專利名稱：有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置及其制造方法。更詳細(xì)而言，涉及構(gòu)成為將具有發(fā)光層等的基板與具有薄膜晶體管(TFT)元件等的基板貼合的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置及其制造方法。
背景技術(shù)：
有機(jī)電致發(fā)光(以下也稱為“EL”)顯示裝置，作為承擔(dān)下一代的有希望的顯示裝置，正在積極地進(jìn)行開發(fā)，逐漸擴(kuò)展實用的范圍。根據(jù)光的取出方向，有機(jī)EL顯示裝置能夠大致分為頂部發(fā)光型和底部發(fā)光型。頂部發(fā)光型的有機(jī)EL顯示裝置，在玻璃基板等基板上具有將金屬電極、發(fā)光層、透明電極依次成膜的膜結(jié)構(gòu)。底部發(fā)光型的有機(jī)EL顯示裝置，同樣在玻璃基板等基板上具有將透明電極、發(fā)光層、金屬電極依次成膜的膜結(jié)構(gòu)。由于該膜結(jié)構(gòu)的不同，頂部發(fā)光型的有機(jī)EL顯示裝置，以發(fā)光層為基準(zhǔn)向與元件基板相反的方向發(fā)光，與此相對，底部發(fā)光型的有機(jī)EL顯示裝置，以發(fā)光層為基準(zhǔn)向元件基板的方向發(fā)光。這樣，在頂部發(fā)光型的有機(jī)EL顯示裝置和底部發(fā)光型的有機(jī)EL顯示裝置中，來自發(fā)光層的光的取出方向不同。有機(jī)EL顯示裝置，在頂部發(fā)光型和底部發(fā)光型中的任一種中，來自發(fā)光層的發(fā)光通過全反射產(chǎn)生導(dǎo)光成分。因此，將來自發(fā)光層的發(fā)光向元件外部取出的外部取出效率，保持在20 25%左右，正在謀求提高外部取出效率。為了提高外部取出效率，需要使來自發(fā)光層的發(fā)光在相同的像素內(nèi)取出，因此，需要使來自發(fā)光層的發(fā)光散射，進(jìn)而將散射的光導(dǎo)向元件外部。作為使來自發(fā)光層的發(fā)光散射的散射方法，提案有設(shè)置具有反射功能的光學(xué)部件，作為散射效果高的光學(xué)部件，已知有立體角反射器陣列(corner cube array)(例如， 參照專利文獻(xiàn)1)。將散射的光導(dǎo)向元件外部的導(dǎo)光單元，需要設(shè)置在光的出射側(cè)，優(yōu)選盡可能低的折射率，且厚度薄。于是，提案有在發(fā)光層的附近設(shè)置金屬薄膜等低折射率層作為導(dǎo)光單元的方法(例如，參照專利文獻(xiàn)2)等。當(dāng)考慮光的透過率時，低折射率層優(yōu)選為透明。作為低折射率且厚度薄的透明的低折射率層，可以考慮由空氣等氣體構(gòu)成的氣體層。作為低折射率層，通過將氣體層設(shè)置在光的出射側(cè)，能夠在氣體層與折射率比該氣體層的折射率高的層之間的界面發(fā)生全反射，將來自發(fā)光層的散射光高效地向外部出射。如果是頂部發(fā)光結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL顯示裝置，則低折射率層在元件配置基板的主面上形成了 EL元件后形成即可，因此適用容易。然而，底部發(fā)光型的有機(jī)EL顯示裝置中，必須在元件配置基板與EL元件之間形成低折射率層，因此在哪個工序中形成低折射率層成為問題。例如，構(gòu)成有機(jī)EL元件的發(fā)光層，一般情況下通過真空成膜而形成，因此難以在發(fā)光層成膜之前形成作為低折射率層的氣體層。此外，如上述的立體角反射器陣列那樣設(shè)置散射效應(yīng)高的光學(xué)部件的情況下，由于與立體角反射器陣列的形成方法的關(guān)系，氣體層的形成困難。即，立體角反射器陣列通過 Photo-Polymer (光聚合物)轉(zhuǎn)印法(以下，稱為2P轉(zhuǎn)印法)形成，在2P轉(zhuǎn)印法中，將液體狀的紫外線(UV)固化樹脂涂敷在支承基板上，一邊用模具加壓一邊照射UV光而形成，因此固化前的UV固化樹脂為液體狀，難以保持氣體層。這樣，底部發(fā)光型的有機(jī)EL顯示裝置中， 在有機(jī)EL元件的形成前的初始工序中，難以形成氣體層。然而，一直以來，提案有以實現(xiàn)顯示裝置的薄型化、輕量化等為目的，在支承基板上形成薄膜晶體管(TFT)等功能性元件，并將形成的功能性元件從支承基板剝離而粘貼于其他基板的方法。根據(jù)該方法，在形成功能性元件時，能夠使用玻璃基板等耐熱性等優(yōu)異的基板作為支承基板，剝離后的功能性元件能夠粘貼于薄且輕量的樹脂膜等其他基板，因此能夠?qū)崿F(xiàn)顯示裝置的薄型化、輕量化等。作為將功能性元件從支承基板剝離的方法，已知有通過蝕刻或研磨將支承基板除去的方法(例如，參照專利文獻(xiàn)幻；在支承基板上設(shè)置與金屬層或氮化物層接觸的由氧化物層構(gòu)成的剝離層，并從該剝離層將功能性元件機(jī)械分離的方法(例如，參照專利文獻(xiàn) 4)；向由無定形硅(a-Si)構(gòu)成的剝離膜注入氫離子后，進(jìn)行加熱而從剝離膜分離基板的方法(例如，參照專利文獻(xiàn)5)；和在支承基板上形成分離層，通過對該分離層照射激光使緊貼性發(fā)生變化，從而使基板脫離的方法(例如，參照專利文獻(xiàn)6)等。能夠考慮通過將上述剝離功能性元件的方法適用于底部發(fā)光型的有機(jī)EL顯示裝置，在將有機(jī)EL元件粘貼于其他基板后形成低折射率層。例如，能夠考慮在支承基板的主面上形成散射部件和有機(jī)EL元件，將它們從支承基板剝離后，粘貼于其他基板而形成氣體層。此時，當(dāng)考慮發(fā)光的外部取出效率時，要求以下三個方面在從支承基板剝離的剝離面沒有著色等且光的透過率被保持；是不會對發(fā)光層施加損傷的處理；和能夠遍及整個面且成品率良好地剝離大面積。然而，在如專利文獻(xiàn)3中記載的那樣通過蝕刻或研磨等除去支承基板的技術(shù)中， 存在因蝕刻藥液而使構(gòu)成有機(jī)EL元件的發(fā)光層劣化的情況。此外，為了剝離功能性元件， 如專利文獻(xiàn)4中記載的那樣機(jī)械分離的技術(shù)因簡單而受到期望，不過，該方法雖然能夠適用于TFT等功能性元件的剝離，但是在功能性元件是有機(jī)EL元件并且設(shè)置有如立體角反射器陣列這樣的樹脂結(jié)構(gòu)物的情況下難以適用。這是由于，多數(shù)情況下樹脂結(jié)構(gòu)物與有機(jī) EL元件的緊貼性低于支承基板與剝離層的緊貼性，通過機(jī)械分離使得元件易產(chǎn)生劣化的緣故。此外，在支承基板與樹脂結(jié)構(gòu)物之間設(shè)置剝離層的情況下，如果不設(shè)置用于剝離的控制單元，則難以進(jìn)行均勻的剝離，特別是在使用大面積的支承基板的情況下該傾向顯著，因此難以以高成品率進(jìn)行剝離。此外，如專利文獻(xiàn)5中記載的那樣使用無定形硅(a-Si) 作為剝離膜的方法，因剝離面不具有透過性而不能夠適用。進(jìn)而，如專利文獻(xiàn)6中記載的那樣利用激光照射的方法中，存在分離層因激光照射而著色，由此透過率降低的課題?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1專利文獻(xiàn)2專利文獻(xiàn)3專利文獻(xiàn)4專利文獻(xiàn)5
