專利名稱：直拉法鍺單晶的直徑測(cè)量及信號(hào)處理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種光電信號(hào)的轉(zhuǎn)換及信號(hào)處理電路，具體涉及一種直拉法鍺單 晶的直徑測(cè)量及信號(hào)處理系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
鍺是第一代制作晶體管的半導(dǎo)體材料。20世紀(jì)60年代以來，鍺在半導(dǎo)體工業(yè)中的 統(tǒng)治地位逐漸被價(jià)格更低、資源更豐富的硅所取代。但是由于鍺的電子遷移率比硅高，強(qiáng)度 比硅好，所以在高頻、紅外和航空、航天領(lǐng)域，鍺材料仍然占主導(dǎo)地位。直拉(CZ)法是鍺單 晶生長(zhǎng)中應(yīng)用最廣泛的辦法，但是由于鍺單晶的生長(zhǎng)溫度比硅單晶低得多，鍺單晶的生長(zhǎng) 溫度為930°c，固液界面的光環(huán)較弱，直徑信號(hào)不易測(cè)量，因此很難實(shí)現(xiàn)等徑控制及自動(dòng)拉 制鍺單晶。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種直拉法鍺單晶的直徑測(cè)量及信號(hào)處理系統(tǒng)，以克服 鍺單晶固液界面的光環(huán)較弱，不易測(cè)量的問題。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為一種直拉鍺單晶的直徑測(cè)量及信號(hào)處理系統(tǒng)， 其特征在于包括依次連接的采光系統(tǒng)、光電轉(zhuǎn)換電路、微弱信號(hào)處理電路、信號(hào)放大電路 和信號(hào)隔離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路；采光系統(tǒng)用于接收等徑時(shí)鍺單晶固液界面光環(huán)的溫度波 長(zhǎng)；光電轉(zhuǎn)換電路用于將光環(huán)溫度波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)；微弱信號(hào)處理電路用于將電信號(hào)放 大為毫伏級(jí)或伏級(jí)信號(hào)；信號(hào)放大電路用于將放大后的電信號(hào)再次放大；信號(hào)隔離及標(biāo)準(zhǔn) 信號(hào)轉(zhuǎn)換電路用于將再次放大的電信號(hào)轉(zhuǎn)換成0 IOV的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，作為等徑控制的輸入 信號(hào)。其中，微弱信號(hào)處理電路包括低噪聲抑制放大器和帶通放大器；微弱信號(hào)處理電 路有兩個(gè)輸入端口和兩個(gè)輸出端口，分別為正極輸入端IN+，負(fù)極輸入端IN-，以及正極輸 出端OUT+和負(fù)極輸出端OUT-；低噪聲抑制放大器與VS的電源正負(fù)極相連，其正極輸入端 與IN+相連，輸出端電流反饋至負(fù)極輸入；低噪聲抑制放大器輸出端經(jīng)過第一電阻和第一 電容與帶通放大器的正極輸入端連接，并經(jīng)過第四電阻作為整個(gè)微弱信號(hào)處理電路的負(fù)極 輸出，接地；帶通放大器與電源Vs正負(fù)極分別連接；帶通放大器的輸出端作為整個(gè)微弱信 號(hào)處理電路的正極輸出，并分流，一路與第五電阻和第二電容串聯(lián)后接地，另外一路與第三 電阻串聯(lián)后反饋到帶通放大器的負(fù)極輸入，并且經(jīng)過第二電阻接地。其中，信號(hào)放大電路包括第一運(yùn)算放大器；信號(hào)放大電路有兩個(gè)輸入端口和兩個(gè) 輸出端口，分別為正極輸入端IN+，負(fù)極輸入端IN-，以及正極輸出端OUT+和負(fù)極輸出端 OUT-；負(fù)極輸入端IN-和負(fù)極輸出端OUT-都接地；正極輸入端IN+經(jīng)過第六電阻之后分流， 連至第一運(yùn)算放大器的正極輸入端；分流為三路，第一路經(jīng)過第七電阻之后接地，第二路與 第一穩(wěn)壓管的陽極連接，第一穩(wěn)壓管的陰極與第二穩(wěn)壓管的陰極相連，第二穩(wěn)壓管的陽極 接地，第三路經(jīng)過第三電容和第四電容之后接地；第一運(yùn)算放大器與電源Vs的正負(fù)極相連接，作為整個(gè)信號(hào)放大器電路的正極輸出的第一運(yùn)算放大器輸出端經(jīng)過第九電阻之后反饋 至第一運(yùn)算放大器的負(fù)極輸入端，并經(jīng)過第八電阻接地。