專利名稱：一種晶棒拼接縫粘接方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一種晶棒拼接縫粘接方法，屬于晶棒粘接技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
目前，由于行業(yè)內(nèi)的拉晶拉出的單晶長度長短不一，造成后續(xù)工段切段后的晶棒 長度不能滿足切片機(jī)的加工要求(300mm/根)，為了提高切片機(jī)的加工效率，行業(yè)內(nèi)將兩根 較短的晶棒搭配在一起以達(dá)到300mm的長度，為了不把鋼線夾斷，傳統(tǒng)的方法是粘膠時(shí)在 兩根短棒之間留出2-3mm的縫隙，但是由于切斷時(shí)產(chǎn)生的斜面在切片時(shí)極其容易造成碎片 掉下的現(xiàn)象，有時(shí)會(huì)被帶到線網(wǎng)上從而產(chǎn)生跳線，嚴(yán)重時(shí)會(huì)產(chǎn)生斷線，客戶對硅片表面的質(zhì) 量要求較嚴(yán)格，斷線就會(huì)造成報(bào)廢，即使斷線被接起來，一般的硅片表面也會(huì)留下一條甚至 幾條線痕或是色差片等不良產(chǎn)品，大大降低了產(chǎn)品的成品率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，所要解決的問題是，提供了一種能夠有效降低斷線 率的晶棒拼接縫粘接方法。為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明一種晶棒拼接縫粘接方法，按照以下順序操作a、配棒，將至少兩根較短的晶棒搭配，搭配后的長度滿足切片機(jī)加工所需長度；b、預(yù)處理選好的晶棒，對上述晶棒需粘接的端面進(jìn)行處理，使端面相對于中心線 的垂直度< 1. 5mm，且端面潔凈無雜質(zhì)；C、粘接晶棒，將要拼接的兩根晶棒放置在平臺上，處理好的端面朝上，用美紋膠帶 將兩根晶棒的上部邊緣包起，將膠水涂在其中一根晶棒的端面上，在2分鐘 3分鐘之間將 涂了膠水的晶棒迅速的平行橫放在平臺上，然后將另外一根晶棒也平行橫放到平臺上，兩 個(gè)晶棒處理過的端面相對，將兩根晶棒對接，中間的縫隙為Imm 1. 5mm ；d、粘接后的處理，在粘接后3分鐘 5分鐘之間將粘在晶棒上的美紋膠帶揭下來， 然后用美工刀片將拼接縫處的膠清理干凈，再用酒精將晶棒表面的殘膠擦拭干凈，最后將 粘好的晶棒靜放20分鐘；e、重復(fù)第三步和第四步，直到將搭配好的短棒都粘接完畢。使晶棒端面潔凈無雜物的方法為先用超聲清洗機(jī)將需要粘接的晶棒超聲清洗 10分鐘，再用酒精將要粘接的端面擦拭干凈并晾干。所述的晶棒或?yàn)閳A棒，或?yàn)榉桨簦驗(yàn)榫€開方棒。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的有益效果為下表為2010年4月份使用本發(fā)明后，與使用本發(fā)明前切片機(jī)切片時(shí)斷線刀數(shù)以及 報(bào)廢晶棒數(shù)量的對比數(shù)據(jù)
2010年月份斷線刀數(shù)(刀)報(bào)廢根數(shù)(根)報(bào)廢長度(mm) 上表中的數(shù)據(jù)顯示，自2010年4月份應(yīng)用了本發(fā)明后，與沒有應(yīng)用本發(fā)明之前相 比，拼接縫的斷線刀數(shù)減少了 70%左右，報(bào)廢晶棒的根數(shù)減少了 60%左右，報(bào)廢長度減少 了 77%左右，有效的降低了斷線率，減少了晶棒的報(bào)廢率，在很大程度上提高了產(chǎn)品的成品 率，從而降低了成本。
具體實(shí)施例方式一種晶棒拼接縫粘接方法，按照以下順序操作a、配棒，將至少兩根較短的晶棒搭配，搭配后的長度滿足切片機(jī)加工所需長度；b、預(yù)處理選好的晶棒，對上述晶棒需粘接的端面進(jìn)行處理，使端面相對于中心線 的垂直度< 1. 5mm，且端面潔凈無雜質(zhì)；C、粘接晶棒，將要拼接的兩根晶棒放置在平臺上，處理好的端面朝上，用美紋膠帶 將兩根晶棒的上部邊緣包起，將膠水涂在其中一根晶棒的端面上，在2分鐘 3分鐘之間將 涂了膠水的晶棒迅速的平行橫放在平臺上，然后將另外一根晶棒也平行橫放到平臺上，兩 個(gè)晶棒處理過的端面相對，將兩根晶棒對接，中間的縫隙為Imm 1. 