專利名稱：有機(jī)電致發(fā)光顯示器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機(jī)EL(Electroluminescent :電致發(fā)光)顯示器的制造方法。特別涉及通過涂敷法(更具體而言噴墨法)形成有機(jī)發(fā)光層的有機(jī)EL顯示器的制造方法。
背景技術(shù)：
有機(jī)EL顯示器根據(jù)有機(jī)發(fā)光層的形成方法大致可分為以下兩種。 一種是通過蒸鍍形成有機(jī)發(fā)光層的方法，用于有機(jī)發(fā)光層由低分子有機(jī)材料構(gòu)成的情況。另一種是通過溶劑涂敷法形成有機(jī)發(fā)光層的方法，當(dāng)然可以用于有機(jī)發(fā)光層為低分子有機(jī)材料的情況，但多用于有機(jī)發(fā)光層由高分子有機(jī)材料構(gòu)成的情況。 作為通過溶劑涂敷法形成有機(jī)發(fā)光層的一種代表性的方法有下述方法，S卩，使用噴墨裝置將含有有機(jī)發(fā)光材料的墨的液滴滴入顯示器基板的像素區(qū)域，形成有機(jī)發(fā)光層(參照專利文獻(xiàn)1)。在所滴出的液滴中包含有機(jī)發(fā)光材料和溶劑。 噴墨裝置包括具有兩個(gè)以上的噴嘴的噴墨頭，并控制噴墨頭的噴嘴與顯示器基板的位置關(guān)系，同時(shí)從噴嘴滴出墨。已知從噴墨頭所具有的噴嘴滴出的液滴的大小存在偏差(參照專利文獻(xiàn)2)。在專利文獻(xiàn)2中公開了下述技術(shù)，S卩，使多個(gè)液滴落入一個(gè)像素區(qū)域，并且調(diào)整各個(gè)液滴的落入位置，由此提高像素區(qū)域內(nèi)的膜厚均勻性。 另一方面，滴入液滴的顯示器基板的像素區(qū)域多通過被稱為堤(bank)的隔堤來進(jìn)行規(guī)定。這是為了使滴入的墨位置選擇性地限定在像素區(qū)域。多個(gè)像素按顏色(RGB)列狀地配置在基板上，構(gòu)成條形圖案。作為將液滴滴入具有用于劃分像素的隔堤的顯示器基板上的一種方法已知有，沿與條的長度方向正交的方向，使噴墨裝置的噴墨頭進(jìn)行掃描同時(shí)滴出液滴(參照專利文獻(xiàn)4 6)。 進(jìn)而，作為將液滴滴入具有用于劃分各個(gè)像素的隔堤的顯示器基板上的另外方法已知有，將沿與條的長度方向正交的方向進(jìn)行掃描的噴墨裝置的噴墨頭與沿條的長度方向進(jìn)行掃描的噴墨裝置的噴墨頭組合來涂敷液滴(參照專利文獻(xiàn)7)。 另一方面，也可以由隔堤規(guī)定包含像素群的條狀區(qū)域，所述像素群為條狀地排列的像素中的、配置在一列中的同一顏色(例如R:紅色，G:綠色，B:藍(lán)色)的像素群(參照專利文獻(xiàn)3)。用于規(guī)定線狀區(qū)域的隔堤有時(shí)也稱為線狀隔堤。也就是說，在每個(gè)由線狀隔堤規(guī)定的區(qū)域(以下也稱為"線區(qū)域")，形成R、 G或B的有機(jī)發(fā)光層。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn)1 :(日本)特開2004-362818號公報(bào) 專利文獻(xiàn)2 :(日本)特開2003-266669號公報(bào) 專利文獻(xiàn)3 :美國專利第7091660號專利說明書 專利文獻(xiàn)4 :(日本)特開2008-15309號公報(bào) 專利文獻(xiàn)5 :美國專利申請公開第2008/0113282號說明書 專利文獻(xiàn)6 :(日本)特開2008-108570號公報(bào) 專利文獻(xiàn)7 :(曰本)特開2007-80545號公報(bào)
在形成了線狀隔堤的顯示器基板上通過噴墨裝置形成有機(jī)發(fā)光層時(shí)，如圖l所示， 1)將噴墨裝置的噴墨頭120配置在與顯示器基板100的線狀隔堤111的線方向相對的上部(或者下部)(此時(shí)優(yōu)選的是，配置為使線狀隔堤111的線方向與噴嘴121的排列方向垂直)， 2)使噴墨頭120沿與線狀隔堤111的線方向平行的方向相對移動(即，沿箭頭方向移送基板100)， 而且3)從噴嘴121將液滴滴入由線狀隔堤111規(guī)定的線區(qū)域IIO，從而形成有機(jī)發(fā)光層。 這樣，通過使噴墨頭沿與線狀隔堤的線方向平行的方向相對移動，能夠防止應(yīng)涂敷在1線區(qū)域的墨誤浸入相鄰的線區(qū)域。也就是說，彩色顯示器為例如反復(fù)配置形成了 R的有機(jī)發(fā)光層的線區(qū)域、形成了 G的有機(jī)發(fā)光層的線區(qū)域以及形成了 B的有機(jī)發(fā)光層的線區(qū)域而構(gòu)成條形圖案。因此，必須可靠地防止下述情況，即，含有有機(jī)發(fā)光材料的墨泄漏到相鄰的線區(qū)域而產(chǎn)生混色。因此，使噴墨頭沿與線狀隔堤的線方向平行的方向相對移動的同時(shí)滴出墨。 此時(shí)，通常從同一噴嘴將液滴滴入由線狀隔堤規(guī)定的某1線區(qū)域。也就是說，對于每個(gè)由線狀隔堤規(guī)定的區(qū)域，設(shè)定對其供給(滴入)液滴的噴嘴。 如上所述，很難使噴墨頭具有的各個(gè)噴嘴的大小完全相同。通常，噴嘴的加工尺寸誤差被稱為在±5%左右。因此，根據(jù)上述的方法，對于每個(gè)由線狀隔堤規(guī)定的區(qū)域，所提供的墨的量稍有不同。若墨供給量不同，則所形成的有機(jī)發(fā)光層的厚度也不同，另外若有機(jī)發(fā)光層的厚度不同，則發(fā)光量、發(fā)光強(qiáng)度或發(fā)光波長不同。已知若這樣在每個(gè)由線狀隔堤規(guī)定的區(qū)域，發(fā)光量、發(fā)光強(qiáng)度或發(fā)光波長不同，則作為顯示器驅(qū)動時(shí)人將其視覺性識別為條紋不均(streak皿eve皿ess)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，在具有線狀隔堤的顯示器基板上，通過噴墨來涂敷形成有機(jī)發(fā)光層時(shí)，即使噴墨頭的噴嘴存在大小不均勻，對于每條線也能抑制有機(jī)發(fā)光層的厚度不均勻。由此，制造無條紋不均的高畫質(zhì)的有機(jī)EL顯示器。進(jìn)而本發(fā)明的優(yōu)選的形態(tài)的目的在于，提供抑制了混色的高品質(zhì)的有機(jī)EL顯示器的制造方法。 也就是說，本發(fā)明的第一方面涉及以下所示的有機(jī)EL顯示器的制造方法。 [1]、有機(jī)EL顯示器的制造方法，包括以下步驟準(zhǔn)備顯示器基板，所述顯示器基
