專利名稱：基板檢查設(shè)備與基板檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于在安裝零件之前檢查零件是否可以被安裝在基板上的部件 安裝位置上的基板檢查設(shè)備與基板檢查方法。
背景技術(shù)：
零件安裝器相對(duì)已定位的基板移動(dòng)安裝頭，拾取從零件提供單元提供的零件，并 將零件安裝在基板上的零件安裝位置上。基板檢查設(shè)備被部署在零件安裝線中的零件安裝 器的上游側(cè)(基板流的上游側(cè))，并且基板檢查設(shè)備在零件被安裝到基板上之前通過辨識(shí) 相機(jī)辨識(shí)基板上的零件安裝位置，并檢查零件是否可以被安裝在零件安裝位置上(零件安 裝前的檢查)(專利文獻(xiàn)1和2)。雖然零件安裝器不將零件安裝在被基板檢查設(shè)備判定為不能在其上安裝零件的 零件安裝位置(缺陷位置)上，但因?yàn)樵诨迳戏胖昧酥甘救毕菸恢玫臉?biāo)記，所以操作員可 以以可視方式檢查從零件安裝器釋放的基板的缺陷位置并在可修復(fù)的情況下修復(fù)缺陷位 置。此外，當(dāng)操作員再次將修復(fù)了的缺陷位置的基板輸入零件安裝線中并且判定可以在在 第一次檢查(在典型的基板進(jìn)入中的零件安裝前的檢查)中被判定為缺陷的零件安裝位置 上再次安裝零件時(shí)，因?yàn)榱慵话惭b在零件安裝位置上，所以基板可以被認(rèn)為是良品。專利文獻(xiàn)1 日本專利特開2007-149817專利文獻(xiàn)2 日本專利特開2005-5290然而，對(duì)于被再次輸入安裝線中的基板上的已經(jīng)安裝了許多零件的所有情況，基 板檢查設(shè)備在零件安裝之前執(zhí)行對(duì)基板上的所有零件安裝位置的檢查。這具有低效率的問 題(還降低安裝線的總吞吐量)，這是因?yàn)?，即使?shí)質(zhì)上不需要在零件安裝之前檢查、以及 其上已經(jīng)安裝了零件的零件安裝位置也被檢查。此外，當(dāng)零件被安裝在零件安裝位置上時(shí)， 因?yàn)樵诤芏嗲闆r下零件安裝位置可能被安裝在其上的零件隱藏，所以，在基板的再輸入中 的零件安裝前的檢查中，當(dāng)要在與為第一次檢查設(shè)置的辨識(shí)相機(jī)相同的視野中辨識(shí)零件安 裝位置時(shí)，不能夠在視野內(nèi)辨識(shí)到零件安裝位置，這可以被判定為不正常，并因此可能導(dǎo)致 系統(tǒng)錯(cuò)誤的發(fā)生。

發(fā)明內(nèi)容
因此本發(fā)明的目的在于提供一種基板檢查設(shè)備和基板檢查方法，其能夠在基板被 再次輸入時(shí)高效地執(zhí)行零件安裝前的檢查，從而防止系統(tǒng)錯(cuò)誤的發(fā)生。根據(jù)第一方面，提供了一種基板檢查設(shè)備，包括辨識(shí)相機(jī)，其相對(duì)于被定位的基 板可移動(dòng)；檢查執(zhí)行單元，使所述辨識(shí)相機(jī)辨識(shí)所述基板上的零件安裝位置，并執(zhí)行檢查是 否可以在所述零件安裝位置上安裝零件的零件安裝前的檢查處理；以及再輸入模式設(shè)置單 元，將所述檢查執(zhí)行單元設(shè)置為再輸入模式，其中，當(dāng)未通過所述再輸入模式設(shè)置單元的操 作設(shè)置所述再輸入模式時(shí)，檢查執(zhí)行單元對(duì)要在其上安裝零件的所有零件安裝位置執(zhí)行所 述零件安裝前的檢查處理，當(dāng)通過所述再輸入模式設(shè)置單元的操作設(shè)置了所述再輸入模式
3時(shí)，首先使所述辨識(shí)相機(jī)辨識(shí)所述零件安裝位置并接著執(zhí)行檢查所述零件安裝位置上是否 安裝了所述零件的零件存在性檢查處理，并且因此，對(duì)未安裝所述零件的零件安裝位置執(zhí) 行所述零件安裝前的檢查處理。根據(jù)第二方面，根據(jù)第一方面的基板檢查設(shè)備被提供在零件安裝器中，所述零件 安裝器相對(duì)所定位的基板移動(dòng)安裝頭，并將所述零件安裝在所述基板上的零件安裝位置 上，并且所述辨識(shí)相機(jī)被安裝在可獨(dú)立于所述安裝頭移動(dòng)地提供的攝像頭上。