5mm ；d、粘接后的處理，在粘接后3分鐘 5分鐘之間將粘在晶棒上的美紋膠帶揭下來， 然后用美工刀片將拼接縫處的膠清理干凈，再用酒精將晶棒表面的殘膠擦拭干凈，最后將 粘好的晶棒靜放20分鐘；e、重復(fù)第三步和第四步，直到將搭配好的短棒都粘接完畢。使晶棒端面潔凈無雜物的方法為先用超聲清洗機(jī)將需要粘接的晶棒超聲清洗 10分鐘，再用酒精將要粘接的端面擦拭干凈并晾干。所述的晶棒或?yàn)閳A棒，或?yàn)榉桨?，或?yàn)榫€開方棒。本發(fā)明中所用美紋膠帶的作用為用美紋膠帶將兩根晶棒需粘接的端面邊緣包 起后，當(dāng)晶棒對接時(shí)，流出來的膠水就不會(huì)流到晶棒上，而是有大部分膠水流到了美紋膠帶 上，這樣，當(dāng)將美紋膠帶揭下來時(shí)，就帶走了大部分的殘膠，從而使后續(xù)的處理殘膠的工作 變得簡單了。本發(fā)明的第三步中，將兩根晶棒對接時(shí)，可使用專用的拼接夾具，此拼接夾具包括 擋板、夾具體和螺栓，夾具體為L型，夾具體的中間部分開有長條形的通孔，兩塊擋板設(shè)置 在夾具體的兩端，擋板為方形的板狀物，擋板中間部分開有螺紋孔，螺栓套裝在擋板的螺紋 孔內(nèi)。待將膠水涂在其中一根晶棒的端面上后，在2分鐘 3分鐘之間將涂了膠水的晶 棒迅速的平行橫放在拼接夾具上，然后將另外一根晶棒也平行橫放到拼接夾具上，兩個(gè)晶 棒處理過的端面相對，且兩端面都位于夾具體中間的長條形通孔上方，擰動(dòng)兩端擋板上的螺栓，使兩根晶棒在螺栓的推力作用下靠近且擠緊，中間的縫隙為Imm 1.5mm，由于擠緊 而溢流出來的膠水會(huì)從夾具體中間的長條形通孔中流出，這也使后續(xù)處理殘膠的工作更加簡單。
權(quán)利要求
一種晶棒拼接縫粘接方法，其特征在于，按照以下順序操作a、配棒，將至少兩根較短的晶棒搭配，搭配后的長度滿足切片機(jī)加工所需長度；b、預(yù)處理選好的晶棒，對上述晶棒需粘接的端面進(jìn)行處理，使端面相對于中心線的垂直度≤1.5mm，且端面潔凈無雜質(zhì)；c、粘接晶棒，將要拼接的兩根晶棒放置在平臺上，處理好的端面朝上，用美紋膠帶將兩根晶棒的上部邊緣包起，將膠水涂在其中一根晶棒的端面上，在2分鐘～3分鐘之間將涂了膠水的晶棒迅速的平行橫放在平臺上，然后將另外一根晶棒也平行橫放到平臺上，兩個(gè)晶棒處理過的端面相對，將兩根晶棒對接，中間的縫隙為1mm～1.5mm；d、粘接后的處理，在粘接后3分鐘～5分鐘之間將粘在晶棒上的美紋膠帶揭下來，然后用美工刀片將拼接縫處的膠清理干凈，再用酒精將晶棒表面的殘膠擦拭干凈，最后將粘好的晶棒靜放20分鐘；e、重復(fù)第三步和第四步，直到將搭配好的短棒都粘接完畢。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶棒拼接縫粘接方法，其特征在于使晶棒端面潔凈無 雜物的方法為先用超聲清洗機(jī)將需要粘接的晶棒超聲清洗10分鐘，再用酒精將要粘接的 端面擦拭干凈并晾干。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶棒拼接縫粘接方法，其特征在于所述的晶棒或?yàn)閳A 棒，或?yàn)榉桨?，或?yàn)榫€開方棒。
全文摘要
本發(fā)明一種晶棒拼接縫粘接方法，屬于晶棒粘接技術(shù)領(lǐng)域。所要解決的問題是，提供了一種能夠有效降低斷線率的晶棒拼接縫粘接方法。采用的技術(shù)方案是按照以下順序操作a、配棒，將至少兩根較短的晶棒搭配為滿足切片機(jī)加工要求的長度；b、預(yù)處理選好的晶棒，使晶棒端面垂直度≤1.5mm，且端面潔凈無雜質(zhì)；c、粘接晶棒，在其中一根晶棒的端面上涂上膠水，將兩根晶棒對接；d、粘接后的處理，將晶棒表面的殘膠處理干凈，再將粘好的晶棒靜放20分鐘；e、重復(fù)第三步和第四步，將搭配好的短棒都粘接完。本發(fā)明可有效降低斷線率，減少晶棒的報(bào)廢率，在很大程度上提高了成品率，從而降低了生產(chǎn)成本，本發(fā)明可推廣應(yīng)用到晶棒切片前的晶棒粘接中。
文檔編號C30B33/06GK101914813SQ20101027396
公開日2010年12月15日 申請日期2010年9月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月4日
發(fā)明者侯惠峰, 姚錦嶸, 宋克群, 秦海濱, 解士超 申請人:山西天能科技有限公司