板具有基板、配置在所述基板上且相互平行的兩個(gè)以上的線狀隔堤以及配置在由所述線狀
隔堤規(guī)定的線區(qū)域的兩個(gè)以上的像素區(qū)域；將噴墨頭配置在與所述線狀隔堤的線方向相對
的側(cè)部，所述噴墨頭具有以規(guī)定的間距地列狀排列的兩個(gè)以上的噴嘴且被供給含有有機(jī)發(fā)
光材料的墨；以及使所述噴墨頭沿與所述線狀隔堤的線方向垂直的方向相對移動，對每個(gè)
由所述線狀隔堤規(guī)定的線區(qū)域，從所述噴嘴滴出所述墨來進(jìn)行涂敷。 [2]、如[1]所述的制造方法，還包括在直至涂敷在由線狀隔堤規(guī)定的線區(qū)域的墨均勻?yàn)橹勾龣C(jī)之后，使墨所包含的溶劑干燥的步驟。 [3]、如[1]所述的制造方法，在配置在所述噴墨頭的噴嘴中從一端的噴嘴至另一端的噴嘴的距離與基板的線區(qū)域的線方向的長度相同或?yàn)槠湟陨系拈L度。 [4]、如[1]所述的制造方法，使所述噴墨頭沿與所述線狀隔堤的線方向垂直的方
向相對移動的速度不恒定，從所述噴嘴對由所述線狀隔堤規(guī)定的線區(qū)域滴出所述墨的期間
的所述相對移動速度低于從所述噴嘴不滴出所述墨的期間的所述相對移動速度。 [5]、如[1]所述的制造方法，從所述噴嘴滴出的墨落入偏向于由所述線狀隔堤規(guī)
定的線區(qū)域中的、與所述噴墨頭相對的所述顯示器基板的移動方向上的前方。 [6]、如[1]所述的制造方法，在規(guī)定所述區(qū)域的、相互相鄰的線狀隔堤中，與所述
噴墨頭相對的所述顯示器基板的移動方向上的前方的線狀隔堤的、所述區(qū)域側(cè)的表面的潤
濕性低于與所述噴墨頭相對的所述顯示器基板的移動方向上的后方的線狀隔堤的、所述區(qū)
域側(cè)的潤濕性。 本發(fā)明的第二方面，涉及以下所示的有機(jī)EL顯示器。 [7]、有機(jī)EL顯示器，包括基板；配置在所述基板上且相互平行的多個(gè)線狀隔堤；配置在由所述線狀隔堤規(guī)定的線區(qū)域的兩個(gè)以上的像素區(qū)域；以及配置在包含所述像素區(qū)域的線區(qū)域上的線狀的有機(jī)發(fā)光層，所述線狀的有機(jī)發(fā)光層與所述線狀隔堤之間的接點(diǎn)的高度在線方向上恒定。 [8]、如[7]所述的有機(jī)EL顯示器，具有兩個(gè)以上所述線區(qū)域，在配置在所述基板的一端部的線區(qū)域上所配置的線狀的有機(jī)發(fā)光層與線狀隔堤之間的接點(diǎn)的高度低于在配置在所述基板的另一端部的線區(qū)域上所配置的線狀的有機(jī)發(fā)光層與線狀隔堤之間的接點(diǎn)的高度。 根據(jù)本發(fā)明的方法，盡管在具有線狀隔堤的顯示器基板上通過噴墨法形成有機(jī)發(fā)光層，但由于能夠抑制有機(jī)發(fā)光層的厚度的在每個(gè)線區(qū)域的偏差，所以獲得無亮度不均的有機(jī)EL顯示器。進(jìn)而，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選的方法，能夠獲得抑制了混色的高品質(zhì)的有機(jī)EL顯示器。


圖1是表示通過通常方式的噴墨法線狀地涂敷形成有機(jī)發(fā)光層的情形的圖。
圖2A是表示有機(jī)發(fā)光層的配置狀態(tài)的圖，圖2B是表示線狀隔堤和像素區(qū)域的配置狀態(tài)的圖。 圖3A是表示本發(fā)明中的、通過噴墨法線狀地涂敷形成有機(jī)發(fā)光層的情形的圖，圖3B是表示本發(fā)明中的、通過噴墨法線狀地涂敷形成有機(jī)發(fā)光層的情形的圖，圖3C是表示本發(fā)明中的、通過噴墨法線狀地涂敷形成有機(jī)發(fā)光層的情形的圖。 圖4是表示本發(fā)明中的、通過噴墨法線狀地涂敷形成有機(jī)發(fā)光層的情形的圖。
圖5是表示本發(fā)明中的、通過噴墨法線狀地涂敷形成有機(jī)發(fā)光層的情形的圖。
圖6是表示本發(fā)明中的、通過噴墨法線狀地涂敷形成有機(jī)發(fā)光層的情形的圖。
圖7是用于說明根據(jù)基板移送速度，落入的墨液滴的狀態(tài)不同的情形的圖。
圖8是表示調(diào)整墨的液滴的落入位置而防止混色的情形的圖。
圖9是表示利用對隔堤的墨的表面張力而獲得涂膜均勻的情形的圖。
圖10是用于說明滴入線區(qū)域的墨的調(diào)平的仿真的圖。 圖11是表示對線區(qū)域(涂敷區(qū)域)的墨的表面張力、墨粘度以及調(diào)平涂膜為止的時(shí)間之間的關(guān)系的圖表，^是涂敷區(qū)域的表面張力為20dyn/cm時(shí)的標(biāo)繪點(diǎn)，口是涂敷區(qū)域的表面張力為30dyn/cm時(shí)的標(biāo)繪點(diǎn)，A是涂敷區(qū)域的表面張力為40dyn/cm時(shí)的標(biāo)繪點(diǎn)。
圖12是表示本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的在線狀隔堤所規(guī)定的線區(qū)域內(nèi)形成的有機(jī)發(fā)光層的、與線方向垂直的剖面的圖。 圖13是表示以往的有機(jī)EL顯示器的在線狀隔堤所規(guī)定的線區(qū)域內(nèi)形成的有機(jī)發(fā)光層的、與線方向垂直的剖面的圖。 圖14是表示本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的在線狀隔堤所規(guī)定的線區(qū)域內(nèi)形成的有機(jī)發(fā)光層的、與線方向平行的剖面的圖。 圖15是表示以往的有機(jī)EL顯示器的在線狀隔堤所規(guī)定的線區(qū)域內(nèi)形成的有機(jī)發(fā)光層的、與線方向平行的剖面的圖。圖16是示意地表示通過印刷法制作線狀隔堤的情形的圖。圖17是表示濺射成膜出陰極電極時(shí)的情形的圖。附圖標(biāo)記的說明100基板110線區(qū)域lll線狀隔堤120噴墨頭121噴嘴10基板ll線狀隔堤12線區(qū)域13像素區(qū)域14墨的液滴15、15R、15G、15B有機(jī)發(fā)光層16涂膜17間隙20噴墨頭21噴嘴200版胴300濺射區(qū)域
