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      一種單晶爐傳動部件的制作方法

      文檔序號:8205678閱讀:397來源:國知局
      專利名稱:一種單晶爐傳動部件的制作方法
      技術領域
      本實用新型涉及一種單晶爐傳動部件。
      背景技術
      單晶爐是單晶體的生長設備,其最重要的部分即是機械傳動部分。目前較常用的 則是提拉法單晶爐,對于其傳動部分中坩堝桿的旋轉的穩(wěn)定性、精度要求較高,而單晶體被 提拉的過程中會產(chǎn)生一些氧化物或雜質,這些氧化物、雜質如不進行清理,或者采取某種措 施,很容易堵塞坩堝桿與其外圍配合件之間的縫隙,甚至進入坩堝桿的主要傳動配件如軸 承的縫隙,從而影響坩堝桿的旋轉精度。

      實用新型內容為解決上述問題,本實用新型提供一種單晶爐傳動部件,可以盛接氧化物、雜質, 避免雜質對坩堝桿的轉動造成影響,且安裝拆卸方便。 本實用新型為實現(xiàn)上述目的所采用的技術方案為 —種單晶爐傳動部件,包括導軌、滑座、坩堝桿、坩堝桿支撐件、波紋管,所述滑座 安裝在導軌上,所述坩堝桿支撐件與滑座固定連接,且套裝固定在坩堝桿的外圓周表面,所 述波紋管底端與坩堝桿支撐件相連接,所述坩堝桿穿過波紋管內腔;還包括一敞口渣斗箱, 所述坩堝桿縱向穿過渣斗箱,所述渣斗箱置于坩堝桿的階梯面上。 為使得渣斗箱定位可靠,所述渣斗箱位于坩堝桿與波紋管徑向之間,且其上表面 頂在波紋管的內壁凸沿上。 上述傳動部件的坩堝桿在不同驅動裝置作用下可同時進行繞軸線轉動和上下移 動,其帶動渣斗箱一起旋轉和移動,則單晶體在被提拉過程中產(chǎn)生的一些氧化物或雜質,掉 進渣斗箱,且渣斗箱可做定期清理,以免雜質影響坩堝桿的旋轉精度。坩堝桿支撐件包括一 壓圈、支撐套,壓圈與支撐套通過連接件固定連接,壓圈內壁的凸環(huán)與波紋管底端外壁的凸 緣相扣,波紋管底面與支撐套上表面接觸,在坩堝桿上下移動的過程中,波紋管被壓縮或拉 伸。 本實用新型的一種單晶爐傳動部件,其設置的渣斗箱可以暫時盛接氧化物、雜質, 避免雜質對坩堝桿的轉動造成影響,且雜質可定期處理,渣斗箱安裝拆卸方便。

      圖1為本實用新型的結構示意圖。 圖2為本實用新型A的結構放大示意圖。 圖中1-導軌,2-滑座,3-坩堝桿,3-1-階梯面,4-波紋管,4-1-凸緣,4-2-內壁 凸沿,5-渣斗箱,6-壓圈,6-1-凸環(huán),7-支撐套。
      具體實施方式
      以下結合附圖與實施例對本實用新型做進一步說明。 —種單晶爐傳動部件,如圖1、圖2所示,包括導軌1、滑座2、坩堝桿3、坩堝桿支撐 件、波紋管4、渣斗箱5。 滑座2安裝在導軌1上;坩堝桿支撐件包括一壓圈6、支撐套7,壓圈6與支撐套7 通過螺釘固定連接,壓圈6內壁的凸環(huán)6-1與波紋管4底端外壁的凸緣4-1相扣,波紋管4 底面與支撐套7上表面接觸;坩堝桿3穿過波紋管4,且穿過渣斗箱5,渣斗箱5置于坩堝桿 3的階梯面3-1上。渣斗箱5位于坩堝桿3與波紋管4之間,且其上表面頂在波紋管4的內 壁凸沿4-2上。 坩堝桿支撐件通過支撐套7與滑座2固定連接,且套裝固定在坩堝桿3的外圓周 表面。 坩堝桿3在不同驅動裝置作用下可同時進行繞軸線轉動和上下移動,帶動渣斗箱 5 —起旋轉和移動,單晶體在被提拉過程中產(chǎn)生一些氧化物或雜質,掉進渣斗箱5。 渣斗箱5進行定期清理,清理時,擰開固定壓圈6與支撐套7之間的螺釘,移走壓 圈6與波紋管4即可拆卸掉渣斗箱5。 本實用新型設置一渣斗箱,可暫時盛接氧化物、雜質,避免雜質對坩堝桿的轉動造 成影響,且雜質可定期處理。
      權利要求一種單晶爐傳動部件,包括導軌、滑座、坩堝桿、坩堝桿支撐件、波紋管,所述滑座安裝在導軌上,所述坩堝桿支撐件與滑座固定連接,且套裝固定在坩堝桿的外圓周表面,所述波紋管底端與坩堝桿支撐件相連接,所述坩堝桿穿過波紋管內腔,其特征在于還包括一敞口渣斗箱,所述坩堝桿縱向穿過渣斗箱,所述渣斗箱置于坩堝桿的階梯面上。
      2. 根據(jù)權利要求1所述的單晶爐傳動部件,其特征在于所述渣斗箱位于坩堝桿與波 紋管徑向之間,且其上表面頂在波紋管的內壁凸沿上。
      專利摘要本實用新型涉及一種單晶爐傳動部件,包括導軌、滑座、坩堝桿、坩堝桿支撐件、波紋管,所述滑座安裝在導軌上,所述坩堝桿支撐件與滑座固定連接,且套裝固定在坩堝桿的外圓周表面,所述波紋管底端與坩堝桿支撐件相連接,所述坩堝桿穿過波紋管內腔;還包括一敞口渣斗箱,所述坩堝桿縱向穿過渣斗箱,所述渣斗箱置于坩堝桿的階梯面上。本實用新型可以暫時盛接氧化物、雜質,避免雜質對坩堝桿的轉動造成影響,且雜質可定期處理,渣斗箱安裝拆卸方便。
      文檔編號C30B15/30GK201459277SQ20092004775
      公開日2010年5月12日 申請日期2009年7月22日 優(yōu)先權日2009年7月22日
      發(fā)明者尤志鋒, 張升平 申請人:常州市祺科機械制造有限公司
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