根據(jù)第三方面，提供了一種基板檢查方法，所述方法用于使相對(duì)于被定位的基板 可移動(dòng)地提供的辨識(shí)相機(jī)辨識(shí)所述基板上的零件安裝位置，并執(zhí)行檢查是否可以在所述零 件安裝位置上安裝零件的零件安裝前的檢查處理，其中，當(dāng)未由再輸入模式設(shè)置單元設(shè)置 再輸入模式時(shí)，對(duì)要在其上安裝零件的所有零件安裝位置執(zhí)行所述零件安裝前的檢查，當(dāng) 設(shè)置了所述再輸入模式時(shí)，首先使所述辨識(shí)相機(jī)辨識(shí)所述零件安裝位置并接著執(zhí)行檢查所 述零件安裝位置上是否安裝了所述零件的零件存在性檢查處理，并且因此，對(duì)其上未安裝 所述零件的零件安裝位置執(zhí)行所述零件安裝前的檢查處理。在本發(fā)明中，在其中未設(shè)置再輸入模式的常規(guī)基板進(jìn)入時(shí)，對(duì)所有要在其上安裝 零件的零件安裝位置執(zhí)行零件安裝前的檢查，而且，在其中設(shè)置了再輸入模式的基板再輸 入時(shí)，首先使辨識(shí)相機(jī)辨識(shí)零件安裝位置，接著執(zhí)行檢查零件是否被安裝在零件安裝位置 上的零件存在性檢查。結(jié)果，對(duì)其上未安裝零件的零件安裝位置，執(zhí)行零件安裝前的檢查。 因此，可以高效地執(zhí)行零件安裝前的檢查，而不對(duì)其上已經(jīng)安裝了零件的零件安裝位置執(zhí) 行不必要的零件安裝前的檢查。此外，因?yàn)樵谶m合于零件的存在性檢查的辨識(shí)相機(jī)的視野(假定零件被安裝在零 件安裝位置上的視野)中執(zhí)行基板再輸入時(shí)的零件存在性檢查，所以，如果零件未被安裝 在零件安裝位置上，則零件安裝位置被辨識(shí)(此后，當(dāng)視野被切換到適合于判定零件安裝 位置的好/壞的視野時(shí)，可以執(zhí)行對(duì)零件安裝位置的好/壞判定)。另一方面，如果零件被安 裝在零件安裝位置上，則因?yàn)樵摿慵槐孀R(shí)，所以不會(huì)判定異常，并因此不出現(xiàn)系統(tǒng)錯(cuò)誤。


圖1是與根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基板檢查設(shè)備附接的零件安裝器的透視圖。圖2是與根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基板檢查設(shè)備附接的零件安裝器的平面圖。圖3是示出與根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基板檢查設(shè)備附接的零件安裝器的控制系 統(tǒng)的框圖。圖4是由與根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基板檢查設(shè)備附接的零件安裝器將零件安裝 在其上的示例性基板的平面圖。圖5是示出由與根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基板檢查設(shè)備附接的零件安裝器執(zhí)行的 零件安裝的步驟的流程圖。圖6是示出由與根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基板檢查設(shè)備附接的零件安裝器執(zhí)行的 零件安裝的步驟的流程圖。
具體實(shí)施例方式下文，將參照附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例。圖1是與根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基板檢
4查設(shè)備附接的零件安裝器的透視圖，圖2是與根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基板檢查設(shè)備附接的 零件安裝器的平面圖，圖3是示出與根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基板檢查設(shè)備附接的零件安裝 器的控制系統(tǒng)的框圖，圖4是由與根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基板檢查設(shè)備附接的零件安裝器 將零件安裝在其上的示例性基板的平面圖，圖5和圖6是示出由與根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的 基板檢查設(shè)備附接的零件安裝器執(zhí)行的零件安裝的步驟的流程圖。在圖1和圖2中，與基板檢查設(shè)備附接的零件安裝器1被用作構(gòu)成包括屏幕打印 機(jī)、零件安裝單元、檢查裝置、回流爐等的安裝線的一個(gè)裝置(零件安裝機(jī))。