夾套上分別設(shè)有電極組件,其特殊之處是在連接夾套和電極組件之間設(shè)有縱向送給裝置,所述的電極組件與縱向送給裝置連接并可縱向移動(dòng)。優(yōu)點(diǎn)是石墨電極沿徑向和軸向能同時(shí)移動(dòng),直到電極燃燒至最短,提高了坩堝的產(chǎn)量并降低了生產(chǎn)成本;當(dāng)三根電極燃燒長(zhǎng)短不一致時(shí)通過單根電極的軸向進(jìn)給,可將三根電極補(bǔ)償?shù)揭恢?,不?huì)產(chǎn)生鴨嘴現(xiàn)象,熱效率高,提高了坩堝的質(zhì)量;而且無需人工調(diào)整,省工省時(shí)。
      文檔編號(hào)C30B15/10GK201347406SQ20092001443
      公開日2009年11月18日 申請(qǐng)日期2009年6月5日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月5日
      發(fā)明者建 侯, 趙青山 申請(qǐng)人:錦州佑鑫電子材料有限公司
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