專利名稱：復(fù)合旋轉(zhuǎn)的高出力頂升裝置及真空傳輸頂升設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)于一種頂升裝置，特別是指一種應(yīng)用于真空設(shè)備中，可提供大行程、高扭力及高推力的復(fù)合旋轉(zhuǎn)的高出力頂升裝置及真空傳輸頂升設(shè)備。
背景技術(shù)：
公知的真空鍍膜設(shè)備，通常會(huì)分成一高真空腔體及一緩沖腔體。工件會(huì)先送入緩沖腔體中，待緩沖腔體內(nèi)真空度到達(dá)一定值時(shí)，再傳送進(jìn)入高真空腔體進(jìn)行鍍膜制程，就可減少因抽真空所花費(fèi)的大量時(shí)間。在真空設(shè)備中，為了承載及傳輸工件，可能會(huì)使用到頂升裝置。目前市面上針對(duì)真空設(shè)備所設(shè)計(jì)的頂升裝置如圖1剖面示意圖所示，公知的頂升裝置1包括一本體10、一凸輪軌11、一圓柱形凸輪12及一頂升柱13。頂升柱13 —端連接于圓柱型凸輪12，另一端則用來頂升托盤14。由圖中可看出，公知頂升裝置1的動(dòng)作原理是藉由圓柱型凸輪12在凸輪軌 11中滑動(dòng)產(chǎn)生垂直高度的變化，來使頂升柱13產(chǎn)生升降。然而，若要利用此種頂升裝置1具有下列缺點(diǎn)首先是頂升的行程會(huì)受到頂升裝置1本身體積的限制。也就是說，需要加大頂升的行程時(shí)，勢(shì)必也要加大頂升裝置1的體積， 來延伸凸輪軌11的長(zhǎng)度，才能提供更大的行程。第二是所能提供的頂升推力不足。在真空設(shè)備中，為了使承載傳輸設(shè)備能夠一次運(yùn)送大量的工件，需要較大的托盤。然而，在緩沖腔體破真空之后，由于緩沖腔體和高真空腔體之間有一大氣壓的壓力差，托盤的面積越大，緩沖腔體的大氣壓力對(duì)托盤作用力越大。 再加上托盤本身的重量，致使頂升裝置需要較大的推力才能頂住托盤及大氣壓力的重量。除此之外，目前仍待開發(fā)可以在升降同時(shí)復(fù)合旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的頂升裝置以使用于真空設(shè)備中。因此，如何使頂升裝置縮小體積后還能輸出很大的推力，同時(shí)又能夠復(fù)合旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，提供產(chǎn)業(yè)上更多方面的應(yīng)用，為現(xiàn)今工業(yè)上仍致力于發(fā)展的課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的技術(shù)問題是提供一種復(fù)合旋轉(zhuǎn)的高出力頂升裝置及真空傳輸頂升設(shè)備，體積小不占空間，并提供大行程、高扭力及高推力。本發(fā)明的技術(shù)解決方案是本發(fā)明的一種復(fù)合旋轉(zhuǎn)的高出力頂升裝置，其中，該頂升裝置用以配合一外套筒內(nèi)的一導(dǎo)旋銷，對(duì)一物件提供旋轉(zhuǎn)及升降的復(fù)合作用力，頂升裝置包括一螺桿；一伺服馬達(dá)，伺服馬達(dá)的輸出軸軸向連接于螺桿，以帶動(dòng)螺桿旋轉(zhuǎn)；一螺帽，螺合于螺桿；一軸套，軸套一端軸接于一軸承，另一端連接于螺帽；一活動(dòng)柱，活動(dòng)柱一端與軸承軸接，外套筒套設(shè)于活動(dòng)柱；及一導(dǎo)旋槽，導(dǎo)旋槽設(shè)于活動(dòng)柱側(cè)表面，其中導(dǎo)旋銷經(jīng)由外套筒的一通孔插入導(dǎo)旋槽中，導(dǎo)旋槽提供導(dǎo)引活動(dòng)柱上升或下降同時(shí)，旋轉(zhuǎn)一預(yù)定角度。