具體實(shí)施例方式
通過本發(fā)明制造的有機(jī)EL顯示器具有相互平行配置的兩個(gè)以上的線狀隔堤。線狀隔堤可以為錐形，也可以為倒錐形，但優(yōu)選為錐形。第一隔堤的材質(zhì)只要具有絕緣性，就可以是任何材質(zhì)，但是優(yōu)選是絕緣性樹脂(聚酰亞胺等)。也可以通過以氟類氣體等離子體等對線狀隔堤的表面進(jìn)行氟化處理，降低其潤濕性。 線狀隔堤的線方向可以是任意方向，但通常是與顯示器的短軸方向平行或與長軸方向平行。 在由相互相鄰的線狀隔堤所夾著的區(qū)域(線區(qū)域)，線狀地配置有機(jī)發(fā)光層。圖2A
6表示省略了有機(jī)EL顯示器的陰極電極等而使有機(jī)發(fā)光層露出的狀態(tài)。如圖2A所示，在各個(gè)線區(qū)域12，形成R的有機(jī)發(fā)光層15R、G的有機(jī)發(fā)光層15G或B的有機(jī)發(fā)光層15B，并反復(fù)配置它們(構(gòu)成條形圖案)。另外，有機(jī)發(fā)光層的厚度優(yōu)選為約50nm 100nm(例如60nm)。
圖2B是表示進(jìn)一步去除有機(jī)發(fā)光層15R、15G以及15B而露出像素區(qū)域13的狀態(tài)。如圖2B所示，在線區(qū)域12列狀地配置兩個(gè)以上的像素區(qū)域13。像素區(qū)域13并不是以阻礙液體的移動的方式獨(dú)立被劃分而是通過間隙17以在相互的像素區(qū)域13液體能夠移動的方式連結(jié)。也就是說，滴入線區(qū)域12的墨能夠在線區(qū)域12內(nèi)自由地移動。
在各個(gè)像素區(qū)域13，至少配置像素電極(通常為陽極)。在采用有源方式時(shí)，每像素區(qū)域獨(dú)立地配置陽極電極，在采用無源方式時(shí)條狀地配置陽極電極。在采用底部發(fā)光時(shí)，陽極電極必須是透明電極，為ITO(Indium Tin0xide :氧化銦錫)電極等即可。在采用頂部發(fā)光時(shí)，陽極電極優(yōu)選是反射電極，為銀電極或銀-鈀-銅合金(也稱為APC)電極等即可。另外，在采用有源方式時(shí)，陽極電極與TFT的漏極電極連接。 也可以在陽極電極上配置空穴輸送層和電子阻擋層?？昭ㄝ斔蛯邮怯煽昭ㄝ斔筒牧蠘?gòu)成的層?？昭ㄝ斔蛯拥牟馁|(zhì)可以為鎢氧化物(W0X)、鉬氧化物(Mo0x)、釩氧化物(V0X)等氧化物、或者為這些氧化物的組合等。作為空穴輸送材料可以是摻雜了聚苯乙烯磺酸鹽的聚(3、4-亞乙基二氧噻吩)(稱為PED0T-PSS)或其衍生物(共聚物等)?？昭ㄝ斔蛯拥暮穸韧ǔ？蔀?0nm以上100nm以下，可約為30nm。 電子阻擋層具有阻擋電子被輸送到空穴輸送層的作用，并且具有將空穴高效率地輸送到有機(jī)發(fā)光層的作用等，例如其為由聚苯胺類材料構(gòu)成的層。電子阻擋層的厚度通?？蔀?0nm以上100nm以下，可約為40nm。 這樣，有機(jī)發(fā)光層配置在含有列狀地排列的兩個(gè)以上的像素區(qū)域的線區(qū)域的整個(gè)
區(qū)域。也就是說，有機(jī)發(fā)光層橫跨列狀地排列的兩個(gè)以上的像素區(qū)域。 本發(fā)明的有機(jī)發(fā)光顯示屏的制造方法包括以下步驟1)準(zhǔn)備形成有機(jī)發(fā)光層之
前的顯示器基板(參照圖2B) ;2)在準(zhǔn)備的顯示器基板的旁邊配置噴墨頭；以及3)通過噴
墨來涂敷含有有機(jī)發(fā)光材料的墨而形成有機(jī)發(fā)光層。 形成有機(jī)發(fā)光層之前的顯示器基板例如為圖2B所示的基板，包含基板、相互平行的多個(gè)線狀隔堤以及配置在線狀隔堤所夾著的線區(qū)域的多個(gè)像素區(qū)域。此時(shí)的像素區(qū)域13中例如露出陽極電極、露出空穴輸送層或露出電子阻擋層。 在配置在基板的旁邊的噴墨頭上列狀地配置多個(gè)噴嘴。將含有有機(jī)發(fā)光材料的墨供給噴墨頭，墨從噴嘴以液滴的形式滴出。 墨中含有的有機(jī)發(fā)光材料優(yōu)選為高分子類發(fā)光材料，作為高分子類發(fā)光材料的例子，包括聚亞乙基苯(polyphenylenevinylene(PPV))以及其衍生物、聚乙炔(Poly acetylene)以及其衍生物、聚苯(Poly phenylene)以及其衍生物、聚對亞乙基苯(Poly para phenylene ethylene)以及其衍生物、聚3_己基噻吩(Poly 3-hexylthiophene(P3HT))以及其衍生物、聚荷(polyf luorene (PF))以及其衍生物等。
將噴墨頭配置在基板的旁邊。具體而言，將噴墨頭配置在與線狀隔堤的線方向相對的側(cè)部，更具體而言，將其配置在與多個(gè)線狀隔堤中的、最邊端的線狀隔堤的線方向相對的側(cè)部。所配置的噴墨的噴嘴的排列方向也可以與基板的線狀隔堤的線方向并行(參照圖3)。
7
如圖3A所示，配置在噴墨頭20的噴嘴21(21-l 21-n)中從處于一端的噴嘴21-1至處于另一端的噴嘴21-n為止的距離優(yōu)選與基板10的線區(qū)域12的線方向的長度相同或?yàn)槠湟陨系拈L度。因此，能夠同時(shí)將墨涂敷到整個(gè)線區(qū)域12。另外，相對于線區(qū)域12的線方向，噴墨頭20的噴嘴21的排列方向傾斜時(shí)，"從噴嘴21-1至噴嘴21-n為止的距離的所述線方向上的分量"優(yōu)選與線區(qū)域12的線方向的長度相同或?yàn)槠湟陨系拈L度。
