專利名稱：一種單晶爐限位裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種限位裝置，具體涉及一種單晶爐限位裝置。
背景技術(shù)：
單晶爐是單晶體的生長設(shè)備，目前較常用的則是提拉法單晶爐。 一般在單晶爐的 爐室和籽晶旋轉(zhuǎn)部件之間起過渡作用的過渡副室中設(shè)有限位機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)籽晶提拉的上限 位，以保護(hù)籽晶提拉裝置不受損害。目前多使用紅外限位裝置，該限位裝置雖然使得籽晶提 拉裝置定位精確，但其成本高，還有采用機(jī)械結(jié)構(gòu)的限位機(jī)構(gòu)，雖然該機(jī)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)定位精 確，且成本低，但缺少密封部件，外界雜質(zhì)容易侵染機(jī)構(gòu)內(nèi)部，且若外界空氣通過限位機(jī)構(gòu) 進(jìn)入爐室內(nèi)則會(huì)影響單晶爐爐室內(nèi)的真空度，進(jìn)而影響單晶體的提拉質(zhì)量。

實(shí)用新型內(nèi)容為解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種單晶爐限位裝置，該裝置能夠準(zhǔn)確限位單
晶爐籽晶提拉裝置，另外能夠有效防止雜質(zhì)進(jìn)入該裝置內(nèi)，保證其限位的精確度。 本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案為 —種單晶爐限位裝置，包括限位開關(guān)、限位支托、限位轉(zhuǎn)軸、傳導(dǎo)片、轉(zhuǎn)軸壓板、壓 輪、擺臂、彈簧；所述限位支托呈柱體結(jié)構(gòu)，且其內(nèi)部有圓柱形盲孔，其一端有一圈凸出外 沿，所述限位支托具有凸出外沿端通過連接件與單晶爐的爐壁固定連接；所述限位轉(zhuǎn)軸一 端沿限位支托徑向穿入限位支托內(nèi)，且在限位支托的圓柱形盲孔內(nèi)與傳導(dǎo)片的一端通過連 接件連接，另一端依次穿過轉(zhuǎn)軸壓板、壓輪；所述傳導(dǎo)片另一端為圓片，且其圓片面位于單 晶爐的主爐室軸心，且與主爐室軸線垂直；所述轉(zhuǎn)軸壓板通過連接件與限位支托連接，所述 壓輪通過連接件與限位轉(zhuǎn)軸固定；所述擺臂與壓輪固定連接；為防止擺臂在自然狀態(tài)下左 右擺動(dòng)，所述彈簧一端連接擺臂端部，另一端連接限位支托的凸出外沿；所述限位開關(guān)固定 于限位支托外表面，還包括密封圈，所述密封圈套于限位轉(zhuǎn)軸上，并嵌入限位支托壁內(nèi)一部 分，另一端與轉(zhuǎn)軸壓板內(nèi)側(cè)接觸。 為了有效防止外界空氣等雜質(zhì)通過限位裝置進(jìn)入爐室，所述密封圈與轉(zhuǎn)軸壓板內(nèi)
側(cè)接觸面上有一圈凹槽，所述凹槽的外壁為圓柱面，內(nèi)壁為斜面，所述凹槽內(nèi)壁靠近轉(zhuǎn)軸壓