與基板檢查設(shè)備附接的零件安裝器1 (下文簡稱為“零件安裝器1” )包括作為用 于在水平方向(X軸方向)上將基板B輸送和定位到覆蓋組件2內(nèi)部的底座3上的基板輸 送單元的輸送器4、以及部署在輸送器4上方并沿著與由輸送器4輸送基板B的方向(X軸 方向)水平地垂直的方向(Y軸方向)上延伸的Y軸平臺(tái)5。沿著Y軸平臺(tái)5( S卩，沿Y軸方 向)，向Y軸平臺(tái)5可移動(dòng)地提供兩個(gè)Y軸滑動(dòng)器6，并且，每個(gè)Y軸滑動(dòng)器6上安裝有在X 軸方向延伸的X軸平臺(tái)7的一端。每個(gè)X軸平臺(tái)7上被提供有可以沿著X軸平臺(tái)7 ( S卩，X 軸方向上)移動(dòng)的可移動(dòng)臺(tái)8。這兩個(gè)可移動(dòng)臺(tái)8上被提供有具有多個(gè)吸收嘴9的安裝頭 10，并且，另一可移動(dòng)臺(tái)8上被提供有具有其視野方向朝下的辨識(shí)相機(jī)11的攝像頭12。在圖1和圖2中，輸送器4的安裝頭10的橫向區(qū)域與多個(gè)零件提供單元(例如， 帶式送料器)13在X軸方向上排成一排，其中，零件提供單元13將零件P (圖1)提供給安 裝頭10。安裝頭10被提供有其成像面向下的基板相機(jī)14，并且，成像面向下的零件相機(jī)15 被放置在底座3上。在圖3中，零件安裝器1還包括用于驅(qū)動(dòng)輸送器4的輸送器驅(qū)動(dòng)馬達(dá)16a、用于沿 著Y軸平臺(tái)5移動(dòng)Y軸滑動(dòng)器6的Y軸滑動(dòng)器移動(dòng)機(jī)構(gòu)16b、用于沿著X軸平臺(tái)7移動(dòng)可 移動(dòng)臺(tái)8的可移動(dòng)臺(tái)移動(dòng)結(jié)構(gòu)16c、以及吸嘴驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16d，其中吸嘴驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16d用于各 自地升降吸收嘴9，并繞著垂直軸(ζ軸)各自旋轉(zhuǎn)吸收嘴9，并將零件P系統(tǒng)吸收到吸收嘴 9。所述輸送器驅(qū)動(dòng)馬達(dá)16a、Y軸滑動(dòng)器移動(dòng)機(jī)構(gòu)16d、可移動(dòng)臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)16c、以及 吸嘴驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)16d的操作被提供在零件安裝器1中的控制器17(圖3)控制，其中，該控制 器17用于通過輸送器4對(duì)基板B輸送和定位的控制、安裝頭10和攝像頭12的移動(dòng)的控制、 吸收嘴9的升降的控制等。這里，因?yàn)榭梢元?dú)立于安裝頭10移動(dòng)辨識(shí)相機(jī)11 (以及攝像頭 12)，所以，其相對(duì)于定位在輸送器4上的基板B可移動(dòng)，類似于安裝頭10。辨識(shí)相機(jī)11、基板相機(jī)14和零件相機(jī)15的操作由控制器17控制，并且，來自辨識(shí) 相機(jī)11、基板相機(jī)14以及零件相機(jī)15的成像結(jié)果被輸入給控制器17(圖3)。此外，連接 到控制器17的存儲(chǔ)單元18存儲(chǔ)包括如在零件提供單元13中接收的各種數(shù)據(jù)，包括例如零 件P的種類、零件P在基板B上的安裝位置(零件安裝位置L，見圖4)、在基板B上安裝零 件P的順序等的數(shù)據(jù)。在圖1和圖2中，覆蓋組件2被與具有顯示器19和輸入單元20的操作面板21 — 起提供，并且，零件安裝器1的操作員可以在觀看顯示器19上所顯示的圖像的同時(shí)通過輸 入單元20執(zhí)行所需要的輸入操作。此外，在輸送器4的一端(在基板B的流的上游)提供了在曾經(jīng)被輸送到零件控 制器1之外的基板B被再次輸入時(shí)由操作員操作的再輸入開關(guān)22 (見圖3)。當(dāng)操作員操作