本發(fā)明的一種真空傳輸頂升設(shè)備，其中，該頂升設(shè)備用以將多個(gè)工件從一緩沖腔體傳送至一高真空腔體中進(jìn)行鍍膜制程。本發(fā)明真空傳輸頂升設(shè)備包括一托盤，托盤用以在緩沖腔體破真空后承載工件，托盤底部并設(shè)有一預(yù)定開口 ；及一頂升裝置，頂升裝置帶動(dòng)托盤上升，以托盤隔絕緩沖腔體及高真空腔體，并在緩沖腔體的真空度達(dá)到一預(yù)定值時(shí)，使托盤下降，將工件傳送至高真空腔體進(jìn)行鍍膜制程，頂升裝置包括一螺桿；一伺服馬達(dá)， 伺服馬達(dá)的輸出軸軸向連接于螺桿，以帶動(dòng)螺桿旋轉(zhuǎn)；一螺帽，螺合于螺桿；一軸套，軸套一端軸接于一軸承，另一端連接于螺帽；一活動(dòng)柱，活動(dòng)柱一端與軸承軸接，另一端則設(shè)有一蝴蝶扣；一導(dǎo)旋槽，設(shè)于活動(dòng)柱側(cè)表面；一外套筒，固定于高真空腔體底部，并套于活動(dòng)柱；及一導(dǎo)旋銷，導(dǎo)旋銷經(jīng)由外套筒的一通孔插入導(dǎo)旋槽中，當(dāng)伺服馬達(dá)帶動(dòng)螺桿旋轉(zhuǎn)使活動(dòng)柱上升時(shí)，蝴蝶扣伸入托盤底部的預(yù)定形狀開口，導(dǎo)旋銷配合導(dǎo)旋槽導(dǎo)引活動(dòng)柱旋轉(zhuǎn)一預(yù)定角度后，活動(dòng)柱與托盤即以蝴蝶扣相結(jié)合。由以上說明得知，本發(fā)明確實(shí)具有如下的優(yōu)點(diǎn)相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明不僅有效縮小頂升裝置的體積，又可提供較大的頂升行程及頂升推力。同時(shí)，在頂升過程中復(fù)合旋轉(zhuǎn)的動(dòng)作，具有更廣的應(yīng)用層面。


圖1為現(xiàn)有的頂升裝置；
圖2為本發(fā)明的復(fù)合旋轉(zhuǎn)的頂升裝置示意圖
圖3A至圖3C為本發(fā)明實(shí)施例的復(fù)合旋轉(zhuǎn)頂升裝置頂升流程圖4A至圖4B為結(jié)合本發(fā)明的復(fù)合旋轉(zhuǎn)頂升裝置的真空傳輸頂升流程示意圖
圖5A及圖5B為本發(fā)明實(shí)施例托盤仰視示意圖。
主要元件標(biāo)號(hào)說明
1 頂升裝置10 本體11 凸輪軌
12:圓柱形凸輪13 頂升柱14 托盤
2 頂升裝置20 驅(qū)動(dòng)組件200 球螺桿
201 伺服馬達(dá)202 螺帽203 軸承
204 軸套21 活動(dòng)柱210 導(dǎo)旋槽
2101 第一段2102 第二段2103 第三段
22 外套筒23 導(dǎo)旋銷220 通孔
24 蝴蝶扣25 =X型環(huán)4 真空鍍膜系統(tǒng)
40 緩沖腔體401 導(dǎo)柱41 高真空腔體
410 濺鍍?cè)O(shè)備42 真空傳輸頂升設(shè)備420 轉(zhuǎn)盤
4200 通孔4202a,4202b 凹槽421,421a,421b 托盤
4210 預(yù)定形狀開口4211a、4211a，、4211b 工件
43 通道口
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文依本發(fā)明復(fù)合旋轉(zhuǎn)高頂升出力裝置及真空傳輸頂升設(shè)備，特舉較佳實(shí)施例，并配合所附相關(guān)圖示，作詳細(xì)說明如下，其中相同的元件將以相同的元件符號(hào)加以說明。請(qǐng)參照?qǐng)D2，為本發(fā)明的復(fù)合旋轉(zhuǎn)的高出力頂升裝置示意圖。本發(fā)明的頂升裝置2包括一驅(qū)動(dòng)組件20及一活動(dòng)柱21。驅(qū)動(dòng)組件20用以帶動(dòng)活動(dòng)柱21，以升降物件。