如圖3B所示，也可以將噴墨頭20相對于線方向傾斜地配置。由此，能夠減少一線區(qū)域中的落入的間距，而能夠縮短調(diào)平所需時(shí)間。但是，若使噴墨頭20傾斜，則在同一線區(qū)域內(nèi)液滴的滴入上產(chǎn)生時(shí)間差。因此，最初落入的墨的液滴在最后的墨的液滴落入為止干燥而粘度提高，妨礙液滴連結(jié)后的調(diào)平。因此，如圖3C所示，也可以將多個(gè)噴墨頭(20-1 20-6)的各個(gè)噴墨頭相對于線方向傾斜地配置。由此，縮短落入的時(shí)間差，能夠縮短液滴在整個(gè)線區(qū)域連結(jié)為止的時(shí)間，從而能夠可靠地進(jìn)行線區(qū)域內(nèi)的調(diào)平。另外，如果使多個(gè)噴墨頭重疊，則能夠進(jìn)一步縮短液滴在整個(gè)線區(qū)域連結(jié)為止的時(shí)間。 這樣，通過涂敷墨，即使存在由噴嘴的偏差造成的滴出偏差，但因?yàn)閺娜繃娮斓纬龅哪诰€區(qū)域被調(diào)平，所以能夠抑制膜厚偏差。但是，并不一定需要通過一次掃描而涂敷與所期望的膜厚對應(yīng)的墨，可以反復(fù)進(jìn)行多次掃描而完成對整個(gè)線區(qū)域12的涂敷。但是，若反復(fù)進(jìn)行多次掃描來涂敷，則有時(shí)先前的掃描所涂敷的墨的粘度上升，抑制與此后的掃描所涂敷的墨的在連接部分的調(diào)平。因此，在使用有機(jī)發(fā)光材料的墨那樣易于蒸發(fā)的溶劑時(shí)，希望以一次掃描涂敷整個(gè)線區(qū)域。 列狀地配置在噴墨頭20的噴嘴21間的間距優(yōu)選為10 ii m 50 ii m，例如優(yōu)選約為20iim。這是為了，使從噴嘴21滴出的墨在落入地點(diǎn)相互連結(jié)。另外，從噴嘴21滴出的液滴的每一滴的量優(yōu)選為lpl 15pl，例如優(yōu)選為3pl。 希望使液滴也落入圖2B所示的像素區(qū)域之間的間隙17。使液滴也落入間隙17，由此即使像素區(qū)域12和像素區(qū)域之間的間隙17的潤濕性不同，也能夠可靠地連接像素區(qū)域彼此的墨而進(jìn)行調(diào)平。另外，優(yōu)選的是，在涂敷發(fā)光層之前，在整個(gè)線區(qū)域內(nèi)設(shè)置電子阻擋層，并使像素區(qū)域12和像素區(qū)域之間的間隙17的潤濕性相同。其結(jié)果，能夠可靠地連結(jié)像素區(qū)域的墨，調(diào)平效果提高。 另外，優(yōu)選使像素區(qū)域之間的間隙17的高度某種程度地高于像素區(qū)域13的高度。但是，在不使高度的差過大的情況下，使剛涂敷后的涂敷膜覆蓋間隙17，并且使其不阻礙調(diào)平。由此，實(shí)現(xiàn)調(diào)平，而且在干燥過程中使墨集中在像素區(qū)域13，有效地使用墨材料。
接著，使噴墨頭20沿與顯示器基板10的線狀隔堤11的線方向垂直的方向，對顯示器基板10相對地移動。可以使噴墨頭20移動，可以移送基板IO，也可以使雙方都移動。若噴墨頭20的相對移動的結(jié)果，噴墨頭20的噴嘴21到達(dá)一個(gè)線區(qū)域12(參照圖4)，則從噴嘴21滴出墨的液滴。 所涂敷的墨量為每1像素100 500pl。從一個(gè)噴嘴將多個(gè)液滴滴入1像素即可，由此供給所需量的墨。 所滴出的墨的液滴落入線區(qū)域12。如上所述，線區(qū)域12內(nèi)具有兩個(gè)以上的像素區(qū)域13，但落入一個(gè)像素區(qū)域的液滴有可能移動到相鄰的像素區(qū)域(濕性擴(kuò)展)。由于能夠在像素區(qū)域間移動，所以能夠使在線區(qū)域12內(nèi)形成的整個(gè)涂膜的厚度均勻(參照圖10)。
也就是說，如上所述，有時(shí)從噴墨頭20的各個(gè)噴嘴21滴出的液滴的量每個(gè)噴嘴不
8同。根據(jù)本發(fā)明，由于能夠在線區(qū)域12內(nèi)使涂膜的厚度均勻(調(diào)平)，所以即使來自噴嘴21的液滴量存在差異，也使線區(qū)域12內(nèi)的涂敷膜均勻。 對一個(gè)線區(qū)域12的墨的液滴的滴入結(jié)束后，再次使噴墨頭20相對移動，將噴墨頭20的噴嘴21移動至應(yīng)滴入墨的液滴的下一線區(qū)域12(參照圖5)。通常，由于R的墨、G的墨以及B的墨分別以不同的掃描進(jìn)行涂敷，所以每隔三個(gè)線區(qū)域地滴入墨的液滴。噴嘴21到達(dá)所期望的線區(qū)域12后，再次滴出墨的液滴并使液滴落入線區(qū)域12。反復(fù)進(jìn)行該動作，將墨涂敷到應(yīng)涂敷該墨的所有線區(qū)域12(參照圖6)。 這樣，若每線區(qū)域12地依序提供墨，則通過從相同的噴嘴滴出的墨來涂敷所有的
線區(qū)域，所以能夠?qū)⑼涣康哪峁┙o所有的線區(qū)域12。也就是說，能夠減少每個(gè)線區(qū)域的
涂膜厚度的偏差。因此，能夠防止在作為顯示器時(shí)發(fā)生條紋不均。 進(jìn)而，以同樣的方法涂敷其他顏色的墨，涂敷R、G、B的所有的墨 如上所述，本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的線狀隔堤的線方向可以與顯示器的短軸方
向平行，也可以與長軸方向平行。如果線狀隔堤的線方向與短軸平行，則能夠使進(jìn)行掃描的
噴墨頭小型化。另外，即使因噴嘴的偏差而產(chǎn)生了微小的發(fā)光不均時(shí)，由于是小區(qū)域內(nèi)的發(fā)
光不均，所以不醒目。另一方面，如果線狀隔堤的線方向與長軸平行，則噴墨頭的掃描距離
變短，從而能夠在短時(shí)間內(nèi)完成涂敷，提高生產(chǎn)性，抑制涂敷中的干燥不均。[防止混色] 如上所述，若每線區(qū)域地依序供給墨，則降低每線區(qū)域的涂膜厚度的偏差，另一方面，墨誤混入相鄰的線區(qū)域的風(fēng)險(xiǎn)增加。若墨混入相鄰的線區(qū)域，則發(fā)生混色，顯著降低作為顯示器的畫質(zhì)。特別是，為了提高生產(chǎn)性，提高噴墨頭與基板之間的相對移動速度后，混色的發(fā)生率增加。也就是說，如圖7A所示，在相對移動速度較低時(shí)，液滴更可靠地落入所期望的線區(qū)域12內(nèi)，如圖7B和圖7C所示，隨著相對移動速度提高，液滴的落入?yún)^(qū)域沿移動方向漫延，而且有時(shí)難以使其落入所期望的線區(qū)域12內(nèi)(參照圖7C)。 為了防止上述的混色，考慮在從噴嘴滴出墨時(shí)和未滴出墨時(shí)改變相對移動速度(例如，基板的移送速度)。