5再輸入開關(guān)22時(shí)，操作信號(hào)被輸入到控制器17 (圖3)，并且，控制器17的操作狀態(tài)被設(shè)置為再輸入模式。接著，將參照?qǐng)D5的流程圖描述其中零件P被零件安裝器1安裝在基板B上的零 件安裝步驟。在以下描述中，零件安裝器1的零件安裝步驟被描述為包括根據(jù)本發(fā)明的實(shí) 施例的基板檢查方法的執(zhí)行順序。在零件安裝器1的零件安裝中，首先，控制器17驅(qū)動(dòng)輸送器4來輸送從上游的裝 置輸入(送入)的基板B到零件安裝器1中(圖5中的步驟STl)，并且，將基板B定位在預(yù) 定的位置(步驟ST2)。在步驟ST2中，控制器17在基板B上方移動(dòng)安裝頭10，并且使得提 供在安裝頭10上的基板相機(jī)14辨識(shí)(成像)基板B的定位標(biāo)記(未示出)，以獲得從基板 B的基準(zhǔn)位置的任何位置偏離。在完成了步驟ST2之后，控制器17執(zhí)行零件安裝前的檢查處理(步驟ST3至步驟 ST9)。在零件安裝前的檢查處理(步驟ST3至步驟ST9)中，控制器17首先判定當(dāng)前是否 設(shè)置了再輸入模式(步驟ST3)。如果在步驟ST3中判定當(dāng)前未設(shè)置再輸入模式，則控制器 17進(jìn)入到步驟ST4，其中執(zhí)行零件安裝前的檢查處理(步驟ST4至ST6)。在此零件安裝前 的檢查處理(步驟ST4至步驟ST6)中，控制器17在基板B上的零件安裝位置L的上方移 動(dòng)攝像頭12 ( S卩，辨識(shí)相機(jī)11)，辨識(shí)零件安裝位置L (步驟ST4)，判定零件P是否可以被安 裝在零件安裝位置L上(好/壞判定)(步驟ST5)，并且將判定的結(jié)果存儲(chǔ)在存儲(chǔ)單元18 中(步驟ST6)。接著，在零件安裝前的檢查處理(步驟ST4至ST6)之后的判定步驟(步驟 ST7)中，判定是否完成了所有要被檢查的零件安裝位置L的檢查。作為判定的結(jié)果，如果判 定未完成所有要被檢查的零件安裝位置L的檢查，則控制器返回到步驟ST3，其中檢查還未 被檢查的零件安裝位置L。否則，如果判定完成了所有要被檢查的零件安裝位置L的檢查， 則零件安裝前的檢查處理結(jié)束?？刂破?7利用被設(shè)置為適合于判定零件安裝位置L的好/壞的辨識(shí)相機(jī)11的視 野(假定零件P未被安裝在零件安裝位置L上的視野)來在步驟ST4中的執(zhí)行辨識(shí)操作。 此外，在步驟ST5的好/壞判定中，具體地，判定基板B上的零件安裝位置L是否被破壞，或 者，如果要被安裝的零件P是屏蔽零件，則判定由屏蔽零件覆蓋的零件(被屏蔽零件覆蓋的 零件被部署在該零件安裝器1的上游的另一零件安裝器安裝在基板B上)是否被正常地安 裝在基板B的預(yù)定位置上。另一方面，如果在步驟ST3中判定當(dāng)前設(shè)置了再輸入模式，則控制器17進(jìn)入到零 件存在性檢查處理(步驟ST8和步驟ST9)。然而，僅在基板B被再次輸入(后面將對(duì)其描 述)時(shí)才執(zhí)行此零件存在性檢查處理(步驟ST8和步驟ST9)。當(dāng)零件安裝前的檢查處理(步驟ST3至步驟ST9)結(jié)束時(shí)，控制器17執(zhí)行下一零 件安裝處理(步驟STlO至步驟ST13)。零件安裝處理(步驟STlO至步驟ST13)是這樣的 處理在被在緊挨在前的零件安裝前的檢查(步驟ST3至步驟ST9)的好/壞判定步驟(步 驟ST5)中判定為好的所有零件安裝位置L上安裝零件P。在此零件安裝處理(步驟STlO至步驟ST13)中，控制器17繼續(xù)執(zhí)行一系列的零件 安裝處理(步驟STlO至步驟ST12)移動(dòng)安裝頭10，以在安裝頭10的吸收嘴9上拾取(吸 收)要被提供到零件提供單元13的零件提供端口 13a (圖2)的零件P (步驟ST10)；在零件 相機(jī)15的正上方移動(dòng)頭10，來使得零件相機(jī)15辨識(shí)(成像)零件P，以獲得零件P相對(duì)于吸收嘴9的位置偏離(步驟ST11)；并且，在零件安裝位置L上安裝零件P (步驟ST12)，直 到在步驟ST12后的判定步驟(步驟ST13)中檢測(cè)到對(duì)在其上安裝零件的(在零件安裝前 的檢查的好/壞判定步驟中判定為好的)所有零件安裝位置L的零件安裝處理(步驟STlO 至步驟ST12)都結(jié)束為止。根據(jù)此零件安裝處理(步驟STlO至步驟ST13)，在所有在零件安裝前的檢查處理 (步驟ST3至步驟ST9)的好/壞判定步驟(步驟ST5)中被判定為好的零件安裝位置L上 安裝零件P，這意味著，用于在零件安裝前的檢查處理(步驟ST3至步驟ST9)的步驟ST5 中被判定為壞的零件安裝位置L(缺陷位置)的零件安裝前的檢查處理(步驟ST3至步驟 ST9)被跳過，并且，不在壞零件安裝位置L上安裝零件P。在零件安裝處理(步驟STlO至步驟ST12)中，控制器17校正在步驟ST2中獲得 的從基板B的基準(zhǔn)位置的位置偏離、以及在步驟STll中獲得的零件P相對(duì)于吸收嘴9的位