5日本特開2002-198184號公報 日本特開2004-22176號公報 日本特開2007-88491號公報 日本特開2003-174153號公報 日本特開2004-335968號公報
專利文獻(xiàn)6 日本特開2004-140381號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供一種有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置及其制造方法，該有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法能夠成品率良好地制造外部取出效率高的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置。用于解決課題的手段本發(fā)明人對能夠?qū)碜园l(fā)光層的光高效地向外部取出的有機(jī)EL顯示裝置的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了各種研究，首先著眼于設(shè)置在發(fā)光層的附近的低折射率層。發(fā)現(xiàn)通過用氣體層構(gòu)成低折射率層，能夠得到外部取出效率高的有機(jī)EL顯示裝置。此外還發(fā)現(xiàn)通過適用在具備 TFT等功能性元件的顯示裝置的制造中所使用的將功能性元件從支承基板剝離的方法，具體來說，將形成在支承基板上的TFT等功能性元件從該支承基板剝離而粘貼于其他基板的方法，即使是以往難以形成作為低折射率層的氣體層的底部發(fā)光型的有機(jī)EL顯示裝置，也能夠在發(fā)光層的附近形成氣體層。而且發(fā)現(xiàn)為了剝離元件，通過組合使用局部激光照射和機(jī)械剝離，即使使用大面積的支承基板也能夠遍及基板的整個面且成品率良好地剝離而不對發(fā)光層施加損傷，由此想到能夠出色地解決上述課題的方式方法，實現(xiàn)本發(fā)明。即，本發(fā)明提供一種有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置，上述有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置具有以下結(jié)構(gòu)具有有機(jī)電致發(fā)光元件的元件配置基板與具有上述有機(jī)電致發(fā)光元件的驅(qū)動電路的電路基板相互接合，上述元件配置基板從觀察面一側(cè)起具備透明剝離層、光散射層、透明電極、發(fā)光層和反射電極，在上述元件配置基板與上述電路基板之間的間隙，設(shè)置有將上述反射電極與上述驅(qū)動電路的電極電連接的導(dǎo)電體。此外，本發(fā)明還提供一種有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，上述有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置具有以下結(jié)構(gòu)具有有機(jī)電致發(fā)光元件的元件配置基板與具有上述有機(jī)電致發(fā)光元件的驅(qū)動電路的電路基板相互接合，上述制造方法包括在支承基板的主面上形成透明剝離層的透明剝離層形成工序；在該透明剝離層上形成光散射層的光散射層形成工序；在上述光散射層上形成依次層疊有透明電極、發(fā)光層和反射電極的有機(jī)電致發(fā)光元件的元件形成工序；在上述支承基板的形成有上述有機(jī)電致發(fā)光元件的一側(cè)的面和上述電路基板的主面中的至少一個面上配置導(dǎo)電體材料的導(dǎo)電體材料配置工序；按照該反射電極和上述驅(qū)動電路的電極通過導(dǎo)電體材料連接的方式將上述元件配置基板和上述電路基板貼合的貼合工序；從上述支承基板的與形成有上述有機(jī)電致發(fā)光元件的一側(cè)相反的主面?zhèn)冗M(jìn)行局部的激光照射，將上述透明剝離層的一部分改性的激光照射工序；和從改性后的透明剝離層的部分剝離上述支承基板的剝離工序。下面，詳述本發(fā)明。本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置具有以下結(jié)構(gòu)具有有機(jī)EL元件的元件配置基板與具有上述有機(jī)EL元件的驅(qū)動電路的電路基板相互接合。與電路基板接合的元件配置基板，從觀察面一側(cè)起具備透明剝離層、光散射層、透明電極、發(fā)光層和反射電極(金屬電極)，來自發(fā)光層的光，從設(shè)置有透明剝離層的一側(cè)的面被取出。因此，本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置，能夠說從膜結(jié)構(gòu)的面起，是底部發(fā)光型的結(jié)構(gòu)，并且具有頂部發(fā)光的結(jié)構(gòu)。另外，有機(jī)EL顯示裝置，一般情況下也被稱為有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示裝置。具有這種結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL顯示裝置，在元件配置基板的設(shè)置有透明剝離層的一側(cè)的面，能夠易于形成折射率比由玻璃或樹脂構(gòu)成的基板低的低折射率層。由此，低折射率層與元件配置基板和/或透明剝離層之間的界面上產(chǎn)生全反射，能夠?qū)碜园l(fā)光層的散射光高效地向外部出射。低折射率層沒有特別限定，作為最廉價且簡單的結(jié)構(gòu)，列舉了將位于透明剝離層的形成面?zhèn)鹊目諝庾鳛榈驼凵渎蕦蛹右岳玫睦?。由此，在本發(fā)明中，能夠在以往難以形成低折射率層的底部發(fā)光型的具有膜結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL顯示裝置中也容易地形成低折射率層，能夠?qū)崿F(xiàn)外部利用效率高的有機(jī)EL顯示裝置。在本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置中，設(shè)置在元件配置基板的上述透明剝離層，是具有吸收照射的光而在其層內(nèi)和/或界面產(chǎn)生剝離(層內(nèi)剝離、界面剝離)這種性質(zhì)的部件，優(yōu)選通過光的照射，構(gòu)成透明剝離層的物質(zhì)的原子間或分子間的鍵合力消失或減少，產(chǎn)生熔損(ablation)而導(dǎo)致層內(nèi)剝離和/或界面剝離。作為透明剝離層，能夠舉出由聚酰亞胺膜等材質(zhì)形成的層。另外，透明玻璃層在光散射層上形成即可，其配置形狀等沒有特別限定， 可以形成在光散射層的整個主面，也可以局部形成。本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置中，透明剝離層的存在例如能夠使用掃描型電子顯微鏡(EMS)等確認(rèn)。