也就是說，在噴嘴位置與線區(qū)域一致時(shí)，降低相對移動速度，使從噴嘴滴出的液滴可靠地落入線區(qū)域。另一方面，優(yōu)選的是，在使噴嘴從涂敷了墨的線區(qū)域移動至下一線區(qū)域?yàn)橹沟钠陂g，提高相對移動速度，提高生產(chǎn)性。滴出液滴時(shí)的相對移動速度(優(yōu)選的是基板的移送速度)優(yōu)選為50mm/s 300mm/s，不滴出液滴時(shí)的相對移動速度(優(yōu)選的是基板的移送速度)并不特別限定，例如為400mm/s以上。 另外，為了防止上述的混色，如圖8A和圖8B所示，也可以偏向線區(qū)域12中的、基板的移送方向的前方(噴墨頭的移動方向的后方)而使墨的液滴14落入。偏向基板的移送方向的前方的墨通過移送基板所產(chǎn)生的風(fēng)壓，能夠自然地向移送方向的后方延伸，形成涂膜16 (圖8C)。根據(jù)情況，也可以在涂敷后，傾斜基板自身，使基板的移送方向的前方向上。 進(jìn)而，如圖9所示，也可以利用線狀隔堤11的表面張力(潤濕性)。如圖9A所示，若基板10的移送方向(參照箭頭)的前方的線狀隔堤lla的區(qū)域12側(cè)的表面和基板10的移送方向的后方的線狀隔堤lib的區(qū)域12側(cè)的表面的潤濕性相同，則落入基板的移送方向的前方的墨的液滴不是均勻地延伸，如圖9B所示有機(jī)發(fā)光層15的厚度難以形成均勻的厚度。
另一方面，如圖9C所示，如果使規(guī)定線區(qū)域12的線狀隔堤11中的、基板的移送方向的后方的線狀隔堤lib的區(qū)域12側(cè)的表面30的潤濕性高于基板的移送方向的前方的線狀隔堤lla的區(qū)域12側(cè)的表面的潤濕性，則即便使墨的液滴落入基板的移送方向的前方，墨也能夠濕性延伸至整個(gè)線區(qū)域12，其結(jié)果，如圖9D所示能夠獲得膜厚均勻的有機(jī)發(fā)光層15。 這樣，優(yōu)選的是，組合可靠地防止混色的方法來實(shí)施本發(fā)明的制造方法。
[待機(jī)] 優(yōu)選的是，在墨滴入線區(qū)域(含有多個(gè)像素區(qū)域)后待機(jī)，直至墨的涂膜的厚度被均勻化(調(diào)平)為止，其后，去除墨的溶劑。具體而言，待機(jī)為放置在大氣中或惰性氣體環(huán)境中即可。 待機(jī)的時(shí)間主要因墨的粘度和對所涂敷的區(qū)域的墨的表面張力而不同。含有由噴墨裝置涂敷的有機(jī)發(fā)光材料的墨的粘度約為5 20cps。對所涂敷的區(qū)域的墨的表面張力為20 40dyn/cm。以下，表示利用Orchard的理論通過仿真求出的直至涂敷膜均勻?yàn)橹沟臅r(shí)間的結(jié)果。 假定在由線狀隔堤規(guī)定的區(qū)域(線區(qū)域)配置了三個(gè)像素區(qū)域13(參照圖10)。圖10中的1的長度約為lmm。假設(shè)在該區(qū)域形成具有±100%的偏差的涂膜16的狀態(tài)為初始狀態(tài)(圖IOA)。求出從初始狀態(tài)直至涂膜的偏差被調(diào)平為±1% (圖10B)為止的時(shí)間。圖11的圖表表示其結(jié)果。 圖11的圖表的縱軸表示調(diào)平所需時(shí)間(秒)，橫軸是構(gòu)成涂膜的墨的粘度(cps)。^標(biāo)繪點(diǎn)表示涂敷區(qū)域的表面張力為20dyn/cm時(shí)的結(jié)果，口標(biāo)繪點(diǎn)表示涂敷區(qū)域的表面張力為30dyn/cm時(shí)的結(jié)果，A標(biāo)繪點(diǎn)表示涂敷區(qū)域的表面張力為40dyn/cm時(shí)的結(jié)果。
正如圖11的圖表所示，可知任一情況下都在5秒間 20秒間被調(diào)平。因此，可知如果在涂敷后待機(jī)5秒 20秒，則涂敷膜的厚度恒定。 當(dāng)然由于待機(jī)時(shí)間有時(shí)也受到來自涂膜的溶劑的蒸發(fā)等的影響，所以根據(jù)實(shí)際條件來對其進(jìn)行調(diào)整。 待機(jī)后，將整個(gè)顯示器基板置于高溫環(huán)境下或減壓環(huán)境下，從調(diào)平后的涂膜去除溶劑(干燥步驟)。由此，形成有機(jī)發(fā)光層。這樣，能夠在各個(gè)線區(qū)域中形成厚度均勻性較高的有機(jī)發(fā)光層，并且減少每個(gè)線區(qū)域的有機(jī)發(fā)光層的厚度的偏差。 在形成了有機(jī)發(fā)光層之后，將電子輸送層、對向電極(一般為陰極電極)等層疊而構(gòu)成有機(jī)電致發(fā)光元件，再配置密封膜和玻璃基板等，由此制造顯示器。
陰極電極層的材質(zhì)根據(jù)是底部發(fā)光型還是頂部發(fā)光型，其材質(zhì)不同。在為頂部發(fā)光型時(shí)需要陰極電極是透明的，所以優(yōu)選形成ITO電極或IZO電極等。優(yōu)選的是，在有機(jī)發(fā)光層和陰極電極層之間形成緩沖層等。另一方面，在為底部發(fā)光型時(shí)，不需要陰極電極是透明的，使用任意的材質(zhì)的電極即可。 陰極電極形成在配置于各個(gè)像素區(qū)域的有機(jī)發(fā)光層上即可，但有時(shí)以覆蓋一個(gè)線區(qū)域所包含的所有像素的方式形成該陰極電極。陰極電極通常通過濺射法或蒸鍍法形成。進(jìn)而，有時(shí)也可以不每個(gè)線區(qū)域地分離陰極電極。也就是說，如果像有源矩陣型那樣，每像素電極獨(dú)立地控制陽極電極，由于驅(qū)動像素電極的TFT元件是獨(dú)立的，所以能夠由多個(gè)線區(qū)域共享陰極電極。
