專利名稱：制備太陽電池的石英爐管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于一種高溫耐火產(chǎn)品技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種在制備太陽電 池過程中使用的石英爐管。
背景技術(shù)：
太陽電池在制備過程中必須通過摻雜形成PN結(jié)，通常有雜質(zhì)擴散、離子 注入等方式，雜質(zhì)擴散是最常用的PN結(jié)制備方法。在太陽電池制造行業(yè)，雜 質(zhì)擴散工藝通常采用國產(chǎn)化設(shè)備，使用直徑150 — 300mm不等的石英爐管在爐 膛尾部收尾的方式接入各種工藝氣體，通入的氣體從爐膛尾部通向爐膛口， 在爐管尾部的擴散氣氛相對于爐管口處要重一些，在橫向上摻雜氛圍濃度存 在不均勻分布，因此影響到雜質(zhì)擴散效果的均勻性。另外，由于推舟機構(gòu)速 度較慢，靠近爐尾處的硅片在高溫下的時間相對爐口處的硅片時間要長，引 起爐尾處硅片的擴散程度濃度高，也引起了批次間的不均勻性，直接對太陽 能電池光電轉(zhuǎn)換效率有影響，因此造成產(chǎn)品擴散均勻性差，制造成本高，使 用壽命短等問題。
實用新型內(nèi)容
本實用新型要解決的問題是在制備太陽電池的過程中提高雜質(zhì)擴散均勻 性，本實用新型為解決問題提出一種制備太陽電池的石英爐管，該石英爐管 是將通常使用的封口式石英爐管改造為兩端開口的形式，其通過開口處安裝 兩根細(xì)長的小石英氣管固定在爐管內(nèi)壁上，所述的小石英氣管上設(shè)有均勻分布的氣孔，工藝氣體通過石英爐管尾部開口處的進(jìn)氣口進(jìn)入爐管，由于氣管 內(nèi)各處的氣壓不同，小石英氣管上的氣孔分布從爐管開始逐漸由小變大、由 疏變密，形成不均勻分布來保證爐管內(nèi)氣氛均勻
由于采用本實用新型，其解決了制備太陽電池擴散過程中批次間氣流不 均引起方塊電阻不均勻的問題，并且降低氣體消耗量，提高了電池轉(zhuǎn)換效率 的穩(wěn)定性，極大的降低了制造成本，提高產(chǎn)品壽命。


圖1是石英爐管的結(jié)構(gòu)示意圖
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步說明
如圖1所示，是石英爐管的結(jié)構(gòu)示意圖，由兩端開口的石英爐管1、小石
英氣管2組成，所述的石英爐管為高純度的石英玻璃制體，其開口處的一端 設(shè)有兩個安裝小石英氣管的通孔，由于石英爐管1尾部不再封口而采用兩端 開口的形式，其開口處可以將兩根細(xì)長的小石英氣管2固定安裝在爐管內(nèi)壁 上，并且在小石英氣管2上設(shè)有均勻分布的氣孔，工藝氣體通過石英爐管1 的尾部進(jìn)入氣腔，在當(dāng)工藝氣體攜源氮氣量設(shè)置為1600 3500ml/min,氧氣 量1200 3000ml/min時，由于爐管內(nèi)各處的氣壓不同，迫使小石英氣管2上 的氣孔分布從石英爐管開始逐漸由小變大、由疏變密，形成不均勻分布來保 證石英爐管內(nèi)氣氛均勻擴散，經(jīng)實驗產(chǎn)品硅片中間和四角共5點處的方塊電阻，得到方阻為49 51，均勻性達(dá)到2%，優(yōu)于傳統(tǒng)的尾部進(jìn)氣擴散方式,
權(quán)利要求1、制備太陽電池的石英爐管，其特征在于，石英爐管[1]為兩端開口的高純度石英玻璃制體，其內(nèi)壁裝有兩根細(xì)長的小石英氣管[2]；所述小石英氣管[2]上設(shè)有均勻分布的氣孔，工藝氣體通過均勻分布的氣孔進(jìn)入氣腔。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備太陽電池的石英爐管，其特征在于，小石 英爐管[2]的尾部與尾部密封連接。
專利摘要本實用新型公開了一種制備太陽電池的石英爐管，該石英爐管是將通常使用的封口式石英爐管改造為兩端開口的形式，其通過開口處安裝兩根細(xì)長的小石英氣管固定在爐管內(nèi)壁上，通過小石英氣管上設(shè)置均勻分布的氣孔，保證爐管內(nèi)氣氛均勻，解決了制備太陽電池擴散過程中批次間氣流不均引起方塊電阻不均勻的問題，并且降低氣體消耗量，提高了電池轉(zhuǎn)換效率的穩(wěn)定性，極大的降低了制造成本，提高產(chǎn)品壽命。
文檔編號C30B31/16GK201381378SQ20092007083
公開日2010年1月13日 申請日期2009年4月21日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月21日
發(fā)明者李達(dá)非, 郭唯博 申請人:上海太陽能科技有限公司