置偏離。當(dāng)零件安裝處理(步驟STlO至步驟ST13)結(jié)束時(shí)，執(zhí)行后續(xù)的零件安裝后的檢查 處理(步驟ST14至步驟ST17)。零件安裝后的檢查處理(步驟ST14至步驟ST17)是這樣 的處理將所有在上述零件安裝處理(步驟STlO至步驟ST13)中安裝了零件P的零件安裝 位置L(即，零件安裝后的基板B的零件安裝位置L)辨識(shí)為辨識(shí)相機(jī)11的檢查對(duì)象，然后 檢查零件P是否被正確地安裝在零件安裝位置L上。在此零件安裝后的檢查處理(步驟ST14至步驟ST17)中，控制器17繼續(xù)執(zhí)行一 系列的零件安裝后的檢查處理(步驟ST14至步驟ST16)，即在零件安裝處理(步驟STlO 至步驟ST13)中安裝了零件的基板B上的零件安裝位置L的上方移動(dòng)攝像頭12 (即，辨識(shí) 相機(jī)11)，以辨識(shí)零件安裝位置L (步驟ST14)；判定零件P是否被正確地安裝在零件安裝位 置L上(好/壞判定)(步驟ST15)；以及將判定結(jié)果存儲(chǔ)在存儲(chǔ)單元18中(步驟ST16)， 直到在步驟ST16之后的判定步驟(步驟ST17)中檢測(cè)到對(duì)所有要被檢查的零件安裝位置 L的零件安裝后的檢查處理(步驟ST14至步驟ST16)都結(jié)束為止。對(duì)于步驟ST14中的辨識(shí)，控制器17可以將辨識(shí)相機(jī)11的視野設(shè)置為適合于零件 P的存在性的檢查的視野(假定零件P被安裝在零件安裝位置L上的視野，其典型地比假定 零件P未被安裝在零件安裝位置L上的視野大)。當(dāng)零件安裝后的檢查處理(步驟ST14至步驟ST17)結(jié)束時(shí)，控制器17進(jìn)入到下 一步驟ST18。 在步驟ST18中，控制器17對(duì)輸送器4上的基板B執(zhí)行好/壞判定。這里，在零件 安裝前的檢查處理(步驟ST3至步驟ST9)中被辨識(shí)為具有缺陷位置(因此，在零件安裝 處理中不在其上安裝零件P)的基板B、以及在零件安裝后的檢查處理(步驟ST14至步驟 ST17)中被辨識(shí)為具有缺陷位置的基板B被判定為缺陷基板，并且，在零件安裝前的檢查處 理(步驟ST3至步驟ST9)與零件安裝后的檢查處理(步驟ST14至步驟ST17)的任一個(gè)中 均被辨識(shí)為沒有缺陷位置的基板B被判定為好基板。此外，步驟ST14至步驟ST17的處理 的執(zhí)行是可選的，而不是必要的。此外，可以僅對(duì)特定零件P執(zhí)行這些步驟。
當(dāng)步驟ST18結(jié)束時(shí)，控制器17執(zhí)行對(duì)于被判定為缺陷基板的基板B所需的處理 (缺陷基板處理)(步驟ST19)。步驟ST19中的缺陷基板處理包括在缺陷基板上放置標(biāo)記、 以使操作員可以通過視覺檢查來檢查缺陷基板上的缺陷位置的處理。
當(dāng)步驟ST19結(jié)束時(shí)，控制器17控制輸送器4將基板B釋放到零件安裝器1的下 游處的裝置(如圖1和圖2中的箭頭A所指示，步驟ST20)。因此，通過零件安裝器1進(jìn)行 的一系列零件安裝處理結(jié)束。這里，在基板B在步驟ST20中被輸送出零 件安裝器1之后，當(dāng)根據(jù)形成在基板B 上的標(biāo)記將基板B辨識(shí)為缺陷基板和缺陷位置的操作員修復(fù)基板B的缺陷位置時(shí)，操作員 可以再次將基板B輸入到零件安裝器1中。通過由操作員將基板B輸入到輸送器4的上游 中，來執(zhí)行基板B的再輸入。當(dāng)操作員再次輸入基板B時(shí)，操作員操作再輸入開關(guān)22，以將 控制器17的操作狀態(tài)設(shè)置為再輸入模式。當(dāng)基板B被輸入到輸送器4中時(shí)，雖然控制器17從步驟STl開始執(zhí)行上述零件安 裝處理，但由于在零件安裝前的檢查處理(步驟ST3至步驟ST9)的步驟ST3中判定當(dāng)前設(shè) 置了再輸入模式，所以，控制器17進(jìn)入到零件存在性檢查處理(步驟ST8和步驟ST9)。在零件存在性檢查處理(步驟ST8和步驟ST9)中，控制器在基板B上的零件安裝 位置L上方移動(dòng)攝像頭12 ( S卩，辨識(shí)相機(jī)11)，以辨識(shí)零件安裝位置L (步驟ST8)，并接著判 定零件P是否已經(jīng)被安裝在零件安裝位置L上(零件存在性判定)(步驟ST9)。