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      單晶爐零壓報(bào)警裝置的制作方法

      文檔序號(hào):8207146閱讀:311來源:國(guó)知局
      專利名稱:?jiǎn)尉t零壓報(bào)警裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及一種報(bào)警裝置,尤其是一種單晶爐零壓報(bào)警裝置。
      背景技術(shù)
      目前在單晶硅設(shè)備領(lǐng)域里,CZ80及以前的晶體生長(zhǎng)設(shè)備,因?yàn)樵趩尉?生產(chǎn)需要有一個(gè)持續(xù)的加熱的過程,在生產(chǎn)時(shí)為了保證硅是液態(tài),爐內(nèi)就 要穩(wěn)定在1400'C左右的高溫。如果停止加熱在十分鐘硅就會(huì)凝固,而固態(tài) 的硅比液態(tài)的硅體積大百分之十,很快將石英坩堝脹壞,使其不能再繼續(xù) 生產(chǎn),造成損失。所以能夠在在最短的時(shí)間內(nèi)發(fā)現(xiàn)加熱停了就顯得尤為重 要。

      實(shí)用新型內(nèi)容
      為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,本實(shí)用新型提供了一種能夠及時(shí)感知 加熱電壓并在該電壓為零時(shí)即可報(bào)警的單晶爐零壓報(bào)警裝置。
      為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型的單晶爐零壓報(bào)警裝置,包括延時(shí)繼電 器及與延時(shí)繼電器信號(hào)輸出端相連的報(bào)警器,其特征在于該裝置還包括 電壓信號(hào)采樣;模塊、降壓電阻、穩(wěn)壓管及控制控制繼電器,所述的電壓信 號(hào)采樣模塊與單晶爐加熱電壓表并聯(lián),其信號(hào)輸出端經(jīng)降壓電阻、與降壓 電阻信號(hào)輸出端的穩(wěn)壓管與控制繼電器的信號(hào)輸入端相連,控制繼電器的 信號(hào)輸出端與延時(shí)繼電器的信號(hào)輸入端相連。
      此外,在延時(shí)繼電器與供電電源之間連接有復(fù)位開關(guān)。
      采用上述技術(shù)方案,能夠?qū)⒃瓉砩a(chǎn)過程中,由于相偏引起無(wú)加熱故 障不報(bào)警的現(xiàn)象克服。在第一時(shí)間讓操作者得知加熱停止,并使操作者可 以在第一時(shí)間處理和修復(fù)好設(shè)備,保證生產(chǎn)降低損失,避免晚發(fā)現(xiàn)而造成的單晶拉方、結(jié)晶提斷,悶爐。以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施方式
      對(duì)本實(shí)用新型作更進(jìn)一步詳細(xì)說明
      圖l是本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖;具體實(shí)施方式


      圖1所示可知,本實(shí)用新型的單晶爐零壓報(bào)警裝置,包括延時(shí)繼電 器1及與延時(shí)繼電器1信號(hào)輸出端相連的報(bào)警器2,電壓信號(hào)采樣模塊3、 降壓電阻4、穩(wěn)壓管5及控制繼電器6,所述的電壓信號(hào)采樣模塊3與單晶 爐加熱電壓表并聯(lián),其信號(hào)輸出端經(jīng)降壓電阻4、與降壓電阻4信號(hào)輸出端 的穩(wěn)壓管5與控制繼電器6的信號(hào)輸入端相連,控制繼電器6的信號(hào)輸出 端與延時(shí)繼電器1的信號(hào)輸入端相連。在延時(shí)繼電器1與供電電源7之間 連接有復(fù)位開關(guān)8。
      使用時(shí),裝置的電信號(hào)是與加熱電壓表并聯(lián)得到電信號(hào),經(jīng)過降壓電 阻4分壓后,在經(jīng)過穩(wěn)壓管5穩(wěn)壓得到相對(duì)穩(wěn)定電壓送到控制繼電器6,繼 電器6線圏通電后吸合,使繼電器6常閉端斷開,延時(shí)繼電器l常開端繼 續(xù)保持?jǐn)嚅_,報(bào)警器2也就不會(huì)得到電流不報(bào)警。相反如果加熱停止就沒 有了電流送到控制繼電器6,繼電器6停止吸合,控制繼電器6常閉端接通 使延時(shí)繼電器1通電,在經(jīng)過相應(yīng)延時(shí)后吸合,延時(shí)繼電器1的常開端閉 合,使報(bào)警器2通電報(bào)警??梢韵劝聪聫?fù)位開關(guān)8,暫時(shí)停止報(bào)警,待加熱 恢復(fù)正常后4艮警真正停止。
      權(quán)利要求1、一種單晶爐零壓報(bào)警裝置,包括延時(shí)繼電器(1)及與延時(shí)繼電器(1)信號(hào)輸出端相連的報(bào)警器(2),其特征在于該裝置還包括電壓信號(hào)采樣模塊(3)、降壓電阻(4)、穩(wěn)壓管(5)及控制繼電器(6),所述的電壓信號(hào)采樣模塊(3)與單晶爐加熱電壓表并聯(lián),其信號(hào)輸出端經(jīng)降壓電阻(4)、與降壓電阻(4)信號(hào)輸出端的穩(wěn)壓管(5)與控制繼電器(6)的信號(hào)輸入端相連,控制繼電器(6)的信號(hào)輸出端與延時(shí)繼電器(1)的信號(hào)輸入端相連。
      2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的單晶爐零壓報(bào)警裝置,其特征在于在延時(shí) 繼電器(1)與供電電源(7)之間連接有復(fù)位開關(guān)(8)。
      專利摘要本實(shí)用新型涉及一種報(bào)警裝置,尤其是一種單晶爐零壓報(bào)警裝置。該裝置包括延時(shí)繼電器(1)及與延時(shí)繼電器(1)信號(hào)輸出端相連的報(bào)警器(2),電壓信號(hào)采樣模塊(3)、降壓電阻(4)、穩(wěn)壓管(5)及控制控制繼電器(6),所述的電壓信號(hào)采樣模塊(3)與單晶爐加熱電壓表并聯(lián),其信號(hào)輸出端經(jīng)降壓電阻(4)、與降壓電阻(4)信號(hào)輸出端的穩(wěn)壓管(5)與控制繼電器(6)的信號(hào)輸入端相連,控制繼電器(6)的信號(hào)輸出端與延時(shí)繼電器(1)的信號(hào)輸入端相連。采用上述技術(shù)方案,克服了相偏引起無(wú)加熱故障。使操作者可以在第一時(shí)間處理和修復(fù)好設(shè)備,保證生產(chǎn)降低損失。避免晚發(fā)現(xiàn)而造成的單晶拉方、結(jié)晶提斷,悶爐。
      文檔編號(hào)C30B35/00GK201362756SQ200920101828
      公開日2009年12月16日 申請(qǐng)日期2009年3月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月10日
      發(fā)明者張?jiān)诖? 董朝海, 魯立寧 申請(qǐng)人:寧晉松宮電子材料有限公司
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