在本發(fā)明的有機(jī)EL顯示屏中還可以在形成了陰極電極的面上設(shè)置覆蓋材料來進(jìn)行密封。通過覆蓋材料，抑制水分或氧的侵入。 本發(fā)明的有機(jī)EL顯示屏可以通過上述的方法制造，但在涂敷形成在線區(qū)域的有機(jī)發(fā)光層和線狀隔堤之間的關(guān)系上可以具有結(jié)構(gòu)性的特征。 本發(fā)明的有機(jī)EL顯示屏的第一特征為，配置在各個(gè)線區(qū)域的有機(jī)發(fā)光層與線狀隔堤之間的接點(diǎn)的高度在線方向上恒定。如圖12所示，著眼于一線區(qū)域(線區(qū)域X、Y或Z)時(shí)，有機(jī)發(fā)光層15的厚度在線方向上恒定。也就是說，圖12-1中的形成在各個(gè)線區(qū)域(線區(qū)域X、 Y或Z)的有機(jī)發(fā)光層15的、A-A處的剖面(圖12-2) 、 B-B處的剖面(圖12-3)以及C-C處的剖面(圖12-4)各個(gè)剖面幾乎相同，有機(jī)發(fā)光層15與線狀隔堤111之間的接點(diǎn)的高度在線方向上恒定。所謂高度恒定，指的是最小高度和最大高度之間的差分為有機(jī)發(fā)光層的像素中心處的膜厚的20%以內(nèi)，希望為10%以內(nèi)。這是因?yàn)椋鶕?jù)本發(fā)明的方法，在一線區(qū)域內(nèi)的涂敷液的干燥環(huán)境并無較大的差別。 與此相對，對沿線狀隔堤的線方向提供涂敷液而形成的有機(jī)發(fā)光層而言，一線區(qū)域內(nèi)的有機(jī)發(fā)光層與線狀隔堤之間的接點(diǎn)的高度在線方向上容易產(chǎn)生偏差(參照圖13)。也就是說，圖13-1中的形成在各個(gè)線區(qū)域(X'、Y'或Z')的有機(jī)發(fā)光層的、A' -A'處的剖面(圖13-2) 、B' -B'處的剖面(圖13-3)以及C' -C'處的剖面(圖13-4)并不恒定且偏差較大。例如，著眼于線區(qū)域X'，在A'處的剖面，有機(jī)發(fā)光層爬上右側(cè)的隔堤111的側(cè)面，在C'處的剖面，其并未爬上隔堤111的側(cè)面。在沿線方向提供了涂敷液時(shí)，由于在一線區(qū)域內(nèi)的涂敷液的干燥環(huán)境上產(chǎn)生較大的差異，所以產(chǎn)生這樣的偏差。
具有隔堤的有機(jī)EL顯示屏有時(shí)在長期使用中逐漸劣化。作為該劣化的一個(gè)原因認(rèn)為，其原因在于來自隔堤的流出物對有機(jī)發(fā)光層產(chǎn)生了作用。所謂來自隔堤的流出物，例如為含有水分和羥基的有機(jī)物。認(rèn)為來自隔堤的流出物所造成的有機(jī)發(fā)光層的劣化的程度受到有機(jī)發(fā)光層和隔堤之間的位置關(guān)系的影響。 在各個(gè)線區(qū)域中相互相鄰的像素之間的距離非常短。因此，在該像素的劣化程度上產(chǎn)生差異，而在發(fā)光特性上產(chǎn)生差異后，將其容易地視覺性識別為顯示器的發(fā)光不均。
如上所述，在本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器中，可以在每個(gè)線區(qū)域內(nèi)使有機(jī)發(fā)光層與線狀隔堤之間的接點(diǎn)的高度恒定。因此，可以使一線區(qū)域所包含的有機(jī)發(fā)光元件的、長期劣化的進(jìn)展程度為相同的程度。因此，即使長期使用，也能夠抑制顯示器的發(fā)光不均。
本發(fā)明的有機(jī)EL顯示屏的第二特征為，在配置在顯示屏的一方的端部的線區(qū)域內(nèi)形成的有機(jī)發(fā)光層與線狀隔堤之間的接點(diǎn)的高度高于在配置在顯示屏的另一方的端部的線區(qū)域內(nèi)形成的有機(jī)發(fā)光層與線狀隔堤之間的接點(diǎn)的高度。如圖12-1所示，在開始基板100的涂敷的側(cè)(右側(cè))的端部的線區(qū)域X涂敷的涂敷液的干燥速度較快，經(jīng)干燥而形成的有機(jī)發(fā)光層15容易在隔堤111的側(cè)面隆起(參照圖12-2 圖12-4)。另一方面，在與開始基板100的涂敷的側(cè)相反的側(cè)(左側(cè))的端部的線區(qū)域Z涂敷的涂敷液的干燥速度較慢，因此所形成的有機(jī)發(fā)光層15難以在隔堤111的側(cè)面隆起。 當(dāng)然各個(gè)像素的有機(jī)發(fā)光層的膜厚輪廓(profile)影響發(fā)光特性，即使是作為發(fā)光特性不能被視覺性識別的程度的膜厚輪廓的不同，有時(shí)發(fā)熱特性也不同。具體而言，圖12-1中的在配置在顯示屏的一方的端部(開始涂敷的側(cè))的線區(qū)域X內(nèi)形成的有機(jī)發(fā)光層15的膜厚分布容易變大，所以線區(qū)域X中的有機(jī)發(fā)光元件的發(fā)熱量較大。另一方面，在
11配置在顯示屏的另一方的端部的線區(qū)域Z內(nèi)形成的有機(jī)發(fā)光層15的膜厚分布被抑制，所以線區(qū)域Z中的有機(jī)發(fā)光元件15的發(fā)熱量也較小。 因此，若驅(qū)動本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器，則從一方的端部容易產(chǎn)生熱，從該端部產(chǎn)生的熱發(fā)生流動(參照箭頭H)。若沒有這樣的熱的流動，則產(chǎn)生以顯示屏的中央附近為中心的同心圓狀的溫度分布。因此，經(jīng)過長時(shí)間的使用，容易產(chǎn)生與該溫度分布對應(yīng)的發(fā)光不均。以顯示屏的中央附近為中心的同心圓狀的發(fā)光不均容易被視覺性識別。若如本發(fā)明的顯示器那樣有熱的流動，則溫度分布并不是以顯示屏中心為中心的同心圓狀，從而即使產(chǎn)生了發(fā)光不均，也很難視覺性地識別該發(fā)光不均。 另外，作為有機(jī)EL顯示器的一種密封結(jié)構(gòu)有稱為罐式密封結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。所謂罐式密封結(jié)構(gòu)，指的是在形成了有機(jī)發(fā)光元件的顯示器基板上罩上密封罐，將其與外部環(huán)境隔絕而保護(hù)有機(jī)發(fā)光元件的結(jié)構(gòu)。在密封罐結(jié)構(gòu)中，在密封罐的內(nèi)部容易充滿熱，但如果在密封罐的內(nèi)部發(fā)生熱流動，則通過對流而使熱分布均勻。進(jìn)而，密封罐的內(nèi)部存在的水分和氧氣體通過熱流動而移動，所以如果在熱流的下游位置配置用于吸附水分和氧氣的吸附劑，則也能夠高效率地去除水分和氧氣。 本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的第三特征為，在各個(gè)線區(qū)域內(nèi)形成的有機(jī)發(fā)光層的線方向上的膜厚輪廓相互類似。也就是說，如圖14-1所示，在線區(qū)域內(nèi)形成的有機(jī)發(fā)光層15都是在線方向的某一位置(G)上相對較厚，而在線方向的另一位置(H)上相對較薄(參照圖14-2 圖14-4)。圖14-2是圖14-1的D-D剖面圖，圖14_3是圖14_1的E-E剖面圖，圖