對(duì)于步驟ST8中的辨識(shí)，控制器17可以將辨識(shí)相機(jī)11的視野設(shè)置為適合于零件 P的存在性的檢查的視野(假定零件P被安裝在零件安裝位置L上的視野)?？刂破?7零件將在步驟ST9中判定其上未安裝零件P的安裝位置L存儲(chǔ)在存儲(chǔ) 單元18中作為檢查對(duì)象，對(duì)存儲(chǔ)為檢查對(duì)象的零件安裝位置L執(zhí)行上述零件安裝前的檢查 處理(步驟ST4至步驟ST6)，然而進(jìn)入到步驟ST7。另一方面，控制器17將在步驟ST9中 判定其上安裝了零件P的零件安裝位置L存儲(chǔ)在存儲(chǔ)單元18中作為非檢查對(duì)象，對(duì)存儲(chǔ)為 非檢查對(duì)象的零件安裝位置L跳過零件安裝前的檢查處理(步驟ST4至步驟ST6)，然后進(jìn) 入到步驟ST7。在步驟ST7中，因?yàn)榭刂破髦钡剿凶鳛闄z查對(duì)象的零件安裝位置L的檢查都結(jié) 束之前一直會(huì)返回到步驟ST3，所以控制器對(duì)被再次輸入的基板B的所有零件安裝位置L執(zhí) 行零件安裝前的檢查處理(步驟ST3至步驟ST9)，并且，對(duì)未安裝零件P的零件安裝位置L 執(zhí)行零件安裝前的檢查處理(步驟ST4至步驟ST6)。在此方式中，當(dāng)設(shè)置了再輸入模式時(shí)，根據(jù)此實(shí)施例的零件安裝器1首先使辨識(shí) 相機(jī)11辨識(shí)零件安裝位置L，執(zhí)行零件存在性檢查處理(步驟ST8至步驟ST9)，以判定零 件P是否被安裝在零件安裝位置L，然后對(duì)未安裝零件P的零件安裝位置L執(zhí)行零件安裝前 的檢查處理(步驟ST4至步驟ST6)。當(dāng)對(duì)被再次輸入的基板B的所有零件安裝位置L的零件安裝前的檢查處理(步驟 ST3至步驟ST9)結(jié)束時(shí)，控制器17對(duì)在零件安裝前的檢查處理(步驟ST3至步驟ST9)的 好/壞判定步驟(步驟ST5)中被判定為好的零件安裝位置L執(zhí)行上述零件安裝處理(步 驟STlO至步驟ST13)。當(dāng)零件安裝處理(步驟STlO至ST13)結(jié)束時(shí)，控制器17執(zhí)行零件安裝后的檢查 處理(步驟ST14至步驟ST17)。這里，控制器對(duì)具有在緊挨在之前的零件安裝處理(步驟 STlO至步驟ST13)中在其上安裝了零件的所有零件安裝位置L (在步驟ST9中，被存儲(chǔ)在存 儲(chǔ)單元18中作為檢查對(duì)象的零件安裝位置L)執(zhí)行零件安裝后的檢查處理(步驟ST14至 步驟ST16)。此外，這里，步驟ST14至步驟ST17的處理的執(zhí)行可以是可選的。
當(dāng)零件安裝后的檢查處理(步驟ST14至步驟ST17)結(jié)束時(shí)，執(zhí)行對(duì)被再次輸入的基板B的好/壞判定(步驟ST18)、以及被判定為壞的基板B所需要的處理(步驟ST19)， 并且釋放基板B (步驟ST20)。當(dāng)基板B被釋放時(shí)，控制器17釋放所設(shè)置的再輸入模式。如從上述描述可知，根據(jù)此實(shí)施例的零件安裝器(與基板檢查設(shè)備附接的零件安 裝器)1包括可以相對(duì)被輸送器4定位的基板B移動(dòng)的辨識(shí)相機(jī)11、作為用于使辨識(shí)相機(jī) 11辨識(shí)基板B上的零件安裝位置L并執(zhí)行檢查零件P是否可以安裝在零件安裝位置L上的 零件安裝前的檢查(步驟ST4至步驟ST6的零件安裝前的檢查處理)的檢查執(zhí)行單元的控 制器17、以及作為用于將控制器17設(shè)置為再輸入模式的再輸入模式設(shè)置單元的再輸入開 關(guān)22，以構(gòu)成根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的基板檢查設(shè)備。控制器17在未通過再輸入開關(guān)22的 操作設(shè)置再輸入模式時(shí)，對(duì)要在其上安裝零件的所有零件安裝位置L執(zhí)行零件安裝前的檢 查(步驟ST4至步驟ST6的零件安裝前的檢查處理)，并且在通過再輸入開關(guān)22的操作設(shè) 置了再輸入模式時(shí)，首先使辨識(shí)相機(jī)辨識(shí)零件安裝位置L，然后執(zhí)行零件存在性檢查(步驟 ST8和步驟ST9的零件存在性檢查處理)，其檢查零件P是否被安裝在零件安裝位置L上。 