其特征還在于，第三電容和第四電容為濾波電容；第八電阻為接地電阻，第九電阻 為反饋電阻。其中，信號(hào)隔離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路包括隔離運(yùn)算放大器、第二運(yùn)算放大器和第 三運(yùn)算放大器；信號(hào)隔離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路有兩個(gè)輸入端口和兩個(gè)輸出端口，分別為正 極輸入端IN+，負(fù)極輸入端IN-，以及正極輸出端OUT+和負(fù)極輸出端OUT-；負(fù)極輸入IN-和 負(fù)極輸出OUT—分別接地；正極輸入IN+與隔離運(yùn)算放大器的輸入端直接連接，并且經(jīng)過第 五電容與電源Vs正極連接，經(jīng)過第六電容與電源Vs負(fù)極連接，經(jīng)過第七電容接地；隔離運(yùn) 算放大器的第一正極電源Vl+與電源VS正極相連，第二正極電源V2+與電源Vs'正極相連， 隔離運(yùn)算放大器的第一負(fù)極電源Vl-與電源Vs負(fù)極相連，第二負(fù)極電源V2-與電源Vs'負(fù) 極相連，隔離運(yùn)算放大器的第一接地端GNDl和第二接地端GND2都分別接地；隔離運(yùn)算放大 器的輸出端口直接連至第二運(yùn)算放大器的正極輸入端，經(jīng)過第八電容之后接地，并且分流， 一路經(jīng)過第九電容連接至電源Vs'正極，另一路經(jīng)過第十電容連接至電源Vs'負(fù)極；第二運(yùn) 算放大器與電源Vs'正負(fù)極分別相連，其輸出端反饋至負(fù)極輸入端，并直接連至第三運(yùn)算 放大器的正極輸入端，并且分流，一路經(jīng)過第十二電容接地，另一路經(jīng)過第十二電阻連至第 一滑動(dòng)變阻器，并且經(jīng)過第十一電容接地；第一滑動(dòng)變阻器正極經(jīng)過第十電阻連接至電源 Vs'正極，第一滑動(dòng)變阻器負(fù)極經(jīng)過第十一電阻連接至電源Vs'負(fù)極；第三運(yùn)算放大器與電 源Vs'正負(fù)極分別相連，其輸出端經(jīng)過第二滑動(dòng)變阻器和第十四電阻之后反饋至第三運(yùn)算 放大器負(fù)極輸入端，再經(jīng)過第十三電阻接地；作為整個(gè)信號(hào)隔離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路正極 輸出的第三運(yùn)算放大器輸出端與第十三電容和第十四電容連接后接地。其特征還在于，第一滑動(dòng)變阻器為調(diào)零滑動(dòng)電阻器，第二滑動(dòng)變阻器為滿度調(diào)節(jié) 滑動(dòng)電阻器。本實(shí)用新型的有益效果是，解決了直拉法鍺單晶的直徑測(cè)量及信號(hào)處理，實(shí)現(xiàn)了 鍺單晶的等徑自動(dòng)控制。

圖1是本實(shí)用新型的原理框圖；圖2是微弱信號(hào)處理電路的電路圖；圖3是信號(hào)放大電路的電路圖；圖4是信號(hào)隔離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路的電路圖。圖中，1.采光系統(tǒng)，2.光電轉(zhuǎn)換電路，3.微弱信號(hào)處理電路，4.信號(hào)放大電路， 5.信號(hào)隔離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路，101.低噪聲抑制放大器，102.帶通放大器，103.第一運(yùn) 算放大器，104.隔離運(yùn)算放大器，105.第二運(yùn)算放大器，106.第三運(yùn)算放大器，201.第一電 阻，202.第二電阻，203.第三電阻，204.第四電阻，205.第五電阻，206.第六電阻，207.第 七電阻，208.第八電阻，209.第九電阻，210.第十電阻，211.第i^一電阻，212.第十二電阻， 213.第十三電阻，214.第十四電阻，301.第一電容，302.第二電容，303.第三電容，304.第 四電容，305.第五電容，306.第六電容，307.第七電容，308.第八電容，309.第九電容，310. 第十電容，311.第i^一電容，312.第十二電容，313.第十三電容，314.第十四電容，401.第一穩(wěn)壓管，402.