上述透明剝離層的厚度沒有特別限定，但是優(yōu)選盡可能薄，例如優(yōu)選40nm 300nm。當(dāng)透明剝離層的厚度不足40nm時，難以形成透明剝離層，當(dāng)厚度超過300nm時，難以得到較高的導(dǎo)光性。光散射層是具有使來自發(fā)光層的光散射的光散射性的層，能夠列舉由丙烯酸類或氨基甲酸乙酯(urethane)類光固化性樹脂等材質(zhì)形成。其中，光散射層優(yōu)選為立體角反射器陣列。立體角反射器陣列是將角錐狀的單位構(gòu)造(立體角反射器(corner cube))排列多個而成的光學(xué)部件，具有較高的散射性，其中，該角錐狀的單位構(gòu)造是組合具有反射光的性質(zhì)的平面而構(gòu)成的。此外，從立體角反射器陣列的底面?zhèn)热肷涞墓?，具有由平面反?fù)進(jìn)行反射并向入射方向返回的回歸反射功能，因此立體角反射器陣列是回歸反射基板。進(jìn)而，通過使用立體角反射器陣列，能夠以不使用圓偏光板的方式實現(xiàn)黑顯示，能夠?qū)崿F(xiàn)有效的外部取出效率的提高。另外，僅通過使用立體角反射器陣列作為散射部件，散射性雖然提高，但是由發(fā)光層發(fā)出的光進(jìn)行傳遞，光在遠(yuǎn)離發(fā)光點的部位向面板外出射。在本發(fā)明中，如上所述在光散射層上形成有低折射率層，進(jìn)而組合使用立體角反射器陣列作為散射部件，由此能夠進(jìn)一步提高外部取出效率。在上述元件配置基板，透明電極、發(fā)光層和反射電極構(gòu)成有機(jī)EL元件。作為透明電極，適于使用氧化銦錫(ITO)、氧化銦鋅(IZO)等金屬氧化物。在反射電極與透明電極之間，在發(fā)光層以外，還可以配置空穴輸送層、空穴注入層、電子輸送層、電子注入層等。上述電路基板具有上述有機(jī)EL元件的驅(qū)動電路。該驅(qū)動電路如果是用于驅(qū)動設(shè)置在元件配置基板的有機(jī)EL元件的電路，則沒有特別限定，包括向有機(jī)EL元件傳輸信號的配線、用于有機(jī)EL元件的驅(qū)動控制的元件等。作為向有機(jī)EL元件傳輸信號的配線，能夠列舉柵極線、源極線等。作為用于有機(jī)EL元件的驅(qū)動控制的元件，能夠列舉TFT等。此外，設(shè)置在上述電路基板的驅(qū)動電路，無需為有機(jī)EL元件的驅(qū)動所需的全部電路，也可以與在元件配置基板和電路基板以外設(shè)置的外部電路、設(shè)置在元件配置基板的其他電路等一起，進(jìn)行有機(jī)EL元件的驅(qū)動。作為上述電路基板的結(jié)構(gòu)，如果具有上述驅(qū)動電路，則沒有特別限定，優(yōu)選例如具有在基板上配線、電極、電元件等隔著絕緣膜層疊的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置，在元件配置基板與電路基板之間的間隙具有將反射電極與驅(qū)動電路的電極電連接的導(dǎo)電體。在現(xiàn)有的一般的顯示器中，構(gòu)成顯示器的像素即使較少也有數(shù)萬個以上，在將具有TFT元件等的基板與具有發(fā)光層等的基板貼合時，在全部像素中，需要進(jìn)行電連接。在本發(fā)明中，優(yōu)選由使用塑性變形材料形成的導(dǎo)電體將元件配置基板和電路基板電連接。通過使用塑性變形的材料(以下，也稱為導(dǎo)電體材料)形成導(dǎo)電體，在貼合元件配置基板與電路基板時，能夠使導(dǎo)電體材料追隨基板表面的形狀進(jìn)行變形，因此能夠可靠地進(jìn)行將有機(jī)EI元件的電極與驅(qū)動電路的電極電接觸，并且，能夠確保較大的接觸面積。其結(jié)果，制作工藝中的基板間隔的裕度(考慮由導(dǎo)電體進(jìn)行電接觸時的設(shè)計上的容許誤差) 增大。因此，導(dǎo)電體材料在元件配置基板與電路基板貼合時發(fā)生塑性變形即可，也可以在元件配置基板與電路基板貼合后不發(fā)生塑性變形。通過上述導(dǎo)電體材料發(fā)生塑性變形， 導(dǎo)電體的形狀追隨元件配置基板和/或電路基板的基板表面的形狀。作為上述導(dǎo)電體材料，例如能夠列舉導(dǎo)電性膏、各向異性導(dǎo)電膜、焊錫等。其中，導(dǎo)電性膏由于以下優(yōu)點而優(yōu)選，即，追隨性優(yōu)異且具有適度的形狀保持性，并且能夠在穩(wěn)定的溫度和壓力條件下進(jìn)行有機(jī)EL元件的電極與驅(qū)動電路的電極電連接。即，上述導(dǎo)電體優(yōu)選由導(dǎo)電性膏形成。導(dǎo)電性膏通常是含有固體成分和溶劑的材料。此外，上述導(dǎo)電體的配置，如果用于將有機(jī)EL元件的電極與驅(qū)動電路的電極電連接則沒有特別限定，但是為了使配置在每個像素中的有機(jī)EL元件與設(shè)置在電路基板的驅(qū)動電路通過導(dǎo)電體分別導(dǎo)通，導(dǎo)電體優(yōu)選按每個像素獨立配置。例如，使元件配置基板與電路基板在全部像素中電連接且貼合的結(jié)構(gòu)，通過由使用會發(fā)生塑性變形的材料形成的導(dǎo)電體進(jìn)行貼合，能夠提高基于導(dǎo)電體的電接觸的可靠性，確保其接觸面積較大，并且能夠抑制像素間泄漏、缺損(空隙)的發(fā)生。進(jìn)而，當(dāng)設(shè)置由不發(fā)生塑性變形的材料構(gòu)成的間隔物時， 其效果會更加顯著。在本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置中，可以在上述元件配置基板、上述電路基板、上述元件配置基板與上述電路基板之間的間隙中的至少任一個具有間隔物。該間隔物優(yōu)選由非塑性變形性材料構(gòu)成。由于上述間隔物由不發(fā)生塑性變形的材料構(gòu)成，即使在將元件配置基板與電路基板貼合時導(dǎo)電體材料發(fā)生塑性變形，也能夠通過間隔物適當(dāng)?shù)匾?guī)定元件配置基板與電路基板的基板間隔。由此，能夠防止基板間隔變窄，導(dǎo)電體材料過量地擴(kuò)展，由此能夠防止像素間的短路等。作為上述間隔物，如果是由不發(fā)生塑性變形的材料構(gòu)成的部件，則沒有特別限定， 但是既可以是具有導(dǎo)電性的部件，也可以是沒有導(dǎo)電性的部件。上述間隔物如果為由于其存在而實質(zhì)性決定兩片基板間距離的部件，則沒有特別限定，例如能夠列舉在元件配置基板和電路基板中的至少一個形成的突起部(以下，也稱為凸塊(bump))、獨立設(shè)置于元件配置基板和電路基板設(shè)置的部件(以下，也稱為散布間隔物)。上述突起部例如通過光刻法形成于基板。作為上述散布間隔物，例如能夠列舉塑料珠、玻璃珠等微粒狀或棒狀間隔物，玻璃纖維等纖維狀間隔物等。上述散布間隔物，例如通過由分配器配置的方法、噴墨法等，進(jìn)行散布而配置在基板上。此外，上述散布間隔物，可以混入導(dǎo)電體材料中而配置在基板上，作為上述散布間隔物的優(yōu)選方式，能夠列舉包含在導(dǎo)電體中的方式。另外，在本發(fā)明中，“非塑性變形性”是指，對在元件配置基板與電路基板貼合時的加壓，實質(zhì)上不產(chǎn)生變形的性質(zhì)，優(yōu)選不產(chǎn)生變形的性質(zhì)。