結(jié)果，對(duì)其上未安裝零件P的零件安裝位置L的零件安裝前的檢查(步驟ST4至步驟ST6 的零件安裝前的檢查處理)被執(zhí)行。此外，根據(jù)此實(shí)施例的基板檢查方法使可以相對(duì)于所定位的基板B移動(dòng)的辨識(shí)相 機(jī)11辨識(shí)基板B上的零件安裝位置L，然后執(zhí)行檢查零件P是否可以被安裝在零件安裝位 置L上的零件安裝前的檢查。如果未通過再輸入開關(guān)22的操作設(shè)置再輸入模式，則首先執(zhí) 行對(duì)要在其上安裝零件的所有零件安裝位置L的零件安裝前的檢查(步驟ST4至步驟ST6 的零件安裝前的檢查處理)，并且，如果通過再輸入開關(guān)22的操作設(shè)置了再輸入模式，則使 辨識(shí)相機(jī)11辨識(shí)零件安裝位置L，并接著執(zhí)行檢查零件P是否被安裝在零件安裝位置L上 的零件存在性檢查(步驟ST8至步驟ST9的零件存在性檢查處理)。結(jié)果，對(duì)其上未安裝零 件P的零件安裝位置L的零件安裝前的檢查(步驟ST4至步驟ST6的零件安裝前的檢查處 理)被執(zhí)行。在此方式中，在根據(jù)此實(shí)施例的基板檢查設(shè)備(基板檢查方法)中，在其中未設(shè)置 再輸入模式的常規(guī)基板進(jìn)入時(shí)，對(duì)所有要在其上安裝零件的零件安裝位置L執(zhí)行零件安裝 前的檢查(步驟ST4至步驟ST6的零件安裝前的檢查)，并且，在其中設(shè)置了再輸入模式的 基板8的再輸入時(shí)，首先使辨識(shí)相機(jī)11辨識(shí)零件安裝位置L，并接著執(zhí)行檢查零件P是否 被安裝在零件安裝位置L上的零件存在性檢查(步驟ST8和步驟ST9的零件存在性檢查處 理)。結(jié)果，對(duì)其上未安裝零件P的零件安裝位置L的零件安裝前的檢查(步驟ST4至步驟 ST6的零件安裝前的檢查處理)被執(zhí)行。因此，可以高效地執(zhí)行零件安裝前的檢查，而不對(duì) 其上已經(jīng)安裝了零件P的零件安裝位置L執(zhí)行不必要的零件安裝前的檢查。此外，因?yàn)樵谶m合于零件P的存在性檢查的辨識(shí)相機(jī)11的視野(假定零件P被安 裝在零件安裝位置L上的視野)中執(zhí)行基板B的再輸入時(shí)的零件存在性檢查(步驟ST8和 步驟ST9的零件存在性檢查處理)，所以，如果零件P未被安裝在零件安裝位置上，則零件 安裝位置L被辨識(shí)(此后，當(dāng)視野被切換到適合于判定零件安裝位置L的好/壞的視野時(shí)， 可以執(zhí)行對(duì)零件安裝位置L的好/壞判定)。另一方面，在零件P被安裝在零件安裝位置L 上的情況下，因?yàn)榱慵被辨識(shí)，所以不存在判定的異常，并因此不出現(xiàn)系統(tǒng)錯(cuò)誤。雖然上文已經(jīng)描述本發(fā)明的實(shí)施例，但本發(fā)明不被限制于上述實(shí)施例。例如，雖然在上述實(shí)施中已經(jīng)設(shè)置用于對(duì)所有零件P執(zhí)行零件存在性檢查處理(步驟ST8和步驟ST9)的循環(huán)使用零件安裝前的檢查處理(步驟ST3至步驟ST9)的循環(huán)，但并不限制于這 樣的設(shè)置，如圖6的流程圖所示，可以設(shè)置為執(zhí)行零件存在性檢查處理(步驟STSa至步驟 ST9c)直到在步驟ST9b之后的判定步驟(步驟ST9c)中檢測(cè)到上述處理(步驟STSa至步 驟ST9b)對(duì)于基板B上的所有零件安裝位置L已結(jié)束為止，其中所述零件存在性檢查處理 (步驟STSa至步驟ST9c)繼續(xù)一系列的處理，即辨識(shí)零件安裝位置L (步驟ST8a)、執(zhí)行對(duì) 零件P是否已被安裝在零件安裝位置L上的判定(零件存在性判定)(步驟ST9a)、以及將 判定結(jié)果存儲(chǔ)在存儲(chǔ)單元18中(步驟ST9b)。在此情況中，在下一零件安裝前的檢查處理 (步驟ST3至步驟ST9)中，可以僅對(duì)在零件存在性檢查處理(步驟ST8a至步驟ST9c)中 判定為其上未安裝零件P的、作為檢查對(duì)象的零件安裝位置L執(zhí)行零件安裝前的檢查處理 (步驟ST4至步驟ST6)。此外，在圖6的流程圖中，由與圖5的流程圖相同的附圖標(biāo)記表示 的步驟具有與圖5的流程圖相同的內(nèi)容。