第二穩(wěn)壓管，231.第一滑動(dòng)變阻器，232.第二滑動(dòng)變阻器。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖1所示，本實(shí)用新型公開了一種直拉鍺單晶的直徑測(cè)量及信號(hào)處理系統(tǒng)，包 括依次連接的采光系統(tǒng)1、光電轉(zhuǎn)換電路2、微弱信號(hào)處理電路3、信號(hào)放大電路4和信號(hào)隔 離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路5 ；采光系統(tǒng)1采用接收溫度波長(zhǎng)為1. 3微米的半導(dǎo)體鍺做襯底的 采光器件，將等徑時(shí)的光環(huán)溫度波長(zhǎng)接收；且采光系統(tǒng)1包括光路；光電轉(zhuǎn)換電路2用于將 光環(huán)溫度波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，由于光環(huán)周圍液面溫度波動(dòng)較大，所以在采光鏡頭前安裝了 一個(gè)<2 3 <2 4的光柵來控制采光面積，在光學(xué)系統(tǒng)中采用了一個(gè)<2 10的黑圈作為測(cè)量固 液界面的采光面積，光圈在液面上時(shí)信號(hào)最小，與光環(huán)相切時(shí)微大些，壓入光環(huán)逐漸變大直 到1/2處最大，再多反而變小，一般使用時(shí)將光環(huán)壓入1/3處；由于鍺探測(cè)器接收信號(hào)較微 弱且不線性，首先利用微弱信號(hào)處理電路3中的低噪聲抑制放大器101和帶通放大器102 將電信號(hào)放大為毫伏(mV)級(jí)或伏(V)級(jí)信號(hào)；由于導(dǎo)線較長(zhǎng)易被干擾，將信號(hào)再通過信號(hào) 放大電路4再次放大，再通過信號(hào)隔離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路5用于將再次放大的電信號(hào)隔 離轉(zhuǎn)換成0 IOV的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，作為等徑控制的輸入信號(hào)。如圖2所示的，微弱信號(hào)處理電路3有兩個(gè)輸入端口和兩個(gè)輸出端口，分別為正極 輸入端IN+，負(fù)極輸入端IN-，以及正極輸出端OUT+和負(fù)極輸出端OUT-。低噪聲抑制放大器 101與Vs的電源正負(fù)極相連，其正極輸入端與IN+相連，輸出端電流反饋至負(fù)極輸入；低噪 聲抑制放大器101輸出端經(jīng)過第一電阻201與第一電容301與帶通放大器102的正極輸入 端相連接，并經(jīng)過第四電阻204作為整個(gè)微弱信號(hào)處理電路3的負(fù)極輸出，接地。帶通放大 器102與電源Vs正負(fù)極分別連接。帶通放大器102的輸出端作為整個(gè)微弱信號(hào)處理電路 的正極輸出，一路與第五電阻205和第二電容302串聯(lián)后接地，另外一路與第三電阻203串 聯(lián)后反饋到帶通放大器102的負(fù)極輸入，并且經(jīng)過第二電阻202接地。微弱信號(hào)處理電路3的工作原理為為了高精度、高速度檢測(cè)出背景噪聲覆蓋的 微弱信號(hào)，高質(zhì)量的前置放大器使用了低噪聲、雙極性的低噪聲抑制放大器101將輸入信 號(hào)IN進(jìn)行處理，輸出給帶通放大器102將其放大為毫伏(mV)級(jí)或伏(V)級(jí)信號(hào)，作為下一 級(jí)的輸入信號(hào)。如圖3所示，信號(hào)放大電路4有兩個(gè)輸入端口和兩個(gè)輸出端口，分別為正極輸入端 IN+,負(fù)極輸入端IN-，以及正極輸出端OUT+和負(fù)極輸出端OUT-。負(fù)極輸入端IN-和負(fù)極輸 出端OUT-都接地。正極輸入端IN+經(jīng)過第六電阻206之后分流，連至第一運(yùn)算放大器103 的正極輸入端，分流為三路，一路經(jīng)過第七電阻207之后接地，第二路與第一穩(wěn)壓管401的 陽極連接，第一穩(wěn)壓管401的陰極與第二穩(wěn)壓管402的陰極相連，第二穩(wěn)壓管402的陽極接 地，第三路經(jīng)過第三電容303和第四電容304之后接地。第一運(yùn)算放大器103與電源Vs的 正負(fù)極相連接，作為整個(gè)信號(hào)放大器電路4的正極輸出的第一運(yùn)算放大器103輸出端經(jīng)過 第九電阻209之后反饋至第一運(yùn)算放大器103的負(fù)極輸入端，并經(jīng)過第八電阻208之后接 地。