14- 4是圖14-1的F-F剖面圖。 如上所述，噴墨頭的噴嘴的大小存在偏差，并不是一定相同。根據(jù)本發(fā)明的涂敷方法，同時(shí)將液滴滴入整個(gè)一線區(qū)域，并且使涂膜的厚度均勻化(調(diào)平)，所以能夠使有機(jī)發(fā)光層的厚度在整個(gè)線區(qū)域均勻。但是，在對發(fā)光特性沒有影響的程度下，噴嘴的大小的偏差、噴嘴的溫度的偏差以及噴嘴的干燥狀態(tài)的偏差等反映在有機(jī)發(fā)光層的厚度上，在厚度上產(chǎn)生分布。 即使本發(fā)明的有機(jī)發(fā)光層的有機(jī)發(fā)光層在厚度上產(chǎn)生分布，任一線區(qū)域的有機(jī)發(fā)光層的、線方向上的厚度分布都類似(參照圖14-2 圖14-4)。也就是說，各個(gè)線區(qū)域中的有機(jī)發(fā)光層的最厚的部分或最薄的部分的在線方向上的位置一致，或者在噴嘴間距的2 8倍的距離的范圍內(nèi)。因此，即使以將顯示器沿線方向彎曲(以垂直于線方向的軸為中心彎曲)的方式施加應(yīng)力時(shí)，由于各個(gè)線區(qū)域的厚度方向上的變形一致，所以能夠抑制對有機(jī)發(fā)光層的損傷。 另一方面，如圖15-1所示，沿線狀隔堤的線方向提供涂敷液而形成的有機(jī)發(fā)光層15的、線方向上的膜厚輪廓，在每個(gè)線區(qū)域都不同而且不類似(參照圖15-2 圖15-4)。也就是說，圖15-2是圖15-1的D' -D'剖面，圖15-3是15-1的E' -E'剖面，圖15_4是圖
15- l的F' -F'剖面(圖15-4)，但任一有機(jī)發(fā)光層15的膜厚輪廓都不同。這時(shí)，以將顯示器沿線方向彎曲(以垂直于線方向的軸為中心彎曲)的方式施加應(yīng)力時(shí)，由于鄰近的每個(gè)線區(qū)域在厚度方向上的變形大不相同，所以增加對有機(jī)發(fā)光層的損傷。 可以使有機(jī)EL顯示屏為柔性顯示器(flexible display)(例如，巻式顯示器或折疊型顯示器)。作為柔性顯示器的使用方法，例如考慮以線狀隔堤的線方向?yàn)檩S而使其彎曲。以線方向?yàn)檩S而使其彎曲時(shí)，若一線區(qū)域的有機(jī)發(fā)光層的厚度輪廓異常地與其他的線區(qū)域的有機(jī)發(fā)光層的厚度輪廓不同，則所述一線區(qū)域的有機(jī)發(fā)光層容易被破壞。在沿線狀隔堤的線方向進(jìn)行涂敷的方法中，由于噴墨的噴嘴偏差，有時(shí)形成厚度輪廓異常不同的有機(jī)發(fā)光層，所以整個(gè)該有機(jī)發(fā)光層被破壞。其結(jié)果，無法確保作為顯示器的質(zhì)量。本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器即使噴墨頭的噴嘴存在偏差，也能夠使涂敷在線區(qū)域的涂敷液均勻，所以不會形成厚度輪廓異常不同的有機(jī)發(fā)光層。如上所述，在本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器中，各個(gè)線區(qū)域的有機(jī)發(fā)光層的線方向上的厚度輪廓類似。因此，沿與線方向垂直的線可能形成有機(jī)發(fā)光層中的具有異常厚度的部位，但難以通過以線方向?yàn)檩S的彎曲而將其破壞。
本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的線狀隔堤可以通過光刻法形成，但也可以通過印刷法形成。作為印刷法的例子包括凹版膠印(gravure offset)印刷法。如圖16所示，通過印刷法，將配置在稱為滾筒的版胴200的表面的隔堤材料(例如樹脂材料)轉(zhuǎn)印到基板100上，形成線狀隔堤lll。通過印刷法形成的線狀隔堤lll在線方向上精密地為同一形狀。也就是說，任一線狀隔堤111在線方向上的形狀偏差都相同。 若在通過印刷法形成的線狀隔堤的各個(gè)線區(qū)域上通過本發(fā)明的方法進(jìn)行涂敷，則通過涂敷液的調(diào)平，不會將線狀隔堤的偏差反映到有機(jī)發(fā)光層的形狀輪廓上。另一方面，若在通過印刷法形成的線狀隔堤的各個(gè)線區(qū)域，沿線狀隔堤的線方向供給涂敷液而形成有機(jī)發(fā)光層，則不僅容易將線狀隔堤的偏差反映到有機(jī)發(fā)光層的形狀輪廓上，而且有可能使噴墨頭的噴嘴的偏差和線狀隔堤的線方向上的形狀偏差相乘。 在本發(fā)明的有機(jī)EL顯示屏上有時(shí)為提高色彩純度對于每像素設(shè)置彩色濾光片。彩色濾光片由配置在相互相鄰的線狀隔堤間的著色層構(gòu)成。在通過噴墨法形成該彩色濾色片的著色層時(shí)，有時(shí)也由于噴墨頭的噴嘴的偏差而在彩色濾色片上產(chǎn)生不均。因此，如本發(fā)明那樣，沿與線狀隔堤的線方向垂直的方向提供涂敷液而形成有機(jī)發(fā)光層時(shí)，優(yōu)選沿線狀隔堤的線方向提供涂敷液而形成彩色濾光片。這是為了抑制相互的偏差相乘。另外，為了低成本化，有時(shí)通過分配器等沿線區(qū)域連續(xù)涂敷彩色濾色片的著色層。此時(shí)，為了不使相互的偏差相乘而優(yōu)選沿線狀隔堤的垂直方向涂敷形成有機(jī)發(fā)光層。 有時(shí)通過濺射成膜出本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的陰極電極。例如，在為頂部發(fā)光型的有機(jī)EL顯示器時(shí)，有時(shí)濺射成膜出透明電極即ITO作為陰極電極。濺射成膜例如能夠通過磁控濺射裝置進(jìn)行，移送希望成膜出陰極電極的部件(形成了有機(jī)發(fā)光元件的顯示器基板，該有機(jī)發(fā)光元件未形成陰極電極)，使其通過濺射區(qū)域。由于濺射區(qū)域的環(huán)境并不一定均勻(有偏差)，所以在通過濺射獲得的膜上沿移動方向可能產(chǎn)生少許條紋不均。
