專(zhuān)利名稱：等離子處理設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種等離子處理設(shè)備。
背景技術(shù)：
等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰 化和表面活化、改性等場(chǎng)合。通過(guò)其處理，能夠改善材料的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行 涂覆、鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。目前的等離子處 理設(shè)備在工作過(guò)程中，其電源的輸出終端溫度持續(xù)升高，不但影響了電源的使用壽命，還影 響了整個(gè)處理腔體內(nèi)的溫度，間接影響了等離子處理的均勻性。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種能夠延長(zhǎng)電源的使用壽命 并且能改善處理均勻性的等離子處理設(shè)備。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用了以下的技術(shù)方案設(shè)計(jì)一種等離子處理 設(shè)備，包括具有處理腔體的殼體、位于所述處理腔體內(nèi)的電極板以及用于將電壓施加于所 述電極板的電源，所述電源具有與其形成電連接的輸出終端，此外，所述等離子處理設(shè)備還 包括了用于冷卻所述輸出終端的輸出終端冷卻系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括儲(chǔ)存導(dǎo)熱流體的導(dǎo)熱流體 容器、連接所述導(dǎo)熱流體容器與所述輸出終端的管道、使所述導(dǎo)熱流體循環(huán)流經(jīng)所述輸出 終端的流體泵以及使所述導(dǎo)熱流體保持在預(yù)設(shè)溫度的流體溫度調(diào)節(jié)器。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型通過(guò)輸出終端冷卻系統(tǒng)使電源輸出終端的溫度保持 在預(yù)設(shè)溫度(例如常溫)，從而延長(zhǎng)了電源的使用壽命，且解決了因電源輸出而產(chǎn)生高溫的 問(wèn)題，間接保證了處理腔體內(nèi)溫度的恒定，提高了產(chǎn)品處理均勻性，改善了處理效果。

圖1是本實(shí)用新型的一種等離子處理設(shè)備的立體圖。圖2是圖1所示等離子處理設(shè)備的前視圖。圖3是圖1所示等離子處理設(shè)備除去殼體部分的立體圖。圖4是圖3所示部分的的另一視角的立體圖。圖5是圖3所示部分的前視圖。圖6是圖5的A局部放大圖。
具體實(shí)施方式
如圖1至圖6所示，本實(shí)用新型的等離子處理設(shè)備1包括具有處理腔體2的殼體 3、位于該處理腔體2內(nèi)部的水平且相互平行的多塊電極板4、用于將電壓施加于電極板4 的電源7(例如射頻電源)以及用于冷卻電連接于電源7的輸出終端14的輸出終端冷卻系 統(tǒng)，所述電極板4包括了相間分布的正極板5和負(fù)極板6，所述輸出終端14位于處理腔體2內(nèi)，且位于底層電極板6的下方。該輸出終端14為鋁合金等金屬制成的盒體，其內(nèi)部呈空 心狀態(tài)，采用這種材料和結(jié)構(gòu)，其冷卻速度更快。各塊電極板4通過(guò)支撐座19支撐在殼體 3的內(nèi)底面上。所述輸出終端冷卻系統(tǒng)包括了用于容納導(dǎo)熱油或?qū)崴葘?dǎo)熱流體的導(dǎo)熱流體 容器10、溫度傳感器11、流體泵12、冷卻壓縮機(jī)13、入流管8和回流管9，其中，導(dǎo)熱流體容 器10用于儲(chǔ)存導(dǎo)熱流體，溫度傳感器11設(shè)置在該導(dǎo)熱流體容器10上，導(dǎo)熱流體容器10通 過(guò)冷卻壓縮機(jī)13與流體泵12相連通，也就是說(shuō)，冷卻壓縮機(jī)13連接于導(dǎo)熱流體容器10與 流體泵12之間，用于調(diào)節(jié)從導(dǎo)熱流體容器10輸出的導(dǎo)熱流體的溫度，使其保持在預(yù)設(shè)的溫 度(例如室溫)。流體泵12的作用是使導(dǎo)熱流體在該冷卻系統(tǒng)內(nèi)循環(huán)流動(dòng)并經(jīng)過(guò)輸出終端 14。入流管8的入口端連接于流體泵12，回流管9的出口端連接于導(dǎo)熱流體容器10。入流 管8和回流管9可以為銅管。所述輸出終端14設(shè)有入口管16和出口管17，入口管16的出口端161和出口管17 的入口端171分別通過(guò)密封管接頭固定連接于輸出終端14的底面，這樣連接更穩(wěn)固。入口 管16的入口端162通過(guò)連通管接頭18連接于入流管8的出口端，出口管17的出口端172 通過(guò)該連通管接頭18連接于回流管9的入口端。電源7通過(guò)金屬支架20及入流管8和回流管9與輸出終端14形成電連接，輸出 終端14左右兩側(cè)通過(guò)鋁棒15等導(dǎo)體與各正極板5形成電連接，輸出終端14與鋁棒15之 間焊接固定。流體泵12可使輸出終端冷卻系統(tǒng)內(nèi)的導(dǎo)熱流體循環(huán)流動(dòng)，冷卻壓縮機(jī)13可將導(dǎo) 熱流體冷卻到預(yù)設(shè)溫度。從導(dǎo)熱流體容器10流出來(lái)的導(dǎo)熱流體經(jīng)過(guò)冷卻壓縮機(jī)13冷卻到 預(yù)設(shè)溫度后，由流體泵12泵入到入流管8和入口管16，流經(jīng)輸出終端14內(nèi)部并與輸出終端 14進(jìn)行熱交換后，再由出口管17和回流管9流回到導(dǎo)熱流體容器10，如此循環(huán)。