信號(hào)放大電路4的工作原理為為了減少干擾，將信號(hào)再次放大。輸入信號(hào)IN經(jīng) 過輸入第六電阻206輸入給第一運(yùn)算放大器103，經(jīng)過信號(hào)放大后輸出給下一級(jí)作為輸入信號(hào)；其中設(shè)置第一穩(wěn)壓管401和第二穩(wěn)壓管402是為了防止輸入信號(hào)過大造成第一運(yùn)算 放大器103飽和；第三電容303和第四電容304為濾波電容；第八電阻208為接地電阻，第 九電阻209為反饋電阻，選擇合適的電阻可以調(diào)節(jié)電路的放大倍數(shù)，使之滿足需要。如圖4所示，信號(hào)隔離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路5有兩個(gè)輸入端口和兩個(gè)輸出端口，分 別為正極輸入端IN+，負(fù)極輸入端IN-，以及正極輸出端OUT+和負(fù)極輸出端OUT-。負(fù)極輸入 IN-和負(fù)極輸出OUT-都接地。正極輸入IN+與隔離運(yùn)算放大器104的輸入端直接連接，并 且經(jīng)過第五電容305與電源Vs正極連接，經(jīng)過第六電容306與電源Vs的負(fù)極連接，經(jīng)過第 七電容307接地。隔離運(yùn)算放大器104的第一正極電源Vl+與電源Vs正極相連，第二正極 電源V2+與電源Vs'正極相連，隔離運(yùn)算放大器104的第一負(fù)極電源Vl-與電源VS負(fù)極相 連，第二負(fù)極電源V2-與電源Vs'負(fù)極相連，第一接地端GNDl和第二接地端GND2都分別接 地。隔離運(yùn)算放大器104的輸出端口直接連至第二運(yùn)算放大器105的正極輸入端，經(jīng)過第 八電容308之后接地，并且分流，一路經(jīng)過第九電容309連接至電源Vs'正極，另一路經(jīng)過 第十電容310連接至電源Vs'負(fù)極。第二運(yùn)算放大器105與電源VS'正負(fù)極分別相連，其 輸出端反饋至負(fù)極輸入端，直接連至第三運(yùn)算放大器106的正極輸入端，并且分流，一路經(jīng) 過第十二電容312接地，另一路經(jīng)過第十二電阻212連至第一滑動(dòng)變阻器231，并且經(jīng)過第 i^一電容311接地。第一滑動(dòng)變阻器231正極經(jīng)過第十電阻210連接至電源VS'正極，第 一滑動(dòng)變阻器231負(fù)極經(jīng)過第十一電阻211連接至電源Vs'負(fù)極。第三運(yùn)算放大器106與 電源Vs'正負(fù)極分別相連，其輸出端經(jīng)過第二滑動(dòng)變阻器232和第十四電阻214之后反饋 至第三運(yùn)算放大器106負(fù)極輸入端，再經(jīng)過第十三電阻213接地。作為整個(gè)信號(hào)隔離及標(biāo) 準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路5正極輸出的第三運(yùn)算放大器106輸出端與第十三電容313和第十四電容 314連接后接地。信號(hào)隔離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路5的工作原理為為了使信號(hào)前后隔離，輸入信號(hào) IN經(jīng)隔離運(yùn)算放大器104隔離后，通過一個(gè)接成射極跟隨的第二運(yùn)算放大器105輸出給第 三運(yùn)算放大器106的輸入，經(jīng)第三運(yùn)算放大器106放大后由第十三電容313和第十四電容 314濾波后輸出0 IOV的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)；其中第一滑動(dòng)變阻器231為調(diào)零滑動(dòng)電阻器，第二滑 動(dòng)變阻器232為滿度調(diào)節(jié)滑動(dòng)電阻器。