此外，如果為能夠確保由導(dǎo)電體進(jìn)行的電連接的可靠性的程度，則對在元件配置基板與電路基板貼合時的加壓，在產(chǎn)生變形后實質(zhì)上恢復(fù)原有的形狀的性質(zhì)，也包含在非塑性變形性中。另一方面，“塑性變形性”是指，對在元件配置基板與電路基板貼合時的加壓，產(chǎn)生變形，且不會恢復(fù)變形前的形狀。作為在元件配置基板與電路基板貼合時的加壓條件，通常在lkg/cm2以下進(jìn)行。也可以為上述元件配置基板還包括保護(hù)基板，該保護(hù)基板在上述觀察面一側(cè)以與該透明剝離層隔開間隙的方式設(shè)置。在上述透明剝離層局部形成在光散射層的主面上的情況下，在光散射層與保護(hù)基板之間形成氣體層。一般情況下，該氣體層是空氣。通過將該氣體層作為低折射率層加以利用，能夠?qū)崿F(xiàn)從發(fā)光層的取出的外部取出效率的提高。上述保護(hù)基板沒有特別限定，根據(jù)用途適當(dāng)設(shè)定即可，但是優(yōu)選是玻璃基板或樹脂膜。在保護(hù)基板是樹脂膜的情況下，由于樹脂膜薄且輕量，所以能夠?qū)崿F(xiàn)有機(jī)EL顯示裝置的薄型化、輕量化。此外，樹脂膜具有可撓性，因此也能夠構(gòu)成撓性的有機(jī)EL顯示裝置。 此外，保護(hù)基板也可以是彩色濾光片基板。作為本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置的結(jié)構(gòu)，只要是以上述的結(jié)構(gòu)要素為必需的結(jié)構(gòu)要素而形成的即可，可以包含其他結(jié)構(gòu)要素，也可以不包含其他結(jié)構(gòu)要素，沒有特別限定。此外，在本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置的制造方法中，包括在支承基板的主面上形成透明剝離層的透明剝離層形成工序；在上述透明剝離層上形成光散射層的光散射層形成工序；在上述光散射層上形成依次層疊有透明電極、發(fā)光層和反射電極的有機(jī)EL元件的元件形成工序；在上述支承基板的形成有上述有機(jī)EL元件的一側(cè)的面和上述電路基板的主面的至少一個面上配置導(dǎo)電體材料的導(dǎo)電體材料配置工序；按照上述有機(jī)EL元件的電極與上述驅(qū)動電路的電極通過導(dǎo)電體材料連接的方式將上述元件配置基板和上述電路基板貼合的貼合工序；從上述支承基板的與形成有有機(jī)EL元件的一側(cè)相反的主面?zhèn)冗M(jìn)行局部的激光照射，將上述透明剝離層的一部分改性的激光照射工序；和從改性后的透明剝離層的部分剝離上述支承基板的剝離工序。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠在激光照射工序中通過局部的激光照射來將透明剝離層的一部分改性。改性后的透明剝離層通過施加機(jī)械外力而變得易于剝離，因此在剝離工序中支承基板的剝離變得容易。由此，即使使用大面積的支承基板也能夠遍及基板的整個面且成品率良好地剝離。因此，例如使用一片支承基板一次形成多個有機(jī)EL元件的情況等時特別有效。如上所述，在本發(fā)明中，在剝離支承基板時，作為用于剝離的控制方法，通過使用局部的激光照射，有意提供剝離的起始，在其后的剝離工序中即使使用機(jī)械方法也能夠成品率良好地進(jìn)行剝離。另外，在激光照射工序中沒有改性的透明剝離層，殘留在光散射層的主面上。在上述透明剝離層形成工序中，支承基板是由玻璃基板、塑料膜等構(gòu)成的基板。如果需要耐熱性，則也可以使用基材中織入有玻璃纖維等的塑料膜。該材質(zhì)沒有特別限定，根據(jù)需要適當(dāng)選擇即可，不僅單層結(jié)構(gòu)，而且層疊結(jié)構(gòu)的基板等也能夠適用。透明剝離層由聚
9酰亞胺膜等構(gòu)成，通過涂敷樹脂溶液，或者對樹脂膜進(jìn)行層壓加工等，形成在支承基板的主面上。透明剝離層的厚度沒有特別限定，但是優(yōu)選為40nm 300nm。在上述光散射層形成工序中，光散射層如果具有光散射性則沒有特別限定，但是本發(fā)明中，能夠適于使用具有高的光散射性的立體角反射器陣列。立體角反射器陣列的形成方法沒有特別限定，只要通過現(xiàn)有公知方法形成即可。在上述層疊體形成工序中，有機(jī)EL元件是透明電極、發(fā)光層和反射電極依次層疊而成的有機(jī)EL元件。有機(jī)EL元件的形成方法沒有特別限定，只要通過現(xiàn)有公知方法形成即可。上述導(dǎo)電體材料配置工序是在元件配置基板和電路基板中的至少一個基板上配置導(dǎo)電體材料的工序。作為導(dǎo)電體材料，能夠使用上述材料。作為導(dǎo)電體材料的配置方法， 例如如果導(dǎo)電體材料是導(dǎo)電性膏，則適于使用通過分配器進(jìn)行配置的方法、噴墨法。上述貼合工序是按照有機(jī)EL元件的電極與驅(qū)動電路的電極通過導(dǎo)電體材料連接的方式，將元件配置基板與電路基板貼合的工序。作為該工序中使用的貼合方法，能夠列舉例如按照使兩個基板的貼合用的記號的位置一致的方式，在已進(jìn)行兩個基板的對位的狀態(tài)下，從上下對兩個基板進(jìn)行加壓的方法等。在上述激光照射工序中，激光照射從支承基板的與形成有有機(jī)EL元件的一側(cè)相反的主面?zhèn)瘸蛲该鲃冸x層局部進(jìn)行。這種激光照射，通過使用掩模而能夠易于實現(xiàn)。激光照射后的透明剝離層被改性，因此在其后的剝離工序中變得易于剝離。另外，對顯示區(qū)域中的透明剝離層進(jìn)行激光照射時，由于透明剝離層著色，因此按照不對顯示區(qū)域照射激光的方式進(jìn)行局部的激光照射。剝離后殘留的透明剝離層沒有因激光照射而改性，因此透明性沒有受到損害。激光照射沒有特別限定，能夠列舉氣體激光器、固體(半導(dǎo)體)激光器等，但是特別優(yōu)選基于紫外線的受激準(zhǔn)分子激光器。所照射的激光的能量密度，特別是受激準(zhǔn)分子激光器的情況下的能量密度優(yōu)選為150mJ/cm2 250mJ/cm2左右，更優(yōu)選為190mJ/cm2 210mJ/cm2左右。此外，激光照射時間優(yōu)選為IOnsec 200nsec左右，更優(yōu)選為IOnsec 50nsec 左右。在上述剝離工序中，將上述支承基板從上述光散射層剝離。由此，在光散射層的設(shè)置有透明剝離層的面，殘留透明剝離層的一部分，此外，在該面不再有支承基板，并且與折射率低的氣體(空氣)接觸，如上所述能夠提高外部取出效率。作為本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置的制造方法的結(jié)構(gòu)，只要以上述的結(jié)構(gòu)要素為必需的結(jié)構(gòu)要素即可，不通過其他工序的有無來特別限定。作為本發(fā)明的優(yōu)選方式，能夠列舉在上述激光照射工序中，隔著掩模，對顯示裝置的顯示區(qū)域的外緣和/或顯示區(qū)域內(nèi)的像素區(qū)域間進(jìn)行激光照射的例子。通過該工序，能夠易于區(qū)別激光照射區(qū)域與非照射區(qū)域。此外，作為本發(fā)明的優(yōu)選方式，能夠列舉在元件配置基板設(shè)置有彩色濾光片的情況下，將彩色濾光片用作掩模的例子。通過這種結(jié)構(gòu)，能夠容易地對顯示區(qū)域的外緣和顯示區(qū)域內(nèi)的像素區(qū)域間進(jìn)行激光照射。此外，上述制造方法可以還包括在元件配置基板和電路基板中的至少一個基板配置間隔物的間隔物配置工序。作為間隔物，優(yōu)選配置由比導(dǎo)電體材料硬的材料構(gòu)成的間隔物。本發(fā)明中，“比導(dǎo)電體材料硬”是指與導(dǎo)電體材料相比，發(fā)生塑性變形需要更高的壓力。