為了縮減頂升裝置2的體積，本發(fā)明實(shí)施例中驅(qū)動(dòng)組件20采用伺服馬達(dá)帶動(dòng)螺桿的方式來帶動(dòng)活動(dòng)柱21。因此，驅(qū)動(dòng)組件 20包括一螺桿200、一伺服馬達(dá)201、一螺帽202、一軸承203及一軸套204。由圖中可看出，伺服馬達(dá)201的輸出軸軸向連接于螺桿200，螺帽202則螺合于螺桿200。軸套204 —端連接于螺帽202 ；另一端以軸承203與活動(dòng)柱21—端相連接，使活動(dòng)柱21能夠獨(dú)立于螺桿200轉(zhuǎn)動(dòng)。也就是說，當(dāng)伺服馬達(dá)201帶動(dòng)螺桿200順時(shí)針或逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，螺帽202會(huì)往前或后退使活動(dòng)柱21升降。在本發(fā)明實(shí)施例中，所使用的螺桿200 為一球螺桿。如圖2所示，為了在活動(dòng)柱21頂升物件時(shí)可作復(fù)合旋轉(zhuǎn)的動(dòng)作，因此，活動(dòng)柱21 側(cè)表面設(shè)一道導(dǎo)旋槽210。每一道導(dǎo)旋槽210可分成三段，第一段2101及第三段2103平行于活動(dòng)柱21軸向設(shè)置，第二段2102環(huán)繞活動(dòng)柱210的側(cè)表面，并連接第一段2101及第三段2103。當(dāng)導(dǎo)旋銷23于第二段2102軌道滑動(dòng)時(shí)，即可帶動(dòng)活動(dòng)柱21旋轉(zhuǎn)，因此，第二段 2102長(zhǎng)度即決定活動(dòng)柱21的旋轉(zhuǎn)角度。本發(fā)明的頂升裝置配合套設(shè)于活動(dòng)柱21的一外套筒22及一導(dǎo)旋銷23來產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)。導(dǎo)旋銷23經(jīng)由外套筒22的一通孔220插入導(dǎo)旋槽210中，當(dāng)伺服馬達(dá)201帶動(dòng)螺桿 200旋轉(zhuǎn)，使螺帽202往前或后退以使活動(dòng)柱21升降的同時(shí)，導(dǎo)旋銷23順著導(dǎo)旋槽210軌道滑動(dòng)，配合導(dǎo)旋槽210導(dǎo)引活動(dòng)柱21旋轉(zhuǎn)一預(yù)定角度。為了防止導(dǎo)旋銷23在活動(dòng)柱21升降時(shí)出軌，因此，導(dǎo)旋槽210的深度需至少大約 2至20mm，而導(dǎo)旋銷23長(zhǎng)度大約7至30mm為佳。在本發(fā)明一較佳實(shí)施例中，如圖3A至3C的局部立體圖所示，為了使活動(dòng)柱21頂升過程中能夠順利的轉(zhuǎn)動(dòng)，本發(fā)明的活動(dòng)柱21側(cè)表面設(shè)有四道導(dǎo)旋槽210，并有四支導(dǎo)旋銷23插入導(dǎo)旋槽210內(nèi)，以提高活動(dòng)柱21轉(zhuǎn)動(dòng)的扭力，實(shí)質(zhì)上依據(jù)不同需求，導(dǎo)旋槽及導(dǎo)旋銷的數(shù)量也會(huì)有所變更。為了方便了解旋轉(zhuǎn)的動(dòng)作原理及外套筒22內(nèi)部結(jié)構(gòu)，因此，外套筒22并未顯示于圖3A至圖3C。而本發(fā)明實(shí)施例中，活動(dòng)柱21末端可依據(jù)需求設(shè)有一蝴蝶扣M，且配合前述的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作來使活動(dòng)柱21以蝴蝶扣M和物件結(jié)合。