權(quán)利要求一種直拉鍺單晶的直徑測(cè)量及信號(hào)處理系統(tǒng)，其特征在于包括依次連接的采光系統(tǒng)(1)、光電轉(zhuǎn)換電路(2)、微弱信號(hào)處理電路(3)、信號(hào)放大電路(4)和信號(hào)隔離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路(5)；采光系統(tǒng)(1)用于接收等徑時(shí)鍺單晶固液界面光環(huán)的溫度波長(zhǎng)；光電轉(zhuǎn)換電路(2)用于將光環(huán)溫度波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)；微弱信號(hào)處理電路(3)用于將電信號(hào)放大為毫伏級(jí)或伏級(jí)信號(hào)；信號(hào)放大電路(4)用于將放大后的電信號(hào)再次放大；信號(hào)隔離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路(5)用于將再次放大的電信號(hào)轉(zhuǎn)換成0～10V的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，作為等徑控制的輸入信號(hào)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理系統(tǒng)，其特征在于所述的微弱信號(hào)處理電路(3)包括 低噪聲抑制放大器(101)和帶通放大器(102)；微弱信號(hào)處理電路(3)有兩個(gè)輸入端口和 兩個(gè)輸出端口，分別為正極輸入端IN+，負(fù)極輸入端IN-，以及正極輸出端OUT+和負(fù)極輸出 端OUT-;低噪聲抑制放大器(101)與VS的電源正負(fù)極相連，其正極輸入端與IN+相連，輸 出端電流反饋至負(fù)極輸入；低噪聲抑制放大器(101)輸出端經(jīng)過第一電阻(201)和第一電 容(301)與帶通放大器(102)的正極輸入端連接，并經(jīng)過第四電阻(204)作為整個(gè)微弱信 號(hào)處理電路(3)的負(fù)極輸出，接地；帶通放大器(102)與電源Vs正負(fù)極分別連接；帶通放 大器(102)的輸出端作為整個(gè)微弱信號(hào)處理電路(3)的正極輸出，并分流，一路與第五電阻 (205)和第二電容(302)串聯(lián)后接地，另外一路與第三電阻(203)串聯(lián)后反饋到帶通放大器(102)的負(fù)極輸入，并且經(jīng)過第二電阻(202)接地。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理系統(tǒng)，其特征在于所述的信號(hào)放大電路(4)包括第一 運(yùn)算放大器(103);信號(hào)放大電路(4)有兩個(gè)輸入端口和兩個(gè)輸出端口，分別為正極輸入 端IN+，負(fù)極輸入端IN-，以及正極輸出端OUT+和負(fù)極輸出端OUT-；負(fù)極輸入端IN-和負(fù)極 輸出端OUT-都接地；正極輸入端IN+經(jīng)過第六電阻(206)之后分流，連至第一運(yùn)算放大器(103)的正極輸入端；分流為三路，第一路經(jīng)過第七電阻(207)之后接地，第二路與第一穩(wěn) 壓管(401)的陽極連接，第一穩(wěn)壓管(401)的陰極與第二穩(wěn)壓管(402)的陰極相連，第二穩(wěn) 壓管(402)的陽極接地，第三路經(jīng)過第三電容(303)和第四電容(304)之后接地；第一運(yùn)算 放大器(103)與電源Vs的正負(fù)極相連接，作為整個(gè)信號(hào)放大器電路(4)的正極輸出的第一 運(yùn)算放大器(103)輸出端經(jīng)過第九電阻(209)之后反饋至第一運(yùn)算放大器(103)的負(fù)極輸 入端，并經(jīng)過第八電阻(208)接地。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的處理系統(tǒng)，其特征在于第三電容(303)和第四電容(304)為 濾波電容；第八電阻(208)為接地電阻，第九電阻(209)為反饋電阻。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理系統(tǒng)，其特征在于所述的信號(hào)隔離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電 路(5)包括隔離運(yùn)算放大器(104)、第二運(yùn)算放大器(105)和第三運(yùn)算放大器(106);信號(hào)隔 離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路(5)有兩個(gè)輸入端口和兩個(gè)輸出端口，分別為正極輸入端IN+，負(fù)極 輸入端IN-，以及正極輸出端OUT+和負(fù)極輸出端OUT-；負(fù)極輸入IN-和負(fù)極輸出OUT—分別 