板的端部有一圈向槽內(nèi)凸出的凸起，所述凹槽的大口端與轉(zhuǎn)軸壓板相對。 所述擺臂與壓輪焊接固定。 所述的連接件為螺釘。 該限位裝置的限位開關(guān)與電氣系統(tǒng)相連接，電氣系統(tǒng)控制單晶爐籽晶提拉部件的 驅(qū)動(dòng)裝置——電機(jī)的運(yùn)作，當(dāng)籽晶提拉部件提拉籽晶上升到極限位置時(shí)，提拉部件上的 定位塊碰到傳導(dǎo)片，從而使限位轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)壓輪(即帶動(dòng)擺臂)旋轉(zhuǎn)至一定位置，擺臂迫使限 位開關(guān)動(dòng)作，通過電氣系統(tǒng)控制，使電機(jī)關(guān)閉，進(jìn)而停止籽晶提拉部件的上升運(yùn)動(dòng)。 本實(shí)用新型一種單晶爐限位裝置，該裝置結(jié)構(gòu)簡單，成本較低，能夠準(zhǔn)確限位單晶 爐籽晶提拉部件，保護(hù)籽晶提拉部件不受損害；能夠有效防止空氣等雜質(zhì)從該裝置進(jìn)入爐室，保證其限位的精確度，也保證了籽晶提拉的精度。

圖1為本實(shí)用新型的主視圖。 圖2為本實(shí)用新型的右視截面圖。 圖3為本實(shí)用新型的仰視截面圖。 圖4為本實(shí)用新型安裝在單晶爐內(nèi)的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖中1-限位開關(guān)，2-限位支托，2-1_凸出外沿，2-2 4_傳導(dǎo)片，4-1-圓片，5-轉(zhuǎn)軸壓板，6-壓輪，7-擺臂，8-彈簧，9 壁，9-3-內(nèi)壁，9-4-凸起，10-螺釘，ll-爐壁，12-主爐室。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖與實(shí)施例對本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明。 如圖1至圖4所示，一種單晶爐限位裝置，包括限位開關(guān)1、限位支托2、限位轉(zhuǎn)軸 3、傳導(dǎo)片4、轉(zhuǎn)軸壓板5、壓輪6、擺臂7、彈簧8、密封圈9。 限位支托2具有凸出外沿2-1端通過螺釘10與單晶爐的爐壁11固定連接；限位 轉(zhuǎn)軸3 —端沿限位支托2徑向穿入限位支托2內(nèi)，在限位支托2的圓柱形盲孔2-2內(nèi)與傳 導(dǎo)片4的一端通過兩螺釘10連接，另一端依次穿過轉(zhuǎn)軸壓板5、壓輪6 ;傳導(dǎo)片4的另一端 為圓片4-1，該圓片4-1位于單晶爐的主爐室12軸心，且圓片面與主爐室12軸線垂直；轉(zhuǎn) 軸壓板5通過四個(gè)螺釘10與限位支托2連接，壓輪6通過螺釘10與限位轉(zhuǎn)軸3固定，擺臂 7與壓輪6焊接固定。 密封圈9套于限位轉(zhuǎn)軸3上， 一部分嵌入限位支托2壁內(nèi)，另一端與轉(zhuǎn)軸壓板5內(nèi) 側(cè)接觸。密封圈9與轉(zhuǎn)軸壓板5內(nèi)側(cè)接觸面上有一圈凹槽9-1，凹槽9-1的外壁9-2為圓柱 面，內(nèi)壁9-3為斜面，凹槽內(nèi)壁9-3靠近轉(zhuǎn)軸壓板5的端部有一圈向槽內(nèi)凸出的凸起9-4，凹 槽9-l的大口端與轉(zhuǎn)軸壓板5相對。 彈簧8 —端連接擺臂7端部，另一端連接限位支托2的凸出外沿2-1 ;限位開關(guān)1 固定于限位支托2外表面。 在籽晶提拉部件沒有上升到極限位置，即提拉部件上的定位塊沒有碰到傳導(dǎo)片4 時(shí)，傳導(dǎo)片4的圓片4-1處于水平，當(dāng)提拉籽晶上升到極限位置，定位塊碰到傳導(dǎo)片4時(shí)，傳 導(dǎo)片4轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)限位轉(zhuǎn)軸3、擺臂7轉(zhuǎn)動(dòng)，擺臂7克服彈簧8的彈力，壓下限位開關(guān)1按鈕，