如圖:3B，當(dāng)導(dǎo)旋銷23進(jìn)入導(dǎo)旋槽210的第二段2102，迫使活動(dòng)柱21旋轉(zhuǎn)時(shí)，蝴蝶扣M也跟著旋轉(zhuǎn)，直至導(dǎo)旋銷23要進(jìn)入導(dǎo)旋槽的第三段2103時(shí)，旋轉(zhuǎn)的角度正好讓蝴蝶扣M卡住物件，此時(shí)，再繼續(xù)將物件往上頂升至預(yù)定位置，活動(dòng)柱旋轉(zhuǎn)的角度范圍大約10 180度。圖4A及圖4B為本發(fā)明的真空傳輸頂升設(shè)備的剖面示意流程圖，前述的頂升裝置作為真空傳輸頂升設(shè)備的一部分，用以在緩沖腔體及高真空腔體之間進(jìn)行工件的傳輸。真空鍍膜系統(tǒng)4包括一緩沖腔體40、一高真空腔體41以及一真空傳輸頂升設(shè)備42。緩沖腔體40是工件的進(jìn)出口，工件先送入緩沖腔體40，待緩沖腔體40內(nèi)真空度到達(dá)一定值時(shí)，再傳送進(jìn)入高真空腔體41。高真空腔體41內(nèi)具有一鍍膜設(shè)備410，用以對(duì)工件進(jìn)行鍍膜制程，高真空腔體41內(nèi)常保持10_3至10-6torr(ltorr ^ 133. 322Pa)的真空度。其中，緩沖腔體40和高真空腔體41之間具有一通道口 43，以傳送工件。真空傳輸頂升設(shè)備42包括一轉(zhuǎn)盤420、一托盤421a (或421b)、一頂升裝置2及一外套筒22。轉(zhuǎn)盤420利用間歇式旋轉(zhuǎn)的方式，將工件由通道口 43傳送至鍍膜設(shè)備410下方來進(jìn)行鍍膜制程，并同時(shí)將完成鍍膜制程的工件傳送至通道口 43，以將工件取出。轉(zhuǎn)盤420上正對(duì)于通道口 43及鍍膜設(shè)備410的位置，分別設(shè)有一凹槽420 及 4202b，在每一凹槽中心具有一通孔4200。托盤421a、421b正好可放置于轉(zhuǎn)盤420上的凹槽 4202a及4202b中，并用來承載工件。頂升裝置2的結(jié)構(gòu)請(qǐng)參照?qǐng)D2，通過通孔4200將托盤421a頂升至緩沖腔體40來放置欲鍍的工件，與此同時(shí)，托盤421a必需封住通道口 43，以免當(dāng)緩沖腔體40破真空載入工件時(shí)，影響高真空腔體41的真空度。為了使托盤421a順利進(jìn)入通道口 43，在緩沖腔體 40內(nèi)壁靠近通道口 43的部分會(huì)設(shè)有導(dǎo)柱401來作引導(dǎo)。外套筒22固定于高真空腔體41的底部，用以配合頂升裝置2，使頂升裝置2的活動(dòng)柱21上升的同時(shí)，復(fù)合有旋轉(zhuǎn)的動(dòng)作，以和托盤421a結(jié)合并被頂升。在本發(fā)明實(shí)施例中，頂升裝置應(yīng)用于高真空腔體與緩沖腔體之間的傳輸，但由于活動(dòng)柱21表面的導(dǎo)旋槽210具有一溝槽深度，可能會(huì)形成一漏氣途徑，進(jìn)而影響高真空腔體的真空度，因此，外套筒22內(nèi)與高真空腔體41接合的部分更包括一 X型環(huán)25(X-ring)， 套設(shè)于活動(dòng)柱21，以增加氣密效果。在本發(fā)明實(shí)施例中，為了得到最佳氣密效果，使用了兩個(gè)X型環(huán)25。本發(fā)明實(shí)施例中，真空傳輸頂升設(shè)備42傳送工件的流程如圖4A至圖4B所示。圖 4A中，兩托盤421a及421b分別放置于凹槽420 及4202b中。托盤421a承載已完成鍍膜制程的工件4211a;托盤421b承載即將進(jìn)行鍍膜的工件4211b。為了將已完成鍍膜制程的工件4211a取出，并加載另一工件，頂升裝置2自轉(zhuǎn)盤420的通孔4200將托盤421a往上頂升至緩沖腔體40。