接地；正極輸入IN+與隔離運(yùn)算放大器(104)的輸入端直接連接，并且經(jīng)過第五電容(305) 與電源Vs正極連接，經(jīng)過第六電容(306)與電源Vs負(fù)極連接，經(jīng)過第七電容(307)接地； 隔離運(yùn)算放大器(104)的第一正極電源Vl+與電源VS正極相連，第二正極電源V2+與電源 Vs'正極相連，隔離運(yùn)算放大器(104)的第一負(fù)極電源Vl-與電源Vs負(fù)極相連，第二負(fù)極電 源V2-與電源Vs'負(fù)極相連，隔離運(yùn)算放大器(104)的第一接地端GNDl和第二接地端GND2 都分別接地；隔離運(yùn)算放大器(104)的輸出端口直接連至第二運(yùn)算放大器(105)的正極輸入端，經(jīng)過第八電容(308 )之后接地，并且分流，一路經(jīng)過第九電容(309 )連接至電源Vs'正 極，另一路經(jīng)過第十電容(310)連接至電源Vs'負(fù)極；第二運(yùn)算放大器(105)與電源Vs'正 負(fù)極分別相連，其輸出端反饋至負(fù)極輸入端，并直接連至第三運(yùn)算放大器(106)的正極輸入 端，并且分流，一路經(jīng)過第十二電容(312)接地，另一路經(jīng)過第十二電阻(212)連至第一滑 動(dòng)變阻器(231)，并且經(jīng)過第十一電容(311)接地；第一滑動(dòng)變阻器(231)正極經(jīng)過第十電 阻(210)連接至電源Vs'正極，第一滑動(dòng)變阻器(231)負(fù)極經(jīng)過第十一電阻(211)連接至電 源Vs'負(fù)極；第三運(yùn)算放大器(106)與電源Vs'正負(fù)極分別相連，其輸出端經(jīng)過第二滑動(dòng)變 阻器(232)和第十四電阻(214)之后反饋至第三運(yùn)算放大器(106)負(fù)極輸入端，再經(jīng)過第 十三電阻(213)接地；作為整個(gè)信號(hào)隔離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路(5)正極輸出的第三運(yùn)算放 大器(106)輸出端與第十三電容(313)和第十四電容(314)連接后接地。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的處理系統(tǒng)，其特征在于所述的第一滑動(dòng)變阻器(231)為調(diào)零 滑動(dòng)電阻器，第二滑動(dòng)變阻器(232)為滿度調(diào)節(jié)滑動(dòng)電阻器。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種直拉鍺單晶的直徑測(cè)量及信號(hào)處理系統(tǒng)，包括依次連接的采光系統(tǒng)、光電轉(zhuǎn)換電路、微弱信號(hào)處理電路、信號(hào)放大電路和信號(hào)隔離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路；采光系統(tǒng)用于接收等徑時(shí)鍺單晶固液界面光環(huán)的溫度波長(zhǎng)；光電轉(zhuǎn)換電路用于將光環(huán)溫度波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)；微弱信號(hào)處理電路用于將電信號(hào)放大為毫伏級(jí)或伏級(jí)信號(hào)；信號(hào)放大電路用于將放大后的電信號(hào)再次放大；信號(hào)隔離及標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路用于將再次放大的電信號(hào)轉(zhuǎn)換成0～10V的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，作為等徑控制的輸入信號(hào)。本實(shí)用新型的有益效果是，解決了直拉法鍺單晶的直徑測(cè)量及信號(hào)處理，實(shí)現(xiàn)了鍺單晶的等徑自動(dòng)控制。
文檔編號(hào)C30B15/20GK201637394SQ20102017488
公開日2010年11月17日 申請(qǐng)日期2010年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月29日
發(fā)明者劉健, 張素華, 李勇, 田召 申請(qǐng)人:西安理工晶體科技有限公司