10通過使用這種間隔物，在元件配置基板與電路基板的貼合時使導(dǎo)電體材料發(fā)生塑性變形的情況下，也能夠通過間隔物來適當(dāng)規(guī)定元件配置基板與電路基板的基板間隔。其結(jié)果，能夠防止基板間隔變窄，導(dǎo)電體材料過量擴(kuò)展，從而能夠防止像素間的短路等。作為間隔物配置方法，例如如果間隔物是凸塊，則能夠列舉通過光刻法將感光性樹脂膜圖案化，在期望的位置形成凸塊的方法，如果間隔物是粒狀間隔物，則能夠列舉通過分配器進(jìn)行配置的方法或噴墨法進(jìn)行散布的方法。另外，通過上述制造方法得到的本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置，通過將具有底部發(fā)光型的元件結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL元件轉(zhuǎn)印，最終從基板上表面進(jìn)行光的取出。從而，關(guān)于最終得到的有機(jī)EL顯示裝置，也能夠說是按照有機(jī)EL元件的膜結(jié)構(gòu)為底部發(fā)光型的結(jié)構(gòu)且具有頂部發(fā)光型結(jié)構(gòu)的方式制作的有機(jī)EL顯示裝置。具有這種結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL顯示裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)頂部發(fā)光型的優(yōu)點即高開口率，并且能夠防止其制造工藝上的課題即電極的劣化。即，與一般的底部發(fā)光結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL顯示裝置相比較，能夠提高開口率。在現(xiàn)有的技術(shù)狀況下，例如進(jìn)行超過200ppi (pixels per inch，像素每英寸)的高精細(xì)顯示的底部發(fā)光型結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL顯示裝置，由于開口率極低， 因此在這種情況下特別有利。此外，與一般的頂部發(fā)光型結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL顯示裝置相比較， 即使使用金屬氧化物形成電極，也能夠防止在制造工藝中有機(jī)EL材料劣化，從而能夠避免使用金屬薄膜形成電極的情況下透過率降低。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，不具有與光散射層的設(shè)置有透明剝離層的一側(cè)的面接觸的支承基板，該面與低折射率層接觸，因此能夠提高發(fā)光的外部利用效率。此外，通過組合局部的激光照射和機(jī)械剝離而將有機(jī)EL元件從支承基板剝離，能夠遍及大面積且成品率良好地進(jìn)行剝離，因此在量產(chǎn)性方面也優(yōu)異。


圖1(a)、圖1(b)是表示實施方式1的底部發(fā)光型的有機(jī)EL顯示裝置的結(jié)構(gòu)的截面圖。圖2-1 (a) (d)是說明實施方式1的底部發(fā)光型的有機(jī)EL顯示裝置的制造工序的截面示意圖。圖2_2(e) (g)是說明實施方式1的底部發(fā)光型的有機(jī)EL顯示裝置的制造工序的截面示意圖。圖3 (a)是表示圖2-1 (c)所示的基板的狀態(tài)的平面示意圖，圖3 (b)是表示進(jìn)一步涂敷密封材料后的狀態(tài)的平面示意圖。圖4(a)是表示將實施方式1的有機(jī)EL顯示裝置點亮的狀態(tài)的平面示意圖，圖 4(b)是表示將比較實施方式1的有機(jī)EL顯示裝置點亮的狀態(tài)的平面示意圖。圖5(a)是表示實施方式3的得到四個面的例子的平面示意圖，圖5 (b)是表示用于形成彩色濾光片基板的母基板的平面示意圖，圖5(c)是表示包含在彩色濾光片基板中的多個彩色濾光片的一部分的局部放大圖。
具體實施方式
下面，描述實施方式，對本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的說明，但本發(fā)明并非僅限于這些實施方式。實施方式1下面，利用圖1 圖4來說明本實施方式。首先，利用圖1對本實施方式的有機(jī)EL 顯示裝置的主要結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖1(a)是表示本實施方式的有機(jī)EL顯示裝置的結(jié)構(gòu)的截面示意圖。在圖1(a)中，有機(jī)EL顯示裝置101構(gòu)成為分別單獨制作的元件配置基板10與作為電路基板的輔助基板20通過導(dǎo)電性膏(paste) 30貼合。在元件配置基板10，在與輔助基板20相對的一側(cè)隔著密封材料40設(shè)置有密封玻璃50，密封玻璃50配置在形成于輔助基板20的中央部的锪孔中。元件配置基板10具有作為光散射層的立體角反射器陣列11。立體角反射器陣列 11是使來自后述的發(fā)光層13的光發(fā)生散射的光學(xué)部件，配置在透明電極12 —側(cè)。作為立體角反射器陣列11的形成材料，適于使用紫外線固化樹脂，但是只要在可見光范圍內(nèi)為無色透明，且固化后具有包括機(jī)械耐性、耐光性、耐候性等的可靠性，也能夠適用熱固化樹脂、 SOG(Spin on glass，旋涂式玻璃)等熱固化性無機(jī)材料等。在立體角反射器陣列11的凹凸形成面一側(cè)的主面上設(shè)置有有機(jī)EL元件15。有機(jī) EL元件15可以構(gòu)成為成為陽極的透明電極(ITO) 12、發(fā)光層13和成為反射電極的反射電極(金屬膜)14依次層疊，在發(fā)光層以外，層疊有空穴輸送層、空穴注入層、電子輸送層、電子注入層等。此外，在配置有立體角反射器陣列11的與有機(jī)EL元件15的一側(cè)相反一側(cè)的主面上，具有設(shè)置有透明剝離層16的區(qū)域Rl和沒有形成透明剝離層16的區(qū)域R2。因為位于顯示區(qū)域的透明玻璃層16是透明的，所以發(fā)光效率不會受損。輔助基板20構(gòu)成為在玻璃基板、塑料基板等基板的主面上，形成有驅(qū)動有機(jī)EL 元件15的TFT元件、柵極線、源極線等的電路(未圖示)，如上述那樣構(gòu)成的元件配置基板 10和該輔助基板20，通過涂敷在兩個基板之間的導(dǎo)電性膏30電連接。導(dǎo)電性膏30優(yōu)選由塑性變形性材料構(gòu)成，在貼合元件配置基板10與輔助基板20時，因來自兩個基板的壓力而