因此，如本發(fā)明那樣，沿與線狀隔堤的線方向垂直的方向供給涂敷液而形成有機(jī)發(fā)光層時(shí)，如圖17所示，在濺射成膜陰極電極時(shí)，優(yōu)選沿線狀隔堤的線方向(即，有機(jī)發(fā)光層15的長度方向)，移送基板IOO，使其通過濺射區(qū)域300。這是為了抑制噴墨頭的噴嘴的偏差與濺射區(qū)域的偏差相乘。 另外，在為有源矩陣的有機(jī)EL顯示器時(shí)，有時(shí)使所有的有機(jī)發(fā)光像素的陰極電極導(dǎo)通。若沿線狀隔堤的線方向移送基板而使其通過濺射區(qū)域，則能夠提高覆蓋度，抑制成膜出的陰極在隔堤部分變薄或被切斷，并提高陰極電極的導(dǎo)通。 進(jìn)而，本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器有時(shí)具有用來密封形成在基板上的有機(jī)發(fā)光元件的密封樹脂層。為了通過樹脂密封有機(jī)發(fā)光元件，例如有時(shí)在形成了有機(jī)發(fā)光元件的顯示器基板上涂敷密封樹脂，使密封基板(玻璃基板)與其疊合而緊密貼合，并將密封樹脂填充密封基板緊密貼合后，密封樹脂沿線狀隔堤的線方向在兩基板的間隙內(nèi)漫延。由于密封樹脂沿線方向漫延，因此有時(shí)在所形成的密封樹脂層上產(chǎn)生線方向的條紋不均。 如上所述，本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的有機(jī)發(fā)光層是沿與線狀隔堤的線方向垂直
的方向提供涂敷液而形成的，所以不會產(chǎn)生線方向的條紋不均。因此，能夠抑制所述密封樹
脂的條紋不均所造成的發(fā)光不均。與此相對，沿線狀隔堤的線方向提供涂敷液而形成的有
機(jī)發(fā)光層容易產(chǎn)生線方向的條紋不均。因此，有可能與所述密封樹脂的條紋不均相乘，加重
了發(fā)光不均。 工業(yè)實(shí)用性 通過本發(fā)明的制造方法，能夠提供無條紋不均的高畫質(zhì)的有機(jī)EL顯示器。本申請主張基于2008年5月29日提交的特愿第2008-141291號的優(yōu)先權(quán)。該申
請說明書以及附圖中公開的所有內(nèi)容，全部被本申請說明書引用。
權(quán)利要求
有機(jī)電致發(fā)光顯示器的制造方法，包括以下步驟準(zhǔn)備顯示器基板，所述顯示器基板具有基板、配置在所述基板上且相互平行的兩個(gè)以上的線狀隔堤以及配置在由所述線狀隔堤規(guī)定的線區(qū)域的兩個(gè)以上的像素區(qū)域；將噴墨頭配置在與所述線狀隔堤的線方向相對的側(cè)部，所述噴墨頭具有以規(guī)定的間距地列狀排列的兩個(gè)以上的噴嘴且被供給含有有機(jī)發(fā)光材料的墨；以及使所述噴墨頭沿與所述線狀隔堤的線方向垂直的方向相對移動，對每個(gè)由所述線狀隔堤規(guī)定的線區(qū)域，從所述噴嘴滴出所述墨來進(jìn)行涂敷。
2. 如權(quán)利要求1所述的制造方法，還包括在直至涂敷在由線狀隔堤規(guī)定的線區(qū)域的墨均勻?yàn)橹勾龣C(jī)之后，使墨所包含的溶劑干燥的步驟。
3. 如權(quán)利要求1所述的制造方法，在配置在所述噴墨頭的噴嘴中從一端的噴嘴至另一端的噴嘴的距離與基板的線區(qū)域的線方向的長度相同或?yàn)槠湟陨系拈L度。
4. 如權(quán)利要求1所述的制造方法，使所述噴墨頭沿與所述線狀隔堤的線方向垂直的方向相對移動的速度不恒定，從所述噴嘴對由所述線狀隔堤規(guī)定的線區(qū)域滴出所述墨的期間的所述相對移動速度低于從所述噴嘴不滴出所述墨的期間的所述相對移動速度。
5. 如權(quán)利要求1所述的制造方法，從所述噴嘴滴出的墨落入偏向于由所述線狀隔堤規(guī)定的線區(qū)域中的、與所述噴墨頭相對的所述顯示器基板的移動方向的前方。
6. 如權(quán)利要求1所述的制造方法，規(guī)定所述區(qū)域的、相互相鄰的線狀隔堤中，與所述噴墨頭相對的所述顯示器基板的移動方向上的前方的線狀隔堤的、所述區(qū)域側(cè)的表面的潤濕性低于與所述噴墨頭相對的所述顯示器基板的移動方向上的后方的線狀隔堤的、所述區(qū)域側(cè)的潤濕性。
7. 有機(jī)電致發(fā)光顯示器，包括基板；配置在所述基板上且相互平行的多個(gè)線狀隔堤；配置在由所述線狀隔堤規(guī)定的線區(qū)域的兩個(gè)以上的像素區(qū)域；以及配置在包含所述像素區(qū)域的線區(qū)域上的線狀的有機(jī)發(fā)光層，所述線狀的有機(jī)發(fā)光層與所述線狀隔堤之間的接點(diǎn)的高度在線方向上恒定。
8. 如權(quán)利要求7所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示器，具有兩個(gè)以上所述線區(qū)域，在配置在所述基板的一端部的線區(qū)域上所配置的線狀的有機(jī)發(fā)光層與線狀隔堤之間的接點(diǎn)的高度低于在配置在所述基板的另一端部的線區(qū)域上所配置的線狀的有機(jī)發(fā)光層與線狀隔堤之間的接點(diǎn)的高度。
全文摘要
本發(fā)明提供了在包含通過噴墨法涂敷形成的有機(jī)發(fā)光層的有機(jī)EL顯示器中，抑制發(fā)光的條紋不均的方法。本發(fā)明的有機(jī)EL顯示器的制造工序包括以下步驟準(zhǔn)備顯示器基板，所述顯示器基板具有相互平行的兩個(gè)以上的線狀隔堤以及配置在所述線狀隔堤之間的區(qū)域內(nèi)的兩個(gè)以上的像素區(qū)域；配置噴墨頭，使噴嘴的排列方向與所述線狀隔堤的線方向平行；以及使噴墨頭沿與所述線狀隔堤的線方向垂直的方向相對移動，并對每個(gè)由所述線狀隔堤規(guī)定的區(qū)域，從所述噴嘴滴出所述墨來進(jìn)行涂敷。
文檔編號H05B33/22GK101766058SQ200980100050
公開日2010年6月30日 申請日期2009年5月25日 優(yōu)先權(quán)日2008年5月29日
發(fā)明者早田博, 金田善夫, 鈴木直樹 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社