如圖4B所示，頂升過程中復(fù)合旋轉(zhuǎn)的動(dòng)作(假設(shè)是順時(shí)針旋轉(zhuǎn))，使頂升裝置2的活動(dòng)柱21與托盤421a以蝴蝶扣M扣緊，使托盤421a不至于松脫，直至托盤421a完全被頂升至緩沖腔體40，并將通道口 43封住，以隔絕緩沖腔體40及高真空腔體41。請(qǐng)參照?qǐng)D5A及圖5B，為本發(fā)明實(shí)施例托盤的仰視圖。托盤421底部如圖5A所示， 相對(duì)應(yīng)于蝴蝶扣M形狀設(shè)置一預(yù)定形狀開口 4210，蝴蝶扣M旋轉(zhuǎn)一預(yù)定角度θ后，即可使蝴蝶扣24與托盤421卡合，如圖5Β。此時(shí)，緩沖腔體40破真空，將工件4211a取出，再放入另一待鍍工件4211a，。然后，將緩沖腔體40抽至一預(yù)定真空度，與此同時(shí)，位于高真空腔體41的鍍膜設(shè)備410對(duì)工件4211b進(jìn)行鍍膜制程。待緩沖腔體40的真空度達(dá)到預(yù)定值，且高真空腔體41內(nèi)的鍍膜制程也完成后，頂升裝置2將托盤421a往下拉。如前所述，由于本發(fā)明實(shí)施例的頂升裝置導(dǎo)旋槽210分成第一段2101、第二段2102及第三段2103，請(qǐng)配合圖2。下降過程包括三個(gè)部分，導(dǎo)旋銷23在第三段2103導(dǎo)旋槽中移動(dòng)，活動(dòng)柱21不產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)，蝴蝶扣M未松開，因此，托盤421a會(huì)被往下拉時(shí)，可確保托盤421a不會(huì)被卡在緩沖腔體40。導(dǎo)旋銷23在導(dǎo)旋槽210第二段2102移動(dòng)時(shí)，活動(dòng)柱21產(chǎn)生反向的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作(逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng))，這時(shí)才松開蝴蝶扣，且托盤421a下降到轉(zhuǎn)盤420上后，托盤421a正好和頂升裝置2脫離。導(dǎo)旋銷23在導(dǎo)旋槽210第一段2101中移動(dòng)時(shí)，頂升裝置2下降到原來的位置，回到如圖4A的狀態(tài)。這時(shí)，轉(zhuǎn)盤420間歇性旋轉(zhuǎn)一次，使方才完成鍍膜制程的工件4211b被旋轉(zhuǎn)傳送至通道口 43下方，待鍍工件4211a’至鍍膜設(shè)備410下方，重復(fù)先前的動(dòng)作。如前所述，在公知的技術(shù)中，是將工件放入緩沖腔體中，抽至預(yù)定真空度后，再傳送到高真空腔體進(jìn)行鍍膜制程，必須等候每一批工件完成所有流程后，才能對(duì)下一批工件進(jìn)行相同流程。但利用本發(fā)明真空傳輸頂升設(shè)備4的優(yōu)點(diǎn)是，緩沖腔體40抽真空以及對(duì)另一工件進(jìn)行鍍膜制程是同時(shí)進(jìn)行，節(jié)省了在鍍膜制程之前，等候抽真空所花費(fèi)的時(shí)間。其中，當(dāng)頂升裝置2要將托盤421頂升至緩沖腔體40時(shí)，基于公式J 二 2π T
L其中，F(xiàn)(牛頓；N)為頂升推力；L(公尺；m)為頂升的節(jié)距，即球螺桿旋轉(zhuǎn)一圈，活動(dòng)柱前進(jìn)的距離；T(牛頓X米；NXm)為伺服馬達(dá)輸出扭力。在本發(fā)明實(shí)施例中，假設(shè)頂升的節(jié)距為0.005m，伺服馬達(dá)輸出的扭力只要 10 (NXm)，就可以產(chǎn)生12560 (N)的頂升推力，足以承受大氣壓力及托盤的重量。相較于公知的頂升裝置而言，同樣的扭力(T)輸出，本發(fā)明所產(chǎn)生的頂升推力(F)是公知技術(shù)的16 至17倍。