產(chǎn)生塑性變形。如上述那樣構(gòu)成的本實施方式的有機(jī)EL顯示裝置101，由于位于元件配置基板10 的觀察面一側(cè)的空氣具有作為低折射率層的作用，因此能夠?qū)崿F(xiàn)發(fā)光的外部取出效率的提高。此外，由于使用具有塑性變形性的導(dǎo)電性膏30將元件配置基板10和輔助基板20連接， 因此能夠?qū)崿F(xiàn)可靠且低電阻的電連接，并且由于在兩個基板貼合時即使基板間隔發(fā)生變化也易于確保電連接，因此能夠提高基板間隔在設(shè)計上的容許誤差，量產(chǎn)性方面優(yōu)異。如上所述，對圖1(a)、(b)所示的有機(jī)EL顯示裝置的各結(jié)構(gòu)要素進(jìn)行了說明，但是本實施方式的有機(jī)EL顯示裝置，也可以包含圖l(a)、(b)所示的結(jié)構(gòu)要素以外的結(jié)構(gòu)要素。 此外，也可以將圖1 (a)、(b)所示的有機(jī)EL顯示裝置的結(jié)構(gòu)進(jìn)行局部簡化，進(jìn)行各種變更或修正。另外，在上述說明中，作為光散射層，列舉了立體角反射器陣列11進(jìn)行說明，但是本發(fā)明不限定于此，只要是具有散射性的基板，就能夠作為光散射層適用。此夕卜，在本實施方式中，如圖1(b)所示，有機(jī)EL顯示裝置102也可以構(gòu)成為通過密封劑19將作為保護(hù)基板的前側(cè)基板17與元件配置基板10貼合。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，在前側(cè)基板17與透明剝離層16之間也形成成為低折射率層的空氣層，因此能夠得到與上述同樣的效果。作為前側(cè)基板17，除玻璃基板、樹脂膜等之外，還能夠列舉彩色濾光片基板等。作為密封劑19，例如能夠使用混入了 5μπι直徑的填充物的密封劑。此外，發(fā)光層13耐熱性弱，因此密封劑19優(yōu)選使用光固化型密封劑而非熱固化型密封劑。此外，在上述說明中，舉例說明了將元件配置基板10與形成有TFT等的輔助基板 20和密封玻璃50貼合，但是本發(fā)明不限定于此，例如也能夠使用輔助基板20與密封玻璃 50為一體且形成有TFT元件的有源矩陣基板等。下面，作為具體例，使用圖2-1、圖2-2和圖3對本實施方式的有機(jī)EL元件的制造方法的一例進(jìn)行說明。圖2-1、圖2-2是說明本實施方式的有機(jī)EL元件的制造工序的截面示意圖，圖3是表示制造工序中途的元件形成基板的狀態(tài)的平面示意圖。本實施方式的有機(jī)EL顯示裝置的制造工序中，應(yīng)用將形成于支承基板上的有機(jī)EL元件從該支承基板剝離并粘貼于其他基板的方法。于是，首先如圖2-1 (a)所示，在由玻璃基板形成的支承基板60 的主面上，以40nm 200nm的膜厚使聚酰亞胺膜成膜，形成用于形成透明剝離層16的樹脂層。以下，為了與圖1(a)、(b)所示的透明剝離層16區(qū)別，將該樹脂層稱為透明樹脂層18。接著，如圖2-1 (b)所示，在透明樹脂層18上形成有立體角反射器陣列11。立體角反射器陣列11，是使用紫外線固化型的透明丙烯酸樹脂(三菱Rayon公司制，品種 MP107)，通過2P法(Photopolymer process法感光聚合物工藝法)進(jìn)行轉(zhuǎn)印成形而形成的。立體角反射器陣列11的厚度中，凹部(厚度較薄的部位)的厚度dl是ΙΟμπι左右，凸部(厚度較厚的部位)的厚度d2是30 μ m左右。接著，在立體角反射器陣列11上，以所期望的形狀依次形成透明電極(出光興產(chǎn)公司制，登記商標(biāo)ΙΖ0) 12、發(fā)光層13和反射電極(鋁金屬膜)14，如圖2-1 (C)所示，得到形成有機(jī)EL元件15的狀態(tài)的基板。另外，這里為了便于說明，示出了形成三層結(jié)構(gòu)的部位的有機(jī)EL元件15的截面示意圖。但實際上有機(jī)EL元件15，并非在立體角反射器陣列11的整個面上具有三層結(jié)構(gòu)，而是在局部具有三層結(jié)構(gòu)。其結(jié)構(gòu)如圖3(a)所示。圖3(a)是表示圖2-1 (c)所示的基板的狀態(tài)的平面示意圖，表示立體角反射器陣列11上的25mm見方的區(qū)域。在該區(qū)域中，在四個部位形成有寬2mmX長IOmm的透明電極 (ITO) 12。此外，在該區(qū)域的中央部，以覆蓋透明電極12的一部分的方式形成有13mm見方的發(fā)光層13。進(jìn)而，在四個部位形成有寬2mmX長IOmm的反射電極14。透明電極12與反射電極14配置成相互正交。透明電極12、發(fā)光層13和反射電極14分別以上述圖案成膜。 由此，在基板的主面上形成有機(jī)EL元件15。在形成有有機(jī)EL元件的立體角反射器陣列11的主面上，如圖3(b)所示，在17mm 見方的區(qū)域中涂敷密封材料40，通過密封材料40使密封玻璃50貼合。接著，使用分配器在形成于輔助基板20的锪孔部的周圍涂敷作為導(dǎo)電性膏30的銀膏(東洋紡織公司制，品種DW-351H-30，固化形式熱固化型，填充物銀)。此時刻的導(dǎo)電性膏30保持半球狀(將碗倒扣的形狀)。接著，在锪孔部中配置密封玻璃50，對形成有有機(jī)EL元件15的立體角反射器陣列 11和輔助基板20加壓并使它們貼合，將有機(jī)EL元件15和在輔助基板20的周圍取出的電極電連接。由此，能夠得到圖2-1 (d)所示的狀態(tài)的基板。
接著，為了易于剝離透明樹脂層18，進(jìn)行使用紫外線(UV)的激光照射。該激光器是受激準(zhǔn)分子激光器。在激光照射時，如圖2-2 (e)所示，首先，在支承基板60的與形成有透明樹脂層18的面相反一側(cè)的面，以形成與用密封材料40包圍的區(qū)域大致相同的大小的方式，設(shè)置有用于吸收UV光的聚酰亞胺樹脂(Du pont (杜邦)公司制，商品名Kapton tape (卡普頓膠帶))80。將聚酰亞胺樹脂80作為掩模，從支承基板60 —側(cè)，以310nm的波長照射紫外線81。由此，在透明樹脂層18形成有經(jīng)UV照射的樹脂層18a和被掩模保護(hù)而未受到UV照射的樹脂層18b。經(jīng)UV照射的樹脂層18a，被改性而進(jìn)行著色，并且成為使支承基板60與立體角反射器陣列11貼合的粘接力減弱的狀態(tài)。于是，將該經(jīng)UV照射的樹脂層18a作為剝離的起始，對支承基板60施加機(jī)械外力進(jìn)行剝離后，樹脂層18a與支承基板60 —起被實質(zhì)性全部剝離。另外，認(rèn)為樹脂層18a附著于支承基板60 —側(cè)被剝離，是由于相對于作為玻璃基板的支承基板60該樹脂層18a具有比由丙烯酸樹脂構(gòu)成的立體角反射器陣列11更高的緊貼性的緣故。由此，如圖2_2(f)所示，在立體角反射器陣列11的與元件形成面相反一側(cè)的面， 僅殘留未受到UV照射的樹脂層18b，得到形成有透明剝離層16的有機(jī)EL顯示裝置101。另外，在立體角反射器陣列11的與元件形成面相反一側(cè)的面上，如圖2_2(g)所示，也可以根據(jù)需要與透明剝離層16隔開間隙地配置前側(cè)基板17。