上述輸出 終端冷卻系統(tǒng)可以通過(guò)單片機(jī)或PLC控制器等控制單元來(lái)進(jìn)行控制當(dāng)導(dǎo)熱流體容器10內(nèi) 導(dǎo)熱流體的實(shí)際溫度超過(guò)設(shè)定溫度時(shí)，溫度傳感器11會(huì)將信號(hào)傳給控制單元，控制單元會(huì) 命令冷卻壓縮機(jī)13實(shí)施冷卻。當(dāng)電源7工作時(shí)，在其輸出終端14會(huì)產(chǎn)生大量的熱量，上述輸出終端冷卻系統(tǒng)可 以使冷卻至預(yù)設(shè)溫度(例如常溫)的導(dǎo)熱流體循環(huán)流經(jīng)輸出終端14，使輸出終端14的溫度 降低，以延長(zhǎng)電源7使用壽命，并保證了整個(gè)處理腔體2內(nèi)的溫度不受其影響，從而提高了 產(chǎn)品處理均勻性，改善了處理效果。
權(quán)利要求等離子處理設(shè)備，包括具有處理腔體的殼體、位于所述處理腔體內(nèi)的電極板以及用于將電壓施加于所述電極板的電源，所述電源具有與其形成電連接的輸出終端，其特征在于所述等離子處理設(shè)備還包括了用于冷卻所述輸出終端的輸出終端冷卻系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括儲(chǔ)存導(dǎo)熱流體的導(dǎo)熱流體容器、連接所述導(dǎo)熱流體容器與所述輸出終端的管道、使所述導(dǎo)熱流體循環(huán)流經(jīng)所述輸出終端的流體泵以及使所述導(dǎo)熱流體保持在預(yù)設(shè)溫度的流體溫度調(diào)節(jié)器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子處理設(shè)備，其特征在于所述管道包括了入流管和回 流管，所述入流管的入口端連接于所述流體泵，所述回流管的出口端連接于所述導(dǎo)熱流體 容器，所述流體泵與所述導(dǎo)熱流體容器相連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的等離子處理設(shè)備，其特征在于所述輸出終端設(shè)有入口管和 出口管，所述入口管的出口端和所述出口管的入口端分別通過(guò)密封管接頭固定連接于所述 輸出終端，所述入口管的入口端通過(guò)一連通管接頭連接于所述入流管的出口端，所述出口 管的出口端通過(guò)所述連通管接頭連接于所述回流管的入口端。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子處理設(shè)備，其特征在于所述流體溫度調(diào)節(jié)器為一冷 卻壓縮機(jī)，該冷卻壓縮機(jī)連接于所述導(dǎo)熱流體容器與所述流體泵之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子處理設(shè)備，其特征在于所述導(dǎo)熱流體為導(dǎo)熱油或?qū)?熱水。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子處理設(shè)備，其特征在于所述導(dǎo)熱流體容器上設(shè)有溫 度傳感器。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子處理設(shè)備，其特征在于所述電極板包括了水平且相 互平行的多塊正極板和多塊負(fù)極板，其中所述正極板和負(fù)極板相間分布。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子處理設(shè)備，其特征在于所述輸出終端位于所述處理 腔體內(nèi)，且位于底層電極板的下方。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子處理設(shè)備，其特征在于所述電源通過(guò)一金屬支架及 所述管道與所述輸出終端形成電連接，所述輸出終端通過(guò)導(dǎo)體與所述電極板形成電連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的等離子處理設(shè)備，其特征在于所述輸出終端為鋁合金盒 體，所述管道為銅管。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供了一種等離子處理設(shè)備，包括具有處理腔體的殼體、位于處理腔體內(nèi)的電極板以及用于將電壓施加于電極板的電源，電源具有與其形成電連接的輸出終端，此外，該等離子處理設(shè)備還包括了輸出終端冷卻系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括儲(chǔ)存導(dǎo)熱流體的導(dǎo)熱流體容器、連接導(dǎo)熱流體容器與輸出終端的管道、使導(dǎo)熱流體循環(huán)流經(jīng)輸出終端的流體泵以及使導(dǎo)熱流體保持在預(yù)設(shè)溫度的流體溫度調(diào)節(jié)器。本實(shí)用新型通過(guò)輸出終端冷卻系統(tǒng)使電源輸出終端的溫度保持在預(yù)設(shè)溫度，從而延長(zhǎng)了電源的使用壽命，且解決了因電源輸出而產(chǎn)生高溫的問(wèn)題，間接保證了處理腔體內(nèi)溫度的恒定，提高了產(chǎn)品處理均勻性，改善了處理效果。
文檔編號(hào)H05H1/24GK201754646SQ20102023438
公開(kāi)日2011年3月2日 申請(qǐng)日期2010年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月23日
發(fā)明者丁雪苗 申請(qǐng)人:珠海彼得氏等離子科技有限公司