再者，以公知的頂升裝置來說，頂升的行程最大只到50mm，體積大小約48000立方厘米。本發(fā)明所提供的頂升裝置提供物件IOmm至200mm的垂直高度變化，但頂升裝置的體積只需要大約4000至16000立方厘米，相較于公知技術(shù)而言，縮小了 3至10倍，運(yùn)用在真空設(shè)備中時(shí)更能節(jié)省空間。此外，本發(fā)明頂升裝置馬達(dá)的能源轉(zhuǎn)換效率高，伺服馬達(dá)只需要輸出約450瓦(W) 的功率，就可以產(chǎn)生10牛頓X米(NXm)的扭力，以提供12560 (N)的頂升推力，足以頂升本發(fā)明實(shí)施例中的托盤至緩沖腔體。除此之外，本發(fā)明的頂升裝置在升降過程中，復(fù)合有旋轉(zhuǎn)的動(dòng)作，相較于公知技術(shù)而言，具有更廣的應(yīng)用層面。以上所述僅為本發(fā)明示意性的具體實(shí)施方式
，并非用以限定本發(fā)明的范圍。任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的構(gòu)思和原則的前提下所作出的等同變化與修改，均應(yīng)屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
權(quán)利要求
1.一種復(fù)合旋轉(zhuǎn)的高出力頂升裝置，其特征在于，該頂升裝置用以配合一外套筒內(nèi)的一導(dǎo)旋銷，對(duì)一物件提供旋轉(zhuǎn)及升降的復(fù)合作用力，該頂升裝置包括一螺桿；一伺服馬達(dá)，該伺服馬達(dá)的輸出軸軸向連接于該螺桿，以帶動(dòng)該螺桿旋轉(zhuǎn)； 一螺帽，螺合于該螺桿；一軸套，該軸套一端軸接于一軸承，另一端連接于該螺帽； 一活動(dòng)柱，該活動(dòng)柱一端與該軸承軸接，該外套筒套設(shè)于該活動(dòng)柱；及一導(dǎo)旋槽，該導(dǎo)旋槽設(shè)于該活動(dòng)柱側(cè)表面，該導(dǎo)旋銷經(jīng)由該外套筒的一通孔插入該導(dǎo)旋槽中，該導(dǎo)旋槽導(dǎo)引該活動(dòng)柱上升或下降的同時(shí)旋轉(zhuǎn)一預(yù)定角度。
2.如權(quán)利要求1所述的復(fù)合旋轉(zhuǎn)的高出力頂升裝置，其特征在于，該螺桿為一球螺桿。
3.如權(quán)利要求1所述的復(fù)合旋轉(zhuǎn)的高出力頂升裝置，其特征在于，該導(dǎo)旋槽分成三段， 該導(dǎo)旋槽的第一段及第三段平行該活動(dòng)柱軸向設(shè)置，其第二段環(huán)繞該活動(dòng)柱的側(cè)表面設(shè)置，決定該活動(dòng)柱的旋轉(zhuǎn)角度，并連接于所述第一段及第三段之間。
4.如權(quán)利要求1所述的復(fù)合旋轉(zhuǎn)的高出力頂升裝置，其特征在于，該活動(dòng)柱末端具有一蝴蝶扣，該活動(dòng)柱旋轉(zhuǎn)過程中，該活動(dòng)柱以該蝴蝶扣與該物件相結(jié)合。
5.一種真空傳輸頂升設(shè)備，用以將工件從一緩沖腔體傳送至一高真空腔體中進(jìn)行鍍膜制程，其特征在于，該真空傳輸頂升設(shè)備包括一托盤，該托盤用以承載該工件，該托盤底部并設(shè)有一預(yù)定開口 ；及一頂升裝置，該頂升裝置帶動(dòng)該托盤上升，將該緩沖腔體及該高真空腔體隔絕，并在該緩沖腔體的真空度達(dá)到一預(yù)定值時(shí)，使該托盤下降，將該工件傳送至該高真空腔體進(jìn)行鍍膜制程，該頂升裝置包括 一螺桿；一伺服馬達(dá)，該伺服馬達(dá)的輸出軸軸向連接于該螺桿，以帶動(dòng)該螺桿旋轉(zhuǎn)； 一螺帽，螺合于該螺桿；一軸套，該軸套一端軸接于一軸承，另一端連接于該螺帽； 