這樣，根據(jù)本實施方式的有機(jī)EL顯示裝置的制造方法，即使是目前比較困難的具有底部發(fā)光型的膜結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL顯示裝置，通過簡單的工序，也能夠在發(fā)光層的附近形成作為低折射率層的氣體層。此外，通過進(jìn)行局部的激光照射，使得被要求透明性的顯示區(qū)域等的樹脂層18b不損害透明性地殘留，而著色的樹脂層18a被剝離，因此不會損害從發(fā)光層 13取出的外部取出效率。此外，在顯示元件面內(nèi)，通過進(jìn)行對顯示部以外的部位照射激光這樣的局部的激光照射，發(fā)光層13不會受到損傷。此外，在進(jìn)行了局部的激光照射的基礎(chǔ)上，通過施加機(jī)械外力進(jìn)行支承基板60的剝離，能夠容易且成品率良好地剝離支承基板60，與僅使用機(jī)械方法的情況相比，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)性的提高。使如上所述制作的有機(jī)EL顯示元件點亮，對發(fā)光狀態(tài)進(jìn)行確認(rèn)。圖4(a)是表示有機(jī)EL顯示元件的點亮狀態(tài)的平面示意圖。在圖4(a)中，除四個部位確認(rèn)了 2mm見方的發(fā)光41以外，看不到發(fā)光，幾乎觀察不到發(fā)光的分散。這是由于能夠使導(dǎo)光成分與發(fā)光點在大致同一部位出射的緣故，發(fā)光41比后述的比較方式1的有機(jī)EL顯示元件的發(fā)光更亮。 由此，能夠確認(rèn)有效的外部取出效率提高。比較實施方式1為了確認(rèn)上述實施方式1中的UV照射的效果，如以下這樣進(jìn)行了本比較實施方式。即，除了不進(jìn)行圖2_2(e)所示的激光照射工序以外，與實施方式1同樣地來制作有機(jī) EL元件。然而，支承基板60的剝離較為困難，成為透明樹脂層18殘留于立體角反射器陣列 11的大致整個面的狀態(tài)。與此相對，在上述實施方式1中能夠良好地剝離支承基板60，因此可知通過進(jìn)行 UV照射，剝離會變得容易。能夠認(rèn)為這是由于，預(yù)先將想要剝離的部位的樹脂通過UV照射進(jìn)行改性，使其變得易于剝離，由此，將該改性后的部分作為剝離的起始，其后的機(jī)械剝離會變得容易。對于本比較實施方式的有機(jī)EL顯示元件，也將其點亮來確認(rèn)發(fā)光狀態(tài)。圖4(b) 是表示有機(jī)EL顯示元件的點亮狀態(tài)的平面示意圖。在圖4(b)中，除了四個部位有2mm見方的發(fā)光42以外，在各發(fā)光42的周圍能夠觀察到三個部位的發(fā)光4 42c。發(fā)光4 42c距離發(fā)光42的中心(發(fā)光點)2 3mm左右，因此以發(fā)光42為中心包含發(fā)光4 42c 的區(qū)域，大于顯示元件的1個像素的大小。從而，該導(dǎo)光成分在顯示中不能加以有效利用。 這樣，由于發(fā)光分散成多個，發(fā)光42比上述圖4(a)所示的實施方式1的發(fā)光41暗。實施方式2在該實施方式中，對使用彩色濾光片基板作為保護(hù)基板的結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL顯示裝置進(jìn)行說明。本實施方式中，在激光照射工序中，代替上述實施方式1中使用的聚酰亞胺樹脂(卡普頓膠帶)80，將彩色濾光片基板用作掩模。一般情況下，彩色濾光片基板設(shè)置成在玻璃基板、塑料基板等基板上，按每個像素并列設(shè)置紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)的彩色濾光片層等彩色顯示用著色層的組合，并且作為黑的彩色濾光片層的格子狀的黑矩陣(BM)分隔各彩色顯示用著色層。在如上述那樣構(gòu)成的彩色濾光片基板形成聚酰亞胺膜并將其用作掩模，對由R、G、 B的彩色濾光片層覆蓋的區(qū)域的樹脂照射UV，而不對由BM覆蓋的區(qū)域的樹脂照射UV。由此， 通過其后的剝離工序，剝離由彩色濾光片層覆蓋的區(qū)域的樹脂，殘留由BM覆蓋的區(qū)域的樹脂作為透明剝離層16。然后，在剝離工序后，通過將用作掩模的彩色濾光片基板作為前面基板17進(jìn)行粘貼，在彩色濾光片層與立體角反射器陣列之間，形成作為低折射率層的氣體層，提高從發(fā)光層13取出的外部取出效率。這樣，根據(jù)本實施方式，在圖2_2(e)所示的激光照射工序中，通過將彩色濾光片基板用作掩模，能夠進(jìn)行透明樹脂層18的改性。此外，無需在要剝離的支承基板60粘貼聚酰亞胺樹脂(卡普頓膠帶)80，支承基板60的再利用變得容易。實施方式3在該實施方式中，舉例說明將有機(jī)EL元件適用于顯示裝置時，使用大型的支承基板一次形成多個有機(jī)EL顯示裝置的情況。圖5(a)是表示從大型的支承基板110形成四片支承基板Ila Ild的所謂得到四個面的例子的平面示意圖，圖5(b)是表示用于形成彩色濾光片基板的母基板的平面示意圖，圖5(c)是表示彩色濾光片基板包含的多個彩色濾光片的一部分的局部放大圖。與上述實施方式1中的圖2-1 (a) 圖2-1 (c)所示的工序同樣地，在各支承基板Ila Ild形成有機(jī)EL元件。在各支承基板Ila Ild涂敷密封材料40，與密封玻璃40貼合。另外，密封玻璃40也可以按照與各支承基板Ila Ild對應(yīng)的方式個別設(shè)置，或者也可以在大型的母基板上配置多個。接著，與圖2-l(d)所示的工序同樣地，利用導(dǎo)電性膏30與輔助基板20貼合。這里，輔助基板20沒有圖示，但是按照與各支承基板Ila Ild對應(yīng)的方式形成有電路和锪孔。接著，與圖2-2(e)所示的工序同樣地進(jìn)行激光照射。作為在激光照射中使用的掩模，這里與實施方式2同樣，使用彩色濾光片基板。彩色濾光片基板可以分別配置在各支承基板Ila Ild上，但是如圖5(b)所示，如果使用按照與各支承基板Ila Ild相對的方式配置有四片彩色濾光片基板71a 71d的母基板120，則較為容易。在照射激光時，對顯示裝置的成為顯示區(qū)域的外側(cè)的區(qū)域，即圖5(b)中的邊框 BM72a 72d的外側(cè)進(jìn)行UV照射是有效的。或者，也可以對顯示區(qū)域內(nèi)的各像素之間照射
激光，也可以組合使用二者。對各像素之間照射激光時，能夠?qū)⑿纬捎诓噬珵V光片基板71a 71d的BM作為遮光部使用。具體而言，彩色濾光片基板71a 71d如圖5(c)所示，按各像素設(shè)置有彩色濾光片702，由于相鄰的像素之間被BM703分隔，因此能夠?qū)⒃揃M703作為遮光部進(jìn)行激光照射。另外，在激光照射是UV照射的情況下，優(yōu)選在彩色濾光片702上設(shè)置有吸收紫外線的聚酰亞胺膜。接著，進(jìn)行支承基板Ila Ild即支承基板110的剝離。本實施方式中，預(yù)先進(jìn)行局部的激光照射，進(jìn)行形成透明樹脂層18的樹脂的改性，因此通過其后的機(jī)械剝離，即使在像這樣使用大型基板的情況下，也能夠容易且成品率良好地進(jìn)行剝離。剝離支承基板110后，根據(jù)需要設(shè)置彩色濾光片基板71a 71d等，按各顯示裝置進(jìn)行切離，由此能夠一次得到四個有機(jī)EL顯示裝置。這樣，根據(jù)本實施方式，即使在一塊大型基板上配置多個有機(jī)EL元件基板的情況下，在圖2_2(e)所示的激光照射工序中，通過將彩色濾光片基板用作掩模，也能夠容易地進(jìn)行期望部位的透明樹脂層的改性。此外，無需在要剝離的支承基板110粘貼聚酰亞胺樹脂(卡普頓膠帶)80，支承基板110的再利用也變得容易。進(jìn)而，組合通過局部激光照射對樹脂進(jìn)行改性和通過施加機(jī)械外力進(jìn)行剝離，即使使用大型基板，也能夠成品率良好地進(jìn)行剝離。由此，能夠一次在多個有機(jī)EL顯示裝置中在發(fā)光層的附近形成作為低折射率層的氣體層。本申請以2009年1月7日提出的日本專利申請2009-001935號為基礎(chǔ)，根據(jù)巴黎公約以及進(jìn)入國的法規(guī)主張優(yōu)先權(quán)。該申請的全部內(nèi)容作為參照編入本申請中。