迫使其動(dòng)作，通過電氣系統(tǒng)控制，關(guān)閉電機(jī)，停止籽晶提拉部件的上升運(yùn)動(dòng)。 本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，成本低，能夠有效防止外界空氣等雜質(zhì)從該裝置進(jìn)入爐室，
保證其限位的精確度，也保證了籽晶提拉的精度；能準(zhǔn)確限位單晶爐籽晶提拉部件，保護(hù)籽
晶提拉部件不受損害。
_圓柱形盲孔，3-限位轉(zhuǎn)軸， -密封圈，9-1-凹槽，9-2_外
權(quán)利要求一種單晶爐限位裝置，包括限位開關(guān)、限位支托、限位轉(zhuǎn)軸、傳導(dǎo)片、轉(zhuǎn)軸壓板、壓輪、擺臂、彈簧；所述限位支托呈柱體結(jié)構(gòu)，且其內(nèi)部有圓柱形盲孔，其一端有一圈凸出外沿，所述限位支托具有凸出外沿端通過連接件與單晶爐的爐壁固定連接；所述限位轉(zhuǎn)軸一端沿限位支托徑向穿入限位支托內(nèi)，且在限位支托的圓柱形盲孔內(nèi)與傳導(dǎo)片的一端通過連接件連接，另一端依次穿過轉(zhuǎn)軸壓板、壓輪；所述傳導(dǎo)片另一端為圓片，且其圓片面位于單晶爐的主爐室軸心，且與主爐室軸線垂直；所述轉(zhuǎn)軸壓板通過連接件與限位支托連接，所述壓輪通過連接件與限位轉(zhuǎn)軸固定；所述擺臂與壓輪固定連接，所述彈簧一端連接擺臂端部，另一端連接限位支托的凸出外沿；所述限位開關(guān)固定于限位支托外表面，其特征在于還包括密封圈，所述密封圈套于限位轉(zhuǎn)軸上，并嵌入限位支托壁內(nèi)一部分，另一端與轉(zhuǎn)軸壓板內(nèi)側(cè)接觸。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐限位裝置，其特征在于所述密封圈與轉(zhuǎn)軸壓板內(nèi)側(cè)接觸面上有一圈凹槽，所述凹槽的外壁為圓柱面，內(nèi)壁為斜面，所述凹槽內(nèi)壁靠近轉(zhuǎn)軸壓板的端部有一圈向槽內(nèi)凸出的凸起，所述凹槽的大口端與轉(zhuǎn)軸壓板相對。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐限位裝置，其特征在于所述擺臂與壓輪焊接固定。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐限位裝置，其特征在于所述的連接件為螺釘。
專利摘要本實(shí)用新型一種單晶爐限位裝置，包括限位開關(guān)、限位支托、限位轉(zhuǎn)軸、傳導(dǎo)片、轉(zhuǎn)軸壓板、壓輪、擺臂、彈簧；所述限位支托呈柱體結(jié)構(gòu)，且其內(nèi)部有圓柱形盲孔，其一端有一圈凸出外沿，所述限位支托具有凸出外沿端通過連接件與單晶爐的爐壁固定連接；所述限位開關(guān)固定于限位支托外表面，還包括密封圈，所述密封圈套于限位轉(zhuǎn)軸上，并嵌入限位支托壁內(nèi)一部分，另一端與轉(zhuǎn)軸壓板內(nèi)側(cè)接觸。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，成本較低，能夠準(zhǔn)確限位單晶爐籽晶提拉部件，保護(hù)籽晶提拉部件不受損害；能夠有效防止空氣等雜質(zhì)從該裝置進(jìn)入爐室，保證其限位的精確度，也保證了籽晶提拉的精度。
文檔編號C30B15/30GK201512604SQ20092023098
公開日2010年6月23日 申請日期2009年9月11日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月11日
發(fā)明者尤志鋒, 張升平 申請人:常州市祺科機(jī)械制造有限公司