一活動(dòng)柱，該活動(dòng)柱一端與該軸承軸接，另一端則設(shè)有一蝴蝶扣； 一導(dǎo)旋槽，設(shè)于該活動(dòng)柱側(cè)表面； 一外套筒，固定于該高真空腔體底部，并套于該活動(dòng)柱；及一導(dǎo)旋銷，該導(dǎo)旋銷經(jīng)由該外套筒的一通孔插入該導(dǎo)旋槽中，當(dāng)該伺服馬達(dá)帶動(dòng)該螺桿旋轉(zhuǎn)使該活動(dòng)柱上升時(shí)，該蝴蝶扣伸入該托盤底部的該預(yù)定開口，該導(dǎo)旋銷配合該導(dǎo)旋槽導(dǎo)引該活動(dòng)柱旋轉(zhuǎn)一預(yù)定角度后，該活動(dòng)柱與該托盤即以該蝴蝶扣相結(jié)合，當(dāng)該活動(dòng)柱下降時(shí)，該活動(dòng)柱反向旋轉(zhuǎn)使該蝴蝶扣松開該托盤。
6.如權(quán)利要求5所述的真空傳輸頂升設(shè)備，其特征在于，該螺桿為一球螺桿。
7.如權(quán)利要求5所述的真空傳輸頂升設(shè)備，其特征在于，該導(dǎo)旋槽分成三段，該導(dǎo)旋槽的第一段及第三段平行該活動(dòng)柱軸向設(shè)置，使該活動(dòng)柱做垂直升降，該導(dǎo)旋槽的第二段環(huán)繞該活動(dòng)柱的側(cè)表面設(shè)置，并連接于所述第一段及第三段之間，使該活動(dòng)柱在上升或下降過程中旋轉(zhuǎn)該預(yù)定角度，使該蝴蝶扣扣緊或松開該托盤。
8.如權(quán)利要求5所述的真空傳輸頂升設(shè)備，其特征在于，該緩沖腔體和該高真空腔體之間具有一通道口，該高真空腔體內(nèi)包括一鍍膜設(shè)備，該真空傳輸頂升設(shè)備包括一轉(zhuǎn)盤，該真空傳輸頂升設(shè)備以間歇式旋轉(zhuǎn)的方式將工件由該通道口傳送至該鍍膜設(shè)備進(jìn)行鍍膜制程，并同時(shí)將完成鍍膜制程的工件傳送至該通道口，以將工件取出。
9.如權(quán)利要求8所述的真空傳輸頂升設(shè)備，其特征在于，該轉(zhuǎn)盤上正對(duì)于該通道口及該鍍膜設(shè)備的位置分別設(shè)有一凹槽，在每一凹槽中心具有一通孔，該托盤位于該凹槽中，該頂升裝置通過該通孔將該托盤頂升至該緩沖腔體并密封該通道口。
10.如權(quán)利要求5所述的真空傳輸頂升設(shè)備，其特征在于，該外套筒內(nèi)包括一X型環(huán)，當(dāng)該頂升裝置頂升該托盤于該緩沖腔體中時(shí)，用以防止該導(dǎo)旋槽形成一漏氣途徑，影響真空度。
全文摘要
本發(fā)明提供一種復(fù)合旋轉(zhuǎn)的高出力頂升裝置，用以配合一外套筒內(nèi)的一導(dǎo)旋銷，對(duì)一物件提供旋轉(zhuǎn)及升降的復(fù)合作用力，頂升裝置包括一螺桿；一伺服馬達(dá)，伺服馬達(dá)的輸出軸軸向連接于螺桿，以帶動(dòng)螺桿旋轉(zhuǎn)；一螺帽，螺合于螺桿；一軸套，軸套一端軸接于一軸承，另一端連接于螺帽；及一活動(dòng)柱，活動(dòng)柱一端與軸承軸接，外套筒套設(shè)于活動(dòng)柱；及一導(dǎo)旋槽，導(dǎo)旋槽設(shè)于活動(dòng)柱側(cè)表面，其中導(dǎo)旋銷經(jīng)由外套筒的一通孔插入導(dǎo)旋槽中，導(dǎo)旋槽提供導(dǎo)引活動(dòng)柱上升或下降同時(shí)，旋轉(zhuǎn)一預(yù)定角度；本發(fā)明體積小不占空間，并提供大行程、高扭力及高推力。
文檔編號(hào)B66F3/44GK102372236SQ201010258198
公開日2012年3月14日 申請(qǐng)日期2010年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月18日
發(fā)明者游騏銘, 鄭兆希 申請(qǐng)人:向熙科技股份有限公司