0118]附圖標(biāo)記說明0119]10元件配置基板0120]11立體角反射器陣列0121]12透明電極0122]13發(fā)光層0123]14反射電極0124]15有機(jī)EL元件0125]16透明剝離層0126]17前側(cè)基板0127]18透明樹脂層0128]18a,18b樹脂層0129]19密封劑0130]20輔助基板0131]30導(dǎo)電性膏0132]40密封材料0133]41、42、4加 42c 發(fā)光0134]50密封玻璃0135]60、110、Ila Ild 支承基板0136]71a 71d彩色濾光片基板0137]80聚酰亞胺樹脂0138]81紫外線0139]101>102有機(jī)EL顯示裝置0140]120母基板0141]702彩色濾光片0142]703BM0143]dl凹部的厚度0144]d2凸部的厚度
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置，其特征在于所述有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置具有以下結(jié)構(gòu)具有有機(jī)電致發(fā)光元件的元件配置基板與具有該有機(jī)電致發(fā)光元件的驅(qū)動電路的電路基板相互接合，該元件配置基板從觀察面一側(cè)起具備透明剝離層、光散射層、透明電極、發(fā)光層和反射電極，在該元件配置基板與該電路基板的間隙，設(shè)置有將該反射電極與該驅(qū)動電路的電極電連接的導(dǎo)電體。
2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置，其特征在于 所述透明剝離層部分地形成在所述光散射層上，所述有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置還包括保護(hù)基板，該保護(hù)基板在所述觀察面一側(cè)以與該透明剝離層隔開間隙的方式設(shè)置，在該元件配置基板與該保護(hù)基板之間形成有氣體層。
3.如權(quán)利要求1或2所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置，其特征在于 所述氣體層是空氣層。
4.如權(quán)利要求2或3所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置，其特征在于 所述保護(hù)基板是玻璃基板或樹脂膜。
5.如權(quán)利要求2 4中任一項所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置，其特征在于 所述保護(hù)基板是彩色濾光片基板。
6.如權(quán)利要求1 5中任一項所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置，其特征在于 所述透明剝離層的厚度是40nm 300nm。
7.如權(quán)利要求1 6中任一項所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置，其特征在于 所述光散射層是立體角反射器陣列。
8.一種有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于所述有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置具有以下結(jié)構(gòu)具有有機(jī)電致發(fā)光元件的元件配置基板與具有該有機(jī)電致發(fā)光元件的驅(qū)動電路的電路基板相互接合， 該制造方法包括在支承基板的主面上形成透明剝離層的透明剝離層形成工序； 在該透明剝離層上形成光散射層的光散射層形成工序；在該光散射層上形成依次層疊有透明電極、發(fā)光層和反射電極的有機(jī)電致發(fā)光元件的元件形成工序；在該支承基板的形成有該有機(jī)電致發(fā)光元件的一側(cè)的面和該電路基板的主面中的至少一個面上配置導(dǎo)電體材料的導(dǎo)電體材料配置工序；按照該反射電極和該驅(qū)動電路的電極通過導(dǎo)電體材料連接的方式將該元件配置基板和該電路基板貼合的貼合工序；從該支承基板的與形成有該有機(jī)電致發(fā)光元件的一側(cè)相反的主面?zhèn)冗M(jìn)行局部的激光照射，將該透明剝離層的一部分改性的激光照射工序；和從改性后的透明剝離層的部分剝離該支承基板的剝離工序。
9.如權(quán)利要求8所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于所述激光照射工序中，隔著掩模對顯示裝置的顯示區(qū)域的外緣和/或顯示區(qū)域內(nèi)的像素區(qū)域間照射激光。
10.如權(quán)利要求9所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，其特征在于 使用彩色濾光片作為所述掩模。
全文摘要
本發(fā)明提供有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置及其制造方法，該有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的制造方法能夠成品率良好地制造外部取出效率高的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置。本發(fā)明的有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置具有以下結(jié)構(gòu)具有有機(jī)電致發(fā)光元件的元件配置基板與具有上述有機(jī)電致發(fā)光元件的驅(qū)動電路的電路基板相互接合，上述元件配置基板從觀察面一側(cè)起具備透明剝離層、光散射層、透明電極、發(fā)光層和反射電極，在上述元件配置基板與上述電路基板之間的間隙，設(shè)置有將上述反射電極與上述驅(qū)動電路的電極電連接的導(dǎo)電體。
文檔編號H05B33/02GK102224613SQ20098014711
公開日2011年10月19日 申請日期2009年9月11日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月7日
發(fā)明者安松拓人, 淺岡康, 箕浦潔 申請人:夏普株式會社