此外，雖然在以上實(shí)施例中已經(jīng)設(shè)置辨識(shí)相機(jī)11被安裝在在零件安裝器1上提供 的攝像頭12上、使得攝像頭可以獨(dú)立于安裝頭10移動(dòng)、并且基板檢查設(shè)備被與零件安裝器 1集成地形成(作為零件安裝器1的部分)，但是，不一定將基板檢查設(shè)備與零件安裝器1集 成地形成，而是可分離地將其提供零件安裝器1的上游。然而，正如在上面的實(shí)施例中，當(dāng) 基板檢查設(shè)備被與零件安裝器1集成地形成時(shí)，因?yàn)榭梢詼p少零件安裝線中的裝置數(shù)量， 所以可以大大地減低成本。此外，因?yàn)榭梢栽瓨拥匕惭b零件P、而在執(zhí)行了在零件安裝前的 檢查(步驟ST4至步驟ST6)之后不移動(dòng)基板B，所以，具有可以高精度地安裝零件的優(yōu)點(diǎn)。 此外，如上所述，因?yàn)檫€可以執(zhí)行零件安裝后的檢查處理(步驟ST14至步驟ST17)，所以，可 以同樣地進(jìn)一步減少零件安裝線中的裝置的數(shù)量。提供了能夠在基板被再次輸入時(shí)高效地執(zhí)行零件安裝前的檢查、并因此防止系統(tǒng) 錯(cuò)誤的發(fā)生的基板檢查設(shè)備和基板檢查方法。
權(quán)利要求
一種基板檢查設(shè)備，包括辨識(shí)相機(jī)，其可相對(duì)于被定位的基板而移動(dòng)；檢查執(zhí)行單元，其使所述辨識(shí)相機(jī)辨識(shí)所述基板上的零件安裝位置，并執(zhí)行零件安裝前的檢查處理，所述零件安裝前的檢查處理檢查是否可以在所述零件安裝位置上安裝零件；以及再輸入模式設(shè)置單元，將所述檢查執(zhí)行單元設(shè)置為再輸入模式，其中，當(dāng)未通過所述再輸入模式設(shè)置單元的操作而設(shè)置所述再輸入模式時(shí)，所述檢查執(zhí)行單元對(duì)要在其上安裝零件的所有零件安裝位置執(zhí)行所述零件安裝前的檢查處理；當(dāng)通過所述再輸入模式設(shè)置單元的操作而設(shè)置了所述再輸入模式時(shí)，首先使所述辨識(shí)相機(jī)辨識(shí)所述零件安裝位置，然后執(zhí)行檢查在所述零件安裝位置上是否安裝了所述零件的零件存在性檢查處理；并且，對(duì)其上未安裝所述零件的零件安裝位置執(zhí)行所述零件安裝前的檢查處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢查設(shè)備，其中，在零件安裝器中提供所述設(shè)備，所述零件安裝器相對(duì)于所定位的基板移動(dòng)安裝 頭，并將所述零件安裝在所述基板上的零件安裝位置上，并且，所述辨識(shí)相機(jī)被安裝在獨(dú)立 于所述安裝頭可移動(dòng)地提供的攝像頭上。
3.一種基板檢查方法，所述方法用于使相對(duì)于被定位的基板可移動(dòng)地提供的辨識(shí)相機(jī) 辨識(shí)所述基板上的零件安裝位置，并執(zhí)行零件安裝前的檢查處理，所述零件安裝前的檢查 處理檢查是否可以在所述零件安裝位置上安裝零件，其中，當(dāng)未由再輸入模式設(shè)置單元設(shè)置再輸入模式時(shí)，對(duì)要在其上安裝零件的所有零 件安裝位置執(zhí)行所述零件安裝前的檢查；當(dāng)設(shè)置了所述再輸入模式時(shí)，首先使所述辨識(shí)相 機(jī)辨識(shí)所述零件安裝位置，然后執(zhí)行檢查在所述零件安裝位置上是否安裝了所述零件的零 件存在性檢查處理；并且，對(duì)其上未安裝所述零件的零件安裝位置執(zhí)行所述零件安裝前的 檢查處理。
全文摘要
當(dāng)未通過再輸入開關(guān)的操作設(shè)置再輸入模式時(shí)，對(duì)要在其上安裝零件的所有零件安裝位置執(zhí)行零件安裝前的檢查；當(dāng)由再輸入開關(guān)設(shè)置了再輸入模式時(shí)，首先使辨識(shí)相機(jī)辨識(shí)零件安裝位置并接著執(zhí)行檢查零件安裝位置上是否安裝了零件的零件存在性檢查處理；并且，對(duì)其上未安裝零件的零件安裝位置執(zhí)行零件安裝前的檢查處理。
文檔編號(hào)H05K13/04GK101971722SQ20098010898
公開日2011年2月9日 申請(qǐng)日期2009年3月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月14日
發(fā)明者東升, 戒田健一, 永尾和英, 粟田義明, 角英樹 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社